JP2010044307A5 - - Google Patents

Claims (7)

1. ミラー部と、
   音叉形圧電振動子と、
   前記ミラー部を前記音叉形圧電振動子の振動中心と連結する第一の支持部と、
   前記音叉形圧電振動子の振動中心と第二の支持部で連結された支持体とを備え、
   前記音叉形圧電振動子は、
   その振動中心を通る連結部と、
   この連結部の両端からそれぞれ延伸するアームとを有し、
   これらのアームの内側の辺と前記連結部の内側の辺との成す角は、鈍角である光学反射素子。
2. ミラー部と、
   音叉形圧電振動子と、
   前記ミラー部を前記音叉形圧電振動子の振動中心と連結する第一の支持部と、
   前記音叉形圧電振動子の振動中心と第二の支持部で連結された支持体とを備え、
   前記音叉形圧電振動子は、
   その振動中心を通る連結部と、
   この連結部の両端からそれぞれ延伸するアームとを有し、
   前記連結部の内側の辺は、
   前記振動中心側から前記アームに向って外方へ湾曲している光学反射素子。
3. 前記連結部と前記第一の支持部との成す角は、
   約９０度である請求項１または２に記載の光学反射素子。
4. 前記アームの外側の辺と前記連結部の外側の辺との成す角は、鈍角である請求項１または２に記載の光学反射素子。
5. 前記連結部の外側の辺は、
   前記振動中心側から前記アームに向って外方へ湾曲している請求項１または２に記載の光学反射素子。
6. 一対の前記音叉形圧電振動子が、
   前記ミラー部を介して対向し、
   このミラー部とそれぞれ前記第一の支持部で連結されるとともに、
   それぞれ第二の支持部で前記支持体と連結されている請求項１または２に記載の光学反射素子。
7. 前記支持体は、
   さらに振動子と連結されている請求項１または２に記載の光学反射素子。