JP2010076849A - エアブローユニットおよびそれを用いたエアブロー基板 - Google Patents

Abstract

【課題】電気的な制御手段が不要で、かつガラス基板やフィルムなどの搬送のために必要な部分にのみ圧力空気を噴出させることができるエアブローユニットと、このようなエアブローユニットを用いて容易にガラス基板などの搬送路を形成することができるエアブロー基板を得る。
【解決手段】エアブローユニット１０は、本体ケース１２を含み、その第１の空間部６０にセンサ部材７０が配置される。連結路５２部分でスライド可能にスライド部材１４０が保持され、バネ受け部材１６０とバネ部材１９４とでスライド部材１４０に付勢力を加えて、センサ部材７０が押し上げられる。ガラス基板がセンサ部材７０を押し下げると、スライド部材１４０が下方にスライド移動し、連結路５２が開通して、第２の空間部６２の圧力空気がセンサ部材７０とガラス基板との間に噴出し、ガラス基板が圧力空気によって支持される。
【選択図】図１

Description

この発明は、エアブローユニットおよびそれを用いたエアブロー基板に関し、特にたとえば、大型のガラス基板やフィルムなどを傷付けることなく搬送するために用いられるエアブローユニットと、それを用いたエアブロー基板に関する。

近年、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルなどの製造において、大型のガラス基板が用いられている。このようなガラス基板は、たとえば２５００ｍｍ×２５００ｍｍという大型のものであるにもかかわらず、その厚みは０．５ｍｍ〜０．７ｍｍと薄く、取り扱いの困難なものである。このようなガラス基板の搬送のために、ローラなどを用いると、ガラス基板表面に傷が付く恐れがあり、ディスプレイパネルとして加工することができなくなる可能性がある。

そこで、図２５に示すように、ガラス基板１の両端部のみをローラ２で支持して、その内側においては空気孔３からガラス基板１に向かって圧力空気を噴出させ、ガラス基板１を空気圧により支持する方法が採用されている。この方法では、ローラ２を駆動することにより、ローラ２の内側におけるガラス基板１の表面を傷つけることなく、ガラス基板１の搬送が可能である（特許文献１参照）。

特開２０００−１９３６０４号公報

しかしながら、このような方法では、ガラス基板が通過していない領域においても、圧力空気が噴出することになり、大量の圧力空気を発生させる必要があり不経済である。そこで、ガラス基板の移動方向に向かって、搬送路を複数のブロックに分割し、移動してきたガラス基板の先端部をセンサで検出して、ガラス基板の進行方向の１ブロックのみについて圧力空気を噴出させるような制御が行われている。このような制御により、ガラス基板の進行方向において、１ブロックずつ順次圧力空気が噴出し、ガラス基板が通り過ぎた位置にあるブロックにおいては、圧力空気の噴出を停止させることができる。したがって、必要な部分のみ圧力空気を噴出させることができ、圧力空気の節減が可能である。

ところが、このような制御を行うためには、ガラス基板を検出するためのセンサ、圧力空気の噴出を制御するためのバルブ、センサによるガラス基板の検出によりバルブの動作を制御するための制御盤などが必要であり、大がかりな装置となる。

それゆえに、この発明の主たる目的は、電気的な制御手段が不要で、かつガラス基板やフィルムなどの搬送のために必要な部分にのみ圧力空気を噴出させることができるエアブローユニットと、このようなエアブローユニットを用いて容易にガラス基板などの搬送路を形成することができるエアブロー基板を提供することである。

この発明は、開口部を有する略筒状の本体ケースと、本体ケースの開口部から外側に向かって一部が突出したり本体ケース内に収納されたりするセンサ部材と、センサ部材を本体ケースの開口部側に向かって付勢するための付勢手段と、本体ケース内においてセンサ部材の外側に形成される圧力空気を供給するための空気供給部と、本体ケースの開口部側と空気供給部とを連結する空気通路と、センサ部材の一部が本体ケースの開口部から外側に向かって突出するときに空気通路を遮断するとともに、センサ部材が本体ケース内に収納されたときに空気通路を開通させるバルブ機構とを含む、エアブローユニットである。
付勢手段によって、センサ部材が本体ケースの開口部側に向かって付勢され、センサ部材の一部が開口部から外側に向かって突出する。このとき、バルブ機構により、空気通路は遮断され、空気供給部から本体ケースの開口部側に圧力空気が供給されない。センサ部材上にガラス基板やフィルムなどが送られてくると、センサ部材が押されて本体ケース内でスライド移動し、センサ部材は本体ケース内に収納される。
このとき、バルブ機構により空気通路が開通させられ、空気供給部から本体ケースの開口部側に向かって圧力空気が供給される。この圧力空気によって、ガラス基板などが支持されるとともに、ガラス基板などで覆われることにより、ガラス基板などとセンサ部材との間に空気が充填される。この空気の圧力により、センサ部材は付勢手段に抗する向きに圧力が加えられ、センサ部材が開口部側に移動することが防止される。

このようなエアブローユニットにおいて、本体ケース内においてセンサ部材を保持する第１の空間部と、本体ケース内において第１の空間部に対向して形成される第２の空間部と、第１の空間部と第２の空間部とを連結するための連結路と、連結路を通してセンサ部材に接触し、スライド移動可能に配置されるスライド部材と、第２の空間部においてスライド部材をセンサ部材側に向かって付勢するための付勢部材とを含み、付勢部材とスライド部材とで付勢手段が構成されるものとすることができる。
本体ケース内の第１の空間部にセンサ部材が保持され、第２の空間部において付勢部材がスライド部材を付勢することにより付勢手段が構成され、この付勢手段によってセンサ部材の一部が本体ケースの開口部から外側に向かって突出するように保持される。

また、センサ部材が保持された第１の空間部と本体ケースの外部とを連通するための貫通孔が本体ケースに形成されることが好ましい。
センサ部材が本体ケース内に収納されたときに、第１の空間部に圧力空気が侵入すると、センサ部材を本体ケースの開口部側に押す力が働く。そこで、本体ケースに形成された貫通孔によって第１の空間部に侵入した圧力空気を本体ケースの外部に導くことにより、センサ部材が本体ケースの開口部側に移動することを防止することができる。

さらに、第２の空間部に空気供給部が形成されるとともに、連結路が空気通路の一部を構成し、センサ部材の一部が本体ケースの開口部から外側に向かって突出するときに、スライド部材が連結路を遮断し、センサ部材が本体ケース内に収納されたときに、スライド部材が連結路を開通することにより、空気通路の開閉を行うバルブ機構が構成されるようにすることができる。
連結路が第１の空間部と第２の空間部とを連結し、この連結部が空気供給部と本体ケースの開口部側とを連通する空気通路の一部を構成する。この連結路をスライド部材が開閉することにより、空気通路を開閉するバルブ機構を形成することができる。このような構成とすることにより、スライド部材がセンサ部材を付勢するために用いられるとともに、バルブ機構としても用いられる。

また、センサ部材は、球状のセンサボールと、センサボールを収納する略球面状の底面を有するボール受けと、センサボールとボール受けの底面との間に配置される複数の小球とを含み、センサボールの一部が本体ケースの開口部から外側に向かって突出することが好ましい。
センサボールを複数の小球で支持する構成とすることにより、センサボールが回転しやすくなる。そのため、本体ケースから突出するセンサボールにガラス基板などが当たったときに、センサボールが回転して、ガラス基板などを破損することなくセンサボールの上に導くことができる。

さらに、センサ部材が本体ケース内に収納されたときに、本体ケースの開口部側と空気供給部とを連結するための空気通路がセンサ部材を介して形成されてもよい。
また、センサ部材が本体ケース内に収納されたときに、本体ケースの開口部側と空気通路とを連結するための空気通路が本体ケースを介して形成されてもよい。
本体ケースの開口部側に圧力空気を供給するために、センサ部材から圧力空気を供給してもよいし、本体ケースから圧力空気を供給してもよい。

さらに、本体ケースの開口部の反対側においてスライド部材が本体ケースの底面から外側に突出するように形成され、センサ部材の一部が本体ケースの開口部から外側に向かって突出するときに、本体ケースの底面とスライド部材との間を封止するための封止部材が設けられてもよい。
封止部材によって本体ケースの底面とスライド部材との間を封止することにより、センサ部材の一部が本体ケースの開口部から外側に向かって突出しているときに、本体ケースの底面からの空気漏れを防止することができる。

また、この発明は、基板に上述のいずれかに記載のエアブローユニットが取り付けられ、センサ部材の一部が本体ケースの開口部から外側に向かって突出したときに、基板の面上にセンサ部材の一部が突出するようにした、エアブロー基板である。
基板に複数のエアブローユニットを取り付けたエアブロー基板とすることにより、複数のエアブロー基板を並べて配置することにより、任意の大きさの搬送路を形成することができる。

この発明によれば、電気的な制御を行うことなく、ガラス基板やフィルムなどの下面のみに圧力空気を噴出させることができる。そのため、ガラス基板やフィルムなどの搬送装置を簡単な構成とすることができるとともに、必要な部分にのみ圧力空気を噴出させることができる。
また、このようなエアブローユニットを取り付けたエアブロー基板を用いることにより、任意の大きさの搬送路を形成することができるため、ガラス基板などの大きさおよび搬送距離に合わせて、自由に搬送路を形成することができる。

この発明の上述の目的，その他の目的，特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための最良の形態の説明から一層明らかとなろう。

図１は、この発明のエアブローユニットの一例を示す断面図解図である。エアブローユニット１０は、本体ケース１２を含む。本体ケース１２は、図２および図３に示すように、全体として円柱状に形成される。本体ケース１２は、軸方向に沿って貫通するように形成され、本体ケース１２の一端側の内周面に、第１の溝１４が形成される。本体ケース１２の一端側は、外周側に向かって突出するようにして、鍔状部１６が形成される。この鍔状部１６の一部において、鍔状部１６の上面から第１の溝１４まで、切欠き部１８が形成される。

本体ケース１２の内側には、第１の溝１４に隣接するように、第１の段差部２０が形成される。さらに、本体ケース１２の中間部の内周面に、第２の溝２２が形成される。第２の溝２２の近傍には、複数の貫通孔２４が周方向に並んで形成される。また、第２の溝２２を挟んで貫通孔２４の反対側に、第２の段差部２６が形成される。さらに、本体ケース１２の他端側において、その内周面に、第３の段差部２８が形成され、それに続いて、第３の溝３０および第４の溝３２が形成される。第２の段差部２６と第３の段差部２８との間には、本体ケース１２の側面を貫通するようにして、空気導入孔３４が形成される。また、本体ケース１２の外周面において、鍔状部１６の近傍には、外周溝３６が形成される。

本体ケース１２の中間部には、隔壁部材４０が取り付けられる。隔壁部材４０は、図４に示すように、円筒状の筒状部４２が形成され、筒状部４２の一端から外周側に向かって突出するように鍔状部４４が形成される。鍔状部４４は、本体ケース１２の一端側における内径とほぼ同じ外径を有するように形成される。鍔状部４４の外周側端部には、溝４６が形成される。鍔状部４４の内側には、筒状部４４に連なる凹部４８が形成される。また、筒状部４４の他端は、内周側に向かって突出する凸状部５０が形成され、この凸状部５０の内側に、隔壁部材５０の両側を連結する連結路５２が形成される。

隔壁部材４０の鍔状部４４は、本体ケース１２の第２の段差部２６部分に配置される。このとき、隔壁部材４０の溝４６には、Ｏリング５４が嵌め込まれる。さらに、本体ケース１２の第２の溝２２に、止め輪５６が嵌め込まれ、隔壁部材４０が本体ケース１２内に固定される。止め輪５６は、たとえば弾性を有する金属材料をリング状に形成し、リング状の一部を切断した形状としたものである。したがって、止め輪５６を縮めたり拡げたりすることにより、筒状体の内周面や外周面に嵌めることができ、元の形状に戻すことにより、筒状体の内外に形成された溝に嵌め込むことができる。隔壁部材４０が設けられることによって、本体ケース１２内に、第１の空間部６０および第２の空間部６２が形成される。第１の空間部６０は、本体ケース１２の一端側に形成され、第２の空間部６２は、本体ケース１２の他端側に形成される。そして、第１の空間部６０と第２の空間部６２とが、隔壁部材４０の連結路５２で連結される。

第１の空間部６０には、センサ部材７０が設けられる。センサ部材７０は、センサボール７２を含む。センサボール７２は、複数の小球７４を介して、ボール受け８０で保持される。ボール受け８０は、図５に示すように、略球面状の底面部８２を含み、この底面部８２上に小球７４を介してセンサボール７２が保持される。ボール受け８０の外面には、鍔状部８４が形成され、ボール受け８０の中心軸と平行に、鍔状部８４に複数の貫通孔８６が形成される。また、鍔状部８４からボール受け８０の外側中央部に向かって、傾斜部８８が形成される。そして、ボール受け８０の外側中央部には、底面部８２の反対側に向かって突出する突起部９０が形成される。

ボール受け８０は、ボール受けホルダー１００に保持される。ボール受けホルダー１００は、図６に示すように、円筒上の大筒状部１０２を含み、その一端側の内周面には、溝１０４が形成される。大筒状部１０２の内径は、ボール受け８８の鍔状部８４の外径とほぼ等しくなるように形成される。また、大筒状部１０２の内側には、段差部１０６が形成され、それに続いて、傾斜部１０８が形成される。ボール受けホルダー１００の傾斜部１０８は、ボール受け８０の傾斜部８８に対応するように形成される。また、傾斜部１０８に続いて、大筒状部１０２より小径の小筒状部１１０が形成される。そして、ボール受けホルダー１００の外面には、大筒状部１０２から小筒状部１１０にかけて、階段状部１１２が形成される。

ボール受けホルダー１００内に、ボール受け８８が保持される。このとき、ボール受け８８の鍔状部８４がボール受けホルダー１００の段差部１０６部分に配置される。ここで、ボール受け８８の外面の傾斜部８８とボール受けホルダー１００の内面の傾斜部１０８との間に隙間が形成される。この隙間が、ボール受け８８の貫通孔８６に連通される。

ボール受けホルダー１００には、ボール受け８０に被さるようにして、ボール押え１２０が取り付けられる。ボール押え１２０は、図７に示すように、筒状部１２２を含む。筒状部１２２の内径は、センサボール７２が内部で回転可能となるように、センサボール７２の外径より若干大きく形成される。また、筒状部１２２の一端側には、内周側に向かって突出する凸状部１２４が形成され、この凸状部１２４の内側からセンサボール７２の一部が突出するようになっている。筒状部１２２には、その中心軸と平行に、複数の貫通孔１２６が形成される。これらの貫通孔１２６は、ボール受け８０の貫通孔８６に対応して形成される。さらに、筒状部１２２の他端側の外周部には、ボール受けホルダー１００の大筒状部１０２の内径とほぼ同じ外径を有する鍔状部１２８が形成される。

ボール押え１２０は、ボール受けホルダー１００内において、ボール受け８０に被さるように配置される。このとき、ボール押え１２０の貫通孔１２６がボール受け８０の貫通孔８６の位置に対応するように配置される。この状態で、ボール受けホルダー１００の溝１０４に止め輪１３０を嵌め込むことにより、ボール押え１２０の鍔状部１２８がボール受けホルダー１００内に固定される。

さらに、本体ケース１２には、ボール受けホルダー１００を押えるようにして、上蓋部材１３２が取り付けられる。上蓋部材１３２は、図８に示すように、断面Ｌ字状で、かつリング状に形成される。上蓋部材１３２の内径は、ボール押え１２０の筒状部１２２の外径より若干大きく形成される。また、上蓋部材１３２の外径は、本体ケース１２の第１の空間部６０側の端部における内径にほぼ等しくなるように形成される。上蓋部材１３２は、本体ケース１２の第１の段差部２０部分に取り付けられ、本体ケース１２の第１の溝１４に止め輪１３４が嵌め込まれる。それにより、センサボール７２、小球７４、ボール受け８０、ボール受けホルダー１００、ボール押え１２０からなるセンサ部材７０が、本体ケース１２内の第１の空間部６０内に収納される。なお、本体ケース１２の切欠き１８には、充填部材１３６が充填される。

本体ケース１２の第２の空間部６２内には、スライド部材１４０が配置される。スライド部材１４０は、図９に示すように、大径の円柱状の大径部１４２を含む。大径部１４２の一端側には、鍔状部１４４を介して、大径部１４２より小径の外径を有する小径部１４６が形成される。小径部１４６の外径は、隔壁部材４０の凸状部５０の内径、つまり連結路５２より小さい径となるように形成される。小径部１４６の外周面には、溝１４８が形成される。さらに、小径部１４６から延びるようにして、棒状部１５０が形成される。スライド部材１４０は、隔壁部材４０の連結路５２およびボール受けホルダー１００の小筒状部１１０を貫通して、棒状部１５０がボール受け８０の突起部９０に当接されるように配置される。

スライド部材１４０には、バネ受け部材１６０が組み合わされる。バネ受け部材１６０は、図１０に示すように、筒状部１６２を含む。筒状部１６２の一端側には、外側に向かって突出する鍔状部１６４が形成される。また、筒状部１６２の他端側には、底面部１６６が形成される。底面部１６６の内面中央部には、凹部１６８が形成され、凹部１６８の中央部に貫通孔１７０が形成される。凹部１６８の内径は、スライド部材１４０の鍔状部１４４の外径とほぼ等しくなるように形成される。また、貫通孔１７０の径は、スライド部材１４０の大径部１４２の外径とほぼ等しくなるように形成される。さらに、底面部１６６の凹部１６８の周囲には、複数の孔１７２が形成される。これらの孔１７２は、圧力空気の通り道として働くものである。

バネ受け部材１６０の貫通孔１７０には、スライド部材１４０の大径部１４２が挿通され、スライド部材１４０の鍔状部１４４がバネ受け部材１６０の凹部１６８内に配置される。そして、スライド部材１４０の溝１４８とバネ受け部材１６０の凹部１６８の内部に、Ｏリング１７４が嵌め込まれる。そして、スライド部材１４０がセンサ部材７０を押して、センサボール７２が本体ケース１２の一端側の開口部から突出するように配置されたとき、Ｏリング１７４は隔壁部材４０の凸状部５０に当接され、連結路５２を塞ぐように働く。

本体ケース１２の他端側には、図１１に示すような底蓋部材１８０が取り付けられる。底蓋部材１８０は、円板状に形成される。底蓋部材１８０の外径は、本体ケース１２の他端側の第３の段差部２８部分に配置される大きさに形成される。底蓋部材１８０の中央部には、スライド部材１４０の大径部１４２の外径にほぼ等しい内径を有する貫通孔１８２が形成される。さらに、底蓋部材１８０の一方面には、第１の段差部１８４が形成され、底蓋部材１８０の他方面には、第２の段差部１８６が形成される。

底蓋部材１８０は、本体ケース１２の第３の段差部２８部分に配置される。ここで、本体ケース１２の第３の溝３０には、Ｏリング１９０が嵌め込まれる。さらに、本体ケース１２の第４の溝３２には、止め輪１９２が嵌め込まれ、底蓋部材１８０が本体ケース１２に固定される。このとき、スライド部材１４０の大径部１４２が、底蓋部材１８０の貫通孔１８２に挿通される。

バネ受け部材１６０の鍔状部１６４と底蓋部材１８０の第１の段差部１８４との間には、バネ部材１９４が配置される。バネ部材１９４によって、バネ受け部材１６０と組み合わされたスライド部材１４０が、センサ部材７０側に向かって付勢される。つまり、バネ部材１９４とバネ受け部材１９４とで、スライド部材１４０をセンサ部材７０側に付勢するための付勢部材が構成される。そして、この付勢部材とスライド部材１４０とで、センサ部材７０の一部が本体ケース１２の開口部側に突出するように付勢する付勢手段が構成される。

エアブローユニット１０は、たとえば基板２００に取り付けられる。基板２００には、本体ケース１２が嵌り込む穴が形成される。この穴の周囲には段差部が形成され、この段差部に本体ケース１２の鍔状部１６が配置される。そして、基板２００の段差部を挟むようにして、本体ケース１２の外周溝３０に止め輪２０２を嵌め込むことにより、基板２００にエアブローユニット１０が取り付けられる。基板２００は適当な大きさに形成され、複数のエアブローユニット１０が取り付けられて、エアブロー基板が形成される。このエアブロー基板を複数枚敷き詰めることにより、所望の範囲に均一にエアブローユニット１０を分布させることができる。

このようなエアブローユニット１０は、ガラス基板やフィルムなどを搬送するための搬送路に用いられ、特に、液晶ディスプレイパネルやプラズマディスプレイパネルなどの製造工程において、ガラス基板の搬送のために用いられる。これらのディスプレイパネルには、たとえば、大きさが２５００ｍｍ×２５００ｍｍで、厚みが０．５〜０．７ｍｍのガラス基板が用いられる。

このようなガラス基板を搬送するために、図２５に示すように、ガラス基板の両端側がローラで支持され、これらのローラ間において圧力空気を噴出させることにより、ガラス基板が支持されるが、圧力空気の制御を行うためにエアブローユニット１０が用いられる。したがって、エアブローユニット１０は、ガラス基板の搬送経路にしたがって、両端のローラ間に均一に分布するように配置される。そのために、エアブローユニット１０を基板２００に取り付けたエアブロー基板が、ローラ間に均一に敷き詰められる。

ガラス基板が搬送されていないとき、図１に示すように、バネ受け部材１６０がバネ部材１９４で隔壁部材４０に向かって付勢される。それによって、スライド部材１４０がセンサ部材７０に向かって付勢され、センサ部材７０が押し上げられて、センサボール７２の一部が本体ケース１２の一端側の開口部から露出した状態で保持される。このとき、圧力空気は、空気導入口３４から本体ケース１２の第２の空間部６２に導入され、本体ケース１２と隔壁部材４０とスライド部材１４０と底蓋部材１８０とで囲まれた空気供給部に導入される。

次に、図１２に示すように、ガラス基板２１０が搬送されてくると、ガラス基板２１０の先端部がセンサボール７２に当たって、センサボール７２が回転することにより、ガラス基板２１０がセンサボール７２の上に案内される。このとき、センサボール７２が小球７４で支持される構成であるため、センサボール７２が容易に回転し、ガラス基板２１０が高速で移動してきても、ガラス基板２１０を破損することなくセンサボール７２上に導くことができる。それにより、センサ部材７０を押し下げて、ガラス基板２１０がセンサ部材７０上を覆うようになる。

センサ部材７０が押し下げられると、センサ部材７０を構成するボール受け８０の突起部９０によって、スライド部材１４０が押し下げられる。それにより、スライド部材１４０がバネ受け部材１６０およびバネ部材１９４の付勢力に抗してスライド移動し、スライド部材１４０と隔壁部材４０との間に隙間が生じ、連結路５２が開通する。それにより、図１２に斜線で示すように、空気供給部と本体ケース１２の一端の開放部側との間に、隔壁部材４０の連結路５２と、ボール受けホルダー１００の小筒状部１１０と、ボール受け８０の傾斜部８８とボール受けホルダー１００の傾斜部１０８の間の隙間と、ボール受け８０の貫通孔８６と、ボール押え１２０の貫通孔１２６とで構成される空気通路が形成される。この空気通路を介して、圧力空気がセンサ部材７０とガラス基板２１０との間に導かれる。この圧力空気によって、ガラス基板２１０が支持される。

ガラス基板２１０とエアブローユニット１０との間の圧力空気によって、センサ部材７０がスライド部材１４０側に向かって押され、ガラス基板２１０と間隔を隔てた状態で、センサ部材７０が保持される。なお、センサ部材７０を構成するボール受けホルダー１００と本体ケース１２との間の隙間から第１の空間部６０内に漏れた空気は、本体ケース１２の貫通孔２４から外部に排出される。そのため、第１の空間部６０内に漏れた空気によって、センサ部材７０がガラス基板２１０の方向に押し上げられることはない。

このように、ガラス基板２１０がセンサ部材７０上にあるときに、圧力空気がガラス基板２１０の下方に噴出する。それにより、ガラス基板２１０は、圧力空気によって支持される。このとき、センサ部材７０のセンサボール７２は、ガラス基板２１０に接触しないため、ガラス基板２１０の表面が傷つくことが防止される。なお、搬送されてきたガラス基板２１０の先端は、センサボール７２に当たるため、この部分においてガラス基板２１０の表面に傷が付くことはある。しかしながら、ディスプレイパネルの製造においては、大きいガラス基板２１０上に複数のディスプレイパネルが形成され、ガラス基板２１０の端部は切り落とされるため、ガラス基板２１０の端部における表面の傷は、特に問題となるものではない。

ガラス基板２１０が通り過ぎると、センサ部材７０上には遮るものがなくなり、センサ部材７０上に供給されている圧力空気は開放される。そのため、センサ部材７０を押す空気の圧力はなくなる。そのため、バネ部材１９４によってバネ受け部材１６０が隔壁部材６０側に向かって付勢される。それにより、スライド部材１４０がセンサ部材７０を押し上げ、図１に示す状態となって、圧力空気の放出は停止する。つまり、隔壁部材４０の凸状部５０、スライド部材１４０、Ｏリング１７４によって、空気通路を開閉するためのバルブ機構が構成される。

このように、エアブローユニット１０は、ガラス基板２１０が搬送されてきたことを検出するセンサとして働くとともに、ガラス基板２１０の検出によって圧力空気を噴出させるバルブとしても働く。そのため、必要な部分のみで圧力空気を噴出させることができ、しかもセンサや制御盤などの電気的な設備が不要である。

また、エアブローユニット１０を取り付けたエアブロー基板を適当な枚数だけ敷き詰めることにより、必要な面積に均一にエアブローユニット１０を分布させることができる。したがって、ガラス基板２１０の搬送経路の幅や長さを自由に設計することができる。

このようなエアブローユニット１０において、底蓋部材１８０とスライド部材１４０との隙間から圧力空気が漏れる場合、たとえば図１３に示すように、Ｏリング２２０を用いることができる。このような場合、スライド部材１４０の大径部１４２が底蓋部材１８０から突出するように形成される。この突出したスライド部材１４０の大径部１４２と底蓋部材１８０との間を塞ぐように、Ｏリング２２０が取り付けられる。Ｏリング２２０は、リング状のＯリング押え２２２によって押えられる。そして、スライド部材１４０の大径部１４２に雌ネジ部が形成され、この雌ネジ部にボルト２２４を螺入することにより、Ｏリング２２０およびＯリング押え２２２が固定される。このように、Ｏリング２２０で底蓋部材１８０とスライド部材１４０の大径部１４２との間の隙間を塞ぐことにより、待機時における圧力空気の漏れを防止することができる。

なお、ガラス基板２１０を支持する際に、本体ケースから圧力空気を噴出させることもできる。このようなエアブローユニットの例が、図１４に示されている。このエアブローユニット２５０は、本体ケース２６０を含む。本体ケース２６０は、図１５に示すように、全体として円柱状に形成される。本体ケース２６０の中間部には、隔壁２６２が形成される。この隔壁２６２によって、本体ケース２６０の一端側に第１の空間部２６４が形成され、本体ケース２６０の他端側に第２の空間部２６６が形成される。隔壁２６２の中央部は貫通し、それによって連結路２６８が形成される。第２の空間部２６６側において、隔壁２６２に段差部２７０が形成される。

第１の空間部２６４の開口部側の内周面には、第１の溝２７２が形成される。また、本体ケース２６０の一端側の外周部には、外側に突出するように鍔状部２７４が形成される。さらに、第１の溝２７２に隣接して、第１の段差部２７６が形成される。第１の溝２７６と間隔を隔てて、本体ケース２６０の内周面に、第２の溝２７８が形成される。第１の段差部２７６と第２の溝２７８との間において、本体ケース２６０の側面に貫通孔２８０が形成される。なお、図１５では、貫通孔２８０は１つだけ示されているが、本体ケース２６０の周方向に複数形成されてもよい。

第２の溝２７８と隔壁２６２との間において、本体ケース２６０の内周面に、凹溝２８２が形成される。凹溝２８２から本体ケース２６０の一端側に向かって、本体ケース２６０の中心軸に平行な通路２８４が形成される。通路２８４は、本体ケース２６０の周方向に並んで複数形成される。

第２の空間部２６６側において、本体ケース２６０の側面に、空気導入孔２８６が形成される。さらに、第２の空間部２６６の開口部側の内周面には、第３の溝２８８が形成される。この第３の溝２８８に隣接して、第２の段差部２９０および第３の段差部２９２が形成される。また、鍔状部２７４の近傍において、本体ケース２６０の外周面に外周溝２９４が形成される。

本体ケース２６０の第１の空間部２６４には、センサ部材３００が配置される。センサ部材３００は、センサボール３０２を含む。センサボール３０２は、複数の小球３０４を介して、ボール受け３１０に保持される。ボール受け３１０は、図１６に示すように、略球面状の底面部３１２を有し、この底面部３１２上に、小球３０４を介してセンサボール３０２が保持される。底面部３１２の反対側において、ボール受け３１０の中央部から突き出すように、棒状部３１４が形成される。棒状部３１４の周囲には、段差部３１６が形成される。

センサボール３０２を保持するボール受け３１０に、ボール押え３２０が取り付けられる。ボール押え３２０は、図１７に示すように、略筒状に形成される筒状部３２２を含む。筒状部３２２の内部には、大きい内径を有する大径空間３２４と、小さい内径を有する小径空間３２６とが形成される。大径空間３２４の内径は、ボール受け３１０の外径とほぼ等しくなるように形成される。大径空間３２４の端部において、筒状部３２２の内周面には、溝３２８が形成される。また、小径空間３２６の端部において、筒状部３２２の内周側に突出する凸状部３３０が形成される。さらに、筒状部３２２の外周面には、鍔状部３３２が形成される。

ボール押え３２０は、ボール受け３１０に被せるようにして取り付けられる。つまり、ボール押え３２０の大径空間３２４内にボール受け３１０が嵌め込まれ、止め輪３３４などをボール押え３２０の溝３２８に嵌め込むことにより、止め輪３３４がボール受け３１０の段差部３１６の端部にかかって、ボール押え３２０がボール受け３１０に固定される。このとき、ボール押え３２０の凸状部３３０の間から、センサボール３０２の一部が突出する。

ボール受け３１０と本体ケース２６０の隔壁２６２との間には、ボール受けホルダー３４０が配置される。ボール受けホルダー３４０は、図１８および図１９に示すように、筒状部３４２を含む。筒状部３４２の一端側には、底面部３４４が形成される。底面部３４４の中央部は厚く形成され、その中心部に貫通孔３４６が形成される。貫通孔３４６の内径は、ボール受け３１０の棒状部３１４の外径とほぼ等しくなるように形成される。さらに、底面部の周辺の４箇所に、脚部３４８が形成される。脚部３４８が形成されることによって、ボール受けホルダー３４０を置いたとき、底面部３４４の下に、側面方向に連通する隙間が形成される。また、筒状部３４２の端部には、鍔状部３５０が形成され、この鍔状部３５０に溝３５２が形成される。鍔状部３５０の外径は、本体ケース２６０の第１の空間部２６４の内径とほぼ等しくなるように形成される。

ボール受けホルダー３４０は、本体ケース２６０の隔壁２６２上に取り付けられる。このとき、ボール受けホルダー３４０の鍔状部３５０は、本体ケース２６０の凹溝２８２と第２の溝２７８との間に配置され、鍔状部３５０に形成された溝３５２にＯリング３５４が嵌め込まれる。また、本体ケース２６０の第２の溝２７８に止め輪３５６などが嵌め込まれることにより、ボール受けホルダー３４０が本体ケース２６０内で固定される。この状態において、ボール受けホルダー３４０の底面部３４４の下に形成された隙間は隔壁２６２に形成された連結路２６８に連通し、さらにこの隙間は本体ケース２６０に形成された通路２８４に連通する。それによって、連結路２６８から本体ケース２６０の開口部側に通じる空気通路が形成される。さらに、ボール受けホルダー３４０の貫通孔３４６には、ボール受け３１０の棒状部３１４が挿通される。したがって、センサボール３０２、小球３０４、ボール受け３１０、ボール押え３２０などで構成されるセンサ部材３００は、第１の空間部２６４内でスライド可能に保持される。

さらに、第１の空間部２６４の端部には、上蓋部材３６０が取り付けられる。上蓋部材３６０は、図２０に示すように、断面Ｌ字状で、かつリング状に形成される。この上蓋部材３６０が本体ケース２６０の第１の段差部２７６部分に配置され、止め輪３６２などを本体ケース２６０の第１の溝２７２に嵌め込むことにより、上蓋部材３６０が本体ケース２６０に固定される。

本体ケース２６０の第２の空間部２６６には、スライド部材３７０が配置される。スライド部材３７０は、図２１に示すように、全体として円柱状に形成され、外径の大きい大径部３７２と外径の小さい小径部３７４とを含む。大径部３７２と小径部３７４との間には、外周側に向かって突出するバネ受け部３７６が形成される。このバネ受け部３７６の外周側端部には、段差部３７８が形成される。さらに、小径部３７４の外周部には、溝３８０が形成される。

スライド部材３７０の小径部３７４に形成された溝３８０には、Ｏリング３８２が嵌め込まれる。このＯリング３８２が隔壁２６２の段差部２７０に当接されるようにして、スライド部材３７０が配置される。このとき、スライド部材３７０の小径部３７４は、隔壁２６２の中央部の連結路２６８において、ボール受け３１０の棒状部３１４の端部に当接される。

第２の空間部２６６の端部には、図２２に示される底蓋部材３９０が取り付けられる。底蓋部材３９０の中央部には、貫通孔３９２が形成される。この貫通孔３９２の内径は、スライド部材３７０の大径部３７２の外径とほぼ等しくなるように形成される。さらに、底蓋部材３９０には、その内周側および外周側に、第１の段差部３９４および第２の段差部３９６が形成される。

底蓋部材３９０は、貫通孔３９２にスライド部材３７０の大径部３７２が挿通されるようにして、本体ケース２６０に取り付けられる。ここで、底蓋部材３９０の第２の段差部３９６と、本体ケース２６０の第３の段差部２９２との間に、Ｏリング４００が嵌め込まれる。そして、本体ケース２６０の第３の溝２８８に止め輪４０２などを嵌め込むことによって、底蓋部材３９０が本体ケース２６０に固定される。さらに、底蓋部材３９０の第１の段差部３９４と、スライド部材３７０のバネ受け部３７６に形成された段差部３７８との間に、バネ部材４０４が配置される。

このエアブローユニット２５０も、止め輪４０６などを本体ケース２６０の外周溝２９４に止め輪４０６を嵌め込むことにより、基板２００に固定することができる。このエアブローユニット２５０においても、本体ケース２６０の第２の空間部２６６に空気供給部が形成され、図２３に示すように、ガラス基板２１０によってセンサボール３０２が押されると、センサ部材３００が本体ケース２６０内に収納される。それにより、スライド部材３７０も移動して、連結路２６８が開通し、空気供給部から空気通路を通して、エアブローユニット２５０とガラス基板２１０との間に圧力空気が噴出する。このエアブローユニット２５０では、本体ケース２６０に形成された貫通孔２８０から圧力空気が噴出して、ガラス基板２１０が支持される。その他の動きは、図１に示すエアブローユニット１０と同様である。

このようなエアブローユニット２５０においても、図２４に示すように、底蓋部材３９０から突出するスライド部材３７０にＯリング４１０を取り付け、Ｏリング押え４１２とボルト４１４とで固定することにより、スライド部材３７０と底蓋部材３９０との間からの空気漏れを防止することができる。

この発明のエアブローユニットの一例を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられる本体ケースの平面図である。 図２に示す本体ケースの内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられる隔壁部材の内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられるボール受けの内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられるボール受けホルダーの内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられるボール押えの内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられる上蓋部材の内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられるスライド部材の内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられるバネ受け部材の内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットに用いられる底蓋部材の内部構造を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットが作動した状態を示す図解図である。 図１に示すエアブローユニットの変形例を示す図解図である。 この発明のエアブローユニットの他の例を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットに用いられる本体ケースの内部構造を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットに用いられるボール受けの内部構造を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットに用いられるボール押えの内部構造を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットに用いられるボール受けホルダーの内部構造を示す図解図である。 図１８に示すボール受けホルダーの平面図である。 図１４に示すエアブローユニットに用いられる上蓋部材の内部構造を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットに用いられるスライド部材の内部構造を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットに用いられる底蓋部材の内部構造を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットが作動した状態を示す図解図である。 図１４に示すエアブローユニットの変形例を示す図解図である。 従来のガラス基板搬送装置の一例を示す図解図である。

符号の説明

１０ エアブローユニット
１２ 本体ケース
４０ 隔壁部材
５２ 連結路
６０ 第１の空間部
６２ 第２の空間部
７０ センサ部材
７２ センサボール
７４ 小球
８０ ボール受け
１００ ボール受けホルダー
１２０ ボール押え
１３２ 上蓋部材
１４０ スライド部材
１６０ バネ受け部材
１８０ 底蓋部材
２２０ Ｏリング
２５０ エアブローユニット
２６０ 本体ケース
２６４ 第１の空間部
２６６ 第２の空間部
３００ センサ部材
３０２ センサボール
３０４ 小球
３１０ ボール受け
３２０ ボール押え
３４０ ボール受けホルダー
３６０ 上蓋部材
３７０ スライド部材
３９０ 底蓋部材
４１０ Ｏリング

Claims (9)

1. 開口部を有する略筒状の本体ケース、
   前記本体ケースの開口部から外側に向かって一部が突出したり前記本体ケース内に収納されたりするセンサ部材、
   前記センサ部材を前記本体ケースの開口部側に向かって付勢するための付勢手段、
   前記本体ケース内において前記センサ部材の外側に形成される圧力空気を供給するための空気供給部、
   前記本体ケースの開口部側と前記空気供給部とを連結する空気通路、および
   前記センサ部材の一部が前記本体ケースの開口部から外側に向かって突出するときに前記空気通路を遮断するとともに、前記センサ部材が前記本体ケース内に収納されたときに前記空気通路を開通させるバルブ機構を含む、エアブローユニット。
2. 前記本体ケース内において前記センサ部材を保持する第１の空間部、
   前記本体ケース内において前記第１の空間部に対向して形成される第２の空間部、
   前記第１の空間部と前記第２の空間部とを連結するための連結路、
   前記連結路を通して前記センサ部材に接触し、スライド移動可能に形成されるスライド部材、および
   前記第２の空間部において前記スライド部材を前記センサ部材側に向かって付勢するための付勢部材を含み、
   前記付勢部材と前記スライド部材とで前記付勢手段が構成される、請求項１に記載のエアブローユニット。
3. 前記センサ部材が保持された前記第１の空間部と前記本体ケースの外部とを連通するための貫通孔が前記本体ケースに形成された、請求項２に記載のエアブローユニット。
4. 前記第２の空間部に前記空気供給部が形成されるとともに、前記連結路が前記空気通路の一部を構成し、前記センサ部材の一部が前記本体ケースの開口部から外側に向かって突出するときに、前記スライド部材が前記連結路を遮断し、前記センサ部材が前記本体ケース内に収納されたときに、前記スライド部材が前記連結路を開通することにより、前記空気通路の開閉を行う前記バルブ機構が構成される、請求項２または請求項３に記載のエアブローユニット。
5. 前記センサ部材は、球状のセンサボールと、前記センサボールを収納する略球面状の底面を有するボール受けと、前記センサボールと前記ボール受けの底面との間に配置される複数の小球とを含み、前記センサボールの一部が前記本体ケースの開口部から外側に向かって突出する、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のエアブローユニット。
6. 前記センサ部材が前記本体ケース内に収納されたときに、前記本体ケースの開口部側と前記空気供給部とを連結するための前記空気通路が前記センサ部材を介して形成される、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のエアブローユニット。
7. 前記センサ部材が前記本体ケース内に収納されたときに、前記本体ケースの開口部側と前記空気通路とを連結するための前記空気通路が前記本体ケースを介して形成される、請求項１ないし請求項５のいずれかに記載のエアブローユニット。
8. 前記本体ケースの開口部の反対側において前記スライド部材が前記本体ケースの底面から外側に突出するように形成され、前記センサ部材の一部が前記本体ケースの開口部から外側に向かって突出するときに、前記本体ケースの底面と前記スライド部材との間を封止するための封止部材が設けられる、請求項１ないし請求項７のいずれかに記載のエアブローユニット。
9. 基板に請求項１ないし請求項８のいずれかに記載のエアブローユニットが取り付けられ、前記センサ部材の一部が前記本体ケースの開口部から外側に向かって突出したときに、前記基板の面上に前記センサ部材の一部が突出するようにした、エアブロー基板。

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