KR20130100188A

KR20130100188A - 서보 밸브

Info

Publication number: KR20130100188A
Application number: KR1020137016509A
Authority: KR
Inventors: 도시카즈 하야시; 아츠시 유게; 미치야 우치다; 마코토 구가; 미노부 츠루타니; 다이토 오구시
Original assignee: 미츠비시 쥬고교 가부시키가이샤
Priority date: 2008-08-08
Filing date: 2009-05-29
Publication date: 2013-09-09
Also published as: EP2309135A4; KR101335213B1; US20120216896A1; CN102112754A; KR20110020949A; JP2010060128A; JP5232714B2; EP2309135A1; WO2010016314A1

Abstract

노즐과 플래퍼의 상대 위치 조정을 간단하게 하고, 또한, 밸브체 구동 회로의 구성을 단순화하여 저가로 제조할 수 있는 서보 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다. 왕복동 가능하게 장착된 스풀 (5) 과, 스풀 (5) 을 유체압에 의해 서로 반대 방향으로 가압하는 제 1 실 (7) 및 제 2 실 (9) 과, 제 1 실 (7) 및 제 2 실 (9) 에 기름을 공급하고, 또한, 공급하는 유절판의 압력을 조절하여 스풀 (5) 을 왕복동시키는 스풀 구동 회로 (3) 를 구비하고 있는 서보 밸브 (1) 로서, 스풀 구동 회로 (3) 는, 제 1 실 (7) 의 유체압을 대략 일정한 크기로 유지함과 함께 제 2 실 (9) 로부터의 기름 출구부에 제 2 실 (9) 의 유체압을 조절하는 노즐 플래퍼 기구 (27) 를 구비하고 있다.

Description

서보 밸브{SERVO VALVE}

본 발명은, 서보 밸브에 관한 것이다.

유압 또는 공기압 액추에이터의 구동을 제어하는 것으로서 서보 밸브가 널리 사용되고 있다.

서보 밸브에는, 밸브체로서 왕복 작동되는 스풀을 사용하는 것이 있다. 이 서보 밸브에서는, 스풀을 작동시키는 기구로서, 예를 들어 특허문헌 1 에 나타내는 노즐 플래퍼 기구가 제안되어 있다.

이것은, 1 쌍의 노즐과, 이 양 노즐 사이에 설치한 플래퍼에 의해 가변 오리피스를 형성하고, 플래퍼의 위치에 따라 변화되는 양 노즐의 배압을 도출하고, 이 도출된 배압의 압력차에 의해, 스풀을 작동시키는 것이다.

이 플래퍼의 위치 변위는, 전자 코일에 의해 실시되는 것이 이용되고 있지만, 최근에는, 서보 밸브의 소형화 및 고성능화가 요구되므로, 소형이고 고속, 또한 발생력이 큰 압전 소자 (적층형 압전 소자, 바이모르프 (bi-morph) 형 압전 소자) 를 사용하는 것이 제안되어 있다.

(특허문헌 1) 일본 공개특허공보 2001-82411호

그런데, 1 쌍의 노즐과, 양 노즐 사이에 설치한 플래퍼에 의해 가변 오리피스를 형성하는 것에서는, 스풀의 동작 정밀도를 향상시키기 위해 플래퍼는 양 노즐에 대해 각각 정면으로 마주하는 자세, 혹은 균일한 영향을 미치는 자세로 장착하는 것이 필요하다. 이 때문에, 장착에 있어서 플래퍼의 위치 조정이 어렵다는 문제가 있었다.

또, 플래퍼의 양측에 대한 이동을 정확하게 실시하는 것이 필요하므로, 예를 들어 적층형 압전 소자의 경우, 플래퍼의 양측에 큰 적층형 압전 소자를 형성하게 된다. 이 때문에, 서보 밸브가 대형화되고, 플래퍼를 이동시키는 제어계의 제어가 어려워지므로, 실용적으로 사용하는 것이 어렵다.

또한, 플래퍼의 위치 조정에 압전 소자를 사용하는 경우, 전극과 보디 (밸브 본체) 가 접촉하면, 과전류가 흘러 플래퍼를 작동할 수 없게 되므로, 확실하게 그러한 사태가 발생하지 않도록 할 것이 요구되고 있다.

본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여, 노즐과 플래퍼의 상대 위치 조정을 간단하게 하고, 또한 밸브체 구동 회로의 구성을 단순화하여 저가로 제조할 수 있는 서보 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 이하의 수단을 채용한다.

즉, 본 발명의 일 양태는, 왕복동 가능하게 장착된 밸브체와, 그 밸브체를 유체압에 의해 서로 반대 방향으로 가압하는 제 1 가압부 및 제 2 가압부와, 상기 제 1 가압부 및 상기 제 2 가압부에 유체를 공급하고, 또한 공급하는 유체의 압력을 조절하여 상기 밸브체를 왕복동시키는 밸브체 구동 회로를 구비하고 있는 서보 밸브로서, 상기 밸브체 구동 회로는, 상기 제 1 가압부의 상기 유체압을 대략 일정한 크기로 유지함과 함께 상기 제 2 가압부로부터의 유체 출구부에 상기 제 2 가압부의 상기 유체압을 조절하는 노즐 플래퍼 기구를 구비하고 있는 서보 밸브이다.

왕복동 가능하게 장착된 밸브체는 제 1 가압부 및 제 2 가압부의 유체압에 의해 서로 반대 방향으로 가압되고 있으므로, 제 1 가압부 및 제 2 가압부의 유체압의 차압에 의해 왕복동하게 된다. 즉, 제 1 가압부 및 제 2 가압부의 유체압 중, 유체압이 큰 쪽의 가압부의 유체압이 작용하는 방향으로 밸브체는 이동한다.

본 양태에 의하면, 제 1 가압부의 유체압은 대략 일정한 크기로 유지되고 있으므로, 제 2 가압부의 유체압을 제 1 가압부의 유체압보다 크게 혹은 작게 조정함으로써 밸브체는 왕복동한다.

제 2 가압부로부터의 유체 출구부에 노즐 플래퍼 기구가 구비되어 있으므로, 유체 출구부에 형성된 노즐의 선단과 플래퍼 사이의 거리를 조정함으로써 제 2 가압부의 유체의 압력을 조절할 수 있다. 제 2 가압부의 유체의 압력을 조정할 수 있으면, 제 2 가압부의 유체압을 조절할 수 있으므로, 제 2 가압부의 유체압은, 크기가 일정한 제 1 가압부의 유체압에 대해 커지거나 작아지거나 할 수 있다.

이와 같이, 노즐 플래퍼 기구는 제 2 가압부의 출구부에만 설치되어 있는, 즉, 플래퍼는 1 개의 노즐에 대향하여 설치될 뿐이므로, 노즐에 대한 플래퍼의 위치 조정을 용이하게 실시할 수 있다. 이로써, 플래퍼의 설치를 정확하게, 또한 단시간에 실시할 수 있다.

또, 밸브체 구동 회로의 회로 구성이 단순화되므로, 밸브 본체의 가공비를 삭감할 수 있다.

이들에 의해, 서보 밸브를 저가로 제조할 수 있다.

또한, 제 1 가압부를 대략 일정한 압력으로 유지하기 위해서는, 예를 들어 제 1 가압부에 대한 유체 통로에 적당한 면적을 갖는 조리개를 구비하는 것 등에 의해 유체의 압력을 대략 일정하게 유지하도록 하면 된다.

상기 양태에서는, 상기 밸브체에 있어서의 상기 제 1 가압부의 유체가 상기 밸브체에 작용하는 제 1 수압 면적과, 상기 제 2 가압부의 유체가 상기 밸브체에 작용하는 제 2 수압 면적이 대략 동일 면적으로 되어 있어도 된다.

제 1 가압부의 유체력은, 제 1 수압 면적에 제 1 가압부의 유체의 압력을 곱한 것이다. 제 2 가압부의 유체력은, 제 2 수압 면적에 제 2 가압부의 유체의 압력을 곱한 것이다.

제 1 수압 면적 및 제 2 수압 면적은 대략 동일 면적으로 되어 있으므로, 제 1 가압부 및 제 2 가압부의 유체압의 상대적인 크기는, 각각의 유체의 압력에 의해 결정된다.

제 1 가압부의 액체의 압력은, 노즐 플래퍼 기구에 의해 조정되는 제 2 가압부의 유체의 압력 범위에 있어서의 중간 부분의 중간 압력의 크기가 되도록 선택된다. 제 2 가압부의 유체의 압력, 바꾸어 말하면, 제 2 가압부의 유체압은, 일정하게 유지되는 제 1 가압부의 유체의 압력, 바꾸어 말하면 제 1 가압부의 유체압보다 크거나 혹은 작게 할 수 있으므로, 밸브체를 왕복동할 수 있다.

또한, 조절의 용이성의 관점에서 제 1 가압부의 유체의 압력은, 노즐 플래퍼 기구에 전압을 가하지 않은 상태에 있어서의 제 2 가압부의 유체의 압력과 노즐 플래퍼 기구에 최대 전압을 가한 상태에 있어서의 제 2 가압부의 유체의 압력의 대략 중간으로 동일해지도록 선택되는 것이 바람직하다.

상기 양태에서는, 상기 밸브체에 있어서의 상기 제 1 가압부의 유체가 상기 밸브체에 작용하는 제 1 수압 면적과, 상기 제 2 가압부의 유체가 상기 밸브체에 작용하는 제 2 수압 면적이 상이한 면적으로 되어 있어도 된다.

제 1 가압부의 유체의 압력은, 노즐 플래퍼 기구에 의해 조정되는 제 2 가압부의 유체의 압력 범위에 있어서의 중간 부분의 중간 압력에 대해 제 2 수압 면적/제 1 수압 면적을 곱한 크기가 되도록 선택된다. 제 2 가압부의 유체의 압력이 중간 압력보다 커지면, 제 2 가압부의 유체압이 제 1 가압부의 유체압보다 커지므로, 밸브체는 제 1 가압부의 방향으로 이동된다. 제 2 가압부의 유체의 압력이 중간 압력보다 작아지면, 제 2 가압부의 유체압이 제 1 가압부의 유체압보다 작아지므로, 밸브체는 제 2 가압부의 방향으로 이동된다.

이와 같이 제 1 가압부의 유체의 압력은, 제 2 가압부의 유체의 중간 압력에 대해 제 2 수압 면적/제 1 수압 면적을 곱한 크기가 되도록 선택되므로, 예를 들어 동일한 공급원으로부터 유체를 공급하는 경우, 중간 압력의 크기를 공급되는 유체의 압력에 대해 제 1 수압 면적/제 2 수압 면적을 곱한 크기로 하면, 제 1 가압부에는 공급원으로부터 공급되는 유체를 그대로 도입하도록 해도 중간 압력과 동일 압력으로 할 수 있다.

바꾸어 말하면, 제 2 가압부에 공급되는 유체의 중간 압력을 공급되는 유체의 압력에 제 1 수압 면적/제 2 수압 면적을 곱한 크기로 함으로써, 제 1 가압부의 유체의 압력을 공급되는 유체의 압력으로 할 수 있기 때문에, 제 1 가압부에 공급되는 유체의 압력을 조정하는 부재가 필요하지 않게 할 수 있다.

이로써, 밸브체 구동 회로의 회로 구성이 더욱 단순화되므로, 밸브 본체의 가공비를 더욱 삭감할 수 있고, 서보 밸브를 더욱 저가로 제조할 수 있다.

상기 양태에서는, 상기 노즐 플래퍼 기구의 플래퍼는, 바이모르프형 압전 소자에 의해 작동되도록 해도 된다.

이와 같이, 변위량이 비교적 크고, 저전압으로 구동할 수 있는 바이모르프형 압전 소자를 사용하므로, 전원 부분을 포함하여 작은 노즐 플래퍼 기구를 구성할 수 있다. 또, 바이모르프형 압전 소자는 비교적 저가인 것과 함께, 서보 밸브를 더욱 저가로 제조할 수 있다.

상기 양태에서는, 상기 노즐 플래퍼 기구의 플래퍼는, 적층형 압전 소자에 의해 작동되도록 해도 된다.

플래퍼는, 1 개의 노즐에 대해 거리를 조정하므로, 그것을 이동시키는 적층형 압전 소자는 1 개이면 된다. 이 때문에, 플래퍼의 양측에 각각 큰 적층형 압전 소자를 구비하는 것에 비해 작게 구성할 수 있으므로, 서보 밸브를 비교적 소형화할 수 있다. 또, 플래퍼를 이동시키는 제어계의 컨트롤도 비교적 용이해진다.

이들에 의해, 실용적으로 사용할 수 있는 서보 밸브를 제공할 수 있다.

상기 양태에서는, 상기 노즐 플래퍼 기구의 플래퍼는, 토크 모터에 의해 작동되도록 해도 된다.

실적이 있는 토크 모터를 사용함으로써, 안정적인 조정을 실시할 수 있는 서보 밸브를 구성할 수 있다.

본 발명에 관련된 서보 밸브에 의하면, 제 1 가압부의 압력을 대략 일정한 크기로 유지함과 함께 제 2 가압부로부터의 유체 출구부에 상기 제 2 가압부의 압력을 조절하는 노즐 플래퍼 기구를 구비하고 있으므로, 노즐 플래퍼 기구에 있어서의 노즐에 대한 플래퍼의 위치 조정을 용이하게 실시할 수 있다. 이로써, 플래퍼의 설치를 정확하게, 또한 단시간에 실시할 수 있다.

이들에 의해, 서보 밸브를 저가로 제조할 수 있다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 스풀 구동 회로를 나타내는 회로도이다.
도 2 는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 노즐 플래퍼 기구의 일부를 나타내는 부분 단면도이다.
도 3 은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 플래퍼부의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.
도 4 는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 플래퍼의 제조 과정을 나타내는 단면도이다.
도 5 는 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 플래퍼부의 제조 과정을 나타내는 단면도이다.
도 6 은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 플래퍼부의 양생 과정을 나타내는 단면도이다.
도 7 은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 스풀 구동 회로의 다른 양태를 나타내는 회로도이다.
도 8 은 본 발명의 제 1 실시형태에 있어서의 스풀 구동 회로의 또 다른 양태를 나타내는 회로도이다.
도 9 는 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 스풀 구동 회로를 나타내는 회로도이다.
도 10 은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 노즐 플래퍼 기구의 일부를 나타내는 부분 단면도이다.
도 11 은 도 9 의 X-X 단면도이다.
도 12 는 도 9 의 Y-Y 단면도이다.
도 13 은 본 발명의 제 2 실시형태에 있어서의 스풀 구동 회로의 다른 양태를 나타내는 부분 회로도이다.
도 14 는 도 13 의 Z-Z 단면도이다.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.

[제 1 실시형태]

이하, 본 발명의 제 1 실시형태에 관련된 유압 액추에이터의 구동을 제어하는 서보 밸브 (1) 에 대해 도 1∼도 6 을 이용하여 설명한다.

도 1 은, 서보 밸브 (1) 의 스풀 구동 회로 (밸브체 구동 회로) (3) 를 나타내는 회로도이다. 도 2 는, 노즐 플래퍼 기구의 일부를 나타내는 부분 단면도이다.

서보 밸브 (1) 에는, 도시되지 않은 유압 액추에이터의 구동을 제어하는 스풀 (밸브체) (5) 이 축선 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.

스풀 (5) 은, 그 축선 방향에 있어서의 위치에 따라 유압 액추에이터에 대한 작동유의 공급 방향을 전환하는 기능을 갖고 있다.

스풀 (5) 의 축선 방향 위치는, 도시되지 않은 위치 검출기에 의해 검출되도록 되어 있다.

스풀 (5) 의 양단부에는, 스풀 (5) 측이 개방되어 있는 공간인 제 1 실 (제 1 가압부) (7) 및 제 2 실 (제 2 가압부) (9) 이 구비되어 있다.

스풀 구동 회로 (3) 에는, 기름 (유체) 을 공급하는 펌프 (11) 가 구비되어 있다. 펌프 (11) 로부터의 기름은, 제 1 통로 (13) 와 제 2 통로 (15) 로 분기된다. 제 1 통로 (13) 를 통과하는 기름은, 제 1 실 (7) 에 공급됨과 함께 탱크 (17) 로 되돌아온다.

제 2 통로 (15) 를 통과하는 기름은, 제 2 실 (9) 에 공급된 후, 배관 (19) 으로 배출된다. 배관 (19) 으로 배출된 기름은 탱크 (17) 로 되돌아온다.

제 1 실 (7) 및 제 2 실 (9) 의 기름이 작용하는 스풀 (5) 의 수압 면적은 대략 동일 면적으로 되어 있다. 제 1 실 (7) 및 제 2 실 (9) 의 기름이 스풀 (5) 에 작용하는 유체압의 차압은, 기름의 압력의 차압에 비례한다.

제 1 통로 (13) 에는, 제 1 실 (7) 보다 상류측에 제 1 조리개 (21) 와, 제 1 실 (7) 의 하류측에 압력 조정 조리개 (23) 가 구비되어 있다.

제 1 조리개 (21) 는, 예를 들어 오리피스가 되고, 제 1 실 (7) 에 공급되는 기름의 압력을 규정하는 것이다. 제 1 실 (7) 에 공급되는 기름의 압력 (P₁) 은, 예를 들어 펌프 (11) 로부터 분출되는 기름의 압력 (Ps) 의 대략 절반으로 되어 있다.

압력 조정 조리개 (23) 는, 개구 면적이 가변이 되고, 제 1 실 (7) 의 기름의 압력 크기를 조정한다.

제 2 통로 (15) 에는, 제 2 실 (9) 의 상류측에 제 2 조리개 (25) 와, 하류단에 노즐 플래퍼 기구 (27) 가 구비되어 있다.

제 2 조리개 (25) 는, 예를 들어 오리피스가 되고, 그 개구 면적은 제 1 조리개 (21) 의 개구 면적과 동일한 크기이다. 노즐 플래퍼 기구 (27) 에는, 제 2 통로 (15) 의 하류단에 장착된 노즐 (29) 과, 노즐 (29) 의 개구부 (33) 에 대향하여 설치되고, 조리개를 구성하는 플래퍼부 (31) 가 구비되어 있다. 노즐 (29) 은 조리개 기구인데, 그 개구부 (33) 의 개구 면적은, 원점 위치 (플래퍼 (35) 에 전압을 가하지 않은 상태) 에서는, 압력 조정 조리개 (23) 의 개구 면적과 동일해지므로, 제 2 실 (9) 의 기름의 압력은, 제 1 실 (7) 의 기름의 압력과 동일해진다.

플래퍼 (35) 가 원점 위치로부터 노즐 (29) 보다 멀어져 개구부 (33) 의 면적이 커지면, 제 2 실 (9) 의 기름의 압력은, 제 1 실 (7) 의 기름의 압력보다 작아진다. 반대로 플래퍼 (35) 가 원점 위치로부터 노즐 (29) 에 가까워져 개구부 (33) 의 면적이 작아지면, 제 2 실 (9) 의 기름의 압력은, 제 1 실 (7) 의 기름의 압력보다 커진다.

따라서, 원점 위치에 있어서의 제 2 실 (9) 의 기름의 압력은, 노즐 플래퍼 기구 (27) 에 의해 조정되는 범위의 중간 부분에 위치하는 중간 압력이다.

도 3 은, 플래퍼부 (31) 의 개략 구성을 나타내는 단면도이다.

플래퍼부 (31) 에는, 플래퍼 (35) 와, 플래퍼 (35) 를 유지하는 케이스 (37) 가 구비되어 있다. 케이스 (37) 는, 금속제이며, 일면이 개방된 중공의 직육면체 형상을 하고 있다.

플래퍼 (35) 는, 금속판 (39) 의 양면에, 2 장의 판상의 압전 소자 (41, 43) 를 첩합 (貼合) 한 구성, 즉, 바이모르프형 압전 소자로 구성되어 있다.

금속판 (39), 압전 소자 (41, 43) 의 일단부에는 전선 (45) 이 장착되어 있다. 금속판 (39) 은 접지되고, 압전 소자 (41) 에는 정 (正) 의 전압이, 압전 소자 (43) 에는 부 (負) 의 전압이 가해져 있다.

플래퍼 (35) 의 일단부는, 케이스 (37) 의 내부 공간에 삽입되고, 전선 (45) 과 함께 접착재 (47) 에 의해 케이스 (37) 에 고정되어 있다. 접착재 (47) 는, 전기 절연성을 갖는 수지이며, 예를 들어 에폭시 수지 등의 몰드제가 사용된다.

플래퍼 (35) 와 노즐 (29) 의 선단 외주단 (49) 에 의해 형성되는 원통의 측면적이 노즐 플래퍼 기구 (27) 의 스로틀량이 된다. 이 측면적이 개구부 (33) 의 개구 면적과 동일해지는 위치는 노즐 플래퍼 기구 (27) 가 조리개 기능을 발휘하는 한계 위치이다. 즉, 플래퍼 (35) 가 이 위치보다 노즐 (29) 로부터 멀어지면 조리개 효과가 노즐 (29) 의 조리개 효과보다 작아지므로, 노즐 플래퍼 기구 (27) 는 조리개 기능을 발휘하지 않게 된다.

플래퍼 (35) 는, 이 한계 위치와 플래퍼 (35) 및 노즐 (29) 이 접촉하는 위치의 중간에 위치하도록 설치되고, 그 위치를 중심으로 하여, 한계 위치와 플래퍼 (35) 및 노즐 (29) 이 접촉하는 위치 사이를 변위하도록 되어 있다.

이하, 이 플래퍼부 (31) 의 조립 방법에 대해 도 4∼도 6 에 의해 설명한다.

먼저, 금속판 (39) 의 양면에, 판상의 압전 소자 (41, 43) 를 첩부한다.

이어서, 금속판 (39) 및 압전 소자 (41, 43) 의 일단에 전선 (45) 을, 예를 들어 땜납에 의해 접합한다.

다음으로, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 금속판 (39) 및 압전 소자 (41, 43) 와 전선 (45) 의 접점 주변 부분을 접착재 (47) 에 의해 고정시키고, 플래퍼 (35) 를 형성한다.

이 때, 접착재 (47) 는 양이 적기 때문에, 전선 (45) 을 변형시키는 등의 사태를 일으키지는 않는다. 즉, 접점이 이탈하는, 전선 (45) 이 케이스에 접촉하는 형태로 변형되는 일이 없다.

이 접착재 (47) 가 경화된 후, 전기 회로의 절연 저항을 측정하여, 확실하게 절연되고 있는 것을 확인한다.

이어서, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 이 플래퍼 (35) 를 케이스 (37) 의 소정 위치에 장착하고, 케이스 (37) 의 내부 공간에 접착재 (47) 를 주입한다.

이 접착재 (47) 의 주입에 의해 플래퍼 (35) 에는 큰 힘이 작용하는데, 금속판 (39) 및 압전 소자 (41, 43) 와 전선 (45) 의 접점은, 상기 경화시킨 접착재 (47) 에 의해 보호되어 있으므로, 그것들이 이탈하는 일은 없다. 또, 전선 (45) 의 가동 부분도 길지 않기 때문에, 케이스 (37) 에 접촉할 정도로 크게 변형되지는 않는다.

도 5 의 상태에서, 추가한 접착재 (47) 를 경화시키기 위해 양생한다.

이 때, 케이스 (37) 의 선단면 (51) 과 플래퍼 (35) 의 면이 직교하는 것이 중요하므로, 도 6 에 나타내는 바와 같이 직교 상태를 유지하는 제 1 지그 (53) 및 제 2 지그 (55) 에 설치하여 양생을 실시하도록 해도 된다.

제 1 지그 (53) 는, 단면이 직사각형 형상을 한 관통공 (57) 을 갖고 있다. 관통공 (57) 의 일단부에는, 케이스 (37) 의 선단면 (51) 이 관통공과 직교하도록 설치할 수 있는 확대부가 형성되어 있다.

제 2 지그 (55) 는, 일단측이 관통공 (57) 에 삽입되도록 형성되어 있다. 제 2 지그 (55) 에는, 플래퍼 (35) 가 삽입되는 관통공 (59) 이 형성되어 있다.

관통공 (57) 과 관통공 (59) 은, 상하 방향의 중심 위치가 일치하고 있다.

케이스 (37) 를 플래퍼 (35) 측으로부터 관통공 (57) 에 삽입하고, 확대부에 끼워 넣는다. 이어서, 제 2 지그 (55) 를 관통공 (57) 의 반대측으로부터 삽입하고, 플래퍼 (35) 의 선단부를 관통공 (59) 에 삽입시킨다. 이와 같이 하면, 케이스 (37) 의 선단면 (51) 과 플래퍼 (35) 의 면이 직교하게 된다.

이 상태에서 양생하면, 접착재 (47) 가 경화되고, 플래퍼 (35) 는, 케이스 (37) 의 선단면 (51) 과 플래퍼 (35) 의 면이 직교하는 형태로 케이스 (37) 에 고정된다.

또한, 플래퍼부 (31) 를 제 1 지그 (53) 및 제 2 지그 (55) 로 유지한 상태에서, 접착재 (47) 를 주입하도록 해도 된다.

이상과 같이 구성된 스풀 구동 회로 (3) 의 동작에 대해 설명한다.

펌프 (11) 가 작동되고, 기름이 공급되면, 공급된 기름은 분기되어 제 1 통로 (13) 및 제 2 통로 (15) 에 흘러 들어간다. 제 1 통로 (13) 에 흘러 들어간 기름은, 제 1 조리개 (21) 로 감압되고, 제 1 실 (7) 에 유입됨과 함께 압력 조정 조리개 (23) 를 통과하여 탱크 (17) 로 되돌아온다.

제 2 통로 (15) 에 유입된 기름은, 제 2 조리개 (25) 로 감압되고, 제 2 실 (9) 에 유입된다. 기름은 제 2 실 (9) 로부터 노즐 플래퍼 기구 (27) 를 통과하여 배관 (19) 으로 배출되고, 배관 (19) 으로부터 탱크 (17) 로 되돌아온다.

이 때, 플래퍼 (35) 가 원점에 위치하고 있으면, 개구부 (33) 의 개구 면적은 압력 조정 조리개 (23) 의 개구 면적과 동일하므로, 제 2 실 (9) 의 압력은 제 1 실 (7) 의 압력과 동일해지고, 제 1 실 (7) 과 제 2 실 (9) 사이의 차압은 0 이 된다. 이 차압이 0 인 상태에서는 스풀 (5) 은 정지 상태가 된다.

플래퍼 (35) 에 ＋(-) 의 전압을 가하면, 플래퍼 (35) 는 노즐 (29) 측으로 변위되고, 플래퍼 (35) 와 노즐 (29) 의 선단 외주단 (49) 에 의해 형성되는 원통의 측면적, 즉, 노즐 플래퍼 기구 (27) 의 스로틀량은 압력 조정 조리개 (23) 보다 작아진다.

노즐 플래퍼 기구 (27) 의 스로틀량이 작아지면, 노즐 플래퍼 기구 (27) 의 조리개 효과가 노즐 (29) 의 조리개 효과보다 커지므로, 제 1 실 (7) 보다 제 2 실 (9) 의 압력이 커지고, 제 1 실 (7) 과 제 2 실 (9) 사이에 차압이 발생한다. 이 차압에 의해 스풀 (5) 은 제 1 실 (7) 측으로 이동한다.

플래퍼 (35) 에 -(＋) 의 전압을 가하면, 플래퍼 (35) 는 노즐 (29) 로부터 멀어지는 방향으로 변위되고, 플래퍼 (35) 와 노즐 (29) 의 선단 외주단 (49) 에 의해 형성되는 원통의 측면적, 즉, 노즐 플래퍼 기구 (27) 의 스로틀량은 압력 조정 조리개 (23) 보다 커진다.

노즐 플래퍼 기구 (27) 의 스로틀량이 압력 조정 조리개 (23) 보다 커지면, 제 1 실 (7) 보다 제 2 실 (9) 의 압력이 작아지고, 제 1 실 (7) 과 제 2 실 (9) 사이에 차압이 발생한다. 이 차압에 의해 스풀 (5) 은 제 2 실 (9) 측으로 이동한다.

이와 같이, 제 1 실 (7) 에 공급되는 기름의 압력은 대략 일정한 크기로 유지되고 있으므로, 노즐 플래퍼 기구 (27) 를 이용하여 제 2 실 (9) 의 압력을 제 1 실 (7) 의 압력보다 크거나 혹은 작게 조정함으로써 스풀 (5) 은 왕복동한다.

이 노즐 플래퍼 기구 (27) 는, 제 2 통로 (15) 의 단부, 즉, 제 2 실 (9) 의 출구부에만 설치되어 있으므로, 플래퍼 (35) 는 1 개의 노즐 (29) 에 대향하여 설치될 뿐이다. 따라서, 노즐 (29) 에 대한 플래퍼 (35) 의 위치 조정을 용이하게 실시할 수 있으므로, 플래퍼부 (31) 의 설치를 정확하게, 또한 단시간에 실시할 수 있다.

또, 스풀 구동 회로 (3) 의 회로 구성이 단순화되므로, 밸브 본체의 가공비를 삭감할 수 있다.

이들에 의해, 서보 밸브 (1) 를 저가로 제조할 수 있다.

또, 플래퍼 (35) 로서 변위량이 비교적 크고, 저전압으로 구동할 수 있는 바이모르프형 압전 소자를 이용하고 있으므로, 전원 부분을 포함하여 작은 노즐 플래퍼 기구 (27) 를 구성할 수 있다. 또, 바이모르프형 압전 소자는 비교적 저가인 것과 함께, 서보 밸브 (1) 를 더욱 저가로 제조할 수 있다.

또한, 노즐 플래퍼 기구 (27) 의 플래퍼 (35) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이 적층형 압전 소자 (61) 에 의해 작동되도록 해도 된다.

플래퍼 (35) 는, 1 개의 노즐 (29) 에 대해 거리를 조정하므로, 그것을 이동시키는 적층형 압전 소자 (61) 는 1 개면 된다.

이 때문에, 플래퍼 (35) 의 양측에 각각 큰 적층형 압전 소자 (61) 를 구비하는 것에 비해 작게 구성할 수 있으므로, 서보 밸브 (1) 를 비교적 소형화할 수 있다.

또, 플래퍼 (35) 를 이동시키는 제어계의 컨트롤도 비교적 용이해진다.

이들에 의해, 적층형 압전 소자 (61) 를 이용해도 실용적으로 사용할 수 있는 서보 밸브 (1) 를 제공할 수 있다.

또, 노즐 플래퍼 기구 (27) 의 플래퍼 (35) 는, 도 8 에 나타내는 바와 같이 리니어 동작을 실시하는 토크 모터 (63) 에 의해 작동되도록 해도 된다.

이와 같이 하면, 실적이 있는 토크 모터 (63) 를 사용함으로써, 안정적인 조정을 실시할 수 있는 서보 밸브 (1) 를 구성할 수 있다.

[제 2 실시형태]

본 발명의 제 2 실시형태에 관련된 유압 액추에이터 (도시 생략) 의 구동을 제어하는 서보 밸브 (71) 에 대해 도 9∼도 12 를 이용하여 설명한다.

도 9 는, 서보 밸브 (71) 의 스풀 구동 회로 (밸브체 구동 회로) (73) 를 나타내는 회로도이다. 도 10 은, 노즐 플래퍼 기구의 일부를 나타내는 부분 단면도이다. 도 11 은, 도 9 의 X-X 단면도이다. 도 12 는, 도 9 의 Y-Y 단면도이다.

서보 밸브 (71) 에는, 내부에 공간을 갖는 보디 (75) 와, 보디 (75) 의 내부 공간에 축선 방향으로 이동 가능하게 배치된 스풀 (밸브체) (77) 이 구비되어 있다.

스풀 (77) 에는, 미끄러짐면이 되는 대략 동일한 직경을 갖는 복수의 랜드부 (79) 가 구비되어 있다. 스풀 (77) 이 축선 방향으로 이동함으로써 이들 랜드부 (79) 의 축선 방향에 있어서의 위치가 이동한다. 이들 랜드부 (79) 는, 축선 방향의 위치에 따라 도시되지 않은 유압 액추에이터에 대한 작동유의 공급 방향을 전환하는 기능을 갖고 있다.

스풀 (77) 의 일단 부분에 형성된 랜드부 (79a) 에는, 외측을 향하여 돌출 형성된 제 1 봉체 (81) 가 형성되어 있다. 제 1 봉체 (81) 는 그 동작을 차동 변압기 (83) 에 전달한다. 차동 변압기 (83) 는, 스풀 (77) 의 축선 방향 위치를 검출한다.

랜드부 (79a) 의 외측에, 제 1 봉체 (81) 를 포위하도록 제 1 실 (제 1 가압부) (85) 이 형성되어 있다.

스풀 (77) 의 타단 부분에 형성된 랜드부 (79b) 에는, 외측을 향하여 돌출 형성된 제 2 봉체 (87) 가 형성되어 있다. 랜드부 (79b) 의 외측에, 제 2 봉체 (87) 를 포위하도록 제 2 실 (제 2 가압부) (89) 이 형성되어 있다.

스풀 구동 회로 (73) 에는, 주통로 (93) 를 통과하여 기름을 공급하는 펌프 (91) 가 구비되어 있다. 주통로 (93) 에는 압력 조정 밸브 (95) 가 형성되고, 대략 일정한 압력의 기름이 공급된다.

주통로 (93) 는, 제 1 통로 (97) 와 제 2 통로 (99) 로 분기된다. 제 1 통로 (97) 를 통과하는 기름은, 제 1 실 (85) 에 공급되고, 배관 (101) 을 경유하여 복귀 통로 (103) 를 통과하여 탱크 (105) 로 되돌아온다. 제 1 실 (85) 에는, 주통로 (93) 에서 공급되는 기름이 그대로 공급되고 있다. 이 공급되는 기름의 압력은, 펌프 (91) 가 분출하는 압력 (Ps) 이다.

제 2 통로 (99) 를 통과하는 기름은, 제 2 실 (89) 에 공급된 후, 배관 (107) 을 경유하여 복귀 통로 (103) 를 통과하여 탱크 (105) 로 되돌아온다.

제 1 봉체 (81) 는 제 1 실 (85) 을 관통하고 있으므로, 랜드부 (79a) 가 제 1 실 (85) 에 공급된 기름으로부터 압력을 받는 제 1 수압 면적 (A1) 은, 도 11 에 나타내는 바와 같이 랜드부 (79a) 의 면적으로부터 제 1 봉체 (81) 의 단면적을 줄인 크기가 된다.

제 2 봉체 (87) 는 제 2 실 (89) 을 관통하고 있으므로, 랜드부 (79b) 가 제 2 실 (89) 에 공급된 기름으로부터 압력을 받는 제 2 수압 면적 (A2) 은, 도 12 에 나타내는 바와 같이 랜드부 (79b) 의 면적으로부터 제 2 봉체 (87) 의 단면적을 줄인 크기가 된다.

본 실시형태에서는, 제 1 수압 면적 (A1) 이 제 2 수압 면적 (A2) 의 대략 절반의 크기가 되도록 제 1 봉체 (81) 및 제 2 봉체 (87) 의 크기가 설정되어 있다.

또한, 제 1 수압 면적 (A1) 및 제 2 수압 면적 (A2) 의 면적비는, 이것으로 한정되는 것은 아니다.

제 2 통로 (99) 에는, 제 2 실 (89) 의 상류측에, 예를 들어 오리피스로 구성된 입구 조리개 (109) 가 구비되어 있다. 배관 (107) 에는, 노즐 플래퍼 기구 (111) 가 구비되어 있다.

노즐 플래퍼 기구 (111) 에는, 배관 (107) 에 장착된 노즐 (113) 과, 노즐 (113) 의 개구부 (115) 에 대향하여 설치되고, 조리개를 구성하는 플래퍼부 (117) 가 구비되어 있다.

플래퍼부 (117) 에는, 플래퍼 (119) 와, 플래퍼 (35) 를 작동시키는 복수의 압전 소자가 적층된 적층형 압전 소자 (121) 가 구비되어 있다.

플래퍼 (119) 와 노즐 (113) 의 선단 외주단 (123) 에 의해 형성되는 원통의 측면적이 노즐 플래퍼 기구 (111) 의 스로틀량이 된다.

이 측면적이 개구부 (115) 의 개구 면적과 동일해지는 위치 (도 10 의 상태) 는 노즐 플래퍼 기구 (111) 가 조리개 기능을 발휘하는 한계 위치이다. 즉, 플래퍼 (119) 가 이 위치보다 노즐 (113) 로부터 멀어지면 조리개 효과가 노즐 (113) 의 조리개 효과보다 작아지므로, 노즐 플래퍼 기구 (111) 는 조리개 기능을 발휘하지 않게 된다.

플래퍼 (119) 는, 이 한계 위치와 플래퍼 (119) 및 노즐 (113) 이 접촉하는 위치의 중간에 위치하도록 설치되고, 그 위치를 중심 (원점) 으로 하여, 한계 위치와 플래퍼 (119) 및 노즐 (113) 이 접촉하는 위치의 사이, 즉, 조정 범위 (C) 의 사이를 변위하도록 되어 있다.

본 실시형태에서는, 플래퍼 (119) 가 원점 위치에 있을 때, 제 1 실 (85) 의 기름의 압력 (P1) 은, 펌프 (91) 가 공급하는 압력 (Ps) 과 대략 동일한 크기가 되도록 노즐 플래퍼 (111) 의 제원 (諸元) 이 설정되어 있다.

이상과 같이 구성된 스풀 구동 회로 (73) 의 동작에 대해 설명한다.

펌프 (91) 가 작동되면, 탱크 (105) 로부터 주통로 (93) 를 통과하여 기름이 공급된다. 이 공급되는 기름의 압력 (Ps) 은, 압력 조정 밸브 (95) 에 의해 대략 일정하게 유지되어 있다.

주류로 (93) 를 흐르는 기름은 분기되어 제 1 통로 (97) 및 제 2 통로 (99) 로 흘러 들어간다.

제 1 통로 (97) 로 흘러 들어간 기름은, 그대로 제 1 실 (85) 에 유입되고, 배관 (101) 및 복귀 통로 (103) 를 통과하여 탱크 (105) 로 되돌아온다.

제 2 통로 (99) 에 유입된 기름은, 입구 조리개 (109) 로 감압되고, 제 2 실 (89) 에 유입된다. 기름은 제 2 실 (89) 로부터 배관 (107) 으로 배출되고, 노즐 플래퍼 기구 (111) 를 통과하여 복귀 통로 (103) 로부터 탱크 (105) 로 되돌아온다.

이 때, 플래퍼 (119) 가 원점에 위치하고 있으면, 제 1 실 (85) 의 기름의 압력 (P1) 은, 펌프 (91) 가 공급하는 압력 (Ps) 과 대략 동일, 즉, P1 = Ps 이다. 제 1 실 (85) 의 기름이 랜드부 (79a) 에 작용하는 힘 (유체압) (F1) 은, F1 = A1 × Ps 가 된다.

한편, 제 2 실 (89) 의 기름의 압력 (P2) 은, 펌프 (91) 가 공급하는 압력 (Ps) 의 대략 절반, 즉, P2 = Ps/2 이다. 제 2 실 (89) 의 기름이 랜드부 (79b) 에 작용하는 힘 (유체압) (F2) 은, F2 = A2 × Ps/2 가 된다.

A2 = 2 × A1 이므로, 힘 (F2) 은, F2 = 2 × A1 × Ps/2 = A1 × Ps 가 된다. 힘 F1 과 힘 F2 는 동일한 크기가 되므로, 양자의 차압은 0 이 된다. 이 차압이 0 인 상태에서는 스풀 (77) 은 정지 상태가 된다.

적층형 압전 소자 (121) 에 전압을 가하고, 플래퍼 (119) 를 노즐 (113) 측으로 변위시키면, 플래퍼 (119) 와 노즐 (113) 의 선단 외주단 (123) 에 의해 형성되는 원통의 측면적, 즉, 노즐 플래퍼 기구 (111) 의 스로틀량은 원점 위치에 있을 때보다 작아진다.

노즐 플래퍼 기구 (111) 의 스로틀량이 작아지면, 노즐 플래퍼 기구 (111) 의 조리개 효과가 커지므로, 제 2 실 (89) 의 기름의 압력 (P2) 은, Ps/2 보다 커진다.

압력 (P2) 이 커지면, 제 2 실 (89) 의 기름이 랜드부 (79b) 에 작용하는 힘 (F2) 이 커지므로, 힘 (F2) 은 크기가 일정한 제 1 실 (85) 의 힘 (F1) 보다 커진다.

이 차압에 의해 스풀 (77) 은 제 1 실 (85) 측으로 이동한다.

적층형 압전 소자 (121) 에 반대의 전압을 가하고, 원점 위치에 있는 플래퍼 (119) 를 노즐 (113) 로부터 멀어지는 방향으로 변위시키면, 플래퍼 (119) 와 노즐 (113) 의 선단 외주단 (123) 에 의해 형성되는 원통의 측면적, 즉, 노즐 플래퍼 기구 (111) 의 스로틀량은 원점 위치에 있을 때보다 커진다.

노즐 플래퍼 기구 (111) 의 스로틀량이 커지면, 노즐 플래퍼 기구 (111) 의 조리개 효과가 작아지므로, 제 2 실 (89) 의 기름의 압력 (P2) 은, Ps/2 보다 작아진다.

압력 (P2) 이 작아지면, 제 2 실 (89) 의 기름이 랜드부 (79b) 에 작용하는 힘 (F2) 이 작아지므로, 힘 (F2) 은 크기가 일정한 제 1 실 (85) 의 힘 (F1) 보다 작아진다.

이 차압에 의해 스풀 (77) 은 제 2 실 (89) 측으로 이동한다.

이와 같이, 제 1 실 (85) 에 공급되는 기름의 압력, 즉, 랜드부 (79a) 에 작용하는 힘 (F1) 은 대략 일정한 크기로 유지되고 있으므로, 노즐 플래퍼 기구 (111) 를 이용하여 제 2 실 (89) 의 기름의 압력을 조정함으로써 스풀 (77) 은 왕복동한다.

이 노즐 플래퍼 기구 (111) 는, 배관 (107), 즉, 제 2 실 (89) 의 출구부에만 설치되어 있으므로, 플래퍼 (119) 는 1 개의 노즐 (113) 에 대향하여 설치될 뿐이다.

따라서, 노즐 (113) 에 대한 플래퍼 (119) 의 위치 조정을 용이하게 실시할 수 있으므로, 플래퍼부 (117) 의 설치를 정확하게, 또한 단시간에 실시할 수 있다.

또, 스풀 구동 회로 (73) 의 회로 구성이 단순화되므로, 밸브 본체의 가공비를 삭감할 수 있다.

이들에 의해, 서보 밸브 (71) 를 저가로 제조할 수 있다.

제 1 실 (85) 에 펌프 (91) 로부터 공급되는 기름이 그대로 공급되도록 되어 있는, 바꾸어 말하면, 제 1 실시형태의 제 1 조리개 (21) 및 압력 조정 조리개 (23) 를 생략하고 있으므로, 밸브체 구동 회로 (73) 의 회로 구성을 더욱 단순화할 수 있다. 압력 조정 조리개 (23) 등의 조정이 불필요해지므로, 조정 비용을 억제할 수 있다.

이로써, 서보 밸브 (71) 본체의 가공비를 더욱 삭감할 수 있고, 서보 밸브 (71) 를 더욱 저가로 제조할 수 있다.

제 1 실시형태와 같이 제 1 조리개 (21) 및 압력 조정 조리개 (23) 를 사용하면, 제 1 조리개 (21) 및 압력 조정 조리개 (23) 로 격리되므로, 제 1 실 (85) 을 포함하는 제 1 조리개 (21) 및 압력 조정 조리개 (23) 까지의 공간이 큰 용적실을 구성한다. 이 때문에, 이 공간 내의 기름의 스프링 상수가 커지므로, 공진이 발생하기 쉬워진다. 본 실시형태에서는, 제 1 조리개 (21) 및 압력 조정 조리개 (23) 를 이용하지 않기 때문에, 공진을 회피할 수 있고, 높은 주파수에서의 구동에 있어서의 정밀도의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 본 실시형태에서는, 노즐 플래퍼 기구 (111) 의 플래퍼 (119) 는, 적층형 압전 소자 (121) 에 의해 작동되도록 되어 있는데, 이것으로 한정되는 것은 아니다.

예를 들어, 제 1 실시형태에서 사용한 저전압으로 구동할 수 있는 바이모르프형 압전 소자를 사용해도 된다. 이와 같이 하면, 전원 부분을 포함하여 작은 노즐 플래퍼 기구 (111) 를 구성할 수 있다. 바이모르프형 압전 소자는 비교적 저가인 것과 함께, 서보 밸브 (71) 를 더욱 저가로 제조할 수 있다.

예를 들어, 리니어 동작을 실시하는 토크 모터에 의해 작동되도록 해도 된다.

이와 같이 하면, 실적이 있는 토크 모터를 사용함으로써, 안정적인 조정을 실시할 수 있는 서보 밸브 (71) 를 구성할 수 있다.

또, 본 실시형태에서는, 제 1 수압 면적 (A1) 과 제 2 수압 면적 (A2) 을 제 1 봉체 (81) 및 제 2 봉체 (87) 의 단면적의 크기로 조정하도록 하고 있는데, 이것으로 한정되지 않는다.

예를 들어, 도 13 및 도 14 에 나타내는 바와 같이, 제 1 봉체 (81) 및 제 2 봉체 (87) 의 단면적의 크기를 동일하게 하고, 랜드부 (79a) 및 랜드부 (79b) 의 면적을 조정하도록 해도 된다.

본 실시형태에서는, 제 1 수압 면적 (A1) 이 제 2 수압 면적 (A2) 의 대략 절반이 되도록 하고 있는데, 제 1 수압 면적 (A1) 과 제 2 수압 면적 (A2) 의 비율은 이것으로 한정되지 않는다.

즉, 제 1 실 (85) 의 기름의 압력이, 플래퍼 (119) 가 원점에 위치하고 있을 때의 제 2 실 (89) 의 기름의 압력에 대해 제 2 수압 면적 (A2)/제 1 수압 면적 (A1) 을 곱한 크기가 되도록 각 압력, 그리고 제 1 수압 면적 (A1) 및 제 2 수압 면적 (A2) 의 크기를 선정하면 된다.

또한, 본 발명은 이상 설명한 각 실시형태로 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형을 실시해도 된다.

1 : 서보 밸브
3 : 스풀 구동 회로
5 : 스풀
7 : 제 1 실
9 : 제 2 실
35 : 플래퍼
61 : 적층형 압전 소자
63 : 토크 모터
71 : 서보 밸브
73 : 스풀 구동 회로
77 : 스풀
85 : 제 1 실
89 : 제 2 실
119 : 플래퍼
121 : 적층형 압전 소자

Claims

왕복동 가능하게 장착된 밸브체와, 그 밸브체를 유체압에 의해 서로 반대 방향으로 가압하는 제 1 가압부 및 제 2 가압부와, 상기 제 1 가압부 및 상기 제 2 가압부에 유체를 공급하고, 또한 공급하는 유체의 압력을 조절하여 상기 밸브체를 왕복동시키는 밸브체 구동 회로를 구비하고 있는 서보 밸브로서,
상기 밸브체 구동 회로는, 상기 제 1 가압부의 상기 유체압을 대략 일정한 크기로 유지함과 함께 상기 제 2 가압부의 유체 출구부에 상기 제 2 가압부의 상기 유체압을 조절하는 노즐 플래퍼 기구와,
펌프로부터 공급된 상기 유체가 분기되는 제 1 통로 및 제 2 통로를 구비하고,
상기 제 1 통로는, 상기 제 1 가압부에 상기 유체를 유도하도록 접속됨과 함께, 그 제 1 가압부의 하류측에 개구 면적이 가변으로 된 압력 조정 조리개를 구비하고,
상기 제 2 통로는, 상기 제 2 가압부에 상기 유체를 유도하도록 접속되고,
상기 밸브체에 있어서의 상기 제 1 가압부의 유체가 상기 밸브체에 작용하는 제 1 수압 면적과, 상기 제 2 가압부의 유체가 상기 밸브체에 작용하는 제 2 수압 면적이 대략 동일 면적으로 되고,
상기 노즐 플래퍼 기구의 원점 위치에서, 그 노즐 플래퍼 기구의 노즐 개구 면적에 대해 상기 압력 조정 조리개의 개구 면적이 동일해지도록 조정하여 상기 제 1 가압부의 상기 유체압과 상기 제 2 가압부의 상기 유체압을 동일하게 한 것을 특징으로 하는 서보 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 노즐 플래퍼 기구의 플래퍼는, 바이모르프형 압전 소자에 의해 작동되는 서보 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 노즐 플래퍼 기구의 플래퍼는, 적층형 압전 소자에 의해 작동되는 서보 밸브.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 노즐 플래퍼 기구의 플래퍼는, 토크 모터에 의해 작동되는 서보 밸브.