JP2010048437A - 熱間等方圧加圧装置 - Google Patents

Abstract

【課題】予熱発熱体のコンパクト化やＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金製のヒータの使用を可能として装置の小型化や低価格化を実現できる熱間等方圧加圧装置を提供する。
【解決手段】被処理物Ｗが収容されると共に酸化性ガスを注入可能とされた高圧容器２と、高圧容器２内に配備されると共に内部に被処理物Ｗの処理室４を包含する断熱構造体３と、被処理物Ｗを取り囲むように配設される処理室４を構成すると共に使用温度領域に予熱されることで発熱が可能になる発熱体５と、発熱体５を使用温度領域まで加熱する予熱発熱体６と、を備えており、高圧容器２内には、予熱発熱体６で加熱された酸化性ガスを処理室下部領域１７を経由して予熱発熱体６に戻す循環路１５と、循環路１５に沿って酸化性ガスを強制循環させる強制循環手段１６と、が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、酸化雰囲気で被処理物の熱間等方圧加圧処理を行う熱間等方圧加圧装置に関するものである。

熱間等方圧加圧装置（以下、ＨＩＰ装置と呼ぶ）は、高温高圧ガス雰囲気下で金属やセラミックス材料を高密度に焼成したり拡散接合したりする装置であって、粉末材料の高密度焼結又は拡散接合、あるいは鋳造品のガス気孔や巣等の欠陥除去に広く使用されている。このＨＩＰ装置には圧媒ガスとして様々なガスが用いられるが、その中でも酸化性ガスを用いる場合には容器内が強い酸化雰囲気にさらされる。特に、発熱体がモリブデンやグラファイトなどの酸化を受けやすい材料で形成されていると、発熱体が酸化を受けて破損してしまう虞がある。それゆえ、酸化雰囲気で熱間等方圧加圧処理を行うＨＩＰ装置には、Ｐｔ−Ｒｈ合金、セラミックスなどの耐酸化性材料で形成された発熱体が用いられている。特に、１５００℃以上で使用される場合には、発熱体の耐熱性の観点から、セラミックスが用いられている。

例えば、特許文献１には、ＺｒＯ₂系セラミックスで形成された発熱体を備えるＨＩＰ装置が開示されている。ＺｒＯ₂系セラミックスは、温度が高くなると体積固有抵抗が低下する性質を備えている。それゆえ、このＺｒＯ₂系セラミックスを加熱すると電気抵抗が低下し、１２００℃程度から通電が可能となり、ヒータとして用いることができる。しかし、このＺｒＯ₂系セラミックスは、加熱されるまでは電気抵抗が大きく、ヒータとして利用することができない。そこで、特許文献１のＨＩＰ装置では、ＺｒＯ₂系セラミックスの発熱体に加えて、この発熱体を１２００℃以上の使用温度領域まで加熱するＰｔ−Ｒｈ合金製の予熱発熱体が設けられている。
特開平０２−１２６０９３号公報

ところで、特許文献１のＨＩＰ装置では、予熱発熱体で加熱された酸化性ガスを自然対流でＺｒＯ₂系セラミックスの発熱体に導いて、発熱体を使用温度領域まで加熱する構成となっている。しかし、自然対流のみで伝熱する機構では伝熱効率が悪く、発熱体を使用温度領域まで短時間で加熱するためには、予熱発熱体の温度を発熱体の使用下限温度より大幅に高くする必要があり、ＺｒＯ₂系セラミックスに必要な予熱温度である１２００℃に対して、例えば１４００℃以上の耐熱性を持つ材料が予熱発熱体として使用される。そのため特許文献１では予熱発熱体にＰｔ−Ｒｈ合金製のヒータを用いている。

しかし、貴金属を原料とするＰｔ−Ｒｈ合金は高価であり、装置が大型になるとＨＩＰ装置の製造コストも非常に高くなるという問題がある。
予熱発熱体を小型化することは製造コストを下げる有効な手段ではあるが、酸化性ガスの自然対流で発熱体を加熱する機構では予熱発熱体を小さくし過ぎると、予熱発熱体の発熱量が小さくなって効率的な予熱が行えなくなる虞がある。また、Ｐｔ−Ｒｈ合金製に代えて安価なＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金製やＰｔ製のヒータを用いるコストダウン手段についても、Ｐｔ−Ｒｈ合金より耐熱性に劣るＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金では１４００℃以上の温度に耐えることができず、またＰｔでは寿命が短い。

さらに、発熱体をＺｒＯ₂系セラミックスとした場合には、特許文献１に記載の通りリード部材が発熱体と接続する部分の発熱体の温度低下を防ぐため、発熱体の下部側と予熱発熱体の上部側とを高さ方向で重なり代を設けることが一般的に採用されるが、重なり部分の予熱発熱体は発熱体により加熱されることになり、特に発熱体の使用温度が高い場合には予熱発熱体の重なり部分が高温になり、消耗が激しくなるという問題がある。
本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、予熱発熱体のコンパクト化や寿命向上、Ｆｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金製のヒータ等の使用が可能となり、装置の小型化や安定操業、低価格化が可能となる熱間等方圧加圧装置を提供することを目的とする。

前記目的を達成するため、本発明は次の技術的手段を講じている。
即ち、本発明の熱間等方圧加圧装置は、被処理物が収容されると共に酸化性ガスを注入可能とされた高圧容器と、該高圧容器内に配備されると共に内部に前記被処理物の処理室を包含する断熱構造体と、前記被処理物を取り囲むように配設されて前記処理室を構成すると共に使用温度領域に予熱されることで発熱が可能になる発熱体と、前記発熱体を使用温度領域まで加熱する予熱発熱体と、を備えた熱間等方圧加圧装置において、
前記高圧容器内には、前記予熱発熱体で加熱された酸化性ガスを前記処理室の下方に形成される領域である処理室下部領域を経由して予熱発熱体に戻す循環路と、該循環路に沿って酸化性ガスを強制循環させる強制循環手段と、が設けられていることを特徴とするものである。

また、前記発熱体と予熱発熱体とは上下方向に離間して配置されてなるのが好ましく、その際には前記循環路は前記発熱体と予熱発熱体とが離間している部分を通るように形成されているのが好ましい。
さらに、前記発熱体はＺｒＯ₂系セラミックスを用いて前記被処理物を取り囲むように形成されると共に、前記処理室下部領域で耐酸化性金属からなるリード部材と電気的に接続され、この発熱体とリード部材との接続部近傍の温度を前記予熱発熱体にて制御可能に構成されているのが好ましい。

さらにまた、前記発熱体は、ＺｒＯ₂系セラミックスを用いて前記被処理物を取り囲むように形成されており、前記予熱発熱体は前記発熱体を１２００℃以上の使用温度領域まで加熱可能なＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金またはＰｔで形成されているのが好ましい。

本発明の熱間等方圧加圧装置によれば、予熱発熱体のコンパクト化やＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金製のヒータ等の使用が可能となり、装置の小型化や安定操業、低価格化が可能となる。

以下、本発明の熱間等方圧加圧装置（ＨＩＰ装置１）の実施形態を、図面に基づき詳しく説明する。
図１は、第１実施形態のＨＩＰ装置１を示している。ＨＩＰ装置１は内部が空洞の高圧容器２を備えており、この高圧容器２の内部には被処理物Ｗが収容されると共に酸化性ガスが注入可能となっている。また、高圧容器２の内部には断熱構造体３が収容されており、この断熱構造体３の内部には被処理物Ｗを取り囲むように発熱体５が配設されており、処理室４を形成している。そして、発熱体５の下方には発熱体５を使用温度領域まで加熱する予熱発熱体６が設けられている。

高圧容器２は、上側と下側とに開口部を備えた略円筒状の容器本体７と、容器本体７の上開口部に着脱自在に嵌合する上蓋８と、容器本体７の下開口部に着脱自在に嵌合する下蓋９とを備え、上蓋８と下蓋９とを容器本体７に対して嵌合させることで高圧容器２の内部に密閉空間が形成可能となっている。高圧容器２の内部には、図示しない配管を経由して高圧の酸化性ガスが注入可能となっている。
断熱構造体３は、高圧容器２の下蓋９に設けられた支持架台１０の上に支持されており、下側に向かって開口した蓋付き円筒状に形成される上断熱体１１と、この上断熱体１１の下側の開口を塞ぐように設けられる下断熱体１２とを有している。

なお、図示はしないものの、上断熱体１１は、断熱構造体３の内部（処理室４）を外部から熱的に遮断できるように、複数の蓋付き円筒体と断熱材とを互いに入れ子状に且つ多層状に組み合わせて形成されている。これらの蓋付き円筒体と断熱材とは耐熱温度を考慮して複数組み合わせて構成され、蓋付き円筒体には例えばＺｒＯ₂、Ａｌ₂Ｏ₃などのセラミックスやステンレス鋼、インコネルなどの合金が、断熱材には例えばＺｒＯ₂フェルトやＡｌ₂Ｏ₃／ＳｉＯ₂セラミックスファイバなどが用いられる。
処理室４は、発熱体５によって周囲を囲まれた空間であり、収容された被処理物Ｗに熱間等方圧加圧処理が行えるようになっている。載置台１３は、高圧容器２の下蓋９に対して下断熱体１２及び後述する整流手段１４を介して固定されており、その上面に被処理物Ｗを載置できるようになっている。また、載置台１３は処理ガス（酸化性ガス）の流れを考慮して、多孔体とすることもできる。発熱体５は、載置台１３の周りに被処理物Ｗを取り囲むように設けられており、被処理物Ｗをムラなく加熱できるようになっている。処理室４の下側には、発熱体５を使用温度領域まで加熱してその通電と発熱とを可能にする予熱発熱体６が、発熱体５から下方に離れて設けられている。

発熱体５は、体積固有抵抗の温度係数が負の金属酸化物で形成されており、被処理物Ｗを取り囲むことができるように略円筒状に形成されている。発熱体５に用いることのできる金属酸化物にはＺｒＯ₂、ＴｈＯ₂などの金属酸化物を用いることができ、より好ましくは耐衝撃性に優れるＹ₂Ｏ₃で安定化されたＺｒＯ₂を用いるのが良い。これらの金属酸化物は、常温では不導体として振る舞うが、一定の温度以上に加熱すると導体となり、通電と発熱とが可能となってヒータとして機能する。この発熱体５の通電と発熱とが可能となる温度領域が使用温度領域であり、上述のＺｒＯ₂を用いたヒータの場合には使用温度領域は１２００℃以上とされている。

さらに、発熱体５は、処理室下部領域１７で耐酸化性金属からなるリード部材（図示せず）と電気的に接続され、下蓋９を通して高圧容器２外部に設置される電源装置（図示せず）に繋がる。ここで、使用し得る耐酸化性金属としては、ＰｔまたはＰｔ−Ｒｈ合金が例示される。以降では、発熱体５がＺｒＯ₂を用いたヒータである場合を例示して説明する。
予熱発熱体は、例えば３つの円筒ヒータを同心状に重ね合わせたものである。予熱発熱体６は、発熱体５の下方に発熱体５とオーバーラップすることなく発熱体５と離れて設けられており、処理室４の酸化性ガスを加熱して発熱体５を使用温度領域（１２００℃以上）に加熱可能となっている。予熱発熱体６には、例えば耐酸化性を備えた金属であるＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金やＰｔ−Ｒｈ合金等のヒータを用いることができる。また、これらの合金の中でも特に好ましくは原材料価格が安価なＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金やＰｔを用いるのが好ましい。

ところで、本発明のように圧媒ガスに酸化性ガスが用いられているＨＩＰ装置１では、発熱体５に耐酸化性ヒータを用いる必要がある。耐酸化性ヒータとしては上述のようにＺｒＯ₂系セラミックスの発熱体５が適しているが、このＺｒＯ₂系セラミックスの発熱体５は予熱発熱体６で１２００℃以上の使用温度領域まで加熱しなければヒータとして使用できない。そこで、従来のＨＩＰ装置１は、予熱発熱体６を用いてＺｒＯ₂系セラミックスの発熱体５を自然対流だけで１２００℃以上に加熱する構成となっていた。
しかし、ＺｒＯ₂系セラミックスの発熱体５を自然対流だけで短時間に使用温度領域まで加熱するためには、予熱発熱体６を発熱体５の使用下限温度よりも大幅に高い例えば１４００℃以上になるまで加熱しなければならない。ところが、予熱発熱体６がＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金製であると、１４００℃以上の温度に耐えることができない。また、予熱発熱体６がＰｔ−Ｒｈ合金製の場合は、貴金属を原料とするのでヒータが高価になり、装置が大型になるとＨＩＰ装置１の製造コストも非常に高くなるという問題が生じる。特に、Ｒｈの原料価格は、Ｐｔの数倍の価格にまで上昇しており、価格面での大きな問題となっている。

そこで、本発明のＨＩＰ装置１では、予熱発熱体６で加熱された酸化性ガスを処理室下部領域１７を経由して予熱発熱体６に戻す循環路１５と、循環路１５に沿って酸化性ガスを強制循環させる強制循環手段１６とを高圧容器２内に設けている。このようにすれば、循環路１５に沿って酸化性ガスが強制循環され、予熱発熱体６による発熱体５の加熱の効率が良くなり、予熱発熱体６を小さくしても発熱体５を効率的に加熱でき、装置の小型化や低価格化が可能となるからである。
以下、循環路１５と強制循環手段１６とについて、詳しく説明する。

図１に示されるように、循環路１５は、予熱発熱体６と処理室下部領域１７との間で酸化性ガスを循環させる経路であり、予熱発熱体６の周囲に設けられた整流手段１４により形成されている。
整流手段１４は、高圧容器２の下蓋９に固定された支持架台１０に下断熱体１２を通して支持されており、この下断熱体１２の上方に断熱構造体３の内周面から距離をあけて設けられ、断熱構造体３の下側の内周面に合わせて有底円筒状に形成されている。整流手段１４の側壁は、その外径が発熱体５の外径と略等しくなるように形成されており、発熱体５から下方に離れて発熱体５と上下に並ぶように配備されている。整流手段１４の底側には、整流手段１４の上下を結ぶ貫通孔１９が形成されており、整流手段１４の外側の導出路２８を通って下方に集められた酸化性ガスを整流手段１４の内側に導けるようになっている。

強制循環手段１６は、酸化性ガスを上方に向けて送るファン２０と、このファン２０を回転駆動する駆動モータ２１とを備えている。強制循環手段１６は、整流手段１４の貫通孔１９の下方に設けられており、導出路２８を経由して下降してきた酸化性ガスをファン２０を用いて整流手段１４の内側（予熱発熱体６側）に送っている。
ファン２０は、耐熱性の材料で形成されており、駆動軸を回転させることで酸化性ガスに上昇方向の流れを生起できるように構成されている。駆動モータ２１は、下断熱体１２の下方に設けられており、下断熱体１２を上下に貫通する駆動軸に回転駆動力を付与している。

次に、循環路１５を流れる酸化性ガスの流れを説明する。
まず、駆動モータ２１を用いて強制循環手段１６のファン２０を回転駆動させると、ファン２０の回転により酸化性ガスが貫通孔１９の下側から上側に向けて強制的に送られ、整流手段１４の内側に入る。整流手段１４の内側に入った酸化性ガスは、予熱発熱体６で１２００℃以上に加熱される。加熱された酸化性ガスは、予熱発熱体６の上方に導かれ、処理室下部領域１７に達する。そして、加熱され強制的に循環された酸化性ガスにより処理室外周領域１８の酸化性ガスが１２００℃以上に加熱され、発熱体５がヒータとして使用可能となる。

そして、加熱後の酸化性ガスは整流手段１４の外周部の導出路２８を下降し、整流手段１４の貫通孔１９から再び予熱発熱体６に導かれる。
また、予熱発熱体６の上方に導かれた酸化性ガスの一部は、処理室下部領域１７から直接処理室外周領域１８に導かれ、発熱体５の速やかな温度上昇に寄与する。さらに、載置台１３を多孔体としている場合には、酸化性ガスの一部が載置台１３の孔部を通過して処理室４に流れ込むため、より効果的に発熱体５の加熱がなされる。
このように酸化性ガスを強制循環手段１６を用いて循環路１５の酸化性ガスを強制循環させることで、予熱発熱体６で加熱された酸化性ガスにより発熱体５を効率的に加熱することができ、発熱体５を予熱発熱体６を用いて短時間で加熱することが可能となる。それゆえ、予熱発熱体６をコンパクト化してその発熱面積を小さくしても、発熱体５を十分に加熱することができ、ＨＩＰ装置１の小型化が可能となる。

また、本発明のＨＩＰ装置１では、酸化性ガスが循環路１５を強制的に循環するので予熱発熱体６から酸化性ガスへの伝熱が強制対流により効率的に行われ、自然対流の場合のように予熱発熱体６が加熱されすぎることがなく、予熱発熱体６に耐熱性が優れたＰｔ−Ｒｈ合金製のヒータを用いる必要もない。それゆえ、予熱発熱体６としてより安価なＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金製やＰｔ製のヒータを用いることができ、ＨＩＰ装置１の低コスト化が可能となる。
さらに、本発明のＨＩＰ装置１では、発熱体５と予熱発熱体６は高さ方向の重なり代を設けることなく、上下に離れて設置されている。発熱体５は処理室下部領域１７で耐酸化性金属からなるリード部材と接続され、この発熱体５とリード部材との接続部は通電中１２００〜１４００℃程度の温度域に保つことが好ましい。そこで、本発明では、予熱発熱体６で加熱された酸化性ガスを強制循環手段１６により処理室下部領域１７へ導くことで、発熱体５と予熱発熱体６に高さ方向の重なり代を設けることなく接続部の温度を適度な値に保っている。このように発熱体５と予熱発熱体６との高さ方向の重なり代をなくすことができれば、重なり代を設けた場合に発生する発熱体５による予熱発熱体６の局所的な加熱をなくすことができ、予熱発熱体６の長寿命化が達成される。また、予熱発熱体６をより安価な材料であるＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金やＰｔとすることにより低コスト化も可能となる。
［第２実施形態］
図２に示すように、第２実施形態のＨＩＰ装置１が第１実施形態と異なっている点は、予熱発熱体６が第１実施形態より小さく形成されており、この予熱発熱体６に合わせて整流手段１４の外形も小さくなっている点が挙げられる。そして、第２実施形態では、整流手段１４の外側に略円筒状の内側断熱層２２を設けており、予熱発熱体６の断熱性を向上させている。

すなわち、第２実施形態のＨＩＰ装置１では、整流手段１４の周壁の上端が載置台１３の下側に繋がっており、略円筒状の整流手段１４で載置台１３を下方から支持する構造となっている。この整流手段１４の周壁の外側に内側断熱層２２が設けられており、整流手段１４の周壁と内側断熱層２２とで予熱発熱体６が外周側から包み込むように覆われている。整流手段１４の上側には、予熱発熱体６で加熱された酸化性ガスを内側から外側に向けて送り出す通風口が周方向に複数設けられており、予熱発熱体６からこの通風口を経由して処理室下部領域１７を通る循環路１５が形成されている。

それゆえ、第２実施形態のＨＩＰ装置１では、整流手段１４と内側断熱層２２とで断熱的に隔離された空間が新たに形成され、この空間にある酸化性ガスが予熱発熱体６で効率的に加熱される。そして、予熱発熱体６で効率良く加熱された酸化性ガスは通風口から処理室下部領域１７に達し、発熱体５も効率良く予熱される。
このようにすれば、予熱発熱体６を第１実施形態より小型化できるので、例えば予熱発熱体６にＰｔ−Ｒｈ合金のような高価な金属を用いた場合には、装置の製造コストを第１実施形態よりさらに低減できる。

なお、第２実施形態における上記以外の構成は第１実施形態と同様である。よって、上記以外の構成については説明を省略する。
［第３実施形態］
図３に示すように、第３実施形態のＨＩＰ装置１が第１実施形態と異なっている点は、予熱発熱体６が略円板状に配置されており、その設置方向が水平方向に沿っている点である。そして、循環ガス（酸化性ガス）をこの予熱発熱体６の空隙２３を通過させて自由に流すことができる。

すなわち、第３実施形態の予熱発熱体６は、図３右下の表面拡大図で示すように棒状のヒータを平面視で波状に折り曲げて略円板状に形成されており、ヒータの間に空隙２３が複数形成されたものである。この予熱発熱体６の空隙２３は上下に貫通状に形成されており、酸化性ガスの流通が可能となっている。それゆえ、ＨＩＰ装置１では、強制循環手段１６から送られてきた酸化性ガスが予熱発熱体６の空隙２３を下から上に向かって通り抜ける際に酸化性ガスの加熱が効率的に行われ、予熱発熱体６の高さ方向の寸法を第１実施形態より小さくすることができ、ＨＩＰ装置１のコンパクト化、低コスト化が可能となる。

なお、第３実施形態における上記以外の構成は第１実施形態と同様である。よって、上記以外の構成については説明を省略する。
［第４実施形態］
図４に示すように、第４実施形態のＨＩＰ装置１が第１実施形態と異なっている点は、強制循環手段１６が駆動モータ２１により回転駆動されるファン２０に代えて、音響流発生手段２４とされている点である。
すなわち、第４実施形態のＨＩＰ装置１には、整流手段１４の貫通孔１９の下方に上方に向けて音響流を発生させるホーン状の音響流発生部２５と、音響流発生部２５を振動させる超音波振動子２６とが、設けられている。そして、高圧容器２の外側には超音波振動子２６を所定の出力及び周波数で振動させる制御部２７が設けられている。

それゆえ、制御部２７により超音波振動子２６を所定の出力及び周波数で振動させると、ホーン状の音響流発生部２５から上方に向けて酸化性ガスのガス流が発生し、循環路１５内において酸化性ガスを強制循環させることが可能となる。
なお、第４実施形態における上記以外の構成は第１実施形態と同様である。よって、上記以外の構成については説明を省略する。
本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、発明の本質を変更しない範囲で各部材の形状、構造、材質、組み合わせなどを適宜変更可能である。

上記実施形態では、発熱体５と予熱発熱体６とが上下に離れて設けられたものを例示した。しかし、発熱体５と予熱発熱体６とは、発熱体５が高温になったときに発熱体５の高温から予熱発熱体６を保護できる構造であればどのような構造でも採用することができる。例えば、発熱体５と予熱発熱体６とが周方向（水平方向）に離れて設けられても良いし、発熱体５と予熱発熱体６との間に断熱層を設けても良い。

第１実施形態のＨＩＰ装置の正面断面図である。 第２実施形態のＨＩＰ装置の正面断面図である。 第３実施形態のＨＩＰ装置の正面断面図である。 第４実施形態のＨＩＰ装置の正面断面図である。

符号の説明

１ 熱間等方圧加圧装置（ＨＩＰ装置）
２ 高圧容器
３ 断熱構造体
４ 処理室
５ 発熱体
６ 予熱発熱体
７ 容器本体
８ 上蓋
９ 下蓋
１０ 支持架台
１１ 上断熱体
１２ 下断熱体
１３ 載置台
１４ 整流手段
１５ 循環路
１６ 強制循環手段
１７ 処理室下部領域
１８ 処理室外周領域
１９ 貫通孔
２０ ファン
２１ 駆動モータ
２２ 内側断熱層
２３ 挿通孔
２４ 音響流発生手段
２５ 音響流発生部
２６ 超音波振動子
２７ 制御部
２８ 導出路

Claims (4)

1. 被処理物が収容されると共に酸化性ガスを注入可能とされた高圧容器と、該高圧容器内に配備されると共に内部に前記被処理物の処理室を包含する断熱構造体と、前記被処理物を取り囲むように配設されて前記処理室を構成すると共に使用温度領域に予熱されることで発熱が可能になる発熱体と、前記発熱体を使用温度領域まで加熱する予熱発熱体と、を備えた熱間等方圧加圧装置において、
   前記高圧容器内には、前記予熱発熱体で加熱された酸化性ガスを前記処理室の下方に形成される領域である処理室下部領域を経由して予熱発熱体に戻す循環路と、該循環路に沿って酸化性ガスを強制循環させる強制循環手段と、が設けられていることを特徴とする熱間等方圧加圧装置。
2. 前記発熱体と予熱発熱体とは上下方向に離間して配置されてなり、
   前記循環路は、前記発熱体と予熱発熱体とが離間している部分を通るように形成されていることを特徴とする請求項１に記載の熱間等方圧加圧装置。
3. 前記発熱体は、ＺｒＯ₂系セラミックスを用いて前記被処理物を取り囲むように形成されると共に、前記処理室下部領域で耐酸化性金属からなるリード部材と電気的に接続され、この発熱体とリード部材との接続部近傍の温度を前記予熱発熱体にて制御可能に構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の熱間等方圧加圧装置。
4. 前記発熱体は、ＺｒＯ₂系セラミックスを用いて前記被処理物を取り囲むように形成されており、
   前記予熱発熱体は、前記発熱体を１２００℃以上の使用温度領域まで加熱可能なＦｅ−Ｃｒ−Ａｌ合金またはＰｔで形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の熱間等方圧加圧装置。

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