JP2007112699A - マイクロ波加圧焼結法およびその加圧焼結装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結法であって、マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された一対のサセプタのあいだに配置にされる被焼結物を加圧手段により加圧しながら、マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射する工程と、マイクロ波加熱されたサセプタからの伝熱および被焼結物の自己発熱により、該被焼結物を加圧焼結する工程とを含んでいる。
【選択図】図1
Description
また、本発明のマイクロ波加圧焼結方法は、被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結法であって、マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された円筒形状または多角形状のサセプタ内に配置にされる被焼結物をアクチュエータにより加圧しながら、マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射する工程と、マイクロ波加熱されたサセプタからの伝熱および被焼結物の自己発熱により、該被焼結物を加圧焼結する工程とを含むことを特徴としている。
さらに、本発明のマイクロ波加圧焼結装置は、被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結装置であって、マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された一対のサセプタ、該一対のサセプタのあいだに配置にされる被焼結物と該サセプタを囲む焼成型および該サセプタを介して前記被焼結物を加圧する加圧手段を具備する加圧焼結機構部と、マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射するマイクロ波発生装置とを備えてなることを特徴としている。
また、本発明のマイクロ波加圧焼結装置は、被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結装置であって、マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された円筒形状または多角形状のサセプタ内に配置にされる被焼結物と該サセプタを囲む焼成型および該サセプタを通して前記被焼結物を加圧するアクチュエータを具備する加圧焼結機構部と、マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射するマイクロ波発生装置とを備えてなることを特徴としている。
12b、12c、13b 断熱材、13 加圧手段、13a 押圧プランジャ、14 円筒開口部、32 回転テーブル、33 回転軸、34 回転駆動部、35 軸受部、36 回転速度制御部、38 真空ポンプ、A マイクロ波発生装置、B1、B2 加圧焼結機構部
Claims (15)
- 被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結法であって、
マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された一対のサセプタのあいだに配置にされる被焼結物を加圧手段により加圧しながら、マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射する工程と、マイクロ波加熱されたサセプタからの伝熱および被焼結物の自己発熱により、該被焼結物を加圧焼結する工程とを含むマイクロ波加圧焼結法。 - 前記加圧手段がアクチュエータである場合、前記被焼結物を10Pa〜3000MPaの圧力で加圧する請求項1記載のマイクロ波加圧焼結法。
- 前記加圧手段が高速回転手段である場合、前記被焼結物を10〜700,000Gの遠心力で加圧する請求項1記載のマイクロ波加圧焼結法。
- 前記マイクロ波が0.3〜30GHz帯である請求項1、2または3記載のマイクロ波加圧焼結法。
- マイクロ波により前記サセプタを300℃以上の温度に加熱する請求項1、2または3記載のマイクロ波加圧焼結法。
- 被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結法であって、
マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された円筒形状または多角形状のサセプタ内に配置にされる被焼結物をアクチュエータにより加圧しながら、マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射する工程と、マイクロ波加熱されたサセプタからの伝熱および被焼結物の自己発熱により、該被焼結物を加圧焼結する工程とを含むマイクロ波加圧焼結法。 - 前記被焼結物を10Pa〜3000MPaの圧力で加圧する請求項5記載のマイクロ波加圧焼結法。
- 前記マイクロ波が0.3〜30GHz帯である請求項6または7記載のマイクロ波加圧焼結法。
- マイクロ波により前記サセプタを300℃以上の温度に加熱する請求項6または7記載のマイクロ波加圧焼結法。
- 被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結装置であって、
マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された一対のサセプタ、該一対のサセプタのあいだに配置にされる被焼結物と該サセプタを囲む焼成型および該サセプタを介して前記被焼結物を加圧する加圧手段を具備する加圧焼結機構部と、
マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射するマイクロ波発生装置
とを備えてなるマイクロ波加圧焼結装置。 - 前記加圧手段がアクチュエータである請求項10記載のマイクロ波加圧焼結装置。
- 前記加圧手段が高速回転手段である請求項10記載のマイクロ波加圧焼結装置。
- 前記マイクロ波が0.3〜30GHz帯のマイクロ波である請求項10または11記載のマイクロ波加圧焼結装置。
- 被焼結物をマイクロ波と加圧により焼成するマイクロ波加圧焼結装置であって、
マイクロ波による自己発熱特性を有する材料から作製された円筒形状または多角形状のサセプタ内に配置にされる被焼結物と該サセプタを囲む焼成型および該サセプタを通して前記被焼結物を加圧するアクチュエータを具備する加圧焼結機構部と、
マイクロ波を前記サセプタおよび被焼結物に照射するマイクロ波発生装置
とを備えてなるマイクロ波加圧焼結装置。 - 前記マイクロ波が0.3〜30GHz帯のマイクロ波である請求項14記載のマイクロ波加圧焼結装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101231353B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2013-02-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 열간 가압 소결 장치 및 이에 사용되는 가압 부재 |
EP2609227A1 (en) * | 2010-08-27 | 2013-07-03 | The Government of the United States of America as represented by the Secretary of the Navy | Sintering of metal and alloy powders by microwave/millimeter-wave heating |
JP2014519467A (ja) * | 2011-05-27 | 2014-08-14 | ナノメック、インコーポレイテッド | 厚膜立方晶窒化ホウ素(cBN)層及びその作製方法 |
KR101541880B1 (ko) * | 2014-06-16 | 2015-08-07 | 한국세라믹기술원 | 마이크로웨이브를 이용한 자성분말 제조방법 |
US9283693B2 (en) | 2010-07-30 | 2016-03-15 | Lg Innotek Co., Ltd. | Hot press sintering apparatus and press element |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5128268A (ja) * | 1974-09-02 | 1976-03-10 | Nippon Steel Corp | |
JPH0492870A (ja) * | 1990-08-06 | 1992-03-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | セラミックスの焼結方法 |
JPH10149941A (ja) * | 1996-11-18 | 1998-06-02 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 多層基板の製造方法 |
JP2004210593A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 遠心焼結装置 |
JP2005314195A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 遠心焼結装置 |
JP2006041134A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 遠心力場を利用した脱脂方法およびその装置 |
-
2006
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5128268A (ja) * | 1974-09-02 | 1976-03-10 | Nippon Steel Corp | |
JPH0492870A (ja) * | 1990-08-06 | 1992-03-25 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | セラミックスの焼結方法 |
JPH10149941A (ja) * | 1996-11-18 | 1998-06-02 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 多層基板の製造方法 |
JP2004210593A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-29 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 遠心焼結装置 |
JP2005314195A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 遠心焼結装置 |
JP2006041134A (ja) * | 2004-07-26 | 2006-02-09 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 遠心力場を利用した脱脂方法およびその装置 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9283693B2 (en) | 2010-07-30 | 2016-03-15 | Lg Innotek Co., Ltd. | Hot press sintering apparatus and press element |
EP2609227A1 (en) * | 2010-08-27 | 2013-07-03 | The Government of the United States of America as represented by the Secretary of the Navy | Sintering of metal and alloy powders by microwave/millimeter-wave heating |
EP2609227A4 (en) * | 2010-08-27 | 2014-06-18 | Us Gov Sec Navy | SUBSTANCE OF METAL AND ALLOY POWDER BY MICROWAVE / MILLIMETER WAVE HEATING |
KR101231353B1 (ko) * | 2011-01-31 | 2013-02-08 | 엘지이노텍 주식회사 | 열간 가압 소결 장치 및 이에 사용되는 가압 부재 |
JP2014519467A (ja) * | 2011-05-27 | 2014-08-14 | ナノメック、インコーポレイテッド | 厚膜立方晶窒化ホウ素(cBN)層及びその作製方法 |
US9821435B2 (en) | 2011-05-27 | 2017-11-21 | Nanomech, Inc. | Thick cubic boron nitride (CBN) layer and manufacturing process therefor |
KR101541880B1 (ko) * | 2014-06-16 | 2015-08-07 | 한국세라믹기술원 | 마이크로웨이브를 이용한 자성분말 제조방법 |
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