JP2010060128A - サーボ弁 - Google Patents
サーボ弁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010060128A JP2010060128A JP2009105444A JP2009105444A JP2010060128A JP 2010060128 A JP2010060128 A JP 2010060128A JP 2009105444 A JP2009105444 A JP 2009105444A JP 2009105444 A JP2009105444 A JP 2009105444A JP 2010060128 A JP2010060128 A JP 2010060128A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- flapper
- chamber
- fluid
- nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 80
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 80
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 53
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 11
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 3
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/042—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure
- F15B13/043—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure with electrically-controlled pilot valves
- F15B13/0438—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure with electrically-controlled pilot valves the pilot valves being of the nozzle-flapper type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/042—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure
- F15B13/043—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure with electrically-controlled pilot valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
- F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
- F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86582—Pilot-actuated
- Y10T137/86614—Electric
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/8667—Reciprocating valve
- Y10T137/86694—Piston valve
- Y10T137/8671—With annular passage [e.g., spool]
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Servomotors (AREA)
- Fuel-Injection Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】往復動可能に取り付けられたスプール5と、スプール5を流体圧によって相互に反対方向に押圧する第一室7および第二室9と、第一室7および第二室9に油を供給し、かつ、供給する油切板の圧力を調節してスプール5を往復動させるスプール駆動回路3と、を備えているサーボ弁1であって、スプール駆動回路3は、第一室7の流体圧を略一定の大きさに維持するとともに第二室9からの油出口部に第二室9の流体圧を調節するノズルフラッパ機構27を備えていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
サーボ弁には、弁体として往復作動されるスプ−ルを用いるものがある。このサーボ弁では、スプールを作動させる機構として、たとえば、特許文献1に示されるような、ノズルフラッパ機構が提案されている。
これは、一対のノズルと、この両ノズルの間に設置したフラッパとにより可変オリフィスを形成し、フラッパの位置に応じて変化する両ノズルの背圧を導出し、この導出した背圧の圧力差により、スプールを作動させるものである。
このフラッパの位置変位は、電磁コイルによって行なわれるものが用いられているが、最近では、サーボ弁の小型化および高性能化が求められるので、小型で高速、かつ、発生力が大きい圧電素子(積層型圧電素子、バイモルフ型圧電素子)を用いるものが提案されている。
また、フラッパの両側への移動を正確に行うことが必要であるので、たとえば、積層型圧電素子の場合、フラッパの両側に大きな積層型圧電素子を設けることになる。このため、サーボ弁が大型化するし、フラッパを移動させる制御系のコントロールが難しくなるので、実用に供することが難しい。
さらに、フラッパの位置調整に圧電素子を用いる場合、電極とボディ(弁本体)とが接触すると、過電流が流れてフラッパを作動できなくなるので、確実にそういう事態が発生しないようにすることが求められている。
すなわち、本発明にかかるサーボ弁は、往復動可能に取り付けられた弁体と、該弁体を流体圧によって相互に反対方向に押圧する第一押圧部および第二押圧部と、前記第一押圧部および前記第二押圧部に流体を供給し、かつ、供給する流体の圧力を調節して前記弁体を往復動させる弁体駆動回路を備えているサーボ弁であって、前記弁体駆動回路は、前記第一押圧部の前記流体圧を略一定の大きさに維持するとともに前記第二押圧部からの流体出口部に前記第二押圧部の前記流体圧を調節するノズルフラッパ機構を備えていることを特徴とする。
本発明によれば、第一押圧部の流体圧は略一定の大きさに維持されているので、第二押圧部の流体圧を第一押圧部の流体圧より大きくあるいは小さく調整することによって弁体は往復動する。
第二押圧部からの流体出口部にノズルフラッパ機構が備えられているので、流体出口部に設けられたノズルの先端とフラッパとの間の距離を調整することによって第二押圧部の流体の圧力を調節することができる。第二押圧部の流体の圧力が調整できると、第二押圧部の流体圧が調節できるので、第二押圧部の流体圧は、大きさが一定の第一押圧部の流体圧に対して大きくされたり小さくされたりすることができる。
また、弁体駆動回路の回路構成が単純化されるので、弁本体の加工費を削減することができる。
これらにより、サ−ボ弁を安価に製造することができる。
なお、第一押圧部を略一定の圧力に維持するためには、たとえば、第一押圧部への流体通路に適当な面積を持つ絞りを備える等により流体の圧力を略一定に維持するようにすればよい。
第一受圧面積および第二受圧面積は略同一面積とされているので、第一押圧部および第二押圧部の流体圧の相対的な大きさは、それぞれの流体の圧力によって決定される。
第一押圧部の液体の圧力は、ノズルフラッパ機構によって調整される第二押圧部の流体の圧力範囲における中間部分の中間圧力の大きさになるように選択される。第二押圧部の流体の圧力、言い換えると、第二押圧部の流体圧は、一定に維持される第一押圧部の流体の圧力、言い換えると第一押圧部の流体圧よりも大きくあるいは小さくすることができるので、弁体を往復動することができる。
なお、調節の容易さの観点から第一押圧部の流体の圧力は、ノズルフラッパ機構に電圧をかけない状態における第二押圧部の流体の圧力とノズルフラッパ機構に最大電圧をかけた状態における第二押圧部の流体の圧力の略中間に等しくなるように選択されるのが望ましい。
第一押圧部の流体の圧力は、ノズルフラッパ機構によって調整される第二押圧部の流体の圧力範囲における中間部分の中間圧力に対して第二受圧面積/第一受圧面積を乗じた大きさとなるように選択される。第二押圧部の流体の圧力が中間圧力よりも大きくされると、第二押圧部の流体圧が第一押圧部の流体圧よりも大きくなるので、弁体は第一押圧部の方向に移動される。第二押圧部の流体の圧力が中間圧力よりも小さくされると、第二押圧部の流体圧が第一押圧部の流体圧よりも小さくなるので、弁体は第二押圧部の方向に移動される。
言い換えると、第二押圧部へ供給される流体の中間圧力を供給される流体の圧力に第一受圧面積/第二受圧面積に乗じた大きさとすることによって、第一押圧部の流体の圧力を供給される流体の圧力とすることができるので、第一押圧部へ供給される流体の圧力を調整する部材が不要とできる。
これにより、弁体駆動回路の回路構成が一層単純化されるので、弁本体の加工費を一層削減することができ、サ−ボ弁を一層安価に製造することができる。
このように、変位量が比較的大きく、低電圧で駆動できるバイモルフ型圧電素子を用いるので、電源部分を含めて小さなノズルフラッパ機構を構成することができる。また、バイモルフ型圧電素子は比較的安価であることも相俟って、サーボ弁を一層安価に製造することができる。
フラッパは、1個のノズルに対して距離を調整するので、それを移動させる積層型圧電素子は1個でよい。このため、フラッパの両側にそれぞれ大きな積層型圧電素子を備えるものに比べて小さく構成できるので、サーボ弁を比較的小型化することができる。また、フラッパを移動させる制御系のコントロールも比較的容易となる。
これらにより、実用に供し得るサーボ弁を提供することができる。
実績のあるトルクモータを用いることによって、安定した調整を行えるサーボ弁を構成することができる。
また、弁体駆動回路の回路構成が単純化されるので、弁本体の加工費を削減することができる。
これらにより、サ−ボ弁を安価に製造することができる。
[第一実施形態]
以下、本発明の第一実施形態にかかる油圧アクチュエータの駆動を制御するサーボ弁1について図1〜図6を用いて説明する。
図1は、サーボ弁1のスプール駆動回路(弁体駆動回路)3を示す回路図である。図2は、ノズルフラッパ機構の一部を示す部分断面図である。
スプール5は、その軸線方向における位置によって油圧アクチュエータへの作動油の供給方向を切り替える機能を有している。
スプール5の軸線方向位置は、図示しない位置検出器によって検出されるようにされている。
スプール駆動回路3には、油(流体)を供給するポンプ11が備えられている。ポンプ11からの油は、第一通路13と第二通路15とに分岐される。第一通路13を通る油は、第一室7へ供給されるとともにタンク17へ戻される。
第二通路15を通る油は、第二室9に供給された後、配管19に排出される。配管19に排出された油はタンク17に戻される。
第一室7および第二室9の油が作用するスプール5の受圧面積は略同一面積とされている。第一室7および第二室9の油がスプール5に作用する流体圧の差圧は、油の圧力の差圧に比例する。
第一絞り21は、たとえば、オリフィスとされ、第一室7に供給される油の圧力を規定するものである。第一室7に供給される油の圧力P1は、たとえば、ポンプ11から噴出される油の圧力Psの略半分とされている。
圧力調整絞り23は、開口面積が可変とされ、第一室7の油の圧力の大きさを調整する。
第二絞り25は、たとえば、オリフィスとされ、その開口面積は第一絞り21のそれと同じ大きさである。ノズルフラッパ機構27には、第二通路15の下流端に取り付けられたノズル29と、ノズル29の開口部33に対向して設置され、絞りを構成するフラッパ部31とが備えられている。ノズル29は絞り機構であるが、その開口部33の開口面積は、原点位置(フラッパ35に電圧をかけない状態)では、圧力調整絞り23の開口面積と等しくなるため第二室9の油の圧力は、第一室7の油の圧力と等しくなる。
したがって、原点位置における第二室9の油の圧力は、ノズルフラッパ機構27によって調整される範囲の中間部分に位置する中間圧力である。
フラッパ31部には、フラッパ35と、フラッパ35を保持するケース37とが備えられている。ケース37は、金属製で、一面が開放された中空の直方体形状をしている。
フラッパ35は、金属板39の両面に、2枚の板状の圧電素子41,43を貼り合わせた構成、すなわち、バイモルフ型圧電素子で構成されている。
フラッパ35の一端部は、ケース37の内部空間に挿入され、電線45とともに接着材47によってケース37に固定されている。接着材47は、電気絶縁性を有する樹脂で、たとえば、エポキシ樹脂等のモールド剤が用いられる。
フラッパ35は、この限界位置とフラッパ35およびノズル29が接触する位置との中間に位置するように設置され、その位置を中心にして、限界位置とフラッパ35およびノズル29が接触する位置との間を変位するようにされている。
まず、金属板39の両面に、板状の圧電素子41,43を貼り付ける。
次いで、金属板39および圧電素子41,43の一端に電線45を、たとえば、ハンダによって接合する。
次に、図4に示されるように、金属板39および圧電素子41,43と電線45との接点の周辺部分を接着材47によって固定し、フラッパ35を形成する。
このとき、接着材47は量が少ないので、電線45を変形させる等の事態を引き起こすことはない。すなわち、接点が離脱する、電線45がケースに接触するような形に変形することがない。
次いで、図5に示されるように、このフラッパ35をケース37の所定位置に組み込み、ケース37の内部空間に接着材47を注入する。
この接着材47の注入によってフラッパ35には大きな力が作用するが、金属板39および圧電素子41,43と電線45との接点は、先の硬化した接着材47によって保護されているので、それらが離脱することはない。また、電線45の可動部分も長くないので、ケース37に接触するほど大きく変形することはない。
このとき、ケース37の先端面51とフラッパ35の面とが直交することが重要であるので、図6に示されるように直交状態を保持する第一治具53および第二治具55に設置して養生を行うようにしてもよい。
第一治具53は、断面が矩形状をした貫通孔57を有している。貫通孔57の一端部には、ケース37の先端面51が貫通孔と直交するように設置できる拡大部が設けられている。
貫通孔57と、貫通孔59とは、上下方向の中心位置が一致している。
ケース37をフラッパ35側から貫通孔57に挿入し、拡大部にはめ込む。次いで、第二治具55を貫通孔57の反対側から挿入し、フラッパ35の先端部を貫通孔59に挿入させる。このようにすると、ケース37の先端面51とフラッパ35の面とが直交することになる。
この状態で、養生すると、接着材47が硬化し、フラッパ35は、ケース37の先端面51とフラッパ35の面とが直交する形でケース37に固定される。
ポンプ11が作動され、油が供給されると、供給された油は分岐されて第一通路13および第二通路15に流れ込む。第一通路13に流れ込んだ油は、第一絞り21で減圧され、第一室7に流入するとともに圧力調整絞り23を通ってタンク17に戻される。
第二通路15に流入した油は、第二絞り25で減圧され、第二室9に流入する。油は第二室9からノズルフラッパ機構27を通って配管19に排出され、配管19からタンク17に戻される。
ノズルフラッパ機構27の絞り量が小さくなると、ノズルフラッパ機構27の絞り効果がノズル29のそれよりも大きくなるので、第一室7よりも第二室9の圧力が大きくなり、第一室7と第二室9との間に差圧が生じる。この差圧によってスプール5は第一室7側に移動する。
ノズルフラッパ機構27の絞り量が圧力調整絞り23よりも大きくなると、第一室7よりも第二室9の圧力が小さくなり、第一室7と第二室9との間に差圧が生じる。この差圧によってスプール5は第二室9側に移動する。
このように、第一室7に供給される油の圧力は略一定の大きさに維持されているので、ノズルフラッパ機構27を用いて第二室9の圧力を第一室7の圧力より大きくあるいは小さく調整することによってスプール5は往復動する。
また、スプール駆動回路3の回路構成が単純化されるので、弁本体の加工費を削減することができる。
これらにより、サ−ボ弁1を安価に製造することができる。
フラッパ35は、1個のノズル29に対して距離を調整するので、それを移動させる積層型圧電素子61は1個でよい。
このため、フラッパ35の両側にそれぞれ大きな積層型圧電素子61を備えるものに比べて小さく構成できるので、サーボ弁1を比較的小型化することができる。
また、フラッパ35を移動させる制御系のコントロールも比較的容易となる。
これらにより、積層型圧電素子61を用いても実用に供し得るサーボ弁1を提供することができる。
このようにすると、実績のあるトルクモータ63を用いることによって、安定した調整を行えるサーボ弁1を構成することができる。
本発明の第二実施形態にかかる油圧アクチュエータ(図示省略)の駆動を制御するサーボ弁71について図9〜図12を用いて説明する。
図9は、サーボ弁71のスプール駆動回路(弁体駆動回路)73を示す回路図である。図10は、ノズルフラッパ機構の一部を示す部分断面図である。図11は、図9のX−X断面図である。図12は、図9のY−Y断面図である。
スプール77には、滑り面となる略同一の径を有する複数のランド部79が備えられている。スプール77が軸線方向に移動することによってこれらのランド部79の軸線方向における位置が移動する。これらのランド部79は、軸線方向の位置によって図示しない油圧アクチュエータへの作動油の供給方向を切り替える機能を有している。
スプール77の一端部分に設けられたランド部79aには、外側に向けて突設された第一棒体81が設けられている。第一棒体81はその動作を差動変圧器83に伝達する。差動変圧器83は、スプール77の軸線方向位置を検出する。
スプール77の他端部分に設けられたランド部79bには、外側に向けて突設された第二棒体87が設けられている。ランド部79bの外側に、第二棒体87を包囲するように第二室(第二押圧部)89が形成されている。
主通路93は、第一通路97と第二通路99とに分岐される。第一通路97を通る油は、第一室85へ供給され、配管101を経由して戻り通路103を通ってタンク105へ戻される。第一室85には、主通路93で供給される油がそのまま供給されている。この供給される油の圧力は、ポンプが噴出する圧力Psである。
第二通路99を通る油は、第二室89に供給された後、配管107を経由して戻り通路103を通ってタンク105へ戻される。
第二棒体87は第二室89を貫通しているので、ランド部79bが第二室89に供給された油から圧力を受ける第二受圧面積A2は、図12に示されるようにランド部79bの面積から第二棒体87の断面積を減じた大きさとなる。
本実施形態では、第一受圧面積A1が第二受圧面積A2の略半分の大きさとなるように第一棒体81および第二棒体87の大きさが設定されている。
なお、第一受圧面積A1および第二受圧面積A2の面積比は、これに限定されるものではない。
ノズルフラッパ機構111には、配管107に取り付けられたノズル113と、ノズル113の開口部115に対向して設置され、絞りを構成するフラッパ部117とが備えられている。
フラッパ部117には、フラッパ119と、フラッパ35を作動させる複数の圧電素子が積層された積層型圧電素子121とが備えられている。
この側面積が開口部115の開口面積と等しくなる位置(図10の状態)はノズルフラッパ機構111が絞り機能を奏する限界位置である。すなわち、フラッパ119がこの位置よりもノズル113から離れると絞り効果がノズル113の絞り効果よりも小さくなるので、ノズルフラッパ機構111は絞り機能を奏さないことになる。
本実施形態では、フラッパ119が原点位置にあるとき、第一室85の油の圧力P1は、ポンプ91が供給する圧力Psと略同一の大きさとなるようにノズルフラッパ111の諸元が設定されている。
ポンプ91が作動されると、タンク105から主通路93を通って油が供給される。この供給される油の圧力Psは、圧力調整弁95によって略一定に維持されている。
主流路93を流れる油は分岐されて第一通路97および第二通路99に流れ込む。
第一通路97に流れ込んだ油は、そのまま第一室85に流入し、配管101および戻り通路103を通ってタンク105に戻される。
第二通路99に流入した油は、入口絞り109で減圧され、第二室89に流入する。油は第二室89から配管107に排出され、ノズルフラッパ機構111を通って戻り通路103からタンク105に戻される。
一方、第二室89の油の圧力P2は、ポンプ91が供給する圧力Psの略半分、すなわち、P2=Ps/2である。第二室89の油がランド部79bに作用する力(流体圧)F2は、F2=A2×Ps/2となる。
A2=2×A1であるので、力F2は、F2=2×A1×Ps/2=A1×Psとなる。力F1と力F2とは同じ大きさとなるので、両者の差圧は0になる。この差圧0の状態ではスプール77は停止状態となる。
ノズルフラッパ機構111の絞り量が小さくなると、ノズルフラッパ機構111の絞り効果が大きくなるので、第二室89の油の圧力P2は、Ps/2よりも大きくなる。
圧力P2が大きくなると、第二室89の油がランド部79bに作用する力F2が大きくなるので、力F2は大きさ一定の第一室85の力F1よりも大きくなる。
この差圧によってスプール77は第一室85側に移動する。
ノズルフラッパ機構111の絞り量が大きくなると、ノズルフラッパ機構111の絞り効果が小さくなるので、第二室89の油の圧力P2は、Ps/2よりも小さくなる。
圧力P2が小さくなると、第二室89の油がランド部79bに作用する力F2が小さくなるので、力F2は大きさ一定の第一室85の力F1よりも小さくなる。
この差圧によってスプール77は第二室89側に移動する。
したがって、ノズル113に対するフラッパ119の位置調整を容易に行うことができるので、フラッパ部117の設置が正確に、かつ、短時間に行うことができる。
また、スプール駆動回路73の回路構成が単純化されるので、弁本体の加工費を削減することができる。
これらにより、サ−ボ弁71を安価に製造することができる。
これにより、サーボ弁71本体の加工費を一層削減することができ、サ−ボ弁71を一層安価に製造することができる。
たとえば、第一実施形態で用いた低電圧で駆動できるバイモルフ型圧電素子を用いてもよい。このようにすると、電源部分を含めて小さなノズルフラッパ機構111を構成することができる。バイモルフ型圧電素子は比較的安価であることも相俟って、サーボ弁71を一層安価に製造することができる。
たとえば、リニア動作を行うトルクモータによって作動されるようにしてもよい。
このようにすると、実績のあるトルクモータを用いることによって、安定した調整を行えるサーボ弁71を構成することができる。
たとえば、図13および図14に示されるように、第一棒体81および第二棒体87の断面積の大きさを同じとし、ランド部79aおよびランド部79bの面積を調整するようにしてもよい。
すなわち、第一室85の油の圧力が、フラッパ119が原点に位置しているときの第二室89の油の圧力に対して第二受圧面積A2/第一受圧面積A1を乗じた大きさとなるように各圧力ならびに第一受圧面積A1および第二受圧面積A2の大きさを選定すればよい。
3 スプール駆動回路
5 スプール
7 第一室
9 第二室
35 フラッパ
61 積層型圧電素子
63 トルクモータ
71 サーボ弁
73 スプール駆動回路
77 スプール
85 第一室
89 第二室
119 フラッパ
121 積層型圧電素子
Claims (6)
- 往復動可能に取り付けられた弁体と、該弁体を流体圧によって相互に反対方向に押圧する第一押圧部および第二押圧部と、前記第一押圧部および前記第二押圧部に流体を供給し、かつ、供給する流体の圧力を調節して前記弁体を往復動させる弁体駆動回路と、を備えているサーボ弁であって、
前記弁体駆動回路は、前記第一押圧部の前記流体圧を略一定の大きさに維持するとともに前記第二押圧部の流体出口部に前記第二押圧部の前記流体圧を調節するノズルフラッパ機構を備えていることを特徴とするサーボ弁。 - 前記弁体における前記第一押圧部の流体が前記弁体に作用する第一受圧面積と、前記第二押圧部の流体が前記弁体に作用する第二受圧面積と、が略同一面積とされていることを特徴とする請求項1に記載のサーボ弁。
- 前記弁体における前記第一押圧部の流体が前記弁体に作用する第一受圧面積と、前記第二押圧部の流体が前記弁体に作用する第二受圧面積と、が異なる面積とされていることを特徴とする請求項1に記載のサーボ弁。
- 前記ノズルフラッパ機構のフラッパは、バイモルフ型圧電素子によって作動されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のサーボ弁。
- 前記ノズルフラッパ機構のフラッパは、積層型圧電素子によって作動されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のサーボ弁。
- 前記ノズルフラッパ機構のフラッパは、トルクモータによって作動されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のサーボ弁。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009105444A JP5232714B2 (ja) | 2008-08-08 | 2009-04-23 | サーボ弁 |
CN2009801301588A CN102112754A (zh) | 2008-08-08 | 2009-05-29 | 伺服阀 |
KR1020117002314A KR20110020949A (ko) | 2008-08-08 | 2009-05-29 | 서보 밸브 |
KR1020137016509A KR101335213B1 (ko) | 2008-08-08 | 2009-05-29 | 서보 밸브 |
US13/057,615 US20120216896A1 (en) | 2008-08-08 | 2009-05-29 | Servo valve |
EP09804801.0A EP2309135A4 (en) | 2008-08-08 | 2009-05-29 | SERVO-VALVE |
PCT/JP2009/059859 WO2010016314A1 (ja) | 2008-08-08 | 2009-05-29 | サーボ弁 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008206370 | 2008-08-08 | ||
JP2008206370 | 2008-08-08 | ||
JP2009105444A JP5232714B2 (ja) | 2008-08-08 | 2009-04-23 | サーボ弁 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012153795A Division JP2012229812A (ja) | 2008-08-08 | 2012-07-09 | サーボ弁 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010060128A true JP2010060128A (ja) | 2010-03-18 |
JP5232714B2 JP5232714B2 (ja) | 2013-07-10 |
Family
ID=41663539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009105444A Active JP5232714B2 (ja) | 2008-08-08 | 2009-04-23 | サーボ弁 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120216896A1 (ja) |
EP (1) | EP2309135A4 (ja) |
JP (1) | JP5232714B2 (ja) |
KR (2) | KR101335213B1 (ja) |
CN (1) | CN102112754A (ja) |
WO (1) | WO2010016314A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012180768A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 内燃機関の動弁装置及び内燃機関の動弁駆動方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9739393B2 (en) | 2014-02-05 | 2017-08-22 | Pentair Flow Control Ag | Valve controller with flapper nozzle pilot valve |
JP6278558B2 (ja) * | 2014-02-27 | 2018-02-14 | 三菱重工機械システム株式会社 | パイロット圧調整装置、サーボ弁、および、アクチュエータ |
FR3063279B1 (fr) * | 2017-02-24 | 2019-04-19 | Safran Landing Systems | Servovalve de regulation de pression a debit de fuite reduit |
EP3502486B1 (en) | 2017-12-22 | 2020-10-28 | Hamilton Sundstrand Corporation | Servo valve |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS483270B1 (ja) * | 1969-07-12 | 1973-01-30 | ||
JPS6139111A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Tokyo Keiki Co Ltd | 位置追従式比例ソレノイド形スプ−ル弁 |
JPH0366988A (ja) * | 1989-08-04 | 1991-03-22 | Nippon Muugu Kk | プレッシャー・スイッチ・マニホールド |
JPH06109158A (ja) * | 1991-02-14 | 1994-04-19 | Mannesmann Rexroth Gmbh | 流体機械用のノズル装置 |
JPH0754672A (ja) * | 1993-08-11 | 1995-02-28 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | タービンの燃料流量制御装置 |
JP2001082411A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-27 | Japan Science & Technology Corp | ディジタル弁 |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2972999A (en) * | 1955-11-01 | 1961-02-28 | Sanders Associates Inc | Two-stage, differential, hydraulic servo valve |
US2962002A (en) * | 1956-04-10 | 1960-11-29 | Sanders Associates Inc | Two-stage hydraulic servo valve |
US3152612A (en) * | 1956-09-28 | 1964-10-13 | Gen Electric | Piezoelectric crystal transducer for controlling fluid flow |
DE1069972B (ja) * | 1957-01-30 | 1959-11-26 | ||
US3447555A (en) * | 1965-05-24 | 1969-06-03 | Bell Aerospace Corp | Hydraeric position monitoring apparatus |
US3555970A (en) * | 1968-08-08 | 1971-01-19 | Bell Aerospace Corp | Pressure regulator for servo valve having dynamic load adaptive response |
US4617952A (en) * | 1984-07-31 | 1986-10-21 | Yamatake-Honeywell Co. Limited | Switching valve and an electro-pneumatic pressure converter utilizing the same |
FR2583115B1 (fr) * | 1985-06-10 | 1989-03-10 | Centre Techn Ind Mecanique | Transducteur electrofluidique du type buse/palette et servovalve hydraulique equipee d'un tel transducteur |
GB8717637D0 (en) * | 1987-07-24 | 1987-09-03 | Lucas Ind Plc | Fluid metering valve |
US6755205B1 (en) * | 2002-09-12 | 2004-06-29 | Woodward Governor Company | Method to stabilize a nozzle flapper valve |
DE102004023553B3 (de) * | 2004-05-13 | 2006-01-26 | Danfoss A/S | Hydraulik-Ventilanordnung, insbesondere Wasserhydraulik-Ventilanordnung |
FR2873828B1 (fr) * | 2004-07-27 | 2006-10-20 | In Lhc Soc Par Actions Simplif | Servovalve de regulation de pression a debit de fuite reduit |
US20060232166A1 (en) * | 2005-04-13 | 2006-10-19 | Par Technologies Llc | Stacked piezoelectric diaphragm members |
US8082952B2 (en) * | 2008-08-22 | 2011-12-27 | Hamilton Sundstrand Corporation | Piezoelectric bending element actuator for servo valve |
-
2009
- 2009-04-23 JP JP2009105444A patent/JP5232714B2/ja active Active
- 2009-05-29 KR KR1020137016509A patent/KR101335213B1/ko active IP Right Grant
- 2009-05-29 KR KR1020117002314A patent/KR20110020949A/ko active Application Filing
- 2009-05-29 EP EP09804801.0A patent/EP2309135A4/en not_active Withdrawn
- 2009-05-29 US US13/057,615 patent/US20120216896A1/en not_active Abandoned
- 2009-05-29 CN CN2009801301588A patent/CN102112754A/zh active Pending
- 2009-05-29 WO PCT/JP2009/059859 patent/WO2010016314A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS483270B1 (ja) * | 1969-07-12 | 1973-01-30 | ||
JPS6139111A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Tokyo Keiki Co Ltd | 位置追従式比例ソレノイド形スプ−ル弁 |
JPH0366988A (ja) * | 1989-08-04 | 1991-03-22 | Nippon Muugu Kk | プレッシャー・スイッチ・マニホールド |
JPH06109158A (ja) * | 1991-02-14 | 1994-04-19 | Mannesmann Rexroth Gmbh | 流体機械用のノズル装置 |
JPH0754672A (ja) * | 1993-08-11 | 1995-02-28 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | タービンの燃料流量制御装置 |
JP2001082411A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-27 | Japan Science & Technology Corp | ディジタル弁 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012180768A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 内燃機関の動弁装置及び内燃機関の動弁駆動方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2309135A4 (en) | 2013-12-11 |
KR101335213B1 (ko) | 2013-11-29 |
US20120216896A1 (en) | 2012-08-30 |
CN102112754A (zh) | 2011-06-29 |
KR20110020949A (ko) | 2011-03-03 |
JP5232714B2 (ja) | 2013-07-10 |
KR20130100188A (ko) | 2013-09-09 |
EP2309135A1 (en) | 2011-04-13 |
WO2010016314A1 (ja) | 2010-02-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5232714B2 (ja) | サーボ弁 | |
KR101328280B1 (ko) | 유압 조정 밸브 | |
US9404599B2 (en) | Dual/variable gain oil pump control valve | |
EP2436910A1 (en) | Valve assembly for an injection valve and injection valve | |
CN1776214B (zh) | 带有柱塞电磁激励的燃料喷射器 | |
JP4697043B2 (ja) | 流体圧制御装置 | |
KR20150136581A (ko) | 연료 분사기 | |
US20090321668A1 (en) | Distributed stiffness biasing spring for actuator system and fuel injector using same | |
CN102405344A (zh) | 用于喷射阀的阀组件和喷射阀 | |
US20160160886A1 (en) | Improvements in hydraulic servovalves | |
JP6015398B2 (ja) | 燃料噴射弁 | |
WO2016181755A1 (ja) | 高圧燃料ポンプ | |
JP2012229812A (ja) | サーボ弁 | |
KR20140022457A (ko) | 밸브 조립체 및 이를 포함하는 연료 펌프 | |
CA2829146C (en) | Improvements in servovalve actuation | |
JP4301318B2 (ja) | ブリード式バルブ装置 | |
JP2007100829A (ja) | バルブ装置 | |
KR100698894B1 (ko) | 압전밸브 | |
JP6038661B2 (ja) | ソレノイドバルブ | |
KR102113991B1 (ko) | 연소기관용 유체 분사기 | |
JP5955763B2 (ja) | 弁構造 | |
JP4537157B2 (ja) | アキュムレータ燃料噴射系用の調圧弁 | |
WO2015097870A1 (ja) | 電磁弁 | |
US20080156383A1 (en) | Fluid-transfer system | |
JP2023065969A (ja) | 電磁駆動ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100721 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120508 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120709 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120904 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121204 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20121211 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130226 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130325 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160329 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5232714 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |