JP2010054380A - X線検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 109
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 112
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 18
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 18
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 claims description 45
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims description 35
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 13
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 10
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 abstract description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 9
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 9
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
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- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
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Abstract
【解決手段】X線検査装置1は、複数の物品100に関する検査によってX線検出部5で取得された、X線の強度に関する複数の検出データS1を蓄積する蓄積手段22と、所定の基準値として、複数の物品100に関する検査で用いられた実基準値とは異なる仮想基準値を設定する設定手段24と、仮想基準値と、蓄積手段22に蓄積されている各検出データS1との比較結果に基づいて、各物品100内への異物の混入の有無を判定する判定手段25と、複数の物品100の総数における、判定手段25によって異物が混入されていると判定された物品100の個数の割合として、仮想異物混入率を算出する算出手段26と、仮想異物混入率を表示部9に表示させる表示制御手段27とを備える。
【選択図】図3
Description
第1の変形例に係るX線検査装置1は、複数の検出アルゴリズムを用いて、各検出アルゴリズムごとに異物の検出処理を実行可能である。
図10は、経時劣化によってX線照射部4から照射されるX線の強度が低下した状況を示す図である。破線で示す強度分布K1は、初期状態におけるX線照射部4から照射されたX線に基づく強度分布であり、実線で示す強度分布K1は、経時劣化したX線照射部4から照射されたX線に基づく強度分布である。図10に示すように、経時劣化によってX線照射部4から照射されるX線の強度が低下すると、X線検出部5によって検出される透過X線の強度も全体的に低下する。その結果、物品100に異物が混入されていない場合であっても、強度分布K1の一部がしきい値H2未満となるため、異物として誤検出されてしまう。
4 X線照射部
5 X線検出部
9 表示部
10 コンピュータ
22 蓄積手段
23 プログラム
24 設定手段
25 判定手段
26 算出手段
27 表示制御手段
100 物品
Claims (8)
- X線照射部から物品にX線を照射し、物品を透過したX線をX線検出部によって検出し、前記X線検出部で検出されたX線の強度と所定の基準値との比較結果に基づいて物品の良/不良を判定する、X線検査装置であって、
複数の物品に関する検査によって前記X線検出部で取得された、X線の強度に関する複数の検出データを蓄積する蓄積手段と、
前記所定の基準値として、前記複数の物品に関する検査で用いられた実基準値とは異なる仮想基準値を設定する設定手段と、
前記仮想基準値と、前記蓄積手段に蓄積されている各検出データとの比較結果に基づいて、各物品内への異物の混入の有無を判定する判定手段と、
前記複数の物品の総数における、前記判定手段によって異物が混入されていると判定された物品の個数の割合として、仮想異物混入率を算出する算出手段と、
前記仮想異物混入率を表示部に表示させる表示制御手段と
を備える、X線検査装置。 - 前記複数の物品は、実稼働されている製造ラインにおいて前記X線検査装置によって検査された物品である、請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記表示部には、前記実基準値に基づいて算出された実異物混入率と、前記仮想異物混入率とが、併せて表示される、請求項1又は2に記載のX線検査装置。
- 前記X線検査装置は、複数の検出アルゴリズムを用いて、各検出アルゴリズムごとに異物の検出が可能であり、
前記設定手段は、各検出アルゴリズムごとに前記仮想基準値を設定可能であり、
前記判定手段は、各検出アルゴリズムごとに異物の混入の有無を判定し、
前記算出手段は、各検出アルゴリズムごとに前記仮想異物混入率を算出し、
前記表示部には、各検出アルゴリズムごとの前記仮想異物混入率が表示される、請求項1〜3のいずれか一つに記載のX線検査装置。 - 前記X線検査装置は、各検出アルゴリズムごとの異物の混入の有無の判定結果に基づいて、物品の良/不良を判定し、
前記表示部には、各検出アルゴリズムごとの前記仮想異物混入率と、物品の不良率とが、併せて表示される、請求項4に記載のX線検査装置。 - 前記設定手段は、前記表示部上で前記仮想基準値を設定可能であり、
前記表示部には、前記仮想基準値の設定が許容される限界値が表示される、請求項1〜5のいずれか一つに記載のX線検査装置。 - 前記表示部には、前記X線照射部から照射されたX線の強度が表示される、請求項1〜6のいずれか一つに記載のX線検査装置。
- X線照射部から物品にX線を照射し、物品を透過したX線をX線検出部によって検出し、前記X線検出部で検出されたX線の強度と所定の基準値との比較結果に基づいて物品の良/不良を判定するX線検査装置に、内蔵又は外部接続されるコンピュータを、
複数の物品に関する検査によって前記X線検査部で取得された、X線の強度に関する複数の検出データを蓄積する蓄積手段と、
前記所定の基準値として、前記複数の物品に関する検査で用いられた実基準値とは異なる仮想基準値を設定する設定手段と、
前記仮想基準値と、前記蓄積手段に蓄積されている各検出データとの比較結果に基づいて、各物品内への異物の混入の有無を判定する判定手段と、
前記複数の物品の総数における、前記判定手段によって異物が混入されていると判定された物品の個数の割合として、仮想異物混入率を算出する算出手段と、
前記仮想異物混入率を表示部に表示させる表示制御手段と
として機能させるプログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008220434A JP5156546B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | X線検査装置 |
EP09168529.7A EP2159570B1 (en) | 2008-08-28 | 2009-08-24 | X-ray inspection apparatus |
CN2009101685931A CN101661007B (zh) | 2008-08-28 | 2009-08-25 | X射线检查装置 |
US12/548,496 US8155894B2 (en) | 2008-08-28 | 2009-08-27 | X-ray inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008220434A JP5156546B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | X線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010054380A true JP2010054380A (ja) | 2010-03-11 |
JP5156546B2 JP5156546B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=41426277
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008220434A Active JP5156546B2 (ja) | 2008-08-28 | 2008-08-28 | X線検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8155894B2 (ja) |
EP (1) | EP2159570B1 (ja) |
JP (1) | JP5156546B2 (ja) |
CN (1) | CN101661007B (ja) |
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- 2008-08-28 JP JP2008220434A patent/JP5156546B2/ja active Active
-
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- 2009-08-24 EP EP09168529.7A patent/EP2159570B1/en active Active
- 2009-08-25 CN CN2009101685931A patent/CN101661007B/zh active Active
- 2009-08-27 US US12/548,496 patent/US8155894B2/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
EP2159570A2 (en) | 2010-03-03 |
US8155894B2 (en) | 2012-04-10 |
CN101661007A (zh) | 2010-03-03 |
EP2159570A3 (en) | 2012-01-04 |
EP2159570B1 (en) | 2018-10-17 |
CN101661007B (zh) | 2012-07-18 |
JP5156546B2 (ja) | 2013-03-06 |
US20100057380A1 (en) | 2010-03-04 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110330 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20110624 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120517 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121210 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151214 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5156546 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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