JP2010071646A - プローブの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、より簡単に、より高精度の加工を行うことが可能なプローブ先端の加工方法を提供する。
【解決手段】プローブを可動に保持する筒状の保持部を設けた治具、表面に研磨シートが貼られたステージを備えるプローブ先端研磨装置であって、上記ステージが、上記研磨シートに上記プローブの先端が接触した状態で回転し上記プローブの先端を研磨し、上記プローブは先端が研磨されるにつれて下方に移動し、プローブの先端を研磨する。
【選択図】図1
【解決手段】プローブを可動に保持する筒状の保持部を設けた治具、表面に研磨シートが貼られたステージを備えるプローブ先端研磨装置であって、上記ステージが、上記研磨シートに上記プローブの先端が接触した状態で回転し上記プローブの先端を研磨し、上記プローブは先端が研磨されるにつれて下方に移動し、プローブの先端を研磨する。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体ウエハ上のチップの検査に用いるプローブカードに搭載するプローブの加工方法に関し、特にプローブの針先の加工方法に関する。
近年、モバイル機器を中心として、小型化・軽量化が進んでおり、それに伴い、半導体ウエハの高集積化および高速化が急激に進んでいる。高集積化により電極パッドの狭ピッチ化が進み、より狭ピッチへの対応がプローブに求められ、プローブの縮小化およびプローブの接地面積の縮小が進んでいる。また、狭ピッチに対応するためには、プローブの縮小化と共に、より高精度のプローブが求められてくる。
特に、プローブが検査対象となる電極パッドと接触する先端を高精度に加工することが求められている中、所定の形状に加工する方法としては、電解研磨(特許文献1参照)、あるいは、研磨シートを用いて先端を研磨する方法が行われている。
特開2006−300687号公報
従来の加工方法では、複数のプローブを同時に研磨すると、先端の形状にばらつきが生じていた。また、より高精度に加工するためには、複雑な構造の研磨装置が必要であった。
本発明は、より簡単に、より高精度の加工を行うことが可能なプローブ先端の加工方法を提供することを目的とする。
本発明のプローブ先端研磨装置は、プローブを可動に保持する筒状の保持部を設けた治具と、表面に研磨シートが貼られたステージを備え、上記保持部にセットされた上記プローブの先端が上記研磨シートに接触した状態で上記ステージが回転し、上記プローブの先端を研磨し、上記プローブは、先端が研磨されるにつれて下方に移動することを特徴とする。
さらに、複数の上記保持部を設ける、あるいは、複数のプローブを1つの保持部で保持することにより、多数のプローブを同時に研磨する。
本発明のプローブ先端研磨装置は、プローブを可動に保持する筒状の保持部を設けた治具と、表面に研磨シートが貼られたステージを備え、上記保持部にセットされた上記プローブの先端が上記研磨シートに接触した状態で上記ステージが回転し、上記プローブの先端を研磨し、上記プローブは、先端が研磨されるにつれて下方に移動することにより、プローブを研磨シートに押し付けることなく研磨することが可能となる。
さらに、複数の上記保持部を設ける、あるいは、複数のプローブを1つの保持部で保持することにより、多数のプローブを同時に研磨することで、複数のプローブの先端を所定の範囲に収めることができ、大量のプローブを一度に高精度に加工することが可能となる。
本発明のプローブ先端研磨装置1について以下に詳しく説明を行う。図1に示すのが本発明のプローブ先端研磨装置1の概略断面図である。
図1に示すように、本発明のプローブ先端研磨装置1は、プローブ2を可動に保持する筒状の保持部3が設けられた治具4、および、研磨シート6が表面に貼り付けられたステージ5を備える。上記研磨シート6は交換可能であり、磨耗してきたら適宜新しいシートに交換する。
上記保持部3は、上記プローブ2の大きさに合わせ、上記プローブ2が自由に動ける程度の隙間が生じる大きさに形成する。上記ステージ5は、モーター等を用いた駆動部7によって水平面内で回転する構造とする。上記治具4は上記ステージ5の上方に配置され、上記プローブ先端研磨装置1に固定されている。
上記プローブ2の先端は予め所定の角度のテーパー形状に形成されている。この先端を所定の径になるように、本発明のプローブ先端研磨装置1を用いて研磨を行う。
上記プローブ先端研磨装置1を用いたプローブ2の先端の研磨方法について説明する。まず初めに、新しい研磨シート6が貼られた上記ステージ5を、上記治具4の下方にセットする。そして、上記治具4の上記保持部3に、上から上記プローブ2を先端が下向きとなるように挿入する。
上記プローブ2をセットし上記プローブ2の先端が上記研磨シート6に接触する状態となったら、上記ステージ5を回転させて、上記プローブ2の先端を研磨する。上記プローブ2は上記支持部3に挿入されているだけなので、先端が研磨されるにつれて、上記プローブ2の自重によって下方へと移動する。従来の研磨装置であれば、研磨の際に治具3を下方へ押し付ける必要があったが、本発明のプローブ先端研磨装置1は、上記プローブ2の自重を利用することで、下方に荷重を加える必要がない。
このようにして、上記ステージ5を所定の時間、回転させて研磨を行い、上記プローブ2の先端が所定の大きさになったら上記ステージ5の回転を停止し研磨を終了する。このように、本発明のプローブ先端研磨装置1は、従来よりも簡単な構造でプローブ2の先端の研磨を行うことが可能となる。本発明のプローブ先端研磨装置のさらなる効果は、複数のプローブを同時に研磨する場合に顕著に表れる。
そこで、複数のプローブを一度に研磨するプローブ先端研磨装置1’について説明する。図2に示すのがプローブ先端研磨装置1’の概略断面図である。
図2に示すように、上記プローブ先端研磨装置1’は、治具4に保持部3’を複数設け、さらに、上記保持部3’の大きさを複数のプローブ2が収まる大きさとしている。このようにすることによって、一度に大量のプローブ2を研磨することが可能となる。その他の構造については、上記プローブ先端研磨装置1と同じ構造を用いる。
従来であれば、複数のプローブを同時に研磨する場合、先端がテーパー形状であると、全てのプローブの研磨量が同じになるので、研磨前の先端の径が不揃いであると、仕上がりも不揃いになっていた。しかし、本発明のプローブ先端研磨装置1’は、プローブ2の自重を利用することによって、研磨前に不揃いであった先端の径を、従来よりもバラつきを少なくして揃えることが可能となる。このことについて、以下に詳細に説明する。
複数のプローブ2を1つの上記保持部3’にセットし、上記ステージ5を回転させて、上記プローブ2の先端の研磨を行う。この時、複数のプローブ2の先端が、図3(a)に示すように不揃いの場合、先端の径が小さいプローブが早く研磨され、先端の径が大きいプローブはゆっくりと研磨される。これは、上記プローブ2の先端の径が大きいと研磨される面積が大きく、径が小さいと研磨される面積が小さくなることと、下方への荷重を加えて上記プローブ2の先端を上記研磨シート6に押し付けるのではなく、上記プローブ2の自重を利用して上記研磨シート6に接触させることによって、このような速度差が生じ、研磨量(図3(a)に網掛けで示す範囲)が異なるようになる。
研磨量が異なるということは、つまり、研磨前の先端の径が小さいプローブ2は、研磨量が大きくなり、プローブ2の先端が垂直方向に削られる量が大きくなる。一方、研磨前の先端の径が大きいプローブ2は、研磨量が小さくなり、プローブ2の先端が垂直方向に削られる量が小さくなる。このように、研磨量が異なることによって、研磨前に生じていたプローブ2の先端の径の不揃いが、図3(b)に示すように、整えられ、一定の先端の径に揃えることが可能となる。
このように、本発明のプローブ先端研磨装置1’を用いて複数のプローブ2を同時に研磨すると、プローブの先端の径を揃えることが可能となり、より精度の高い均一なプローブの加工を行うことができる。
実際に、本発明のプローブ先端研磨装置を用いると、どの程度、先端の径を揃えることができるのか、実施例を用いて説明する。上述のようなプローブ先端研磨装置1’を用いて、1000本のプローブを一度に研磨した場合の精度について説明する。
1000本を1ロットとして、3ロットのプローブの研磨を行う。研磨前のプローブの先端の径を計測し、研磨後に再度プローブの先端の径を計測したものと比較する。各計測値は、1000本のプローブの中の径の最大値および最小値、そして、1000本の平均値を求める。これを表にしたものが以下の表1である。
このように、本発明のプローブ先端研磨装置1’を用いると、研磨前の先端の径のばらつきが、4〜5μmであったのが、研磨後は2μmに改善されている。これは、上述の、研磨前の先端の径が小さいプローブは研磨量が大きく、研磨前の先端の径が大きいプローブは研磨量が小さくなることを実証しており、これにより、プローブ2の先端の径のバラつきが小さくなり、精度が高くなっていることがわかる。
このように、本発明のプローブ先端研磨装置によって、より簡単により高精度にプローブの先端を加工することが実現できる。
1、1’ プローブ先端研磨装置
2 プローブ
3、3’ 保持部
4 治具
5 ステージ
6 研磨シート
7 駆動部
2 プローブ
3、3’ 保持部
4 治具
5 ステージ
6 研磨シート
7 駆動部
Claims (3)
- プローブを可動に保持する筒状の保持部を設けた治具と、表面に研磨シートが貼られたステージを備え、上記保持部にセットされた上記プローブの先端が上記研磨シートに接触した状態で上記ステージが回転し、上記プローブの先端を研磨し、上記プローブは、先端が研磨されるにつれて下方に移動することを特徴とするプローブ先端研磨装置。
- 複数の上記保持部が設けられたことを特徴とする請求項1に記載のプローブ先端研磨装置。
- 複数のプローブが1つの保持部にセット可能なことを特徴とする請求項1または2に記載のプローブ先端研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008235843A JP2010071646A (ja) | 2008-09-16 | 2008-09-16 | プローブの加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008235843A JP2010071646A (ja) | 2008-09-16 | 2008-09-16 | プローブの加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010071646A true JP2010071646A (ja) | 2010-04-02 |
Family
ID=42203603
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008235843A Pending JP2010071646A (ja) | 2008-09-16 | 2008-09-16 | プローブの加工方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2010071646A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107250809A (zh) * | 2014-12-30 | 2017-10-13 | 泰克诺探头公司 | 用于测试头的接触探针的制造方法 |
-
2008
- 2008-09-16 JP JP2008235843A patent/JP2010071646A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107250809A (zh) * | 2014-12-30 | 2017-10-13 | 泰克诺探头公司 | 用于测试头的接触探针的制造方法 |
US10401387B2 (en) | 2014-12-30 | 2019-09-03 | Technoprobe S.P.A. | Manufacturing method of contact probes for a testing head |
TWI776790B (zh) * | 2014-12-30 | 2022-09-11 | 義大利商技術探測股份有限公司 | 用於測試頭的接觸探針的製造方法 |
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