KR20100034673A - 에어 블로우 유닛 및 이것을 사용한 에어 블로우 기판 - Google Patents

에어 블로우 유닛 및 이것을 사용한 에어 블로우 기판 Download PDF

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KR20100034673A
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Abstract

본 발명은, 전기적 제어 수단이 불필요하며, 또한 유리 기판이나 필름 등의 반송을 위해 필요한 부분에만 압력 공기를 분출시킬 수 있는 에어 블로우 유닛 및 이와 같은 에어 블로우 유닛을 사용하여 유리 기판 등의 반송로를 용이하게 형성할 수 있는 에어 블로우 기판을 얻는 것을 과제로 한다.
본 발명에 따르면, 에어 블로우 유닛(10)은 본체 케이스(12)를 포함하고, 제1 공간부(60)에 센서 부재(70)가 배치된다. 또한, 연결로(52) 부분에서 슬라이드 가능하게 슬라이드 부재(140)가 유지되고, 스프링 받이 부재(160)와 스프링 부 재(194)에 의해 슬라이드 부재(140)에 압력을 가하여, 센서 부재(70)가 밀어올려진다. 유리 기판이 센서 부재(70)를 내리누르면, 슬라이드 부재(140)가 아래쪽으로 슬라이드 이동하고, 연결로(52)가 개통되어, 제2 공간부(62)의 압력 공기가 센서 부재(70)와 유리 기판 사이에 분출하고, 유리 기판이 압력 공기에 의해 지지된다.

Description

에어 블로우 유닛 및 이것을 사용한 에어 블로우 기판{AIR BLOW UNIT, AND AIR BLOW SUBSTRATE USING THE SAME}
본 발명은, 에어 블로우 유닛 및 이것을 사용한 에어 블로우 기판에 관한 것으로서, 예를 들면 대형 유리 기판이나 필름 등을 손상시키지 않고 반송하기 위해 사용되는 에어 블로우 유닛과 이것을 사용한 에어 블로우 기판에 관한 것이다.
최근, 액정 디스플레이 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널 등의 제조 시에, 대형 유리 기판이 사용되고 있다. 이와 같은 유리 기판은, 예를 들면, 2500mm×2500mm 정도로 대형임에도 불구하고, 그 두께는 0.5mm∼0.7mm로 얇고, 취급하기 곤란하다. 이와 같은 유리 기판을 반송하기 위하여 롤러를 사용하면, 유리 기판 표면에 손상을 입힐 우려가 있으므로, 디스플레이 패널로서 가공할 수 없게 될 가능성이 있다.
그래서, 도 25에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(1)의 양측 단부만을 롤러(2)로 지지하여, 그 내측에서는 공기 구멍(3)으로부터 유리 기판(1)을 향해 압력 공기를 분출시키고, 유리 기판(1)을 공기압에 의해 지지하는 방법이 채용되고 있다. 이 방법에 의하면, 롤러(2)를 구동함으로써, 롤러(2)의 내측에서의 유리 기판(1)의 표면을 손상시키지 않고, 유리 기판(1)을 반송할 수 있다(특허 문헌 1 참조).
[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 2000-193604호 공보
그러나, 이와 같은 방법으로는, 유리 기판이 통과하고 있지 않은 영역에서도 압력 공기가 분출하게 되어, 대량의 압력 공기를 발생시킬 필요가 있으므로 경제적이라고 할 수 없다. 그래서, 유리 기판의 이동 방향을 향하여, 반송로를 복수의 블록으로 분할하고, 이동되어 오는 유리 기판의 선단부를 센서로 검출하여, 유리 기판의 진행 방향의 하나의 블록에 대해서만 압력 공기를 분출시키는 제어가 행해지고 있다. 이와 같은 제어에 의해, 유리 기판의 진행 방향에서, 하나의 블록씩 차례로 압력 공기가 분출하고, 유리 기판이 통과된 위치에 있는 블록에서는, 압력 공기의 분출을 정지시킬 수 있다. 따라서 필요한 부분에만 압력 공기를 분출시킬 수 있어서 압력 공기를 절감할 수 있다.
그런데, 이와 같은 제어를 행하기 위해서는, 유리 기판을 검출하기 위한 센서, 압력 공기의 분출을 제어하기 위한 밸브, 센서에 의한 유리 기판의 검출에 의해 밸브의 동작을 제어하기 위한 제어 패널 등이 필요하므로, 장치의 규모가 커진다.
그러므로, 본 발명의 주된 목적은, 전기적 제어 수단이 불필요하며, 또한 유리 기판이나 필름 등의 반송을 위해 필요한 부분에만 압력 공기를 분출시킬 수 있는 에어 블로우 유닛과, 이와 같은 에어 블로우 유닛을 사용하여 용이하게 유리 기판 등의 반송로를 형성할 수 있는 에어 블로우 기판을 제공하는 것이다.
본 발명은, 개구부를 포함하는 실질적으로 통형의 본체 케이스와, 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향하여 일부가 돌출되거나 본체 케이스 내에 수납되는 센서 부재와, 센서 부재를 본체 케이스의 개구부 측을 향해 가압하기 위한 가압 수단과, 본체 케이스 내에서 센서 부재의 외측에 형성되는 압력 공기를 공급하기 위한 공기 공급부와, 본체 케이스의 개구부 측과 공기 공급부를 연결시키는 공기 통로와, 센서 부재의 일부가 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향해 돌출할 때 공기 통로를 차단하고, 또한 센서 부재가 본체 케이스 내에 수납 되었을 때 공기 통로를 개통시키는 밸브 기구를 포함하는, 에어 블로우 유닛이다.
가압 수단에 의해, 센서 부재가 본체 케이스의 개구부 측을 향해 가압되고, 센서 부재의 일부가 개구부로부터 외측을 향해 돌출한다. 이 때, 밸브 기구에 의해 공기 통로는 차단되고, 공기 공급부로부터 본체 케이스의 개구부 측에 압력 공기가 공급되지 않는다. 센서 부재 상에 유리 기판이나 필름 등이 송출되어 오면, 센서 부재가 가압되어 본체 케이스 내에서 슬라이드 이동하고, 센서 부재는 본체 케이스 내에 수납된다.
이 때, 밸브 기구에 의해 공기 통로가 개통되고, 공기 공급부로부터 본체 케이스의 개구부 측을 향해 압력 공기가 공급된다. 이 압력 공기에 의해, 유리 기판 등이 지지되고, 또한 유리 기판 등으로 덮힘으로써, 유리 기판 등과 센서 부재 사이에 공기가 충전된다. 이 공기의 압력에 의해, 센서 부재는 가압 수단에 저항하는 방향으로 압력이 인가되어, 센서 부재가 개구부 측으로 이동하는 것이 방지된다.
이와 같은 에어 블로우 유닛에서, 본체 케이스 내에서 센서 부재를 유지하는 제1 공간부와, 본체 케이스 내에서 제1 공간부에 대향하여 형성되는 제2 공간부와, 제1 공간부와 제2 공간부를 연결시키기 위한 연결로와, 연결로를 통해 센서 부재에 접촉하고, 슬라이드 이동 가능하게 배치되는 슬라이드 부재와, 제2 공간부에서 슬라이드 부재를 센서 부재 측을 향해 가압하기 위한 가압 부재를 포함하고, 가압 부재와 슬라이드 부재에 의해 가압 수단이 구성되도록 할 수 있다.
본체 케이스 내의 제1 공간부에 센서 부재가 유지되고, 제2 공간부에서 가압 부재가 슬라이드 부재를 가압함으로써 가압 수단이 구성되며, 이 가압 수단에 의해 센서 부재의 일부가 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향해 돌출하도록 유지된다.
또한, 센서 부재가 유지된 제1 공간부와 본체 케이스의 외부를 연통시키기 위한 관통 구멍이 본체 케이스에 형성되는 것이 바람직하다.
센서 부재가 본체 케이스 내에 수납될 때, 제1 공간부에 압력 공기가 침입 하면, 센서 부재를 본체 케이스의 개구부 측으로 가압하는 힘이 작용한다. 그래서, 본체 케이스에 형성된 관통 구멍에 의해 제1 공간부에 침입한 압력 공기를 본체 케이스의 외부로 안내함으로써, 센서 부재가 본체 케이스의 개구부 측으로 이동하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 제2 공간부에 공기 공급부가 형성되고, 연결로가 공기 통로의 일부를 구성하며, 센서 부재의 일부가 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향해 돌출할 때, 슬라이드 부재가 연결로를 차단하고, 센서 부재가 본체 케이스 내에 수납될 때, 슬라이드 부재가 연결로를 개통함으로써, 공기 통로의 개폐를 행하는 밸브 기구가 구성되도록 할 수 있다.
연결로가 제1 공간부와 제2 공간부를 연결시키고, 이 연결부가 공기 공급부와 본체 케이스의 개구부 측을 연통시키는 공기 통로의 일부를 구성한다. 이 연결로를 슬라이드 부재가 개폐함으로써, 공기 통로를 개폐하는 밸브 기구를 형성할 수 있다. 이와 같이 구성함으로써, 슬라이드 부재가 센서 부재를 가압하기 위해 사용되고, 또한 밸브 기구로서도 사용된다.
또한, 센서 부재는, 구형의 센서 볼과 센서 볼을 수납하는 실질적으로 구면형의 바닥면을 가지는 볼 받이와, 센서 볼과 볼 받이의 바닥면 사이에 배치되는 복수의 작은 구를 포함하고, 센서 볼의 일부가 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향해 돌출하는 것이 바람직하다.
센서 볼을 복수의 작은 구로 지지하도록 구성함으로써, 센서 볼이 용이하게 회전할 수 있게 된다. 그러므로, 본체 케이스로부터 돌출하는 센서 볼에 유리 기판 등이 닿을 때, 센서 볼이 회전하여, 유리 기판 등을 파손시키지 않고 센서 볼 상으로 안내할 수 있다.
또한, 센서 부재가 본체 케이스 내에 수납될 때, 본체 케이스의 개구부 측과 공기 공급부를 연결시키기 위한 공기 통로가 센서 부재에 의해 형성되어도 된다.
또한, 센서 부재가 본체 케이스 내에 수납 되었을 때, 본체 케이스의 개구부 측과 공기 공급부를 연결시키기 위한 공기 통로가 본체 케이스에 의해 형성되어도 된다.
본체 케이스의 개구부 측에 압력 공기를 공급하기 위하여, 센서 부재로부터 압력 공기를 공급해도 되고, 본체 케이스로부터 압력 공기를 공급해도 된다.
또한, 본체 케이스의 개구부의 반대 측에서 슬라이드 부재가 본체 케이스의 바닥면으로부터 외측으로 돌출하도록 형성되고, 센서 부재의 일부가 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향하여 돌출할 때, 본체 케이스의 바닥면과 슬라이드 부재 사이를 밀봉하기 위한 밀봉 부재가 설치되어도 된다.
밀봉 부재에 의해 본체 케이스의 바닥면과 슬라이드 부재 사이를 밀봉함으로써, 센서 부재의 일부가 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향해 돌출하고 있을 때, 본체 케이스의 바닥면으로부터의 공기 누출을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명은, 기판에 전술한 어느 하나에 기재된 에어 블로우 유닛이 장착되고, 센서 부재의 일부가 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향해 돌출할 때, 기판면 상에 센서 부재의 일부가 돌출하도록 한, 에어 블로우 기판이다.
기판에 복수의 에어 블로우 유닛을 장착한 에어 블로우 기판을 형성하고, 복수의 에어 블로우 기판을 나란히 배치함으로써, 임의의 크기의 반송로를 형성할 수 있다.
본 발명에 의하면, 전기적 제어를 행하지 않고, 유리 기판이나 필름 등의 하면에만 압력 공기를 분출시킬 수 있다. 그러므로, 유리 기판이나 필름 등의 반송 장치를 간단하게 구성할 수 있고, 또한 필요한 부분에만 압력 공기를 분출시킬 수 있다.
또한, 이와 같은 에어 블로우 유닛을 장착한 에어 블로우 기판을 사용함으로써, 임의의 크기의 반송로를 형성할 수 있으므로, 유리 기판 등의 크기 및 반송 거리에 맞추어서 자유롭게 반송로를 형성할 수 있다.
본 발명의 전술한 목적, 그 외의 목적, 특징 및 이점은, 도면을 참조하여 행하는 이하의 발명의 실시를 위한 구체적인 내용에 대한 설명으로 보다 명백하게 된다.
도 1은, 본 발명의 에어 블로우 유닛의 일례를 나타낸 단면 도해도이다. 에어 블로우 유닛(10)은 본체 케이스(12)를 포함한다. 본체 케이스(12)는, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 전체적으로 보았을 때 원기둥 모양으로 형성된다. 본체 케이스(12)는, 축 방향을 따라 관통하도록 형성되고, 본체 케이스(12)의 일단 측의 내주면에 제1 홈(14)이 형성된다. 본체 케이스(12)의 일단 측에는, 외주측을 향해 돌출하도록 하여 칼라형부(16)가 형성된다. 이 칼라형부(16)의 일부에 칼라형부(16)의 상면으로부터 제1 홈(14)까지 절결부(18)가 형성된다.
본체 케이스(12)의 내측에는, 제1 홈(14)에 인접하도록, 제1 단차부(20)가 형성된다. 또한, 본체 케이스(12)의 중간부의 내주면에 제2 홈(22)이 형성된다. 제2 홈(22)의 근방에는 복수의 관통 구멍(24)이 주위 방향으로 나란히 형성된다. 또한, 제2 홈(22)을 사이에 두고 관통 구멍(24)의 반대 측에 제2 단차부(26)가 형성된다. 또한, 본체 케이스(12)의 타단 측에서, 그 내주면에 제3 단차부(28)가 형성되고, 이어서 제3 홈(30) 및 제4 홈(32)이 형성된다. 제2 단차부(26)와 제3 단 차부(28) 사이에는, 본체 케이스(12)의 측면을 관통하도록 하여, 공기 도입 구멍(34)이 형성된다. 또한, 본체 케이스(12)의 외주면에서, 칼라형부(16)의 근방에는 외주 홈(36)이 형성된다.
본체 케이스(12)의 중간부에는 격벽 부재(40)가 장착된다. 격벽 부재(40)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 원통 모양의 통형부(42)가 형성되고, 통형부(42)의 일단으로부터 외주측을 향해 돌출하도록 칼라형부(44)가 형성된다. 칼라형부(44)는, 본체 케이스(12)의 일단 측에서의 내경과 실질적으로 동일한 외경을 가지도록 형성된다. 칼라형부(44)의 외주측 단부에는 홈(46)이 형성된다. 칼라형부(44)의 내측에는 통형부(44)에 중첩되는 오목부(48)가 형성된다. 또한, 통형부(44)의 타단은 내주측을 향해 돌출하는 볼록형부(50)가 형성되고, 이 볼록형부(50)의 내측에 양쪽 격벽 부재(40)를 연결시키는 연결로(52)가 형성된다.
격벽 부재(40)의 칼라형부(44)는 본체 케이스(12)의 제2 단차부(26) 부분에 배치된다. 이 때, 격벽 부재(40)의 홈(46)에는, O(오)링(54)이 끼워넣어진다. 또한, 본체 케이스(12)의 제2 홈(22)에 스토퍼 링(56)이 끼워넣어지고, 격벽 부재(40)가 본체 케이스(12) 내에 고정된다. 스토퍼 링(56)은, 예를 들면 탄성이 있는 금속 재료를 링 모양으로 형성하고, 링 모양의 일부를 절단한 형상이 된다. 따라서, 스토퍼 링(56)을 줄이거나 늘림으로써, 통형체의 내주면이나 외주면에 끼울 수 있고, 원래의 형상으로 되돌림으로써, 통형체의 내외에 형성된 홈에 끼워넣을 수 있다. 격벽 부재(40)가 설치됨으로써, 본체 케이스(12) 내에 제1 공간부(60) 및 제2 공간부(62)가 형성된다. 제1 공간부(60)는 본체 케이스(12)의 일단 측에 형성되고, 제2 공간부(62)는 본체 케이스(12)의 타단 측에 형성된다. 그리고, 제1 공간부(60)와 제2 공간부(62)가 격벽 부재(40)의 연결로(52)로 연결된다.
제1 공간부(60)에는 센서 부재(70)가 설치된다. 센서 부재(70)는 센서 볼(72)을 포함한다. 센서 볼(72)은 복수의 작은 구(74)를 개재하여 볼 받이(80)에서 유지된다. 볼 받이(80)는 도 5에 나타낸 바와 같이, 실질적으로 구면형의 바닥면부(82)를 포함하고, 이 바닥면부(82) 상에 작은 구(74)를 개재하여 센서 볼(72)이 유지된다. 볼 받이(80)의 외면에는 칼라형부(84)가 형성되고, 볼 받이(80)의 중심축과 평행하게 칼라형부(84)에 복수의 관통 구멍(86)이 형성된다. 또한, 칼라형부(84)로부터 볼 받이(80)의 외측 중앙부를 향하여 경사부(88)가 형성된다. 그리고, 볼 받이(80)의 외측 중앙부에는, 바닥면부(82)의 반대측을 향하여 돌출하는 돌기부(90)가 형성된다.
볼 받이(80)는 볼 받이 홀더(100)에 유지된다. 볼 받이 홀더(100)는, 도 6에 나타낸 바와 같이, 원통 모양의 큰 통형부(102)를 포함하고, 그 일단 측의 내주면에는 홈(104)이 형성된다. 큰 통형부(102)의 내경은 볼 받이(88)의 칼라형부(84)의 외경과 실질적으로 같아지도록 형성된다. 또한, 큰 통형부(102)의 내측에는 단차부(106)가 형성되고, 이어서 경사부(108)가 형성된다. 볼 받이 홀더(100)의 경사부(108)는 볼 받이(80)의 경사부(88)에 대응하도록 형성된다. 또한, 경사부(108)에 이어서, 큰 통형부(102)보다 작은 직경을 가지는 작은 통형부(110)가 형성된다. 그리고, 볼 받이 홀더(100)의 외면에는 큰 통형부(102)로부터 작은 통형부(110)에 걸쳐서 계단형부(112)가 형성된다.
볼 받이 홀더(100) 내에 볼 받이(88)가 유지된다. 이 때, 볼 받이(88)의 칼라형부(84)가 볼 받이 홀더(100)의 단차부(106) 부분에 배치된다. 여기서, 볼 받이(88)의 외면의 경사부(88)와 볼 받이 홀더(100)의 내면의 경사부(108) 사이에 간극이 형성된다. 이 간극이 볼 받이(88)의 관통 구멍(86)과 연통된다.
볼 받이 홀더(100)에는 볼 받이(80)에 덮이도록, 볼 구속부(120)가 장착된다. 볼 구속부(120)는, 도 7에 나타낸 바와 같이 통형부(122)를 포함한다. 통형부(122)의 내경은, 센서 볼(72)이 내부에서 회전 가능하도록, 센서 볼(72)의 외경보다 약간 크게 형성된다. 또한, 통형부(122)의 일단 측에는, 내주 측을 향하여 돌출하는 볼록형부(124)가 형성되고, 이 볼록형부(124)의 내측으로부터 센서 볼(72)의 일부가 돌출하도록 되어 있다. 통형부(122)에는, 그 중심축과 평행하게 복수의 관통 구멍(126)이 형성된다. 이들 관통 구멍(126)은, 볼 받이(80)의 관통 구멍(86)에 대응하여 형성된다. 또한, 통형부(122)의 타단 측의 외주부에는, 볼 받이 홀더(100)의 큰 통형부(102)의 내경과 실질적으로 동일한 외경을 가지는 칼라형부(128)가 형성된다.
볼 구속부(120)는 볼 받이 홀더(100) 내에서 볼 받이(80)에 덮이도록 배치된다. 이 때, 볼 구속부(120)의 관통 구멍(126)이 볼 받이(80)의 관통 구멍(86)의 위치에 대응하도록 배치된다. 이 상태에서, 볼 받이 홀더(100)의 홈(104)에 스토퍼 링(130)을 끼워넣음으로써, 볼 구속부(120)의 칼라형부(128)가 볼 받이 홀더(100) 내에 고정된다.
또한, 본체 케이스(12)에는, 볼 받이 홀더(100)를 가압하도록, 상측 덮개 부 재(132)가 장착된다. 상측 덮개 부재(132)는, 도 8에 나타낸 바와 같이, 단면이 "L"자형이며, 또한 링형으로 형성된다. 상측 덮개 부재(132)의 내경은, 볼 구속부(120)의 통형부(122)의 외경보다 약간 크게 형성된다. 또한, 상측 덮개 부재(132)의 외경은, 본체 케이스(12)의 제1 공간부(60) 측의 단부에서의 내경과 실질적으로 동일하도록 형성된다. 상측 덮개 부재(132)는 본체 케이스(12)의 제1 단차부(20) 부분에 장착되고, 본체 케이스(12)의 제1 홈(14)에 스토퍼 링(134)이 끼워넣어진다. 이에 따라, 센서 볼(72), 작은 구(74), 볼 받이(80), 볼 받이 홀더(100) 및 볼 구속부(120)로 이루어지는 센서 부재(70)가, 본체 케이스(12) 내의 제1 공간부(60) 내에 수납된다. 그리고, 본체 케이스(12)의 절결부(18)에는 충전 부재(136)가 충전된다.
본체 케이스(12)의 제2 공간부(62) 내에는 슬라이드 부재(140)가 배치된다. 슬라이드 부재(140)는, 도 9에 나타낸 바와 같이, 직경이 큰 원기둥 모양의 큰 직경부(142)를 포함한다. 큰 직경부(142)의 일단 측에는, 칼라형부(144)를 개재하고, 큰 직경부(142)보다 작은 외경을 가지는 작은 직경부(146)가 형성된다. 작은 직경부(146)의 외경은, 격벽 부재(40)의 볼록형부(50)의 내경, 즉 연결로(52)보다 작은 직경이 되도록 형성된다. 작은 직경부(146)의 외주면에는 홈(148)이 형성된다. 또한, 작은 직경부(146)로부터 연장되도록 봉형부(150)가 형성된다. 슬라이드 부재(140)는, 격벽 부재(40)의 연결로(52) 및 볼 받이 홀더(100)의 작은 통형부(110)를 관통하여, 봉형부(150)가 볼 받이(80)의 돌기부(90)에 맞닿도록 배치된다.
슬라이드 부재(140)에는 스프링 받이 부재(160)가 조립되어 장착된다. 스프링 받이 부재(160)는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 통형부(162)를 포함한다. 통형부(162)의 일단 측에는, 외측을 향하여 돌출하는 칼라형부(164)가 형성된다. 또한, 통형부(162)의 타단 측에는 바닥면부(166)가 형성된다. 바닥면부(166)의 내면 중앙부에는 오목부(168)가 형성되고, 오목부(168)의 중앙부에 관통 구멍(170)이 형성된다. 오목부(168)의 내경은 슬라이드 부재(140)의 칼라형부(144)의 외경과 실질적으로 동일하게 되도록 형성된다. 또한, 관통 구멍(170)의 직경은, 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142)의 외경과 실질적으로 동일하게 되도록 형성된다. 또한, 바닥면부(166)의 오목부(168)의 주위에는 복수의 구멍(172)이 형성된다. 이들 구멍(172)은 압력 공기가 통과하는 길의 역할을 한다.
스프링 받이 부재(160)의 관통 구멍(170)으로는, 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142)가 관통하고, 슬라이드 부재(140)의 칼라형부(144)가 스프링 받이 부재(160)의 오목부(168) 내에 배치된다. 그리고, 슬라이드 부재(140)의 홈(148)과 스프링 받이 부재(160)의 오목부(168)의 내부에 O링(174)이 끼워넣어진다. 그리고, 슬라이드 부재(140)이 센서 부재(70)를 가압하여, 센서 볼(72)이 본체 케이스(12)의 일단 측의 개구부로부터 돌출하도록 배치될 때, O링(174)은 격벽 부재(40)의 볼록형부(50)에 맞닿고, 연결로(52)를 막는 역할을 한다.
본체 케이스(12)의 타단 측에는, 도 11에 나타낸 바와 같은 바닥 커버 부재(180)가 장착된다. 바닥 커버 부재(180)는 원판 모양으로 형성된다. 바닥 커버 부재(180)의 외경은, 본체 케이스(12)의 타단 측의 제3 단차부(28) 부분에 배치될 수 있는 크기로 형성된다. 바닥 커버 부재(180)의 중앙부에는, 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142)의 외경과 실질적으로 동일한 내경을 가지는 관통 구멍(182)이 형성된다. 또한, 바닥 커버 부재(180)의 한쪽 면에는 제1 단차부(184)가 형성되고, 바닥 커버 부재(180)의 다른쪽 면에는 제2 단차부(186)가 형성된다.
바닥 커버 부재(180)는 본체 케이스(12)의 제3 단차부(28) 부분에 배치된다. 여기서, 본체 케이스(12)의 제3 홈(30)에는 O링(190)이 끼워넣어진다. 또한, 본체 케이스(12)의 제4 홈(32)에는 스토퍼 링(192)이 끼워넣어져서 바닥 커버 부재(180)가 본체 케이스(12)에 고정된다. 이 때, 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142)가 바닥 커버 부재(180)의 관통 구멍(182)에 삽입된다.
스프링 받이 부재(160)의 칼라형부(164)와 바닥 커버 부재(180)의 제1 단차부(184) 사이에는 스프링 부재(194)가 배치된다. 스프링 부재(194)에 의해, 스프링 받이 부재(160)와 조립되어 장착된 슬라이드 부재(140)가 센서 부재(70) 측을 향해 가압된다. 즉, 스프링 부재(194)와 스프링 받이 부재(160)에 의해, 슬라이드 부재(140)를 센서 부재(70) 측으로 가압하기 위한 가압 부재가 구성된다. 그리고, 이 가압 부재와 슬라이드 부재(140)에 의해, 센서 부재(70)의 일부가 본체 케이스(12)의 개구부 측으로 돌출하도록 가압하는 가압 수단이 구성된다.
에어 블로우 유닛(10)은, 예를 들면 기판(200)에 장착된다. 기판(200)에는 본체 케이스(12)가 끼워지는 구멍이 형성된다. 이 구멍의 주위에는 단차부가 형성되고, 이 단차부에 본체 케이스(12)의 칼라형부(16)가 배치된다. 그리고, 기판(200)의 단차부를 협지하도록, 본체 케이스(12)의 외주홈(30)에 스토퍼 링(202) 이 끼워넣어짐으로써, 기판(200)에 에어 블로우 유닛(10)이 장착된다. 기판(200)은 적절한 크기로 형성되고, 복수의 에어 블로우 유닛(10)이 장착되어, 에어 블로우 기판이 형성된다. 이 에어 블로우 기판을 복수개 배치하여, 원하는 범위에 균일하게 에어 블로우 유닛(10)을 분포시킬 수 있다.
이와 같은 에어 블로우 유닛(10)은, 유리 기판이나 필름 등을 반송하기 위한 반송로로서 사용되고, 특히 액정 디스플레이 패널이나 플라즈마 디스플레이 패널 등의 제조 단계에서 유리 기판의 반송을 위해 사용된다. 이들 디스플레이 패널로서는, 예를 들면 크기가 2500mm×2500mm이며, 두께가 0.5∼0.7mm의 유리 기판이 사용된다.
이와 같은 유리 기판을 반송하기 위하여, 도 25에 나타낸 바와 같이, 유리 기판의 양단 측이 롤러로 지지되고, 이들 롤러 사이에 압력 공기를 분출시킴으로써 유리 기판이 지지되지만, 압력 공기의 제어를 행하기 위해 에어 블로우 유닛(10)이 사용된다. 따라서, 에어 블로우 유닛(10)은, 유리 기판의 반송 경로를 따라 양단의 롤러 사이에 균일하게 분포하도록 배치된다. 그러므로, 에어 블로우 유닛(10)을 기판(200)에 장착한 에어 블로우 기판이, 롤러 사이에 균일하게 배치된다.
유리 기판이 반송되고 있지 않을 때는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 스프링 받이 부재(160)가 스프링 부재(194)에 의해 격벽 부재(40)를 향해 가압된다. 이에 따라, 슬라이드 부재(140)가 센서 부재(70)를 향해 가압되고, 센서 부재(70)가 밀어올려져서, 센서 볼(72)의 일부가 본체 케이스(12)의 일단 측의 개구부로부터 노출된 상태로 유지된다. 이 때, 압력 공기는, 공기 도입구(34)로부터 본체 케이 스(12)의 제2 공간부(62)에 도입되고, 본체 케이스(12)와 격벽 부재(40)와 슬라이드 부재(140)와 바닥 커버 부재(180)로 에워싸인 공기 공급부에 도입된다.
다음에, 도 12에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(210)이 반송되어 오면, 유리 기판(210)의 선단부가 센서 볼(72)에 닿아서, 센서 볼(72)이 회전함으로써, 유리 기판(210)이 센서 볼(72) 상으로 안내된다. 이 때, 센서 볼(72)이 작은 구(74)로 지지되도록 구성되므로, 센서 볼(72)이 용이하게 회전하고, 유리 기판(210)이 고속으로 반송되어 와도, 유리 기판(210)을 파손하지 않고 센서 볼(72) 상으로 안내할 수 있다. 이에 따라, 센서 부재(70)를 내리눌러서, 유리 기판(210)이 센서 부재(70) 위를 덮게 된다.
센서 부재(70)가 내리눌러지면, 센서 부재(70)를 구성하는 볼 받이(80)의 돌기부(90)에 의해 슬라이드 부재(140)가 내리눌러진다. 이에 따라, 슬라이드 부재(140)가 스프링 받이 부재(160) 및 스프링 부재(194)의 가압력에 저항하여 슬라이드 이동하여, 슬라이드 부재(140)와 격벽 부재(40) 사이에 간극이 생기며, 연결로(52)가 개통된다. 이에 따라, 도 12에 빗금으로 나타낸 바와 같이, 공기 공급부와 본체 케이스(12)의 일단의 개방부 측 사이에, 격벽 부재(40)의 연결로(52)와, 볼 받이 홀더(100)의 작은 통형부(110)와, 볼 받이(80)의 경사부(88)와 볼 받이 홀더(100)의 경사부(108) 사이의 간극과, 볼 받이(80)의 관통 구멍(86)과, 볼 구속부(120)의 관통 구멍(126)으로 구성되는 공기 통로가 형성된다. 이 공기 통로를 통하여, 압력 공기가 센서 부재(70)와 유리 기판(210) 사이로 안내된다. 이 압력 공기에 의해 유리 기판(210)이 지지된다.
유리 기판(210)과 에어 블로우 유닛(10) 사이의 압력 공기에 의해, 센서 부재(70)가 슬라이드 부재(140) 측을 향해 가압되고, 유리 기판(210)과 간격을 둔 상태에서 센서 부재(70)가 유지된다. 그리고, 센서 부재(70)를 구성하는 볼 받이 홀더(100)와 본체 케이스(12) 사이의 간극으로부터 제1 공간부(60) 내로 누출된 공기는, 본체 케이스(12)의 관통 구멍(24)으로부터 외부에 배출된다. 그러므로, 제1 공간부(60) 내에 누출된 공기에 의해, 센서 부재(70)가 유리 기판(210)의 방향으로 밀어올려지지는 않는다.
이와 같이, 유리 기판(210)이 센서 부재(70) 상에 있을 때, 압력 공기가 유리 기판(210)의 아래쪽으로 분출한다. 이에 따라, 유리 기판(210)은, 압력 공기에 의해 지지된다. 이 때, 센서 부재(70)의 센서 볼(72)은, 유리 기판(210)에 접촉하지 않으므로, 유리 기판(210)의 표면이 손상되는 것이 방지된다. 그리고, 반송되어 온 유리 기판(210)의 선단은, 센서 볼(72)에 닿으므로, 이 부분에서 유리 기판(210)의 표면에 손상을 입힐 수 있다. 그러나, 디스플레이 패널의 제조에서는, 큰 유리 기판(210) 상에 복수의 디스플레이 패널이 형성되고, 유리 기판(210)의 단부는 잘려서 제거되므로, 유리 기판(210)의 단부에서의 표면의 손상은, 특별히 문제될 것은 없다.
유리 기판(210)이 통과하면, 센서 부재(70) 상에는 방해물이 없어지고, 센서 부재(70) 상에 공급되고 있는 압력 공기는 개방된다. 그러므로, 센서 부재(70)를 누르는 공기에 의해 생기는 압력은 없어진다. 그러므로, 스프링 부재(194)에 의해 스프링 받이 부재(160)가 격벽 부재(40) 측을 향해 가압된다. 이에 따라, 슬라이 드 부재(140)가 센서 부재(70)를 밀어올려서 도 1에 나타낸 상태로 되어, 압력 공기의 방출은 정지된다. 즉, 격벽 부재(40)의 볼록형부(50), 슬라이드 부재(140) 및 O링(174)에 의해, 공기 통로를 개폐시키기 위한 밸브 기구가 구성된다.
이와 같이, 에어 블로우 유닛(10)은, 유리 기판(210)이 반송되어 온 것을 검출하는 센서로서 작용하고, 또한 유리 기판(210)을 검출함으로써 압력 공기를 분출시키는 밸브로서의 역할도 행한다. 그러므로, 필요한 부분만으로 압력 공기를 분출시킬 수 있고, 센서나 제어 패널 등의 전기적인 설비가 불필요하다.
또한, 에어 블로우 유닛(10)을 장착한 에어 블로우 기판을 적절한 개수 만큼 배치하여, 필요한 면적에 균일하게 에어 블로우 유닛(10)을 분포시킬 수 있다. 따라서, 유리 기판(210)의 반송 경로의 폭이나 길이를 자유롭게 설계할 수 있다.
이와 같은 에어 블로우 유닛(10)에서, 바닥 커버 부재(180)와 슬라이드 부재(140)의 간극으로부터 압력 공기가 누출될 경우, 예를 들면, 도 13에 나타낸 바와 같이, O링(220)을 이용할 수 있다. 이와 같은 경우, 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142)가 바닥 커버 부재(180)로부터 돌출하도록 형성된다. 이 돌출된 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142)와 바닥 커버 부재(180) 사이를 막도록, O링(220)이 장착된다. O링(220)은, 링형의 O링 가압부(222)에 의해 가압된다. 그리고, 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142)에 암나사부가 형성되고, 이 암나사부에 볼트(224)를 삽입함으로써, O링(220) 및 O링 가압부(222)가 고정된다. 이와 같이, O링(220)으로 바닥 커버 부재(180)와 슬라이드 부재(140)의 큰 직경부(142) 사이의 간극을 막음으로써, 대기 시에 압력 공기의 누출을 방지할 수 있다.
그리고, 유리 기판(210)을 지지할 때, 본체 케이스로부터 압력 공기를 분출시킬 수도 있다. 이와 같은 에어 블로우 유닛의 예가 도 14에 나타나 있다. 이 에어 블로우 유닛(250)은 본체 케이스(260)를 포함한다. 본체 케이스(260)는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 전체적으로 원기둥 모양으로 형성된다. 본체 케이스(260)의 중간부에는 격벽(262)이 형성된다. 이 격벽(262)에 의해, 본체 케이스(260)의 일단 측에 제1 공간부(264)가 형성되고, 본체 케이스(260)의 타단 측에 제2 공간부(266)가 형성된다. 격벽(262)의 중앙부는 뚫어져 있고, 이에 따라 연결로(268)가 형성된다. 제2 공간부(266) 측에서 격벽(262)에 단차부(270)가 형성된다.
제1 공간부(264)의 개구부 측의 내주면에는 제1 홈(272)이 형성된다. 또한, 본체 케이스(260)의 일단 측의 외주부에는, 외측으로 돌출하도록 칼라형부(274)가 형성된다. 또한, 제1 홈(272)에 인접하여 제1 단차부(276)가 형성된다. 제1 홈(276)과 간격을 두고, 본체 케이스(260)의 내주면에 제2 홈(278)이 형성된다. 제1 단차부(276)와 제2 홈(278) 사이에서, 본체 케이스(260)의 측면에 관통 구멍(280)이 형성된다. 그리고, 도 15에서는 관통 구멍(280)은 하나만 나타내어져 있지만, 본체 케이스(260)의 주위 방향으로 복수개 형성되어도 된다.
제2 홈(278)과 격벽(262) 사이에서, 본체 케이스(260)의 내주면에 오목홈(282)이 형성된다. 오목홈(282)으로부터 본체 케이스(260)의 일단 측을 향하여, 본체 케이스(260)의 중심축과 평행한 통로(284)가 형성된다. 통로(284)는 본체 케이스(260)의 주위 방향으로 나란히 복수개 형성된다.
제2 공간부(266) 측에서, 본체 케이스(260)의 측면에, 공기 도입 구멍(286) 이 형성된다. 또한, 제2 공간부(266)의 개구부 측의 내주면에는, 제3 홈(288)이 형성된다. 이 제3 홈(288)에 인접하여, 제2 단차부(290) 및 제3 단차부(292)가 형성된다. 또한, 칼라형부(274)의 근방에서, 본체 케이스(260)의 외주면에 외주 홈(294)이 형성된다.
본체 케이스(260)의 제1 공간부(264)에는 센서 부재(300)가 배치된다. 센서 부재(300)는 센서 볼(302)을 포함한다. 센서 볼(302)은, 복수의 작은 구(304)를 개재하여 볼 받이(310)에 유지된다. 볼 받이(310)는, 도 16에 나타낸 바와 같이, 실질적으로 구면형의 바닥면부(312)를 포함하고, 이 바닥면부(312) 상에, 작은 구(304)를 개재하여 센서 볼(302)이 유지된다. 바닥면부(312)의 반대 측에서, 볼 받이(310)의 중앙부로부터 돌출되도록 봉형부(314)가 형성된다. 봉형부(314)의 주위에는 단차부(316)가 형성된다.
센서 볼(302)을 유지하는 볼 받이(310)에 볼 구속부(320)가 장착된다. 볼 구속부(320)는, 도 17에 나타낸 바와 같이, 실질적으로 통 모양으로 형성되는 통형부(322)를 포함한다. 통형부(322)의 내부에는 큰 내경을 가지는 큰 직경 공간(324)과 작은 내경을 가지는 작은 직경 공간(326)이 형성된다. 큰 직경 공간(324)의 내경은 볼 받이(310)의 외경과 실질적으로 동일하게 되도록 형성된다. 큰 직경 공간(324)의 단부에서, 통형부(322)의 내주면에는 홈(328)이 형성된다. 또한, 작은 직경 공간(326)의 단부에서, 통형부(322) 내주 측으로 돌출하는 볼록형부(330)가 형성된다. 또한, 통형부(322)의 외주면에는 칼라형부(332)가 형성된다.
볼 구속부(320)는 볼 받이(310)에 덮히도록 장착된다. 즉, 볼 구속부(320) 의 큰 직경 공간(324) 내에 볼 받이(310)가 끼워넣어지고, 스토퍼 링(334) 등을 볼 구속부(320)의 홈(328)에 끼워넣음으로써, 스토퍼 링(334)이 볼 받이(310)의 단차부(316)의 단부에 걸려서, 볼 구속부(320)가 볼 받이(310)에 고정된다. 이 때, 볼 구속부(320)의 볼록형부(330) 사이로부터 센서 볼(302)의 일부가 돌출한다.
볼 받이(310)와 본체 케이스(260)의 격벽(262) 사이에는, 볼 받이 홀더(340)가 배치된다. 볼 받이 홀더(340)는, 도 18 및 도 19에 나타낸 바와 같이, 통형부(342)를 포함한다. 통형부(342)의 일단 측에는 바닥면부(344)가 형성된다. 바닥면부(344)의 중앙부는 두껍게 형성되며, 그 중심부에 관통 구멍(346)이 형성된다. 관통 구멍(346)의 내경은, 볼 받이(310)의 봉형부(314)의 외경과 실질적으로 동일하게 되도록 형성된다. 또한, 바닥면부 주변의 4군데에 각부(脚部)(348)가 형성된다. 각부(348)가 형성됨으로써, 볼 받이 홀더(340)를 두었을 때, 바닥면부(344)의 아래에 측면 방향으로 연통하는 간극이 형성된다. 또한, 통형부(342)의 단부에는 칼라형부(350)가 형성되고, 이 칼라형부(350)에 홈(352)이 형성된다. 칼라형부(350)의 외경은, 본체 케이스(260)의 제1 공간부(264)의 내경과 실질적으로 동일하게 되도록 형성된다.
볼 받이 홀더(340)는 본체 케이스(260)의 격벽(262) 상에 장착된다. 이 때, 볼 받이 홀더(340)의 칼라형부(350)는, 본체 케이스(260)의 오목홈(282)과 제2 홈(278) 사이에 배치되고, 칼라형부(350)에 형성된 홈(352)에 O링(354)이 끼워넣어진다. 또한, 본체 케이스(260)의 제2 홈(278)에 스토퍼 링(356) 등이 끼워넣어짐으로써, 볼 받이 홀더(340)가 본체 케이스(260) 내에서 고정된다. 이 상태에서, 볼 받이 홀더(340)의 바닥면부(344)의 아래에 형성된 간극은 격벽(262)에 형성된 연결로(268)와 연통되고, 또한 상기 간극은 본체 케이스(260)에 형성된 통로(284)와 연통된다. 이에 따라, 연결로(268)로부터 본체 케이스(260)의 개구부 측으로 통하는 공기 통로가 형성된다. 또한, 볼 받이 홀더(340)의 관통 구멍(346)에는 볼 받이(310)의 봉형부(314)가 삽입된다. 따라서, 센서 볼(302), 작은 구(304), 볼 받이(310) 및 볼 구속부(320) 등으로 구성되는 센서 부재(300)는, 제1 공간부(264) 내에서 슬라이드 가능하게 유지된다.
또한, 제1 공간부(264)의 단부에는 상측 덮개 부재(360)가 장착된다. 상측 덮개 부재(360)는, 도 20에 나타낸 바와 같이, 단면이 "L"자형이며, 또한 링형으로 형성된다. 이 상측 덮개 부재(360)가 본체 케이스(260)의 제1 단차부(276) 부분에 배치되고, 스토퍼 링(362) 등을 본체 케이스(260)의 제1 홈(272)에 끼워넣음으로써, 상측 덮개 부재(360)가 본체 케이스(260)에 고정된다.
본체 케이스(260)의 제2 공간부(266)에는 슬라이드 부재(370)가 배치된다. 슬라이드 부재(370)는, 도 21에 나타낸 바와 같이, 전체적으로 원기둥 모양으로 형성되고, 외경이 큰 큰 직경부(372)와 외경이 작은 작은 직경부(374)를 포함한다. 큰 직경부(372)와 작은 직경부(374) 사이에는, 외주측을 향해 돌출하는 스프링 받이부(376)가 형성된다. 이 스프링 받이부(376)의 외주측 단부에는, 단차부(378)가 형성된다. 또한, 작은 직경부(374)의 외주부에는 홈(380)이 형성된다.
슬라이드 부재(370)의 작은 직경부(374)에 형성된 홈(380)에는 O링(382)이 끼워넣어진다. 이 O링(382)이 격벽(262)의 단차부(270)에 맞닿도록 하여, 슬라이 드 부재(370)가 배치된다. 이 때, 슬라이드 부재(370)의 작은 직경부(374)는, 격벽(262)의 중앙부의 연결로(268)에서, 볼 받이(310)의 봉형부(314)의 단부에 접촉된다.
제2 공간부(266)의 단부에는, 도 22에 나타낸 바닥 커버 부재(390)가 장착된다. 바닥 커버 부재(390)의 중앙부에는 관통 구멍(392)이 형성된다. 이 관통 구멍(392)의 내경은, 슬라이드 부재(370)의 큰 직경부(372)의 외경과 실질적으로 동일하게 되도록 형성된다. 또한, 바닥 커버 부재(390)에는, 그 내주측 및 외주측에 제1 단차부(394) 및 제2 단차부(396)가 형성된다.
바닥 커버 부재(390)는, 관통 구멍(392)에 슬라이드 부재(370)의 큰 직경부(372)가 관통하도록 하여 본체 케이스(260)에 장착된다. 여기서, 바닥 커버 부재(390)의 제2 단차부(396)와 본체 케이스(260)의 제3 단차부(292) 사이에 O링(400)이 끼워넣어진다. 그리고, 본체 케이스(260)의 제3 홈(288)에 스토퍼 링(402) 등을 끼워넣음으로써, 바닥 커버 부재(390)가 본체 케이스(260)에 고정된다. 또한, 바닥 커버 부재(390)의 제1 단차부(394)와 슬라이드 부재(370)의 스프링 받이부(376)에 형성된 단차부(378) 사이에 스프링 부재(404)가 배치된다.
이 에어 블로우 유닛(250)도, 스토퍼 링(406) 등을 본체 케이스(260)의 외주 홈(294)에 끼워넣음으로써, 기판(200)에 고정될 수 있다. 이 에어 블로우 유닛(250)에서도, 본체 케이스(260)의 제2 공간부(266)에 공기 공급부가 형성되고, 도 23에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(210)에 의해 센서 볼(302)이 눌러지면, 센서 부재(300)가 본체 케이스(260) 내에 수납된다. 이에 따라, 슬라이드 부재(370)도 이동하여 연결로(268)가 개통되고, 공기 공급부로부터 공기 통로를 통하여, 에어 블로우 유닛(250)과 유리 기판(210) 사이에 압력 공기가 분출한다. 이 에어 블로우 유닛(250)에서는, 본체 케이스(260)에 형성된 관통 구멍(280)으로부터 압력 공기가 분출하여 유리 기판(210)이 지지된다. 그 외의 움직임은, 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛(10)과 동일하다.
이와 같은 에어 블로우 유닛(250)에서도, 도 24에 나타낸 바와 같이, 바닥 커버 부재(390)로부터 돌출하는 슬라이드 부재(370)에 O링(410)을 장착하고, O링 구속부(412)와 볼트(414)에 의해 고정함으로써, 슬라이드 부재(370)와 바닥 커버 부재(390) 사이로부터의 공기 누출을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 에어 블로우 유닛의 일례를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 본체 케이스의 평면도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 본체 케이스의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 4는 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 격벽 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 볼 받이의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 6은 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 볼 받이 홀더의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 7은 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 볼 구속부의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 8은 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 커버 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 9는 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 슬라이드 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 10은 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 스프링 받이 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 11은 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 바닥 커버 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 12는 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛이 작동된 상태를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 13은 도 1에 나타낸 에어 블로우 유닛의 변형예를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 14는 본 발명의 에어 블로우 유닛의 다른 예를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 15는 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 본체 케이스의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 16은 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 볼 받이의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 17은 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 볼 구속부의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 18은 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 볼 받이 홀더의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 19는 도 18에 나타낸 볼 받이 홀더의 평면도이다.
도 20은 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 커버 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 21은 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 슬라이드 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 22는 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛에 사용되는 바닥 커버 부재의 내부 구조를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 23은 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛이 작동된 상태를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 24는 도 14에 나타낸 에어 블로우 유닛의 변형예를 도해하여 나타낸 도면이다.
도 25는 종래의 유리 기판 반송 장치의 일례를 도해하여 나타낸 도면이다.
[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]
10: 에어 블로우 유닛 12: 본체 케이스
40: 격벽 부재 52: 연결로
60: 제1 공간부 62: 제2 공간부
70: 센서 부재 72: 센서 볼
74: 작은 구 80: 볼 받이
100: 볼 받이 홀더 120: 볼 구속부
132: 상측 덮개 부재 140: 슬라이드 부재
160: 스프링 받이 부재 180: 바닥 커버 부재
220: O링 250: 에어 블로우 유닛
260: 본체 케이스 264: 제1 공간부
266: 제2 공간부 300: 센서 부재
302: 센서 볼 304: 작은 구
310: 볼 받이 320: 볼 구속부
340: 볼 받이 홀더 360: 상측 덮개 부재
370: 슬라이드 부재 390: 바닥 커버 부재
410: O링

Claims (9)

  1. 개구부를 포함하는 실질적으로 통 모양의 본체 케이스;
    상기 본체 케이스의 상기 개구부로부터 외측을 향해 일부가 돌출하거나 상기 본체 케이스 내에 수납되는 센서 부재;
    상기 센서 부재를 상기 본체 케이스의 상기 개구부 측을 향해 가압하기 위한 가압 수단;
    상기 본체 케이스 내에서 상기 센서 부재의 외측에 생성되는 압력 공기를 공급하기 위한 공기 공급부;
    상기 본체 케이스의 개구부 측과 상기 공기 공급부를 연결시키는 공기 통로; 및
    상기 센서 부재의 일부가 상기 본체 케이스의 상기 개구부로부터 외측을 향해 돌출할 때 상기 공기 통로를 차단하고, 또한 상기 센서 부재가 상기 본체 케이스 내에 수납 되었을 때, 상기 공기 통로를 개통시키는 밸브 기구
    를 포함하는 에어 블로우 유닛.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체 케이스 내에서 상기 센서 부재를 유지하는 제1 공간부;
    상기 본체 케이스 내에서 상기 제1 공간부에 대향하여 형성되는 제2 공간부;
    상기 제1 공간부와 상기 제2 공간부를 연결시키기 위한 연결로;
    상기 연결로를 통해 상기 센서 부재에 접촉하고, 슬라이드 이동 가능하게 형성되는 슬라이드 부재; 및
    상기 제2 공간부에서 상기 슬라이드 부재를 상기 센서 부재 측을 향해 가압하는 가압 부재
    를 포함하고,
    상기 가압 부재와 상기 슬라이드 부재에 의해 상기 가압 수단이 구성되는, 에어 블로우 유닛.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 센서 부재가 유지된 상기 제1 공간부와 상기 본체 케이스의 외부를 연통시키기 위한 관통 구멍이 상기 본체 케이스에 형성된, 에어 블로우 유닛.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서,
    상기 제2 공간부에 상기 공기 공급부가 형성되고, 또한 상기 연결로가 상기 공기 통로의 일부를 구성하고, 상기 센서 부재의 일부가 상기 본체 케이스의 상기 개구부로부터 외측을 향해 돌출할 때, 상기 슬라이드 부재가 상기 연결로를 차단하고, 상기 센서 부재가 상기 본체 케이스 내에 수납될 때, 상기 슬라이드 부재가 상기 연결로를 개통함으로써, 상기 공기 통로의 개폐를 행하는 상기 밸브 기구가 구성되는, 에어 블로우 유닛.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서 부재는,
    구 모양의 센서 볼,
    상기 센서 볼을 수납하는 실질적으로 구면형의 바닥면을 가지는 볼 받이, 및
    상기 센서 볼과 상기 볼 받이의 바닥면 사이에 배치되는 복수의 작은 구
    를 포함하고,
    상기 센서 볼의 일부가 상기 본체 케이스의 상기 개구부로부터 외측을 향하여 돌출하는, 에어 블로우 유닛.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서 부재가 상기 본체 케이스 내에 수납될 때, 상기 본체 케이스의 상기 개구부 측과 상기 공기 공급부를 연결시키기 위한 상기 공기 통로가 상기 센서 부재에 의해 형성된, 에어 블로우 유닛.
  7. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 센서 부재가 상기 본체 케이스 내에 수납될 때, 상기 본체 케이스의 개구부 측과 상기 공기 공급부를 연결시키기 위한 상기 공기 통로가 상기 본체 케이스에 의해 형성된, 에어 블로우 유닛.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 본체 케이스의 상기 개구부의 반대측에서 상기 슬라이드 부재가 상기 본체 케이스의 바닥면으로부터 외측으로 돌출하도록 형성되고, 상기 센서 부재의 일부가 상기 본체 케이스의 개구부로부터 외측을 향해 돌출할 때, 상기 본체 케이스의 바닥면과 상기 슬라이드 부재 사이를 밀봉시키기 위한 밀봉 부재가 설치된, 에어 블로우 유닛.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 에어 블로우 유닛이 기판에 장착되고, 상기 센서 부재의 일부가 상기 본체 케이스의 상기 개구부로부터 외측을 향해 돌출할 때, 상기 기판 면 상에 상기 센서 부재의 일부가 돌출하도록 한, 에어 블로우 기판.
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