JP2010056371A - 樹脂封止型半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】樹脂封止型半導体装置の製造に当たり、樹脂パッケージ1の下端と、アウターリード2と、タイバー3に囲まれた部分に、必然的に形成される樹脂膜4を除去する工程を設けることなく、樹脂膜4に起因する塵埃の発生を撲滅する。このことにより製造工程の工数低減を図る。
【解決手段】本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法によれば、リードフレームに半導体チップをダイボンドする工程と、前記半導体チップと前記リードフレームを電気的に接続する工程と、前記半導体チップがダイボンドされた前記リードフレームを樹脂封止する工程と、樹脂パッケージ1の外部に露出したタイバー3を切断する工程とを有し、前記タイバー3の切断をアウターリード2の一部を含めて行う。
【選択図】図2
【解決手段】本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法によれば、リードフレームに半導体チップをダイボンドする工程と、前記半導体チップと前記リードフレームを電気的に接続する工程と、前記半導体チップがダイボンドされた前記リードフレームを樹脂封止する工程と、樹脂パッケージ1の外部に露出したタイバー3を切断する工程とを有し、前記タイバー3の切断をアウターリード2の一部を含めて行う。
【選択図】図2
Description
本発明は、樹脂封止型半導体装置並びにその製造方法に関するものである。
樹脂封止型半導体装置は、リードフレームを準備して、当該リードフレームに各種半導体チップや受動素子等をハンダやAgペースト等によりダイボンド等し、次に半導体素子等とリードフレームとの間をAlワイヤやAuワイヤでワイヤーボンディング等し電気的に接続し、次にアウターリード部分を除いて樹脂封止を行い、その後タイバーを切断し、必要に応じリードの曲げ等を行うことにより完成する。
このような樹脂封止型半導体装置の組み立て工程については、以下の非特許文献1に記載されている。
図解 最先端半導体パッケージ技術のすべて/半導体新技術研究会 編(2007年9月25日初版第1刷発行、株式会社 工業調査会)
図解 最先端半導体パッケージ技術のすべて/半導体新技術研究会 編(2007年9月25日初版第1刷発行、株式会社 工業調査会)
前述の樹脂封止型半導体装置の組み立て工程において、樹脂封止工程が終了した時点で、図7に示すように、樹脂パッケージ101と、アウターリード102と、タイバー103とで囲まれた部分に、樹脂封止の方法に起因して必然的に、不要な樹脂膜104が形成される。樹脂封止工程とは、図10に示されるように、上金型105と下金型106により、半導体チップ108等がダイボンド等により搭載され、半導体チップ108とボンディングワイヤー110で接続されたリードフレーム107を、高い圧力でクランプして、樹脂が漏れないようにして樹脂注入をおこなう工程である。
この場合、図7のアウターリード102間に形成されたタイバー103は、樹脂封止工程が終了するまで、リードフレーム107を支持するという役目を有すると共に、注入された樹脂が樹脂パッケージ101の外に漏れないよう保持する、ダムとしての役目、即ち、図10及び図11に示すような、ダムバー109としての機能を有している。従って注入された樹脂は、ダムバー109の外側にはもれることはないが、樹脂パッケージ101となる部分以外に、ダムバー109、すなわちタイバー103と、アウターリード102と、樹脂パッケージ101に囲まれた部分に、不要な樹脂膜104を形成する。
図8に示すように、次の工程でタイバー103を切断した場合、樹脂膜104の一部がアウターリード102間に広範囲で残る。この樹脂膜104を残したまま、その次の工程であるリード曲げ工程に送り、曲げ加工をおこなった場合、図9に示すように、タイバー103の切断残りのある近辺で、アウターリード102が曲げられることから、残存していた樹脂膜104が、破断され塵埃として散乱する。これを防ぐため樹脂封止工程終了後に、サンドブラスト、ウオタージェット、またはエアジェット等で、樹脂膜104を除去する工程が必要となり、組み立て工数が増大していた。
本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、リードフレームに半導体チップをダイボンドする工程と、前記半導体チップと前記リードフレームを電気的に接続する工程と、前記半導体チップがダイボンドされた前記リードフレームを樹脂パッケージで封止する工程と、前記樹脂パッケージの外部に露出したタイバーを切断する工程と、を有し、前記タイバーの切断がアウターリードの一部を含めて為されることを特徴とする。
また、本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、前記アウターリードの切断を、前記タイバーよりも前記樹脂パッケージ側で行うことを特徴とする。
更に、本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法は、前記アウターリードの幅を、前記タイバーの上部において当該タイバーの下部におけるより広く形成することを特徴とする。
また本発明の樹脂封止型半導体装置は、半導体チップをダイボンド及び電気的に接続したリードフレームと、前記リードフレームを封止した樹脂パッケージと、前記樹脂パッケージ内から引き出されたアウターリードと、を備え、前記アウターリードの一部が、当該アウターリード間に形成されたタイバーと共に切断されたことを特徴とする。
本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法によれば、樹脂封止工程後に、樹脂パッケージ1の下端と、タイバー3と、アウターリード2の間に形成された樹脂膜4を除去せずに、タイバー3を切断した場合にも、残存樹脂膜4が、次工程以降における樹脂封止型半導体装置の取り扱いにより、塵埃として飛散することはない。
本発明の実施形態について、以下に図面に従って説明する。
なお、本発明を理解する上で、樹脂パッケージ1から露出するアウターリード2部分と、タイバー3部分と、樹脂パッケージ1の下端との関係が解かれば充分なので、パッケージはSIP(Single In−line Package)タイプを取り上げ、その一部を図面として表示し説明を進める。
また、従来の問題点である、樹脂パッケージ1の下端と、アウターリード2と、タイバー3で囲まれた部分に形成される樹脂膜4に由来する問題点を、解決する手法を開示するものなので、図面については、従来の例で示した図7と、同一の図1を、スタートとして説明を進める。
また、従来の問題点である、樹脂パッケージ1の下端と、アウターリード2と、タイバー3で囲まれた部分に形成される樹脂膜4に由来する問題点を、解決する手法を開示するものなので、図面については、従来の例で示した図7と、同一の図1を、スタートとして説明を進める。
本発明の第1の実施形態について図1〜図3に基づいて説明する。
本発明においてリードフレームは、SIP,DIP,QFPに用いられるもので、当該リードフレームにはアイランドがあり、アイランドには半導体チップが固着される。また、其のインナーリード部の先端と半導体チップとは電気的に接続されている。一般には、其の電気的接続はAu線等のワイヤで行われるが導電プレートを使用しても良い。
本発明においてリードフレームは、SIP,DIP,QFPに用いられるもので、当該リードフレームにはアイランドがあり、アイランドには半導体チップが固着される。また、其のインナーリード部の先端と半導体チップとは電気的に接続されている。一般には、其の電気的接続はAu線等のワイヤで行われるが導電プレートを使用しても良い。
電気的接続が終了すると樹脂封止されるが樹脂パッケージの外側にはインナーリードと接続するアウターリード2が延在する。樹脂封止が終了した時点では、従来の図7と同様に、図1に示すように、樹脂パッケージ1と、アウターリード2と、タイバー3に囲まれた部分に、リードフレームの厚さと同じ程度の樹脂膜4が形成されている。この樹脂膜4をサンドブラスト等で除去することなく工程を進めた場合、この樹脂膜4が剥がれて塵埃源となり、歩留まりや信頼性上の問題を引き起こす場合がある。なお、図1に示すXは、樹脂パッケージ1の下端とタイバー3の上端の間の距離である。
そこで、本発明においては、従来の図8に示すような、切断されるタイバー103部分の幅がアウターリード102の間隔より狭いことによる、残存タイバー103の上部に連続して樹脂膜104が残るという弊害を取り除くために、タイバー3の切断を樹脂膜4を支えているアウターリード2の間隔より大きな幅で実施している。即ち、樹脂膜が残るアウターリード2とアウターリード2の間のスペース幅よりも広い幅で切断する。その結果、図1の1点鎖線で示す部分でタイバー3及びアウターリード2の一部が切断される。
アウターリード2の一部の切断は、樹脂パッケージ1の直下から行われる事が望ましいが、少なくとも、図2に示すように、樹脂パッケージ1の下端の下部で、樹脂パッケージ1の下端とタイバー3の上端との間の距離Xの2分の1以下の位置から、タイバー3下端の直下の部分までである事が好ましい。その結果、図2に示すように、アウターリード2に細いくびれ部5ができることから、後続工程であるリード曲げ工程において、図3に示すように、リードの曲げ加工を施した場合も、そのくびれ部5で曲がることから、その上部に残っている樹脂膜4に力がかかることが無く、残存した樹脂膜4が塵埃として飛散することはない。実験的には、アウターリード2のくびれ部5の開始位置が、樹脂パッケージ1の下端から、当該樹脂パッケージの下端とタイバー上端間の距離の3分の1以下の部分からであれば、残存樹脂膜4が剥離して塵埃源となることを完全に防止する事ができ、高品質の樹脂封止型半導体装置を製造する事ができる。
本発明の第2の実施形態について図4乃至図6に従い説明する。第1の実施形態の場合と同様、樹脂封止工程が終了した時点で図4に示すように、樹脂パッケージ1の下端と、アウターリード2と、タイバー3で囲まれた部分に樹脂膜4が形成される。第2の実施形態と第1の実施形態との相違点は、第2の実施形態においてはタイバー3の上部のアウターリード2の幅がタイバー3の下部のアウターリード2の幅より広くなっている点である。この場合のタイバー3の切断は、図4の1点鎖線で示す部分で行われる。即ちタイバー3の上部では樹脂膜4とアウターリード2の一部が切断されるが、タイバー3の一部は残り、タイバー3の下側のアウターリード2は切断されない。
切断後のアウターリード2等の状態が図5に示される。最上部に広いアウターリード2と樹脂膜4、中間部に最上部より狭いアウターリード2、1番下に所定の幅のアウターリード2が形成されている。かかる構成により、リード曲げ工程で図6に示すようにリード曲げ作業をした場合、残存するタイバー3部分の下部のアウターリード2部分で曲げることも可能となり、その場合、図3に示すより、更に、残存樹脂膜4が剥離する危険性を排除することが可能となる。
なお、本発明の実施形態においては、図面でSIPタイプのパッケージを取り上げて説明したが、それにこだわるものでなく、前述のDIP(Dual In―line Package)タイプ、QFP(Quad Flat Package)タイプ等のその他のパッケージについても、同一発明思想である限り、適用できることは言うまでもない。
1 樹脂パッケージ 2 アウターリード 3 タイバー 4 樹脂膜
5 アウターリードくびれ部 101 樹脂パッケージ 102 アウターリード
103 タイバー 104 樹脂膜 105 上金型 106 下金型
107 リードフレーム 108 半導体チップ 109 ダムバー(タイバー)
110 ボンディングワイヤー
5 アウターリードくびれ部 101 樹脂パッケージ 102 アウターリード
103 タイバー 104 樹脂膜 105 上金型 106 下金型
107 リードフレーム 108 半導体チップ 109 ダムバー(タイバー)
110 ボンディングワイヤー
Claims (6)
- リードフレームに半導体チップをダイボンドする工程と、
前記半導体チップと前記リードフレームを電気的に接続する工程と、
前記半導体チップがダイボンドされた前記リードフレームを樹脂パッケージにより封止する工程と、
前記樹脂パッケージの外部に露出したアウターリード間に形成されたタイバーを切断する工程と、を有し、
前記タイバーの切断が前記アウターリードの一部を含めて為されることを特徴とする樹脂封止型半導体装置の製造方法。 - 前記アウターリードの切断を、前記タイバーよりも前記樹脂パッケージ側で行うことを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 前記タイバーの上部における前記アウターリードの幅が、前記タイバーの下部における前記アウターリードの幅よりも広いことを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂封止型半導体装置の製造方法。
- 半導体チップがダイボンドされ、当該半導体チップが電気的に接続されたリードフレームと、
前記リードフレームを封止した樹脂パッケージと、
前記樹脂パッケージ内から引き出されたアウターリードと、を備え、
前記アウターリードの一部が、当該アウターリード間に形成されたタイバーと共に切断されたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 - 前記アウターリードの切断が、前記タイバーよりも前記樹脂パッケージ側で行われたことを特徴とする請求項4に記載の樹脂封止型半導体装置。
- 前記タイバーの上部における前記アウターリードの一部が切断され、前記タイバーの下部における前記アウターリードの一部が切断されないことを特徴とする請求項4に記載の樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008220978A JP2010056371A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 樹脂封止型半導体装置とその製造方法 |
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JP2008220978A Pending JP2010056371A (ja) | 2008-08-29 | 2008-08-29 | 樹脂封止型半導体装置とその製造方法 |
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JP (1) | JP2010056371A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102420149A (zh) * | 2010-09-24 | 2012-04-18 | 新电元工业株式会社 | 树脂密封型半导体装置的制造方法、树脂密封型半导体装置及该半导体装置用的引线框架 |
WO2023274520A1 (en) * | 2021-06-30 | 2023-01-05 | Ams-Osram International Gmbh | Lead frame sheet and optoelectronic semiconductor device |
-
2008
- 2008-08-29 JP JP2008220978A patent/JP2010056371A/ja active Pending
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