JP2010045352A - 半導体素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】この方法は、第1ウエハの上部に第2ウエハを結合させる段階と、第2ウエハの背面にハードマスク層を形成する段階と、ハードマスク層の上部に、ビアホール領域を露出させる感光膜パターンを形成する段階と、感光膜パターンをエッチングマスクとしてハードマスク層をエッチングすることでハードマスクパターンを形成する段階と、ハードマスクパターンをエッチングマスクとして第1及び第2ウエハを一定深さまでエッチングすることでビアホールを形成する段階と、を含む。これによると、両ウエハを非常に効果的に接合させることができ、高いアスペクト比を持つビアホールに残留する残渣をきれいに除去でき、素子特性をより向上させることができる。
【選択図】図1g
【解決手段】この方法は、第1ウエハの上部に第2ウエハを結合させる段階と、第2ウエハの背面にハードマスク層を形成する段階と、ハードマスク層の上部に、ビアホール領域を露出させる感光膜パターンを形成する段階と、感光膜パターンをエッチングマスクとしてハードマスク層をエッチングすることでハードマスクパターンを形成する段階と、ハードマスクパターンをエッチングマスクとして第1及び第2ウエハを一定深さまでエッチングすることでビアホールを形成する段階と、を含む。これによると、両ウエハを非常に効果的に接合させることができ、高いアスペクト比を持つビアホールに残留する残渣をきれいに除去でき、素子特性をより向上させることができる。
【選択図】図1g
Description
本発明は、半導体素子及びその製造方法に関するもので、特に、2枚のウエハを結合したabove-ICのような半導体素子及びその製造方法に関する。
デバイス製造技術の発達に伴い、一般のシーモスイメージセンサー(CIS:CMOS Image Sensor)製品とは差別化された戦略的な製品について研究が活発に進められており、その一つにabove-ICがある。フォトダイオードの上部にカラーフィルタ及びマイクロレンズを形成する一般の半導体素子の製造方法と比較する時、フォトダイオードを、ベアシリコン(Si)ウエハに水素(H2)イオンを注入して形成した後、これをパターンウエハに接合させるabove-ICの製造方法に対する研究が活発に行なわれている。このようなabove-ICの製造方法には、両ウエハを接合させる前にタングステンを埋め込んで連結する方式がある。この時、各ウエハに形成されるビアホールの最小幅は10μmであり、ビアホールの最小深さは70μmであるから、単純な工程方法ではビアホールに残留する残渣を除去し難い。一般に、ビアプラグの形成のためにエッチング工程を行なった後、HF系列のエッチャントを用いて自然酸化膜を除去する内容は知られているが、実質的に副産物として発生する残渣の除去についてはよく知られていない。また、障壁金属膜として使われるTi/TiN層もタングステンと共に除去せねばならないので、W、Ti及びTiNを同時に接合部位まで除去する方法を通じて2枚のウエハの接合に対する工程をセットアップしなければならないという難題がある。すなわち、W、Ti、TiNの層を選択的に同時処理することが切実に要求されている。
本発明が解決しようとする技術的課題は、2枚のウエハを金属膜で連結させ、ビアホールの形成時に発生した残渣をきれいに除去でき、ハードマスク層に残される障壁金属層と金属層を選択的に同時に除去できる半導体素子及びその製造方法を提供することにある。
上記課題を達成するための本発明による半導体素子の製造方法は、第1ウエハの上部に第2ウエハを結合させる段階と、第2ウエハの背面にハードマスク層を形成する段階と、ハードマスク層の上部にビアホール領域を露出させる感光膜パターンを形成する段階と、感光膜パターンをエッチングマスクとしてハードマスク層をエッチングすることでハードマスクパターンを形成する段階と、ハードマスクパターンをエッチングマスクとして第1及び第2ウエハを一定深さまでエッチングすることでビアホールを形成する段階と、からなることが好ましい。
上記の課題を達成するための本発明による半導体素子は、パターンされた第1ウエハと、第1ウエハの上部に結合される第2ウエハと、第2ウエハの背面から第1ウエハの一定深さまで形成されたビアホールに埋め立てられた障壁金属膜と、該障壁金属膜の上部にビアホールを埋め込むように形成された金属膜と、で構成され、ここで、障壁金属膜と金属膜は、第1ウエハから第2ウエハの接合領域まで形成されていることが好ましい。
本発明による半導体素子及びその製造方法は、ウエハを接合させた後にハードマスクパターンを用いてビアホールを形成するので、両ウエハの接合を非常に効果的に行なうことができ、ビアホールを形成した後にソルベントとホットDIWを用いて残渣を除去するので、高いアスペクト比においても残渣をきれいに除去でき、ビアホールに障壁金属膜と金属膜を埋め立てた後にハードマスクパターン層に残留する金属物質を選択的に除去することで素子特性をより向上させることができる。
以下、本発明に係る半導体素子及びその方法の好適な実施例を、添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。
図1a〜図1gは、本発明の実施例による半導体素子の製造方法を示す工程断面図である。
図1aに示すように、第1ウエハ90の上部に第2ウエハ92を結合(または、接合)させる。第1ウエハ90と第2ウエハ92とは熱処理によって結合されることができる。第1ウエハ90は、層間絶縁膜(IMD:Inter Metal Dielectrics)100、メタル102及びビアコンタクト104で構成されたパターンを有する。ビアコンタクト104は、層間絶縁膜100の内部に形成されており、メタル102は、ビアコンタクト104とつながりながら層間絶縁膜100に埋め立てられている。層間絶縁膜100は、USG(Undoped Silicate Glass)、PSG(phosphosilicate glass)またはBPSG(boro-phosphosilicate glass)などとすることができる。第2ウエハ92は、フォトダイオード120を有するシリコンウエハでありうる。フォトダイオード120は、水素(H2)イオンを注入して形成されることができ、例えば、PINダイオード120とすることができる。PINダイオード120は、P層114、I層112及びN層110からなることができる。このPINダイオード120の厚さは、0.7μm〜1.2μmとすることができる。
その後、図1bに示すように、第2ウエハ92の背面にハードマスク層140を形成する。このハードマスク層140は、第1酸化膜130、窒化膜132及び第2酸化膜134からなることができる。すなわち、第2ウエハ92の背面上の全面に第1酸化膜130を形成し、第1酸化膜130上の全面に窒化膜132を形成し、窒化膜132上の全面に第2酸化膜134を積層することでハードマスク層140を形成することができる。
図1cに示すように、ハードマスク層140の上部にビアホール領域を露出させる感光膜パターン150を形成する。例えば、ハードマスク層140上にフォトレジストを塗布し、塗布されたフォトレジストを写真及びエッチング工程によりパターニングすることで感光膜パターン150を形成することができる。
図1dに示すように、感光膜パターン150をエッチングマスクとし、ハードマスク層140を乾式エッチングすることによってハードマスクパターン140Aを形成する。ハードマスクパターン140Aは、第1酸化膜パターン130A、窒化膜パターン132A及び第2酸化膜パターン134Aからなる。
図1eに示すように、感光膜パターン150をアッシング(ashing)により除去した後、ハードマスクパターン140Aをエッチングマスクとして第1ウエハ90及び第2ウエハ92を一定深さまでエッチングすることでビアホール152を形成する。この場合、ビアホール152は、第1ウエハ90のメタル102まで延びるように第1ウエハ90及び第2ウエハ92をエッチングして形成することができる。ここで、層110A、112A及び114Aは、層110、112及び114をエッチングした結果をそれぞれ表す。
前述したように、本発明による半導体素子の製造方法は、ウエハを接合させた後にビアホールを形成するので、2枚のウエハを接合させる前に深いビアホールをまず形成した後に両ウエハを接合させる一般の方法において生じるウエハの不均一性及びウエハの非固着といった危険要素を除去でき、よって、2枚のウエハを非常に効果的に接合させることができる。
しかしながら、前述したようにパターニングする場合、高いアスペクト比によって副産物であるポリマー残渣(または、残留物)が多く発生するという恐れがある。
そこで、本発明では、ビアホール152中に残存する残渣を下記のようにして除去する。
本発明によると、残渣を、ソルベントとホット純水(DIW:deionized water)のうち少なくとも一つを使って除去することができる。例えば、ソルベントを使って一次的に硬い残渣をまず除去した後、ホット純水(DIW)を使って残りの残渣を除去することができる。ここで、ソルベントは、NH4F系列の塩基性溶液を含むことができる。ホット純水の温度は、高すぎるとパターンにアタックを加えることがあり、低すぎると処理が容易でない。したがって、ホット純水の温度は79〜90℃とすることが好ましい。ホット純水は、スピン方式またはディップ方式で使用することができる。
続いて、図1fに示すように、ビアホール152の内部を含めてハードマスクパターン140Aの全面に障壁金属層160を形成する。この障壁金属層160は、TiまたはTiN系列の物質を含むことができる。
その後、図1fに示すように、障壁金属層160の上部全面に金属層162を形成し、ビアホール152を埋め立てることで、第1ウエハ90と第2ウエハ92とを連結することができる。金属層162はタングステン(W)とすることができる。
続いて、図1gに示すように、ビアホール152内に埋め立てられた障壁金属層160と金属層162の一部を湿式エッチングにより選択的に除去する。この場合、図1gに示すように、障壁金属層160と金属層162は、第2ウエハ92に形成されたPINダイオードにおいてI領域112まで選択的に除去することができる。また、硫酸(H2SO4)、TMH(TrimethylOxyethyl Ammonium-hydroxide)、過酸化水素(H2O2)の化合物を純水(DIW)に希釈した結果物を用いて、湿式エッチングによって障壁金属層160と金属層162を選択的に除去することができる。これで、障壁金属膜160Aと金属膜162Aがビアホール152の内部に残留することとなる。
ここで、硫酸、TMH及び過酸化水素の含量比は、1:1:20〜1:1:50とすることができる。また、硫酸、TMH及び過酸化水素の化合物とDIWの含量比は、1:40〜1:60とするとができる。
万一、ビアホール152中の障壁金属層160及び金属層162を選択的に除去せずに両ウエハを連結させると、障壁金属層160として使われるTiまたはTiN層が第1シリコンウエハ90及び第2シリコンウエハ92にのみ形成されるのではなく、ハードマスクパターン140A上にも形成されることができる。こうなると、絶縁膜の形成される領域に金属が存在してしまい、素子の特性を劣化させる要素となる不都合がある。そこで、本発明による半導体素子の製造方法では、障壁金属層160及び金属層162を、図1gに示すようにPINダイオード120のI領域112まで選択的に除去するわけである。これにより、ハードマスクパターン140Aに金属が存在することから生じうる素子の特性劣化を根本的に解決することができる。
図2及び図3は、ビアホール152に埋め立てられた障壁金属層160及び金属層162が除去された様子をそれぞれ示すSEM(走査型電子顕微鏡)写真である。
ビアホール152に埋め立てられた障壁金属層160及び金属層162を全部除去する場合には図2のSEM写真が得られ、ビアホール152に埋め立てられた障壁金属層160及び金属層162を選択的に除去する場合には図3のSEM写真が得られる。硫酸、TMH及び過酸化水素の含量比によって、図2に示すように、障壁金属層160及び金属層162は全部除去されることもでき、図3に示すように、障壁金属層160及び金属層162は選択的に除去されることもできる。
図4は、第2ウエハ92の背面のカッティングを説明するための図で、第1ウエハ90及び第2ウエハ92が示されている。
本発明の一実施例によると、図4に示す第2ウエハ92の不要な背面122をカッティングした後に、図1a〜図1gに示す半導体素子の製造方法を行うこともできる。すなわち、第2ウエハ92の不要な背面122をカッティングした後に、図1aに示すように、第1ウエハ90及び第2ウエハ92を結合させることができる。
または、本発明の他の実施例によると、不要な背面122がカッティングされないまま図1a〜図1gに示す半導体素子の製造方法が行われることもできる。この場合、障壁金属層160と金属層162を選択的にエッチングした後に、第2ウエハ92の不要な背面122をカッティングすれば良い。
以下、本発明による半導体素子の実施例を、図1gを参照して説明する。
本発明による半導体素子は、パターンされた第1ウエハ90、第2ウエハ92、障壁金属膜160A及び金属膜162Aで構成される。
パターンされた第1ウエハ90は、層間絶縁膜100、メタル102及びビアコンタクト104を有する。ビアコンタクト104は、層間絶縁膜100の内部に形成されており、メタル102はビアコンタクト104とつながりながら層間絶縁膜100に埋め立てられている。
第2ウエハ92は、第1ウエハ90の上部に結合されており、水素イオン注入によって形成されたフォトダイオード、例えば、PINダイオード120Aを含むことができる。
障壁金属膜160Aは、第2ウエハ92の背面から第1ウエハ90の一定深さまで形成されたビアホール152の一部に埋め立てられている。ビアホール152は、第2ウエハ92の背面から第1ウエハ90のメタル102まで形成されている。
金属膜162Aは、障壁金属膜160Aの上部にビアホール152の一部を埋め込むように形成されている。この時、障壁金属膜160Aと金属膜162Aは、第1ウエハ90から第2ウエハ92の接合領域までにのみ、ビアホール152の一部に形成されている。ここで、接合領域は、図1gに示すようにPINダイオードのI領域112に含まれることができる。
以上から説明してきた本発明は、上述した実施例及び添付した図面に限定されるものではなく、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で様々な置換、変形及び変更が可能であるということは、本発明の属する技術分野における通常の知識を持つ者にとっては明らかである。
90 第1ウエハ
92 第2ウエハ
100 層間絶縁膜
102 メタル
104 ビアコンタクト
120 フォトダイオード
140 ハードマスク層
150 感光膜パターン
152 ビアホール
160 障壁金属層
162 金属層
92 第2ウエハ
100 層間絶縁膜
102 メタル
104 ビアコンタクト
120 フォトダイオード
140 ハードマスク層
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152 ビアホール
160 障壁金属層
162 金属層
Claims (28)
- 第1ウエハの上部に第2ウエハを結合させる段階と、
前記第2ウエハの背面にハードマスク層を形成する段階と、
前記ハードマスク層の上部にビアホール領域を露出させる感光膜パターンを形成する段階と、
前記感光膜パターンをエッチングマスクとして前記ハードマスク層をエッチングすることでハードマスクパターンを形成する段階と、
前記ハードマスクパターンをエッチングマスクとして前記第1ウエハ及び前記第2ウエハを一定深さまでエッチングすることでビアホールを形成する段階と、
を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 前記第1ウエハと前記第2ウエハとは、熱処理によって結合されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ハードマスク層を形成する段階は
前記第2ウエハの前記背面上の全面に第1酸化膜を形成する段階と、
前記第1酸化膜上の全面に窒化膜を形成する段階と、
前記窒化膜上の全面に第2酸化膜を積層する段階と、
を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記第2ウエハは、水素イオン注入によって形成されたフォトダイオードを有することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 層間絶縁膜に形成されたビアコンタクト、及び前記ビアコンタクトと連結され、前記層間絶縁膜に埋め立てられたメタルを有する前記第1ウエハの前記メタルまでエッチングすることで前記ビアホールを形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ビアホールの内部に残存する残渣を除去する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記残渣をソルベントとホット純水のうち少なくとも一つを使用して除去することを特徴とする請求項6に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ソルベントを使用して前記残渣を除去した後、前記ホット純水を使用して残りの残渣を除去することを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ソルベントは、NH4F系列の塩基性溶液を含むことを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ホット純水の温度は、79〜90℃であることを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ホット純水は、スピン方式またはディップ方式で使用されることを特徴とする請求項7に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ビアホールの内部を含めて前記ハードマスクパターンの全面に障壁金属層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記障壁金属層は、TiまたはTiN系列の物質を含むことを特徴とする請求項12に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記障壁金属層上の全面に金属層を形成して前記ビアホールを埋め込む段階をさらに含むことを特徴とする請求項12に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記ビアホールの内部に埋め立てられた前記障壁金属層と前記金属層の一部を湿式エッチングにより選択的に除去する段階をさらに含むことを特徴とする請求項14に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記第2ウエハの背面をカッティングする段階をさらに含み、
前記第1及び第2ウエハを結合させる段階は、前記カッティングする段階後に行なわれることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の製造方法。 - 前記障壁金属層と前記金属層を選択的にエッチングした後に、前記第2ウエハの背面をカッティングする段階をさらに含むことを特徴とする請求項15に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記障壁金属層と前記金属層は、前記第2ウエハに形成されたPINダイオードにおいてI領域まで選択的に除去されることを特徴とする請求項15に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記PINダイオードの厚さは、0.7μm〜1.2μmであることを特徴とする請求項18に記載の半導体素子の製造方法。
- 硫酸、TMH(TrimethylOxyethyl Ammonium-hydroxide)、過酸化水素の化合物を純水(DIW:deionized water)に希釈した結果物を用いて、湿式エッチングによって前記障壁金属層と前記金属層を選択的に除去することを特徴とする請求項15に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記硫酸、前記TMH及び前記過酸化水素の含量比は1:1:20〜1:1:50であることを特徴とする請求項20に記載の半導体素子の製造方法。
- 前記化合物と前記DIWの含量比は、1:40〜1:60であることを特徴とする請求項20に記載の半導体素子の製造方法。
- パターンされた第1ウエハと、
前記第1ウエハの上部に結合される第2ウエハと、
前記第2ウエハの背面から前記第1ウエハの一定深さまで形成されたビアホールに埋め立てられた障壁金属膜と、
前記障壁金属膜の上部に前記ビアホールを埋め込むように形成された金属膜と、
を含み、
前記障壁金属膜と前記金属膜は、前記第1ウエハから前記第2ウエハの接合領域まで形成されていることを特徴とする半導体素子。 - 前記第2ウエハは、水素イオン注入によって形成されたPINダイオードを有することを特徴とする請求項23に記載の半導体素子。
- 前記接合領域は、前記PINダイオードのI領域に含まれることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子。
- 前記ビアホールは、層間絶縁膜に形成されたビアコンタクト及び前記ビアコンタクトとつながりながら前記層間絶縁膜に埋め立てられたメタルを有する前記第1ウエハの前記メタルまで形成されていることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子。
- 前記障壁金属膜は、TiまたはTiN系列の物質を含むことを特徴とする請求項23に記載の半導体素子。
- 前記PINダイオードの厚さは、0.7μm〜1.2μmであることを特徴とする請求項24に記載の半導体素子。
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