JP2010067681A - 研磨液及び研磨方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物を含むことを特徴とする、Siを含有する被研磨面平坦化用の化学的機械的研磨液、さらに、前記研磨液を用いることを特徴とするSiを含有する被研磨面平坦化用の化学的機械的研磨方法。前記研磨液は、さらに(2)研磨粒子、及び、(3)酸を含むことが好ましい。
【選択図】なし
Description
次世代の半導体デバイスの製作においては、デバイス構造における多層配線の方向が進んでおり、平滑なシリコンウエハ上に金属膜の配線と層間絶縁膜(酸化シリコン系膜)を幾層にも積み重ねることで、デバイス表面の凹凸が激しくなり、この凹凸の低減が重要となっている。これらの表面の平滑化手法として、CMPが使用されている(特許文献1参照)。
<1> (1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物を含むことを特徴とする、Siを含有する被研磨面平坦化用の化学的機械的研磨液、
<2> 前記(1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物が、ホウ素原子に結合した少なくとも1つのヒドロキシ基を有する、<1>に記載の研磨液、
<3> 前記(1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物の濃度が、研磨液の全重量に対して0.001重量%〜3重量%である、<1>又は<2>に記載の研磨液、
<4> 前記研磨液がさらに、(2)研磨粒子、及び、(3)酸を含む、<1>〜<3>いずれか1つに記載の研磨液、
<5> 前記(2)研磨粒子が正のζ電位を有する、<4>に記載の研磨液、
<6> 前記(2)研磨粒子がシリカ、セリア、アルミナ及びチタニアよりなる群から選択された少なくとも1種である、<4>又は<5>に記載の研磨液、
<7> 前記(2)研磨粒子の濃度が、研磨液の全重量に対して0.1重量%〜10重量%である、<4>〜<6>いずれか1つに記載の研磨液、
<8> 前記(2)研磨粒子の一次平均粒径が、5nm以上200nm以下である、<4>〜<7>いずれか1つに記載の研磨液、
<9> 前記(3)酸が、化学構造中に少なくとも1つのカルボキシ基を有する、<4>〜<8>いずれか1つに記載の研磨液、
<10> 前記研磨液がさらに、(4)カチオン性添加剤を含む、<1>〜<9>いずれか1つに記載の研磨液、
<11> 前記(4)カチオン性添加剤が、下記式(I)又は式(II)で表される、<10>に記載の研磨液、
<13> 前記研磨液がさらに、(5)防食剤を含む、<1>〜<12>いずれか1つに記載の研磨液、
<14> 前記(5)防食剤が、ヘテロ環を有する化合物である、<13>に記載の研磨液、
<15> 前記研磨液がさらに、界面活性剤を含む、<1>〜<14>いずれか1つに記載の研磨液、
<16> <1>〜<15>いずれか1つに記載の研磨液を用いることを特徴とするSiを含有する被研磨面平坦化用の化学的機械的研磨方法、
<17> 研磨定盤上に貼付した研磨パッドに、研磨液を供給する工程、及び、研磨パッドとSiを含有する被研磨面とを相対的に移動させて該被研磨面を研磨する工程を有する、<16>に記載の研磨方法、
<18> 前記Siを含有する被研磨面が、少なくともSiとOを含む被研磨面である、<16>又は<17>に記載の研磨方法。
本発明の研磨液が含有する成分は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
なお、以下の説明において、数値範囲を表す「A〜B」の記載は、「A以上B以下」を表す。即ち、端点であるA及びBを含む数値範囲を表す。
以下、それぞれの成分について説明する。
本発明の研磨液は、(1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物(以下、ホウ素を有する化合物、又は、ホウ素化合物ともいう。)を含有する。
前記ホウ素化合物は、構造中に少なくとも1つのホウ素原子を有していれば特に限定されないが、研磨液に対して溶解性を有するものであることが好ましく、研磨液への溶解性の観点から、ホウ素原子に結合した少なくとも1つのヒドロキシ基を有することが好ましい。
前記ホウ素化合物は、好ましくは以下の式(A)で表される。
前記炭素数2〜20のアルケニル基は、炭素数2〜10であることが好ましく、エチニル基、プロペニル基が挙げられる。
前記炭素数6〜20のアリール基は、炭素数6〜10であることが好ましく、フェニル基、ナフチル基が例示できる。
ホウ素化合物の含有量が0.001重量%以上であると、研磨速度の向上の効果が得られるので好ましい。また、ホウ素化合物の含有量が3重量%以下であると、研磨液への溶解性に優れるので好ましい。
ホウ素化合物の水に対する溶解性が上記範囲内であると、研磨に使用する際の研磨液における析出が抑制され、高い研磨速度を得ることができるので好ましい。
本発明の研磨液は、(2)研磨粒子を含有することが好ましい。
(2)研磨粒子(砥粒)としては、シリカ、セリア、アルミナ、チタニア、ジルコニア、ゲルマニア、炭化ケイ素等の無機物砥粒、ポリスチレン、ポリアクリル、ポリ塩化ビニル等の有機物砥粒のいずれでもよい。
これらの中でも、シリカ、セリア、アルミナ、及びチタニアよりなる群から選ばれる少なくとも1種であることが好ましく、研磨液中での分散安定性がよく、CMPにより発生する研磨傷(スクラッチ)の発生数の少ない点で、シリカ(沈降シリカ、フュームドシリカ、コロイダルシリカ、合成シリカ)が好ましい。シリカとしては、研磨速度が高いためにコロイダルシリカ又はフュームドシリカが好ましく、さらに好ましくはコロイダルシリカである。さらに研磨速度向上の観点で、会合した研磨粒子を使用することがより好ましい。
上記粒子の体積平均粒径は動的光散乱法によって求められる。具体的には、動的光散乱法を採用した粒度分布測定装置(堀場製作所社製、LB−500)を用いて測定することができる。
研磨粒子の濃度が0.1重量%以上であると、充分な研磨速度が得られ、10重量%以下であると保存安定性に優れるので好ましい。
本発明の研磨液は、(3)酸を含有することが好ましい。前記酸は、化学構造中に少なくとも1つのカルボキシ基を有する化合物であることが好ましい。
本発明の研磨液には、化学構造中に少なくとも1つのカルボキシ基を有する化合物(以下、適宜「有機酸」と称する。)を含有することが好ましい。カルボキシ基を有する化合物としては、分子内に少なくとも1つのカルボキシ基を有する化合物であれば特に制限はないが、研磨速度向上の観点から、下記式(IV)で表される化合物を選択することが好ましい。
なお、分子内に存在するカルボキシ基は、1〜4個であることが好ましく、安価に使用できる観点からは、1〜2個であることがより好ましい。
R1は、1価の炭化水素基である。例えば、炭素数1〜10のアルキル基(例えば、メチル基、シクロアルキル基等)、炭素数6〜10のアリール基(例えば、フェニル基等)、炭素数1〜10のアルコキシ基(例えば、メトキシ基、エトキシ基等)、炭素数6〜10のアリールオキシ基(例えばフェノキシ基等)などが好ましい。
R2は、2価の炭化水素基である。例えば、炭素数1〜10のアルキレン基(例えば、メチレン基、シクロアルキレン基等)、炭素数6〜10のアリーレン基(例えば、フェニレン基等)、炭素数1〜10のアルキレンオキシ基(例えば、エチレンオキシ基等)などが好ましい。
R1及びR2で表される炭化水素基はさらに置換基を有していてもよく、導入可能な置換基としては、例えば、炭素数1〜3のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基、炭素数1〜6のアルコキシ基、カルボキシ基、などが挙げられ、置換基としてカルボキシ基を有する場合、この化合物は複数のカルボキシ基を有することになる。
また、R1とR2は互いに結合して、環状構造を形成していてもよい。
本発明の研磨液は、(4)カチオン性添加剤を含有することが好ましい。
本発明において、カチオン性添加剤としては、四級アンモニウムカチオンであることが好ましく、分子構造中に1つ又は2つの四級窒素を含む構造であれば、特に限定されない。
中でも、十分な研磨速度の向上を達成する観点から、下記式(I)又は式(II)で表されるカチオンであることが好ましい。
さらに、複数の式(I)で表される化合物が、R1〜R4のいずれかを介して互いに結合した化合物であってもよく、複数の式(II)で表される化合物が、R5〜R10のいずれかを介して互いに結合した化合物であってもよい。
また、前記炭素数20以下のアルケニル基としては、炭素数2〜20であり、炭素数2〜10のものが好ましく、具体的には、ビニル基、プロピニル基等が挙げられる。
前記炭素数20以下のシクロアルキル基としては、炭素数3〜20であり、炭素数5〜10であることが好ましく、具体的には、シクロヘキシル基、シクロペンチル基等が挙げられ、中でも、シクロヘキシル基が好ましい。
前記炭素数20以下のアリール基は、炭素数6〜20であり、炭素数6〜10であることが好ましく、具体的には、フェニル基、ナフチル基等が挙げられ、中でも、フェニル基が好ましい。
前記アラルキル基としては、具体的には、ベンジル基、メチルベンジル基、フェネチル基が挙げられ、中でも、ベンジル基が好ましい。
なお、Mで表される連結基は、上記の有機連結基の他に、その鎖中に、−S−、−S(=O)2−、−O−、−C(=O)−、−N+R’R”−を含んでいてもよい。
ここで、R’及びR”はそれぞれ独立に炭素数20以下のアルキル基、アルケニル基、アルキニル基、シクロアルキル基、アリール基、又は、アラルキル基を表し、好ましい範囲は式(I)におけるR1と同様である。
前記炭素数10以下のアルキニレン基は、炭素数2〜10であり、具体的には、エチニレン基、プロピニレン基等が挙げられ、中でも、プロピニレン基が好ましい。
前記炭素数10以下のシクロアルキレン基は、炭素数3〜10であり、炭素数5〜10であることが好ましく、具体的には、シクロヘキシレン基、シクロペンチレン基等が挙げられ、中でも、シクロヘキシレン基が好ましい。
前記炭素数10以下のアリーレン基は、炭素数6〜10であり、具体的には、フェニレン基、ナフチレン基が挙げられ、中でも、フェニレン基が好ましい。
この中で特に、研磨後の腐食を抑制する観点から対アニオンとしてはジ四級アンモニウムカチオンの対アニオンが硝酸イオン、クエン酸イオン、リン酸イオン、シュウ酸イオン、フタル酸イオン、マレイン酸イオン、フマル酸イオン、酒石酸イオン、リンゴ酸イオン、グリコール酸イオン、水酸化物イオン、酢酸イオン、トリフルオロ酢酸イオン、乳酸イオン、硫酸イオン、ケイ酸イオン、p−トルエンスルホン酸イオン、ベンゼンスルホン酸イオン、メタンスルホン酸イオン、トリフルオロメタンスルホン酸イオン、エタンスルホン酸イオン、ジグリコール酸イオン、2、5−フランカルボン酸イオン、2−テトラヒドロフランカルボン酸イオン、ホウ酸イオン、テトラフルオロホウ酸イオン、ヘキサフルオロリン酸イオンが好ましい。
また、一般販売試薬としての購入も可能である。
本発明の研磨液は、被研磨表面に吸着して皮膜を形成し、金属表面の腐食を制御する(5)防食剤(腐食抑制剤ともいう。)を含有することが好ましい。本発明に用いることができる防食剤としては、研磨対象の金属表面に不動態膜を形成する化合物が選択され、具体的には、複素環化合物を挙げることができる。
本発明で用いうる複素環化合物の複素環の環員数は特に限定されず、単環化合物であっても縮合環を有する多環化合物であってもよい。単環の場合の員数は、好ましくは3〜8であり、さらに好ましくは5〜7であり、特に好ましくは5及び6である。また、縮合環を有する場合の環数は、好ましくは2〜4であり、さらに好ましくは2又は3である。
例えば、ピロール環、チオフェン環、フラン環、ピラン環、チオピラン環、イミダゾール環、ピラゾール環、チアゾール環、イソチアゾール環、オキサゾール環、イソオキサゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリミジン環、ピリダジン環、ピロリジン環、ピラゾリジン環、イミダゾリジン環、イソオキサゾリジン環、イソチアゾリジン環、ピペリジン環、ピペラジン環、モルホリン環、チオモルホリン環、クロマン環、チオクロマン環、イソクロマン環、イソチオクロマン環、インドリン環、イソインドリン環、ピリンジン環、インドリジン環、インドール環、インダゾール環、プリン環、キノリジン環、イソキノリン環、キノリン環、ナフチリジン環、フタラジン環、キノキサリン環、キナゾリン環、シンノリン環、プテリジン環、アクリジン環、ペリミジン環、フェナントロリン環、カルバゾール環、カルボリン環、フェナジン環、アンチリジン環、チアジアゾール環、オキサジアゾール環、トリアジン環、トリアゾール環、テトラゾール環、ベンゾイミダゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾチアジアゾール環、ベンゾフロキサン環、ナフトイミダゾール環、ベンゾトリアゾール環、テトラアザインデン環等が挙げられ、より好ましくはトリアゾール環、テトラゾール環が挙げられる。
例えば、1,2,3,4−テトラゾール、5−アミノ−1,2,3,4−テトラゾール、5−メチル−1,2,3,4−テトラゾール、1H−テトラゾール−5−酢酸、1H−テトラゾール−5−コハク酸、1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−1,2,3−トリアゾール、4,5−ジアミノ−1,2,3−トリアゾール、4−カルボキシ−1H−1,2,3−トリアゾール、4,5−ジカルボキシ−1H−1,2,3−トリアゾール、1H−1,2,3−トリアゾール−4−酢酸、4−カルボキシ−5−カルボキシメチル−1H−1,2,3−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾール、3−カルボキシ−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジカルボキシ−1,2,4−トリアゾール、1,2,4−トリアゾール−3−酢酸、1H−ベンゾトリアゾール、1H−ベンゾトリアゾール−5−カルボン酸、ベンゾトリアゾール、1,2,3−ベンゾトリアゾール、5,6−ジメチル−1,2,3−ベンゾトリアゾール、1−(1,2−ジカルボキシエチル)ベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(ヒドロキシエチル)アミノメチル]ベンゾトリアゾール、1−(ヒドロキシメチル)ベンゾトリアゾール等が挙げられる。中でも、1,2,3−ベンゾトリアゾール、5−メチル−1,2,3−ベンゾトリアゾール、5,6−ジメチル−1,2,3−ベンゾトリアゾール、1−(1,2−ジカルボキシエチル)ベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(ヒドロキシエチル)アミノメチル]ベンゾトリアゾール、及び1−(ヒドロキシメチル)ベンゾトリアゾールから選ばれることがより好ましい。
これらの防食剤は、単独で使用することも、2種以上併用することも可能である。
本発明の研磨液は、(6)その他の成分を含有することができる。その他の成分としては、界面活性剤、酸化剤、pH調整剤、キレート剤等が例示できる。
本発明の研磨液は、界面活性剤を含有するのが好ましい。
本発明の研磨液において、界面活性剤の種類、量を調整することで、研磨速度を向上させることや、絶縁層の研磨速度を制御することができる。界面活性剤としては、陰イオン系界面活性剤、又は陽イオン界面活性剤が好ましく用いられる。
より具体的には、カルボン酸塩としては、石鹸、N−アシルアミノ酸塩、ポリオキシエチレン又はポリオキシプロピレンアルキルエーテルカルボン酸塩、アシル化ペプチド;
硫酸エステル塩として、硫酸化油、アルキル硫酸塩、アルキルエーテル硫酸塩、ポリオキシエチレン又はポリオキシプロピレンアルキルアリルエーテル硫酸塩、アルキルアミド硫酸塩;
リン酸エステル塩として、アルキルリン酸塩、ポリオキシエチレン又はポリオキシプロピレンアルキルアリルエーテルリン酸塩を好ましく用いることができる。
本発明の研磨液は、酸化剤を含有することができる。
酸化剤としては、例えば、過酸化水素、過酸化物、硝酸塩、ヨウ素酸塩、過ヨウ素酸塩、次亜塩素酸塩、亜塩素酸塩、塩素酸塩、過塩素酸塩、過硫酸塩、重クロム酸塩、過マンガン酸塩、オゾン水、及び銀(II)塩、鉄(III)塩が挙げられ、中でも、過酸化水素が
好ましく用いられる。
鉄(III)塩としては、例えば、硝酸鉄(III)、塩化鉄(III)、硫酸鉄(III)、臭化鉄(III)など無機の鉄(III)塩の他、鉄(III)の有機錯塩が好ましく用いられる。
本発明の研磨液は、pH2.0〜5.5であることが好ましく、pH2.0〜4.5の範囲であることがより好ましい。研磨液のpHをこの範囲に制御することで、層間絶縁膜の研磨速度調整をより顕著に行うことが可能になる。
pHを上記好ましい範囲に調整するために、アルカリ/酸又は緩衝剤が用いられる。本発明の研磨液は、pHがこの範囲において優れた効果を発揮する。
アルカリ/酸又は緩衝剤としては、アンモニア、水酸化アンモニウム及びテトラメチルアンモニウムハイドロキサイドなどの有機水酸化アンモニウム、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、トリイソプロパノールアミンなどのようなアルカノールアミン類などの非金属アルカリ剤、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化リチウムなどのアルカリ金属水酸化物、硝酸、硫酸、りん酸などの無機酸、炭酸ナトリウムなどの炭酸塩、リン酸三ナトリウムなどのリン酸塩、ホウ酸塩、四ホウ酸塩、ヒドロキシ安息香酸塩等を好ましく挙げることができる。特に好ましいアルカリ剤は、水酸化アンモニウム、水酸化カリウム、水酸化リチウム及びテトラメチルアンモニウムハイドロキサイドである。
本発明の研磨液は、混入する多価金属イオンなどの悪影響を低減させるために、必要に応じてキレート剤(即ち硬水軟化剤)を含有することが好ましい。
キレート剤としては、カルシウムやマグネシウムの沈澱防止剤である汎用の硬水軟化剤やその類縁化合物であり、例えば、ニトリロ三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、エチレンジアミン四酢酸、N,N,N−トリメチレンホスホン酸、エチレンジアミン−N,N,N’,N’−テトラメチレンスルホン酸、トランスシクロヘキサンジアミン四酢酸、1,2−ジアミノプロパン四酢酸、グリコールエーテルジアミン四酢酸、エチレンジアミンオルトヒドロキシフェニル酢酸、エチレンジアミンジ琥珀酸(SS体)、N−(2−カルボキシラートエチル)−L−アスパラギン酸、β−アラニンジ酢酸、2−ホスホノブタン−1,2,4−トリカルボン酸、1−ヒドロキシエチリデン−1,1−ジホスホン酸、N,N’−ビス(2−ヒドロキシベンジル)エチレンジアミン−N,N’−ジ酢酸、1,2−ジヒドロキシベンゼン−4,6−ジスルホン酸等が挙げられる。
キレート剤の添加量は混入する多価金属イオンなどの金属イオンを封鎖するのに充分な量であればよく、例えば、研磨に使用する際の研磨液の1L中、0.0003mol〜0.07molになるように添加する。
本発明の研磨方法は、Siを含有する被研磨面平坦化用の化学的機械的研磨方法であり、本発明の研磨液を用いることを特徴とする。
また、被研磨面は、少なくともSi及びOを含む被研磨面であることが好ましい。
本発明の研磨液は、1.濃縮液であって、使用する際に水又は水溶液を加えて希釈して使用液とする場合、2.各成分が次項に述べる水溶液の形態で準備され、これらを混合し、必要により水を加え希釈して使用液とする場合、3.使用液として調製されている場合がある。
本発明の研磨液を用いた研磨方法にはいずれの場合の研磨液も適用可能である。
この研磨方法は、研磨液を研磨定盤上の研磨パッドに供給し、被研磨体の被研磨面と接触させて、被研磨面と研磨パッドを相対運動させる方法である。
研磨終了後の被研磨体は、流水中でよく洗浄された後、スピンドライヤ等を用いて被研磨体上に付着した水滴を払い落としてから乾燥させる。
このように、濃縮液を水溶液で希釈して使用する場合には、溶解しにくい成分を水溶液の形で後から配合することができることから、より濃縮した濃縮液を調製することができる。
例えば、酸化剤を構成成分(a)とし、有機酸、添加剤、界面活性剤、及び水を構成成分(b)とし、それらを使用する際に水又は水溶液で、構成成分(a)及び構成成分(b)を希釈して使用することができる。
また、溶解度の低い添加剤を2つの構成成分(a)と(b)に分け、例えば、酸化剤、添加剤、及び界面活性剤を構成成分(a)とし、有機酸、添加剤、界面活性剤、及び水を構成成分(b)とし、それらを使用する際に水又は水溶液を加え、構成成分(a)及び構成成分(b)を希釈して使用する。
その他の混合方法は、上記したように直接に3つの配管をそれぞれ研磨パッドに導き、研磨パッドと被研磨面の相対運動により混合する方法や、1つの容器に3つの構成成分を混合して、そこから研磨パッドに希釈された研磨液を供給する方法がある。
本発明において、研磨液の成分を二分割以上に分割して、被研磨面に供給する方法を適用する場合、その供給量は、各配管からの供給量の合計を表すものである。
本発明の研磨方法に適用しうる研磨用の研磨パッドは、無発泡構造パッドでも発泡構造パッドでもよい。前者はプラスチック板のように硬質の合成樹脂バルク材をパッドに用いるものである。また、後者はさらに独立発泡体(乾式発泡系)、連続発泡体(湿式発泡系)、2層複合体(積層系)の3つがあり、特には2層複合体(積層系)が好ましい。発泡は、均一でも不均一でもよい。
さらに、一般的に研磨に用いる砥粒(例えば、セリア、シリカ、アルミナ、樹脂など)を含有したものでもよい。また、それぞれに硬さは軟質のものと硬質のものがあり、どちらでもよく、積層系ではそれぞれの層に異なる硬さのものを用いることが好ましい。材質としては、不織布、人工皮革、ポリアミド、ポリウレタン、ポリエステル、ポリカーボネート等が好ましい。また、被研磨面と接触する面には、格子溝/穴/同心溝/らせん状溝などの加工を施してもよい。
本発明における研磨液でCMPを行なう対象の被研磨体としてのウエハは、径が200mm以上であることが好ましく、特には300mm以上が好ましい。300mm以上である時に顕著に本発明の効果を発揮する。
本発明の研磨液は、Siを含有する被研磨面を平坦化するに好適である。該Siを含有する被研磨面としては、SiとOを含む被研磨面であることが好ましく、酸化シリコンを主成分とするものであることがさらに好ましい。
具体的には、シリコンフェア上の絶縁膜(熱酸化膜、プラズマ酸化膜)、光学素子、ディスク基板、ガラス基板等が例示でき、特に限定されない。
本発明の研磨液を用いて研磨を実施できる装置は、特に限定されないが、Mirra Mesa CMP、Reflexion CMP(アプライドマテリアルズ)、FREX200、FREX300 (荏原製作所)、NPS3301、NPS2301(ニコン)、A−FP−310A、A−FP−210A(東京精密)、2300 TERES(ラムリサーチ)、Momentum(Speedfam IPEC)などを挙げることができる。
下記に示す組成の研磨液を調製し、研磨実験を行った。
<組成(1)>
・(1)ホウ酸 3.0g/L
・(2)研磨粒子1(コロイダルシリカ) 100g/L
(二次粒子径:65nm、PL3スラリー、扶桑化学工業社製)
・(3)カルボキシ基を有する化合物:クエン酸 0.5g/L
(和光純薬工業(株)製)
・純水を加えた全量 1,000mL
pH(アンモニア水と硝酸で調整) 2.0
研磨装置としてムサシノ電子社製装置「MA−300D」を使用し、下記の条件で、スラリーを供給しながら、下記に示すウエハを研磨した。
テ−ブル回転数:64rpm
ヘッド回転数:65rpm
研磨圧力:18.38kPa
研磨パッド:ロデール・ニッタ株式会社製 IC1400 XY−K−Pad
研磨液供給速度:50ml/min
研磨速度評価用のウエハとして、Si基板上に研磨対象物(熱酸化膜SiO)を成膜した8インチウエハをそれぞれ6cm×6cmにカットしたカットウエハを使用した。
研磨速度は、CMP前後における熱酸化膜SiOの膜厚をそれぞれ測定し、以下の式から換算することで求めた。
研磨速度(nm/分)=(研磨前の膜厚−研磨後の膜厚)/研磨時間
結果を以下に示す。
実施例2〜5、比較例1〜3では、ホウ素を含む化合物の添加量及びpHを表1のように変更した以外は実施例1と同様にしてSi熱酸化膜の研磨を行った。結果を表1に示す。
また、研磨粒子としてコロイダルシリカを使用した上記の実施例及び比較例では、pHを下げると研磨粒子のζ電位が正になる傾向があり、特にζ電位が正である実施例1〜3では、高い研磨速度が得られた。
使用する研磨粒子及びホウ素を含む化合物の使用量を表2に記載の研磨粒子に変更した以外は実施例1と同様にしてSi熱酸化膜の研磨速度を測定した。実施例1の結果とともに、結果を表2に示す。
また、表2で使用した研磨粒子1〜6を表3に示す。
また、実施例1、6〜10の結果から、特に研磨粒子として会合した研磨粒子(PL3H)を使用した場合に研磨速度が向上した。
実施例11〜15は、使用する研磨粒子、pHを表4に示すように変更した以外は実施例1と同様にして評価を行った。また、比較例10〜14は、使用する研磨粒子及びpHを表4に示すように変更した以外は比較例4と同様にして評価を行った。実施例1及び比較例4とともに、結果を以下の表4に示す。また、表4で使用した研磨粒子を表5に示す。
使用するホウ素化合物の量を表6に示すように変更した以外は、実施例1と同様にして評価を行った。実施例1及び比較例4とともに、結果を以下の表6に示す。
研磨液を表7に示す成分を含有し、所定のpHに調整した研磨液に変更した以外は実施例1と同様にして評価を行った。
なお、表7中DBSAは、ドデシルベンゼンスルホン酸を意味する。
研磨液は、表8に示す各成分を含有し、pHを表8に記載のように調整した研磨液を使用した。
続いて、Si基板上に研磨対象物(TEOS(テトラエトキシシラン)及びCu)を成膜した12インチウエハを用意し、評価を行った。
(評価方法)
研磨装置として荏原製作所社製装置「FREX300」を使用し、下記の条件で、スラリーを供給しながら、研磨対象物として上記ウエハを研磨した。
テ−ブル回転数: 90rpm
ヘッド回転数: 85rpm
研磨圧力: 70hPa
研磨パッド:ロデール・ニッタ株式会社製 IC1400 XY−K−Pad
研磨液供給速度: 300ml/min
上記ウエハを、ケーエルエーテンコール社製装置「SP−1」を用いてウエハ全面の欠陥数を測定した(欠陥の大きさはそれぞれ0.15μm以上の欠陥数を観測した。)。得られた結果を以下の表8に示す。
表中に示す欠陥数とは以下の式で表される。
欠陥数=(研磨後の欠陥数−研磨前の欠陥数)
Claims (18)
- (1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物を含むことを特徴とする、
Siを含有する被研磨面平坦化用の化学的機械的研磨液。 - 前記(1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物が、ホウ素原子に結合した少なくとも1つのヒドロキシ基を有する、請求項1に記載の研磨液。
- 前記(1)ホウ素原子(B)を化学構造中に有する化合物の濃度が、研磨液の全重量に対して0.001重量%〜3重量%である、請求項1又は2に記載の研磨液。
- 前記研磨液がさらに、(2)研磨粒子、及び、(3)酸を含む、請求項1〜3いずれか1つに記載の研磨液。
- 前記(2)研磨粒子が正のζ電位を有する、請求項4に記載の研磨液。
- 前記(2)研磨粒子がシリカ、セリア、アルミナ及びチタニアよりなる群から選択された少なくとも1種である、請求項4又は5に記載の研磨液。
- 前記(2)研磨粒子の濃度が、研磨液の全重量に対して0.1重量%〜10重量%である、請求項4〜6いずれか1つに記載の研磨液。
- 前記(2)研磨粒子の一次平均粒径が、5nm以上200nm以下である、請求項4〜7いずれか1つに記載の研磨液。
- 前記(3)酸が、化学構造中に少なくとも1つのカルボキシ基を有する、請求項4〜8いずれか1つに記載の研磨液。
- 前記研磨液がさらに、(4)カチオン性添加剤を含む、請求項1〜9いずれか1つに記載の研磨液。
- 前記(4)カチオン性添加剤の濃度が、研磨液の全重量に対して0.00005重量%以上1重量%以下である、請求項10又は11に記載の研磨液。
- 前記研磨液がさらに、(5)防食剤を含む、請求項1〜12いずれか1つに記載の研磨液。
- 前記(5)防食剤が、ヘテロ環を有する化合物である、請求項13に記載の研磨液。
- 前記研磨液がさらに、界面活性剤を含む、請求項1〜14いずれか1つに記載の研磨液。
- 請求項1〜15いずれか1つに記載の研磨液を用いることを特徴とするSiを含有する被研磨面平坦化用の化学的機械的研磨方法。
- 研磨定盤上に貼付した研磨パッドに、研磨液を供給する工程、及び、
研磨パッドとSiを含有する被研磨面とを相対的に移動させて該被研磨面を研磨する工程を有する、請求項16に記載の研磨方法。 - 前記Siを含有する被研磨面が、少なくともSiとOを含む被研磨面である、請求項16又は17に記載の研磨方法。
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