JP2010050469A - 電流検出用抵抗器の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属製抵抗体材料からなり、表面および裏面を有する金属板11を準備する工程と、前記金属板の裏面に、帯状にレジストまたはマスクを形成する工程と、前記レジストまたはマスクが形成された前記金属板の裏面にメッキ処理により帯状の接続用電極5を形成する工程と、前記金属板から、金属製抵抗体と一対の接続用電極を備えたチップ状の電流検出用抵抗器を得る工程と、を備えた。
【選択図】図3
Description
即ち、先ず、シート状の放熱用の銅板42とアルミナ板43と金属製低抵抗体41とをこの順に積層し、3層の多数個取り用の積層体を形成する。
次いで、銅板2上にレジストを被着し、パターニングを行って切断予定部にレジストパターンを形成した後、切断予定部以外に金メッキを施し、その後前記レジストパターンを剥離して、切断予定部によって区切られた金メッキ層44がマトリックス状に配置される。
次いで、金属製低抵抗体41の表面にレジストを被着し、パターニングを行って一対の電極パッド予定部に開口したレジストパターンを形成する。そして、該開口部にニッケルメッキを施し、その後前記レジストパターンを剥離する。これにより、一対の電極パッド45をマトリックス状に形成する。
次いで、同様にして裏面側の銅板42上に切断予定部以外の部分にレジストパターンを形成した後、エッチングを行って切断予定部の銅板42を除去する。その後、前記レジストパターンを剥離して、シート状の多数個取りの基板から個々の抵抗器に分割するための切断溝を形成する。
次いで、レーザー等により各金属製低抵抗体41のトリミング調整を行う。次いで、前記切断溝に沿って切断し、個々のチップ状の低抵抗器を得る。
図1及び図2に示すように、本実施の形態に係る電流測定用低抵抗器1は、マンガニン板、銅−ニッケル板或いはニッケル−クロム板等からなる厚さ1〜2mm程度の長方形板状の金属製抵抗体2の裏面中央部が切削されて、図示するような凹溝(凹部)3が形成されている。金属製抵抗体2の表面両端部(肉厚部)の中央部には、銅メッキが施され、さらにニッケルメッキが施されて一対のボンディング用電極パッド4,4が形成されている。また、金属製抵抗体2の裏面の凹溝3を挟んだ両端部(肉厚部)には、ニッケルメッキさらに半田メッキが順次施されてプリント基板等への一対の接続用電極5,5が形成されている。
先ず、マンガニン板、銅−ニッケル板、或いはニッケル−クロム板等からなる例えば10cm角の厚さ1〜2mm程度のシート状の金属板(金属製抵抗体材料)11を準備する。次いで、図3(a)に示すように、この金属板11の裏面に、接続用電極5,5を帯状に形成する。これは、接続用電極5,5予定部以外の部分にレジストパターン12を形成し、その開口部にニッケルメッキ、半田メッキを電解メッキによるメッキ処理で連続して行うことによる。
次いで、レジストパターン12を剥離する。
次いで、図3(b)に示すように、一対の電極5,5間を機械加工あるいはレーザー加工等により約半分程度の厚さになるように切削して、凹溝3を形成する。
次いで、レジストパターン13を剥離する。
次いで、縦方向及び横方向に切断線14に沿って切断して、個々のチップ状の低抵抗器1が得られる。次いで、レーザー等により切り込みを入れてトリミング調整を行う。次いで、測定検査した後、自動テーピング装置により順次テーピングする。
この電流測定用低抵抗器21は、一対のボンディング用電極パッド24,24が金属製抵抗体2の表面両端部全面に形成されている点、及び一対の接続用電極25,25が銅メッキ、ニッケルメッキ、さらに半田メッキが電解メッキによるメッキ処理を施されて形成されている点で、上記電流測定用低抵抗器1と異なるが、他の構成は同一である。
先ず、図6(a)に示すように、マンガニン板、銅−ニッケル板或いはニッケル−クロム板等からなる厚さ1〜2mm程度の帯状の金属板(金属製抵抗体材料)31の表裏面に長手方向に沿って両側端部を除いて、それぞれ例えば有機系の耐酸性テープ等のメッキ用フィルムマスク32a、32bを貼付する。
次いで、図6(b)に示すように、金属板31の表裏面のフィルムマスク32a、32b以外の部分にそれぞれ、銅メッキ、さらにニッケルメッキを電解メッキによるメッキ処理で施し、銅メッキ層及びニッケルメッキ層からなる一対の電極パッド24,24及び一対の電極25,25を金属板31の両側端部に連続して帯状に形成する。
次いで、図6(c)及び図6(d)示すように、前記フィルムマスク32a,32bを剥離する。
次いで、図6(e)における一点鎖線で示すように切断して個々のチップ状の低抵抗器1にした後、図6(g)に示すように、低抵抗器1にレーザー等により切り込みKを入れてトリミング調整を行う。
次いで、測定検査した後、自動テーピング装置により順次テーピングする。
2 金属製抵抗体
3 凹溝(凹部)
4,24 電極パッド
5,25 接続用電極
11,31 金属板(金属製抵抗体材料)
12,13 レジストパターン
32 メッキ用フィルムマスク
Claims (7)
- 金属製抵抗体材料からなり、表面および裏面を有する金属板を準備する工程と、
前記金属板の裏面に、帯状にレジストまたはマスクを形成する工程と、
前記レジストまたはマスクが形成された前記金属板の裏面にメッキ処理により帯状の接続用電極を形成する工程と、
前記金属板から、金属製抵抗体と一対の接続用電極を備えたチップ状の電流検出用抵抗器を得る工程と、を備えたことを特徴とする電流検出用抵抗器の製造方法。 - 前記メッキ処理は、電解メッキであることを特徴とする請求項1に記載の電流検出用抵抗器の製造方法。
- 前記接続用電極は、複数の金属層からなることを特徴とする請求項1に記載の電流検出用抵抗器の製造方法。
- 前記金属板はシート状であり、
前記レジストまたはマスクは所定の間隔をあけて複数形成されることを特徴とする請求項1に記載の電流検出用抵抗器の製造方法。 - 前記金属板により、マトリックス状に電流検出用抵抗器を製造することを特徴とする請求項4に記載の電流検出用抵抗器の製造方法。
- 前記金属板の表面に、レジストまたはマスクを形成する工程と、
前記レジストまたはマスクが形成された前記金属板の表面にメッキ処理により、マトリックス状または帯状の電極パッドを形成する工程と、を備えたことを特徴とする請求項1に記載の電流検出用抵抗器の製造方法。 - 前記金属板は、帯状であることを特徴とする請求項1に記載の電流検出用抵抗器の製造方法。
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