CN102112754A

CN102112754A - 伺服阀

Info

Publication number: CN102112754A
Application number: CN2009801301588A
Authority: CN
Inventors: 林利和; 汤下笃; 内田满哉; 久家诚; 鹤谷身延; 大串泰斗
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2008-08-08
Filing date: 2009-05-29
Publication date: 2011-06-29
Also published as: KR20110020949A; JP5232714B2; JP2010060128A; WO2010016314A1; EP2309135A4; KR20130100188A; EP2309135A1; US20120216896A1; KR101335213B1

Abstract

本发明的目的在于提供一种伺服阀，其使喷嘴与挡板的相对位置调整简单，而且使阀体驱动回路的结构简单化而能够低成本地制造。本发明的伺服阀(1)具备：能够往复运动地安装的滑阀(5)、利用流体压把滑阀(5)向相互相反方向按压的第一室(7)和第二室(9)、向第一室(7)和第二室(9)供给油并调节所供给的油切板的压力，而使滑阀(5)往复运动的滑阀驱动回路(3)，其中，滑阀驱动回路(3)把第一室(7)的流体压维持在大致一定的大小，而且在第二室(9)的油出口部具有调节第二室(9)流体压的喷嘴挡板机构(27)。

Description

伺服阀

技术领域

本发明涉及伺服阀。

背景技术

作为控制液压或气压促动器的驱动的装置而伺服阀被广泛使用。

伺服阀中作为阀体而有往复动作的滑阀。该伺服阀中作为使滑阀动作的机构而例如提案有专利文献1所示那样的喷嘴挡板机构。

它是利用一对喷嘴和设置在该两喷嘴之间的挡板来形成可变小孔，按照挡板的位置而导出变化的两喷嘴的背压，利用该导出的背压的压力差来使滑阀动作。

该挡板的位置变化是使用由电磁线圈进行的，但由于最近要求伺服阀小型化和高性能化，所以有提案使用小型高速且发生力大的压电元件(层合型压电元件、双压电晶片型压电元件)。

专利文献1：特开2001-82411号公报

但在利用一对喷嘴和设置在两喷嘴之间的挡板来形成可变小孔时，为了提高滑阀的动作精度就需要把挡板相对两喷嘴而分别安装成正对的姿态或给予均匀影响的姿态。因此，有在每安装时挡板的位置调整难的问题。

且由于需要正确进行挡板向两侧的移动，所以例如在层合型压电元件的情况下就成为在挡板的两侧设置大的层合型压电元件。因此，使伺服阀大型化，使挡板移动的控制系统的控制难，难于供给实用化。

且在挡板的位置调整使用压电元件时，若电极与主体(阀本体)接触，则由于有过电流流动而挡板不能动作，所以要求一定不能发生这种情况。

发明内容

本发明鉴于这种情况而目的在于提供一种伺服阀，使喷嘴与挡板的相对位置调整简单，而且使阀体驱动回路的结构简单化而能够低成本地制造。

为了解决上述课题，本发明采用以下的机构。

即，本发明一形态的伺服阀具备：阀体，其能够往复运动地安装；第一按压部和第二按压部，其利用流体压把该阀体向相互相反方向按压；阀体驱动回路，其向所述第一按压部和所述第二按压部供给流体并调节所供给流体的压力而使所述阀体往复运动，其中，所述阀体驱动回路把所述第一按压部的所述流体压维持在大致一定的大小，而且在所述第二按压部的流体出口部具有调节所述第二按压部的所述流体压的喷嘴挡板机构。

由于能够往复运动地安装的阀体被第一按压部和第二按压部的流体压向相互相反的方向按压，所以利用第一按压部和第二按压部流体压的压差而往复运动。即，在第一按压部和第二按压部的流体压内，阀体向流体压大的按压部的流体压所作用的方向移动。

根据本形态，由于把第一按压部的流体压维持在大致一定的大小，所以通过把第二按压部的流体压调整成比第一按压部的流体压大或小就使阀体往复运动。

由于在第二按压部的流体出口部具有喷嘴挡板机构，所以通过调整设置在流体出口部的喷嘴的前端与挡板之间的距离就能够调节第二按压部的流体压力。由于能够调整第二按压部的流体压力就能够调节第二按压部的流体压，所以能够使第二按压部的流体压相对大小一定的第一按压部的流体压而变大或变小。

这样，由于仅把喷嘴挡板机构设置在第二按压部的出口部，即，挡板是与一个喷嘴相对配置，所以能够容易进行挡板相对喷嘴的位置调整。由此，能够正确且短时间地进行挡板的设置。

由于阀体驱动回路的回路结构简单，所以能够减少阀本体的加工费。

由此，能够低成本地制造伺服阀。

为了把第一按压部维持在大致一定的压力，例如通过在朝向第一按压部的流体通路设置具有恰当面积的节流阀等来把流体的压力维持成大致一定便可。

上述形态中，也可以把所述阀体的所述第一按压部的流体向所述阀体作用的第一受压面积和所述第二按压部的流体向所述阀体作用的第二受压面积设定成大致相同面积。

第一按压部的流体力是向第一受压面积乘以第一按压部的流体压力。第二按压部的流体力是向第二受压面积乘以第二按压部的流体压力。

由于把第一受压面积和第二受压面积设定成大致相同面积，所以第一按压部和第二按压部的流体压的相对大小就由各自流体的压力来决定。

把第一按压部的液体压力选择成：由喷嘴挡板机构调整的第二按压部流体压力范围中间部分的中间压力的大小。由于第二按压部的流体压力换言之第二按压部的流体压能够变得比维持一定的第一按压部的流体压力换言之比第一按压部的流体压大或小，所以能够使阀体往复运动。

另外，按照容易调节的观点来看，优选把第一按压部的流体压力选择成：与没向喷嘴挡板机构施加电压状态的第二按压部的流体压力和向喷嘴挡板机构施加最大电压状态的第二按压部的流体压力的大致中间相等。

上述形态中，也可以把所述阀体的所述第一按压部的流体向所述阀体作用的第一受压面积和所述第二按压部的流体向所述阀体作用的第二受压面积设定成不同的面积。

把第一按压部的流体压力选择成：对于由喷嘴挡板机构调整的第二按压部流体压力范围的中间部分的中间压力乘以第二受压面积/第一受压面积的大小。由于当第二按压部的流体压力比中间压力大时，第二按压部的流体压比第一按压部的流体压大，所以阀体向第一按压部的方向移动。由于当第二按压部的流体压力比中间压力小时，第二按压部的流体压比第一按压部的流体压小，所以阀体向第二按压部的方向移动。

由于这样把第一按压部的流体压力选择成对于第二按压部流体的中间压力乘以第二受压面积/第一受压面积的大小，所以例如在从同一供给源供给流体的情况下，当设定成对于供给中间压力大小的流体压力而乘以第一受压面积/第二受压面积的大小，则即使把从供给源供给的流体原封不动地向第一按压部导入，也能够与中间压力成为同一压力。

换言之，通过把向第二按压部供给的流体的中间压力设定成向供给的流体压力乘以第一受压面积/第二受压面积的大小，就能够把第一按压部的流体压力设定成所供给的流体压力，所以能够不需要对向第一按压部供给的流体压力进行调整的部件。

由此，由于阀体驱动回路的回路结构更简单，所以更能够减少阀本体的加工费，能够更低成本地制造伺服阀。

上述形态中，所述喷嘴挡板机构的挡板也可以利用双压电晶片型压电元件来动作。

由于使用位移量比较大且低电压就能够驱动的双压电晶片型压电元件，所以包含电源部分而能够构成小的喷嘴挡板机构。再加上双压电晶片型压电元件比较便宜而能够更低成本地制造伺服阀。

上述形态中，所述喷嘴挡板机构的挡板也可以利用层合型压电元件来动作。

由于挡板是相对一个喷嘴来调整距离，所以使它移动的层合型压电元件是一个就行。因此，与在挡板两侧分别具备大层合型压电元件的相比而是小的结构，所以能够把伺服阀比较小型化。且使挡板移动的控制系统的控制也比较容易。

由此，能够提供可供实用的伺服阀。

上述形态中，所述喷嘴挡板机构的挡板也可以利用转矩电动机来动作。

通过使用有实际成绩的转矩电动机而能够构成进行稳定调整的伺服阀。

根据本发明的伺服阀，由于把第一按压部的压力维持在大致一定的大小，而且在来自第二按压部的流体出口部具有调节所述第二按压部的压力的喷嘴挡板机构，所以在喷嘴挡板机构中能够容易进行挡板相对喷嘴的位置调整。由此，能够正确且短时间地进行挡板的设置。

由此，能够低成本地制造伺服阀。

附图说明

图1是表示本发明第一实施例滑阀驱动回路的回路图；

图2是表示本发明第一实施例喷嘴挡板机构一部分的局部剖视图；

图3是表示本发明第一实施例挡板部概略结构的剖视图；

图4是表示本发明第一实施例挡板制造过程的剖视图；

图5是表示本发明第一实施例挡板部制造过程的剖视图；

图6是表示本发明第一实施例挡板部养护过程的剖视图；

图7是表示本发明第一实施例滑阀驱动回路其他形态的回路图；

图8是表示本发明第一实施例滑阀驱动回路又其他形态的回路图；

图9是表示本发明第二实施例滑阀驱动回路的回路图；

图10是表示本发明第二实施例喷嘴挡板机构一部分的局部剖视图；

图11是图9的X-X剖视图；

图12是图9的Y-Y剖视图；

图13是表示本发明第二实施例滑阀驱动回路其他形态的局部回路图；

图14是图13的Z-Z剖视图。

符号说明

1伺服阀 3滑阀驱动回路 5滑阀 7第一室 9第二室

35挡板 61层合型压电元件 63转矩电动机

71伺服阀 73滑阀驱动回路 77滑阀 85第一室

89第二室 119挡板 121层合型压电元件

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施例。

[第一实施例]

以下，使用图1～图6来说明本发明第一实施例的控制液压促动器的驱动的伺服阀1。

图1是表示伺服阀1的滑阀驱动回路(阀体驱动回路)3的回路图。图2是表示喷嘴挡板机构一部分的局部剖视图。

伺服阀1中，控制未图示液压促动器的驱动的滑阀(阀体)5能够沿轴线方向移动。

滑阀5通过其在轴线方向的位置而具有切换向液压促动器的工作油供给方向的功能。

滑阀5在轴线方向的位置由未图示的位置检测器来检测。

在滑阀5的两端部具有向滑阀5侧敞开的空间即第一室(第一按压部)7和第二室(第二按压部)9。

滑阀驱动回路3具有供给油(流体)的泵11。来自泵11的油在第一通路13和第二通路15分岔。通过第一通路13的油向第一室7供给并返回油箱17。

通过第二通路15的油向第二室9供给后被向配管19排出。向配管19排出的油返回到油箱17。

被第一室7和第二室9的油作用的滑阀5的受压面积大致是同一面积。第一室7和第二室9的油向滑阀5作用的流体压的压差与液压力的压差是正比。

第一通路13在第一室7的上游侧具有第一节流阀21，在第一室7的下游侧具有调压节流阀23。

第一节流阀21例如是小孔，规定向第一室7供给的油的压力。向第一室7供给的液压力P₁例如是从泵11泵出的油的压力Ps的大致一半。

调压节流阀23的开口面积可变，调整第一室7液压力的大小。

第二通路15在第二室9的上游侧具有第二节流阀25，在下游端具有喷嘴挡板机构27。

第二节流阀25例如是小孔，其开口面积与第一节流阀21的是同样的大小。喷嘴挡板机构27具备：被安装在第二通路15下游端的喷嘴29、与喷嘴29的开口部33相对设置而构成节流阀的挡板部31。喷嘴29是节流机构，其开口部33的开口面积由于在原点位置(向挡板35不施加电压的状态)与调压节流阀23的开口面积相等，所以第二室9的液压力与第一室7的液压力相等。

当挡板35从原点位置是从喷嘴29离开而开口部33的面积变大时，第二室9的液压力比第一室7的液压力小。相反，当挡板35从原点位置是向喷嘴29靠近而开口部33的面积变小时，第二室9的液压力比第一室7的液压力大。

因此，原点位置的第二室9的液压力是由喷嘴挡板机构27进行调整的范围的位于中间部分的中间压力。

图3是挡板部31概略结构的剖视图。

挡板部31具备挡板35和保持挡板35的壳体37。壳体37是金属制，是一面敞开的中空长方体形状。

挡板35是在金属板39的两面粘贴有两片板状压电元件41、43的结构，即，由双压电晶片型压电元件构成。

在金属板39、压电元件41、43的一端部安装有电线45。金属板39被接地，压电元件41被施加正电压，压电元件43被施加负电压。

把挡板35的一端部插入壳体37的内部空间，与电线45一起被粘接材料47固定在壳体37。粘接材料47是具有电绝缘性的树脂，例如能够使用环氧树脂等模制剂。

由挡板35和喷嘴29的前端外周端49形成的圆筒侧面积成为喷嘴挡板机构27的节流量。该侧面积与开口部33的开口面积相等的位置就是喷嘴挡板机构27发挥节流功能的界限位置。即，挡板35比该位置是从喷嘴29离开，则节流效果比喷嘴29的节流效果小，所以喷嘴挡板机构27没有发挥节流功能。

把挡板35设置在该界限位置与挡板35和喷嘴29接触位置的中间位置，把该位置作为中心而在界限位置与挡板35和喷嘴29接触位置之间进行位移。

以下，按照图4～图6来说明该挡板部31的组装方法。

首先，在金属板39的两面粘贴板状的压电元件41、43。

接着，例如利用焊料而在金属板39和压电元件41、43的一端接合电线45。

接着，如图4所示，把金属板39和压电元件41、43与电线45的接点周边部分利用粘接材料47固定，形成挡板35。

这时，由于粘接材料47的量少而不会引起使电线45变形等情况。即，不会变形成为接点脱离而电线45与壳体接触的形态。

在该粘接材料47固化后，来测定电路的绝缘电阻，确认被可靠绝缘。

接着，如图5所示，把该挡板35组装到壳体37的规定位置，向壳体37的内部空间注入粘接材料47。

虽然由于该粘接材料47的注入而挡板35被作用有大的力，但由于金属板39和压电元件41、43与电线45的接点被先固化的粘接材料47所保护，所以它们不会脱离。且由于电线45的可动部分也不长，所以不会变形大到与壳体37接触的程度。

在图5的状态下为了使追加的粘接材料47固化而进行养护。

由于这时使壳体37的前端面51与挡板35的面正交是重要的，所以也可以如图6所示那样设置保持正交状态的第一夹具53和第二夹具55来进行养护。

第一夹具53具有截面矩形的通孔57。在通孔57的一端部设置有能够使壳体37的前端面51与通孔正交配置的扩大部。

第二夹具55被形成能够把一端侧向通孔57插入。在第二夹具55设置有能够插入挡板35的通孔59。

通孔57与通孔59的上下方向中心位置一致。

从挡板35侧把壳体37向通孔57插入而嵌入在扩大部。接着，把第二夹具55从通孔57的相反侧插入，使挡板35的前端部插入通孔59。于是，壳体37的前端面51与挡板35的面成为正交。

当在该状态下进行养护，则粘接材料47固化，挡板35以壳体37的前端面51与挡板35的面正交形态被固定在壳体37。

另外，也可以在由第一夹具53和第二夹具55保持挡板部31的状态下来注入粘接材料47。

说明以上结构的滑阀驱动回路3的动作。

如果使泵11动作而供给油，则供给的油被分流而向第一通路13和第二通路15流入。向第一通路13流入的油被第一节流阀21减压，向第一室7流入且通过调压节流阀23返回到油箱17。

向第二通路15流入的油被第二节流阀25减压而向第二室9流入。油从第二室9通过喷嘴挡板机构27而向配管19排出，从配管19返回到油箱17。

这时，如果挡板35位于原点，则由于开口部33的开口面积与调压节流阀23的开口面积相等，所以第二室9的压力与第一室7的压力相同，第一室7与第二室9之间压差是0。在该压差是0的状态下，滑阀5成为停止状态。

如果向挡板35施加+(-)电压，则挡板35向喷嘴29侧位移，由挡板35和喷嘴29的前端外周端49形成的圆筒侧面积即喷嘴挡板机构27的节流量变成比调压节流阀23小。

如果喷嘴挡板机构27的节流量小，则由于喷嘴挡板机构27的节流效果比喷嘴29本身的大，所以第二室9的压力比第一室7的大，在第一室7与第二室9之间产生压差。利用该压差，滑阀5向第一室7侧移动。

如果向挡板35施加-(+)电压，则挡板35向从喷嘴29离开的方向位移，由挡板35和喷嘴29的前端外周端49形成的圆筒侧面积，即，喷嘴挡板机构27的节流量变成比调压节流阀23大。

如果喷嘴挡板机构27的节流量比调压节流阀23大，则第二室9的压力比第一室7的小，在第一室7与第二室9之间产生压差。利用该压差而滑阀5向第二室9侧移动。

这样，由于把向第一室7供给的油的压力维持在大致一定的大小，所以通过使用喷嘴挡板机构27而把第二室9的压力调整成比第一室7的压力大或小就使滑阀5往复运动。

由于仅把该喷嘴挡板机构27设置在第二通路15的端部即第二室9的出口部，所以挡板35是与一个喷嘴29相对设置。因此，能够容易进行挡板35相对喷嘴29的位置调整，由此而能够正确且短时间地进行挡板部31的设置。

由于滑阀驱动回路3的回路结构简单，所以能够减少阀本体的加工费。

由此，能够低成本地制造伺服阀1。

由于作为挡板35而使用位移量比较大且低电压就能够驱动的双压电晶片型压电元件，所以包含电源部分而能够构成小的喷嘴挡板机构27。再加上双压电晶片型压电元件比较便宜而能够更低成本地制造伺服阀1。

如图7所示，喷嘴挡板机构27的挡板35也可以利用层合型压电元件61来动作。

由于挡板35是相对一个喷嘴29来调整距离，所以使它移动的层合型压电元件61是一个就行。

因此，与在挡板35两侧分别具备大的层合型压电元件61的相比，能够是减小的结构，所以能够把伺服阀1比较小型化。

且使挡板35移动的控制系统的控制也比较容易。

由此，使用层合型压电元件61也能够提供可供实用的伺服阀1。

另外，如图8所示，喷嘴挡板机构27的挡板35也可以利用进行线性动作的转矩电动机63来动作。

这样，通过使用有实际成绩的转矩电动机63而能够构成可进行稳定调整的伺服阀1。

[第二实施例]

使用图9～图12来说明本发明第二实施例的控制液压促动器(图示省略)的驱动的伺服阀71。

图9是表示伺服阀71的滑阀驱动回路(阀体驱动回路)73的回路图。图10是表示喷嘴挡板机构一部分的局部剖视图。图11是图9的X-X剖视图。图12是图9的Y-Y剖视图。

伺服阀71具备：在内部具有空间的主体75和在主体75的内部空间能够沿轴线方向移动配置的滑阀(阀体)77。

滑阀77具备成为滑动面且具有大致相同径的多个凸台部79。通过滑阀77沿轴线方向移动，这些凸台部79在轴线方向的位置就移动。这些凸台部79利用在轴线方向的位置的不同，而具有切换向未图示液压促动器的工作油供给方向的功能。

在设置于滑阀77一端部的凸台部79a设置有向外侧突出设置的第一杆体81。第一杆体81把其动作向差动变压器83传递。差动变压器83检测滑阀77在轴线方向的位置。

在凸台部79a的外侧把第一杆体81包围地形成有第一室(第一按压部)85。

在设置于滑阀77另一端部的凸台部79b设置有向外侧突出设置的第二杆体87。在凸台部79b的外侧把第二杆体87包围地形成有第二室(第二按压部)89。

滑阀驱动回路73具有通过主通路93供给油的泵91。在主通路93设置有调压阀95，以供给大致一定压力的油。

主通路93在第一通路97和第二通路99被分岔。通过第一通路97的油向第一室85供给并经由配管101通过返回通路103返回油箱105。把主通路93供给的油原封不动地向第一室85供给。该供给的液压力是泵91泵出的压力Ps。

通过第二通路99的油向第二室89供给后经由配管107通过返回通路103返回油箱105。

由于第一杆体81贯通第一室85，所以凸台部79a从向第一室85供给的油接受压力的第一受压面积A1如图11所示那样，是从凸台部79a的面积减去第一杆体81截面面积的大小。

由于第二杆体87贯通第二室89，所以凸台部79b从向第二室89供给的油接受压力的第二受压面积A2如图12所示那样，是从凸台部79b的面积减去第二杆体87截面面积的大小。

本实施例使第一受压面积A1是第二受压面积A2的大致一半大小地来设定第一杆体81和第二杆体87的大小。

第一受压面积A1和第二受压面积A2的面积比并不限定于此。

第二通路99在第二室89的上游侧具有例如由小孔构成的入口节流阀109。在配管107具有喷嘴挡板机构111。

喷嘴挡板机构111具备：被安装在配管107的喷嘴113和与喷嘴113的开口部115相对设置而构成节流阀的挡板部117。

挡板部117具备挡板119和使挡板35动作的层合有多个压电元件的层合型压电元件121。

由挡板119和喷嘴113的前端外周端123形成的圆筒侧面积成为喷嘴挡板机构111的节流量。

该侧面积与开口部115的开口面积相等的位置(图10的状态)就是喷嘴挡板机构111发挥节流功能的界限位置。即，如果挡板119从该该位置更加离开喷嘴113，则节流效果比喷嘴113的节流效果小，所以喷嘴挡板机构111没有发挥节流功能。

把挡板119设置在该界限位置与挡板119和喷嘴113接触位置的中间位置，把该位置作为中心(原点)，而在界限位置与挡板119和喷嘴113接触位置之间，即调整范围C之间进行位移。

本实施例中，在挡板119处于原点位置时，使第一室85的液压力P1与泵91供给的压力Ps大致相同大小地来设定喷嘴挡板机构111的各种要素。

说明以上结构的滑阀驱动回路73的动作。

当使泵91动作时，从油箱105通过主通路93而供给油。该供给的油的压力Ps利用调压阀95而维持成大致一定。

沿主流路93流动的油被分岔而向第一通路97和第二通路99流入。

向第一通路97流入的油原封不动地向第一室85流入并通过配管101和返回通路103返回到油箱105。

向第二通路99流入的油被入口节流阀109减压而向第二室89流入。油从第二室89向配管107排出，并通过喷嘴挡板机构111而从返回通路103返回到油箱17。

这时，当挡板119位于原点时，第一室85的液压力P1与泵91供给的压力Ps大致相同，即P1＝Ps。第一室85的油作用在凸台部79a的力(流体压)F1成为F1＝A1×Ps。

另一方面，第二室89的液压力P2是泵91供给的压力Ps的大致一半，即P2＝Ps/2。第二室89的油作用在凸台部79b的力(流体压)F2成为F2＝A2×Ps/2。

由于A2＝2×A1，所以力F2＝2×A1×Ps/2＝A1×Ps。由于成为力F1与力F2是相同大小，所以两者的压差是0。在该压差是0的状态下，滑阀77是停止状态。

当向层合型压电元件121施加电压，则挡板119向喷嘴113侧位移，由挡板119和喷嘴113的前端外周端123形成的圆筒侧面积，即，喷嘴挡板机构111的节流量变成比处于原点位置时小。

当喷嘴挡板机构111的节流量变小，则由于喷嘴挡板机构111的节流效果变大，所以成为第二室89的液压力P2比Ps/2大。

由于如果压力P2变大，则第二室89的油作用在凸台部79b的力F2就变大，所以成为力F2比大小一定的第一室85的力F1大。

由于该压差而滑阀77向第一室85侧移动。

如果向层合型压电元件121施加反向电压，并且使处于原点位置的挡板119向从喷嘴113离开的方向位移，则由挡板119和喷嘴113的前端外周端123形成的圆筒侧面积，即，喷嘴挡板机构111的节流量变成比处于原点位置时大。

如果喷嘴挡板机构111的节流量变大，则由于喷嘴挡板机构27的节流效果变小，所以成为第二室89的液压力P2比Ps/2小。

由于当压力P2变小则第二室89的油作用在凸台部79b的力F2就变小，所以成为力F2比大小一定的第一室85的力F1小。

由于该压差而滑阀77向第二室89侧移动。

这样，由于把向第一室85供给的油的压力，即，向凸台部79a作用的力F1维持在大致一定的大小，所以通过使用喷嘴挡板机构111而来调整第二室89的压力就使滑阀77往复运动。

由于仅把该喷嘴挡板机构111设置在配管107即第二室89的出口部，所以挡板119仅是与一个喷嘴113相对设置。

因此，能够容易进行挡板119相对喷嘴113的位置调整，由此而能够正确且短时间地进行挡板部117的设置。

由于滑阀驱动回路73的回路结构简单，所以能够减少阀本体的加工费。

由此，能够低成本地制造伺服阀71。

由于把从泵91向第一室85供给的油原封不动地供给，换言之是把第一实施例的第一节流阀21和调压节流阀23省略，所以能够把阀体驱动回路73的回路结构更加简单化。由于不需要调压节流阀23，所以能够抑制调整成本。

由此，能够更加减少伺服阀71本体的加工费，能够更低成本地制造伺服阀71。

由于若像第一实施例那样使用第一节流阀21和调压节流阀23，则被第一节流阀21和调压节流阀23所隔离，所以到包含第一室85的第一节流阀21和调压节流阀23的空间就构成大的容积室。因此，该空间内的油的弹性常数变大，容易产生共振。而本实施例没有使用第一节流阀21和调压节流阀23，所以能够避免共振，能够谋求提高高频驱动的精度。

另外，本实施例中喷嘴挡板机构111的挡板119是利用层合型压电元件121来动作，但并不限定于此。

例如也可以使用在第一实施例所使用的低电压就能够驱动的双压电晶片型压电元件。这样，包含电源部分而能够构成小的喷嘴挡板机构111。再加上双压电晶片型压电元件比较便宜而能够更低成本地制造伺服阀71。

例如也可以利用进行线性动作的转矩电动机来动作。

这样，通过使用有实际成绩的转矩电动机而能够构成可进行稳定调整的伺服阀71。

本实施例中通过第一杆体81和第二杆体87的截面面积大小来调整第一受压面积A1和第二受压面积A2，但并不限定于此。

例如也可以如图13和图14所示那样，把第一杆体81和第二杆体87的截面面积大小设定成相同，而是调整凸台部79a和凸台部79b的面积。

本实施例中第一受压面积A1是第二受压面积A2的大致一半，但第一受压面积A1与第二受压面积A2的比率并不限定于此。

即，只要使第一室85的液压力对挡板119位于原点时的第二室89的液压力乘以第二受压面积A2/第一受压面积A1的大小那样地，来选定各压力以及第一受压面积A1和第二受压面积A2的大小便可。

本发明并不限定于以上说明的各实施例，在不脱离本发明旨趣的范围也可以进行各种变形。

Claims

1.一种伺服阀，具备：阀体，其能够往复运动地安装；第一按压部和第二按压部，其利用流体压把该阀体向相互相反方向按压；阀体驱动回路，其向所述第一按压部和所述第二按压部供给流体并调节所供给的流体的压力而使所述阀体往复运动，其中，

所述阀体驱动回路把所述第一按压部的所述流体压维持在大致一定的大小，而且在所述第二按压部的流体出口部具有调节所述第二按压部的所述流体压的喷嘴挡板机构。

2.如权利要求1所述的伺服阀，其中，把所述阀体的所述第一按压部的流体向所述阀体作用的第一受压面积和所述第二按压部的流体向所述阀体作用的第二受压面积设定成大致相同面积。

3.如权利要求1所述的伺服阀，其中，把所述阀体的所述第一按压部的流体向所述阀体作用的第一受压面积和所述第二按压部的流体向所述阀体作用的第二受压面积设定成不同的面积。

4.如权利要求1到权利要求3任一项所述的伺服阀，其中，所述喷嘴挡板机构的挡板利用双压电晶片型压电元件来动作。

5.如权利要求1到权利要求3任一项所述的伺服阀，其中，所述喷嘴挡板机构的挡板利用层合型压电元件来动作。

6.如权利要求1到权利要求3任一项所述的伺服阀，其中，所述喷嘴挡板机构的挡板利用转矩电动机来动作。