JP2010044042A - 保管装置及び同保管装置を備えた計測装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検物Mの形状情報を採取するための検出手段(非接触センサ20a、タッチプローブ20b)をその不使用時に保管する保管装置であって、前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段(プローブボックス30,エアーポンプ40)と、保護手段に供給されるクリーンエアーの浄化を行う集塵手段44を備える。
【選択図】 図1
Description
11 床
12 除振台
13 ベース
14 Xステージ
15 Yステージ
16 Zステージ
20a 非接触センサ(検出手段)
20b タッチプローブ(検出手段)
30 プローブボックス(カバー部材)
31 吸気口
32 排気口
33,34 フィルタ
40 エアーポンプ
44 集塵手段
Claims (6)
- 被検物の形状情報を採取するための検出手段をその不使用時に保管する保管装置であって、
前記不使用時の検出手段をその周囲の雰囲気から隔てる保護手段を備え、該保護手段は、集塵手段を介して前記保護手段の外界の雰囲気よりも不純物の少ない気体を流して、前記検出手段を前記雰囲気から隔てる気体流形成手段であることを特徴とする保管装置。 - 被検物の形状情報を採取するための検出手段をその不使用時に保管する保管装置であって、
不使用時の検出手段を覆って該検出手段の周囲の雰囲気から隔てるカバー部材と、集塵手段を介して前記カバー部材の内部に前記雰囲気よりも不純物の少ない気体を供給する気体供給部と、を備えることを特徴とする保管装置。 - 請求項1または2に記載の保管装置において、
前記集塵手段は、前記気体流形成手段に供給される気体に含まれる不純物を帯電させる帯電機構と、
前記帯電させた不純物の帯電極性とは、逆の極性に帯電させた集塵機構とを有し、該集塵機構により前記帯電させた不純物を引き寄せることを特徴とする保管装置。 - 請求項3に記載の保管装置において、
前記帯電機構は、帯電した不活性ガスを前記気体流形成手段に供給される気体に含まれる不純物に吹き付けるか、または不純物を含む前記気体を帯電した不活性ガス雰囲気中に通過させることにより前記不純物を帯電させることを特徴とする保管装置。 - 請求項4に記載の保管装置において、
前記集塵機構は、前記帯電させた不純物を含む気体の流路を囲む網目構造を有し、該網目に引き寄せられた前記帯電した不活性ガス及び不純物を吸引排気することを特徴とする保管装置。 - 被検物の形状を測定する計測装置であって、
前記被検物の形状情報を採取する検出手段と、
前記検出手段の不使用時に該検出手段を保管する請求項1から5の何れか一項に記載の保管装置と、
を備えてなることを特徴とする計測装置。
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