JP2010040538A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ドレインコンタクトを自己整合的に形成できるようにする。
【解決手段】シリコン基板1上にゲート絶縁膜4を形成し、ゲート電極MGとして、多結晶シリコン膜5、ONO膜6、多結晶シリコン膜7、タングステンシリコン膜8を形成すると共に、シリコン窒化膜9を積層形成する。ゲート電極MGを覆うようにシリコン酸化膜10、シリコン窒化膜11を形成し、ゲート電極MG間にシリコン酸化膜12を埋め込み形成する。コンタクトホール形成の工程では、シリコン酸化膜12をエッチングする際に、シリコン酸化膜10がスリット状に落ち込むので、その部分にシリコン窒化膜15cを埋め込み、その後、シリコン基板1上のシリコン窒化膜11をエッチングして形成する。これにより、ショート不良の発生を防止できる。
【選択図】図3
【解決手段】シリコン基板1上にゲート絶縁膜4を形成し、ゲート電極MGとして、多結晶シリコン膜5、ONO膜6、多結晶シリコン膜7、タングステンシリコン膜8を形成すると共に、シリコン窒化膜9を積層形成する。ゲート電極MGを覆うようにシリコン酸化膜10、シリコン窒化膜11を形成し、ゲート電極MG間にシリコン酸化膜12を埋め込み形成する。コンタクトホール形成の工程では、シリコン酸化膜12をエッチングする際に、シリコン酸化膜10がスリット状に落ち込むので、その部分にシリコン窒化膜15cを埋め込み、その後、シリコン基板1上のシリコン窒化膜11をエッチングして形成する。これにより、ショート不良の発生を防止できる。
【選択図】図3
Description
本発明は、ゲート電極を有するトランジスタを備えた半導体装置に自己整合的にコンタクト形成を行うようにした半導体装置の製造方法に関する。
半導体装置においては、設計ルールの微細化が進むにしたがって各部の加工寸法の設計マージンが少なくなる。このため、例えば不揮発性半導体記憶装置であるNOR型フラッシュメモリ装置などにおいては、隣接する各トランジスタのドレインコンタクトを形成する部分で、自己整合(SAC:self align contact)的に形成することが有効な手段となってくる。
NOR型フラッシュメモリ装置においては、ゲート電極の構成として、ゲート絶縁膜が形成されたシリコン基板上に、浮遊ゲート電極用の多結晶シリコン膜、ゲート間絶縁膜、制御ゲート電極用の多結晶シリコン膜、シリサイド層を積層して構成されている。また、ゲート電極の上面にはゲート電極加工用のハードマスクとしてシリコン酸化膜あるいはシリコン窒化膜が形成される。ゲート電極を分離加工した後に、ゲート電極を保護するために上面および側壁にシリコン酸化膜を形成し、さらにコンタクトバリアとなるシリコン窒化膜を形成している。
NOR型フラッシュメモリ装置のドレインコンタクトをSAC技術により形成しようとする場合には、コンタクトホールのパターンをゲート電極の上面に差し掛かるように形成する。このため、ゲート電極間の埋め込み形成されたシリコン酸化膜をエッチングする際に、選択比が大きく取れないとゲート電極上面のコンタクトバリアのシリコン窒化膜もエッチングされることがある。シリコン窒化膜がなくなると、ゲート電極保護用のシリコン酸化膜もエッチングされ、さらにゲート電極の側壁部分のシリコン酸化膜も上部に露出した端面部からエッチングされ、コンタクトバリアのシリコン窒化膜との間が抜けてスリット状の落ち込みができてしまうことになる。この状態のままコンタクト用の電極材を埋め込むと、スリット状の落ち込み部分にも電極材が埋め込まれるので、ゲート電極とコンタクトとの短絡不良が発生する恐れがある。
特許文献1には、そのような不具合を回避して自己整合的にドレインコンタクトの形成を可能にする製造方法が開示されている。しかしながら、特許文献1に示される構成では、自己整合的にドレインコンタクトを形成する部分についてゲート電極を覆うシリコン酸化膜を一旦除去した上でコンタクトバリアとなるシリコン窒化膜をゲート電極に直接形成する構成としているので、スリット状の落ち込みの形成は回避できるが、ゲート絶縁膜とコンタクトバリア用のシリコン窒化膜とが部分的に直接接触する構成となるため、素子の特性上で好ましくない構造となる。
特開2002−57230号公報
本発明は、ゲート電極の側壁にシリコン酸化膜を形成する構成としながら自己整合的にコンタクトを形成することができるようにした半導体装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の半導体装置の製造方法の第1の態様は、半導体基板の上面に第1のゲート絶縁膜を形成する工程と、前記第1のゲート絶縁膜上に第1の電極膜、第2のゲート絶縁膜、第2の電極膜、第1のシリコン窒化膜を積層してなる複数のゲート電極を形成する工程と、前記複数のゲート電極の側壁に第1のシリコン酸化膜および第2のシリコン窒化膜を積層形成する工程と、前記第2のシリコン窒化膜を形成した前記ゲート電極間に第2のシリコン酸化膜を埋め込み形成する工程と、ゲート電極間の半導体基板の表面と電気的に接触するように前記第2のシリコン酸化膜の上面から貫通するコンタクトを形成する工程とを備え、
前記コンタクトの形成工程では、前記コンタクト形成の対象領域の前記第2のシリコン酸化膜をシリコン窒化膜に対して選択性を有する条件でエッチングしてコンタクトホール上部を形成する第1の工程と、前記第1の工程で形成したコンタクトホール上部の内壁面に第3のシリコン窒化膜を形成する第2の工程と、前記第3および第2のシリコン窒化膜、第1のシリコン酸化膜をエッチングして前記半導体基板の上面に達するコンタクトホール下部を形成する第3の工程と、前記コンタクトホール上部および下部内に導体を埋め込み前記コンタクトを形成する第4の工程とを順次実行するところに特徴を有する。
前記コンタクトの形成工程では、前記コンタクト形成の対象領域の前記第2のシリコン酸化膜をシリコン窒化膜に対して選択性を有する条件でエッチングしてコンタクトホール上部を形成する第1の工程と、前記第1の工程で形成したコンタクトホール上部の内壁面に第3のシリコン窒化膜を形成する第2の工程と、前記第3および第2のシリコン窒化膜、第1のシリコン酸化膜をエッチングして前記半導体基板の上面に達するコンタクトホール下部を形成する第3の工程と、前記コンタクトホール上部および下部内に導体を埋め込み前記コンタクトを形成する第4の工程とを順次実行するところに特徴を有する。
また、本発明の半導体装置の製造方法の第2の態様は、半導体基板の上面に第1のゲート絶縁膜を形成する工程と、前記第1のゲート絶縁膜上に第1の電極膜、第2のゲート絶縁膜、第2の電極膜、第1のシリコン窒化膜を積層してなる複数のゲート電極を形成する工程と、前記複数のゲート電極の側壁に第1のシリコン酸化膜および第2のシリコン窒化膜を積層形成する工程と、前記第2のシリコン窒化膜を形成した前記ゲート電極間に第2のシリコン酸化膜を埋め込み形成する工程と、ゲート電極間の半導体基板の表面と電気的に接触するように前記第2のシリコン酸化膜の上面から貫通するコンタクトを形成する工程とを備え、
前記コンタクトの形成工程では、前記コンタクト形成の対象領域を含み且つ前記ゲート電極の上面にかかる開口パターンで前記第2のシリコン酸化膜をシリコン窒化膜に対して選択性を有する条件でエッチングしてコンタクトホール上部を形成する第1の工程と、前記第1の工程で形成したコンタクトホール上部のエッチング面を覆うように第3のシリコン窒化膜を形成する第2の工程と、前記第3および第2のシリコン窒化膜、第1のシリコン酸化膜をエッチングして前記半導体基板の上面に達するコンタクトホール下部を形成する第3の工程と、前記コンタクトホール上部および下部内に導体を埋め込み前記コンタクトを形成する第4の工程とを順次実行するところに特徴を有する。
前記コンタクトの形成工程では、前記コンタクト形成の対象領域を含み且つ前記ゲート電極の上面にかかる開口パターンで前記第2のシリコン酸化膜をシリコン窒化膜に対して選択性を有する条件でエッチングしてコンタクトホール上部を形成する第1の工程と、前記第1の工程で形成したコンタクトホール上部のエッチング面を覆うように第3のシリコン窒化膜を形成する第2の工程と、前記第3および第2のシリコン窒化膜、第1のシリコン酸化膜をエッチングして前記半導体基板の上面に達するコンタクトホール下部を形成する第3の工程と、前記コンタクトホール上部および下部内に導体を埋め込み前記コンタクトを形成する第4の工程とを順次実行するところに特徴を有する。
本発明によれば、ゲート電極の側壁にシリコン酸化膜を形成する構成としながら自己整合的にコンタクトを形成することができる。
以下、本発明をNOR型フラッシュメモリ装置に適用した場合の一実施形態について図1〜図11を参照しながら説明する。なお、以下の図面の記載において、同一または類似の部分には同一または類似の符号で表している。ただし図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なる。
先ず、本実施形態のNOR型フラッシュメモリ装置の構成を説明する。
図1は、フローティングゲート型のNOR型のフラッシュメモリ装置のメモリセル領域に形成されるメモリセルアレイの一部を示す等価回路図である。図2は、図1のNOR型フラッシュメモリ装置のセルアレイの一部を取り出してレイアウトの一例を示している。
図1は、フローティングゲート型のNOR型のフラッシュメモリ装置のメモリセル領域に形成されるメモリセルアレイの一部を示す等価回路図である。図2は、図1のNOR型フラッシュメモリ装置のセルアレイの一部を取り出してレイアウトの一例を示している。
図1および図2に示すNOR型フラッシュメモリ装置のセルアレイは、半導体基板としてのシリコン基板1の表層部に形成されたウェル領域上にメモリセルトランジスタTrmが行列状(行方向:X方向、列方向:Y方向)に配列されて構成されている。各メモリセルトランジスタTrmは、ウェル領域に形成された活性領域(ソース・ドレイン用の拡散層およびチャネル領域)2を有し、ウェル領域上にゲート絶縁膜を介して二層ゲート構造(フローティングゲートの上にゲート間絶縁膜を介してコントロールゲートが形成された構造)を有するゲート電極MGを備えている。
上記NOR型のセルアレイでは、隣り合う2個で1組をなすメモリセルトランジスタTrmがそれぞれのドレイン領域を共有し、隣り合う2組のメモリセルトランジスタTrmがそれぞれのソース領域を共有し、メモリセルトランジスタTrmのY方向に並んだ各列の間がトレンチ型の素子分離領域であるSTI(shallow trench isolation)領域3で分離されている。
そして、セルアレイ上で同一行のメモリセルトランジスタTrmのコントロール電極に共通に連なるように複数のワード線WLがX方向(行方向)に配設され、同一行のメモリセルの各ソース領域Sに共通に接続された金属配線からなる共通ソース線としての複数のローカルソース線LSがX方向(行方向)に配設されている。このローカルソース線LSは、図2にも示しているように、上端部が幅広に形成されており、隣接するゲート電極MGの上面の一部を覆うように形成されている。
また、セルアレイ上で同一列のメモリセルトランジスタTrmのドレイン領域に共通にコンタクトするように金属配線からなる複数のビット線BLがY方向(列方向)に配設され、複数のローカルソース線LSに共通にコンタクトする金属配線からなる複数のソース線(メインソース線)MSLがビット線BL配列内で間欠的にY方向(列方向)に配設されている。
上記したように隣り合う2個のメモリセルトランジスタTrmで共有するドレインは、ドレインコンタクトDCを介して低抵抗のビット線BLに繋がっている。また、隣り合う2個のメモリセルトランジスタTrmで共有するソースは、ワード線WL間でワード線WLと平行して存在するローカルソース線LSに繋がっており、このローカルソース線LSはソース線コンタクトを介して低抵抗のメインソース線MSLに繋がり、セルアレイ外部から電位が与えられる。
上記構成のNOR型フラッシュメモリは、メモリセルトランジスタにデータを書き込むためにチャネルホットエレクトロン注入を用いて浮遊ゲート電極へ電子注入を行う時、メモリセルトランジスタTrmのソースとウェル領域には接地電位を与える。そして、制御ゲートとドレインに対してはホットエレクトロンの発生効率が最大となるような所望の電位を、それぞれ対応してワード線WLとビット線BLを介して外部回路から与える。
図3は図2中A−A線で示す部分の縦断面を示すもので、活性領域2の長手方向に沿った部分のゲート電極MG、ドレインコンタクトDCが形成された状態を示しており、ローカルソース線LSの形成前の状態である。シリコン基板1の表面にはゲート絶縁膜としてのシリコン酸化膜4を介してゲート電極MGが所定間隔で形成されている。ゲート電極MGは、下層から第1の電極膜としての浮遊ゲート電極用の多結晶シリコン膜5、第2のゲート絶縁膜としてのONO(Oxide-Nitride-Oxide)膜6、第2の電極膜としての制御ゲート電極用の多結晶シリコン膜7、WSi(タングステンシリサイド)膜8、第1の絶縁膜としてのシリコン酸化膜9が順次積層された構成である。
シリコン基板1の表層には、ドレイン領域に対応して不純物拡散領域1aが形成され、ソース領域に対応して不純物拡散領域1bが形成されている。ゲート電極MGの上面、側面およびゲート電極MG間のシリコン基板1の表面を覆うようにTEOS酸化膜などからなる第1のシリコン酸化膜10および第2のシリコン窒化膜11が積層形成されている。ゲート電極MG間の不純物拡散領域1a(ドレイン領域)に対応する部分には、底部からゲート電極MGの上面部までシリコン酸化膜12が埋め込み形成されている。シリコン酸化膜12の上面は、ゲート電極MG上のシリコン窒化膜11の上面と同じ高さに形成されており、その上部に層間絶縁膜としてのシリコン酸化膜13が積層形成されている。
ゲート電極MG間のシリコン基板1の不純物拡散領域1aに対応する部分に、シリコン酸化膜13、12、シリコン窒化膜11、シリコン酸化膜10を貫通して不純物拡散領域1aに接触するように上方からコンタクトホール14が形成されている。この図では、左側のコンタクトホール14のみを示しているが、実際には右側の不純物拡散領域1aにも対応するコンタクトホール14が形成されている。
コンタクトホール14は、両端部が隣接するゲート電極MGの上面にかかるように広い開口で形成されたコンタクトホール上部14aと、自己整合的に形成された狭い開口のコンタクトホール下部14bとからなる。コンタクトホール上部14aは、下端部がゲート電極MGの上部に形成されたシリコン窒化膜9を上から一定深さまで削り取るようにして形成され、その側壁には上面から所定深さまで第3のシリコン窒化膜15aが形成されている。コンタクトホール下部14bは、シリコン窒化膜11の内側に形成されており、シリコン基板1の表面の不純物拡散領域1aの上面を露出するように開口されている。このコンタクトホール下部14bの側壁面には、シリコン基板1の上面から所定高さの位置まで第3のシリコン窒化膜15bが形成されている。また、コンタクトホール下部14bの上部開口部において、ゲート電極MGとシリコン窒化膜11との間のシリコン酸化膜10が上面からWSi膜8の下面くらいの範囲で除去されており、この部分に第3のシリコン窒化膜15cが埋め込み形成されている。
コンタクトホール上部14a、コンタクトホール下部14bからなるコンタクトホール14内に、ドレインコンタクトDCであるコンタクトプラグ16が埋め込み形成されている。この図3では、左側のコンタクトプラグ14のみを示している。コンタクトプラグ14は、バリアメタルとしてのチタン(Ti)膜をコンタクトホール内壁面に形成されると共に、その内側にコンタクトプラグとしての金属膜が埋め込み形成されたものである。
また、図示はしていないが、ゲート電極MG間の不純物拡散領域1bに対応する部分に、ローカルソース線LSが埋め込み形成されている。ローカルソース線LSは、ゲート電極MG間のシリコン酸化膜12を除去すると共に、シリコン窒化膜11、シリコン酸化膜10を貫通してソース領域である不純物拡散領域1bの表面に接触するように形成された溝内に形成されている。
上記構成においては、NOR型フラッシュメモリ装置のドレインコンタクトDCであるコンタクトプラグ16が自己整合的(SAC:self aligned contact)に形成できる構成を採用しているので、ゲート電極MG間の寸法を必要最小限に狭めた設計とすることができる。この場合でも、ドレインコンタクトDCを自己整合的に形成するための構成を特別に設ける必要がないので、コストの低減も図ることができる。
上記の場合、NOR型フラッシュメモリ装置においては、NAND型フラッシュメモリ装置におけるビット線コンタクトと異なり、ドレインコンタクトDCは各セル毎に形成する必要がある。このため、自己整合的にドレインコンタクトDCを形成する場合に、従来技術では、全てのメモリセルトランジスタについてゲート電極MGの側壁を保護するシリコン酸化膜を予め除去する必要があったのに対して、そのような微細なパターンを形成する工程を必要としないので、製造工程上においてもコストの低減を図ることができる。
次に、上記構成の製造工程について説明する。図4ないし図11は、NOR型フラッシュメモリ装置の製造工程を概略的に示すもので、図2中、活性領域2の方向(Y方向)に沿った断面を示している。また、以下の説明においては、ドレインコンタクトDCの形成工程を中心として説明し、その他の工程については簡単に説明する。
図4は、シリコン基板1の活性領域3の上面に、ゲート絶縁膜4、第1の電極膜である多結晶シリコン膜5、第2のゲート絶縁膜であるONO(oxide-nitride-oxide)膜6、第2の電極膜である多結晶シリコン膜7およびタングステンシリサイド(WSi)膜8、第1のシリコン窒化膜9が積層された構成が示されている。
上記構成は、まず、シリコン基板1に、ゲート絶縁膜4、多結晶シリコン膜5および図示しないハードマスクなどを形成した状態で、トレンチを形成するエッチング工程を実施し、そのトレンチ内に絶縁膜を埋め込んで素子分離領域であるSTI領域3を形成する。続いて、ハードマスクを剥離した後に、上記したゲート電極MGの残りの層構造として、ONO膜6、多結晶シリコン膜7、タングステンシリサイド膜8およびシリコン酸化膜9を形成したものである。
次に、図5に示すように、フォトリソグラフィ処理でレジストをパターンニングしてこれをマスクとし、RIE(reactive ion etching)処理により、シリコン酸化膜9、タングステンシリサイド膜8、多結晶シリコン膜7、ONO膜6、多結晶シリコン膜5を除去してゲート電極MGを分離形成する。次に、シリコン基板1の表層でゲート電極MG間のソース領域およびドレイン領域に対応する部分にイオン注入により不純物を導入して不純物拡散領域1a、1bを形成する。なお、上記RIE処理では、ゲート絶縁膜4までエッチングしてシリコン基板1の表面を露出させることもできる。
次に、図6に示すように、分離形成されたゲート電極MGの上面、側面およびシリコン基板1の不純物拡散領域1a、1bのそれぞれを覆うように全面にシリコン酸化膜10およびシリコン窒化膜11を形成する。シリコン酸化膜10は、ゲート電極MGの信頼性を向上させるためのもので、たとえばTEOS(tetraethyl orthosilicate)酸化膜を用いている。シリコン窒化膜11は、エッチングストッパとして機能する他、CMPのストッパとしても機能する。
次に、図7に示すように、ゲート電極MG間に埋め込み用絶縁膜としてのシリコン酸化膜12を埋め込む。まず、上記構成の上面にBPSG膜などのシリコン酸化膜12を全面に形成する。シリコン酸化膜12の膜厚は、ゲート電極MG間を埋め込むことができる程度以上である。この後、CMP(chemical mechanical polishing)法によりゲート電極MG上に残っているシリコン酸化膜12を研磨し、シリコン窒化膜12をストッパとして平坦化する。これにより、図7に示しているように、ゲート電極MG間がシリコン酸化膜12で充填された状態となる。この後、さらに、図8に示すように、上記構成の上面に層間絶縁膜であるシリコン酸化膜13を形成する。
続いて、図9に示すように、フォトリソグラフィ技術によりドレインコンタクトDSのコンタクトホール形成のためのエッチングを行う。まず、ドレインコンタクトDSの形成部分をレジストにてパターンニングする。このとき、開口部はゲート電極MGの間よりも広く、ゲート電極MGの上面に一部が差し掛かるように形成される。
次に、パターンニングしたレジストをマスクとしてRIE(reactive ion etching)法によりシリコン酸化膜13、12を選択的にエッチングしてコンタクトホール14の上部14a、下部14bの上部分を形成する。コンタクトホール14の下部14bは、シリコン基板1の表面まで貫通した状態であるが、ここではストッパとなるシリコン窒化膜11の上面部分までとなる。
上述のエッチング処理では、シリコン酸化膜13、12のエッチング量が多いので、シリコン酸化膜のシリコン窒化膜に対するエッチングの選択比が高く設定されていてもゲート電極MGの上面部分のシリコン窒化膜11が一定のエッチングレートでエッチングされる。シリコン窒化膜11がエッチングで除去されると、露出したシリコン酸化膜10はシリコン酸化膜のエッチング条件であることからエッチング除去される。さらに、エッチング処理が進められると、シリコン窒化膜9の一部がエッチングされるため、図示のように、ゲート電極MGの肩の部分が一部除去された状態となる。
そして、このとき、ゲート電極MGの側壁に形成されていたシリコン酸化膜10は、シリコン窒化膜11により保護されていたのが、エッチング可能な状態に端部が露出することで、内部にエッチングが進行するようになり、たとえば図示のように多結晶シリコン膜7の上面付近までエッチングされることになる。この結果、ゲート電極MGの側壁部は、シリコン窒化膜9と11との間において、シリコン酸化膜10が上から一定深さまで抜けた間隙部14cが形成された状態となる。
次に、図10に示すように、上記構成の上面全面にわたってシリコン窒化膜15を形成する。このシリコン窒化膜15は、シリコン酸化膜13の上面、コンタクトホール14の上部14aおよび下部14bの表面に形成されると共に、間隙部14cの内部にも埋め込まれた状態に形成される。
次に、図11に示すように、シリコン窒化膜15をRIE法によりスペーサ加工を行うと共に、その後シリコン窒化膜11をエッチングし、さらにシリコン酸化膜10をエッチングしてコンタクトホール14の下部14bを貫通形成し、シリコン基板1の表面を露出させる。これにより、シリコン酸化膜13上のシリコン窒化膜15、コンタクトホール14の上部14aの上面のシリコン窒化膜15が除去され、ゲート電極MGのシリコン窒化膜9もさらにエッチングされて掘り下げられる。
この結果、コンタクトホール14の上部14aには、内周壁に下端部を残してシリコン窒化膜15aが残った状態となり、同じく下部14bには、シリコン窒化膜15bが残った状態となる。また、ゲート電極MGの側壁部分とシリコン窒化膜11との間の間隙部14cにはシリコン窒化膜15cが埋め込まれた状態となる。
この後、図3に示すように、電極材料となる金属膜を形成し、CMP処理を行ってコンタクトホール14内に金属膜を埋め込んだ状態としてコンタクトプラグ16を形成する。このとき、コンタクトプラグ16用の金属膜をたとえばタングステン(W)とし、タングステンを埋め込む前にチタン(Ti)膜や窒化チタン(TiN)膜などのバリアメタルを形成した構成とすることができる。
なお、実際の半導体装置は、この後種々の周知な製造工程を経てNOR型フラッシュメモリ装置のチップとして形成されるものである。
このような本実施形態によれば、ゲート電極MG間に形成するドレインコンタクトDCを自己整合的に形成する場合において、コンタクトホール形成時にゲート電極MGとコンタクトバリア用のシリコン窒化膜11との間にできるシリコン酸化膜10がエッチング除去されてできるスリット状の落ち込みを、続く工程でシリコン窒化膜15cを埋め込み形成するので、コンタクトプラグ16を形成する際に、ゲート電極MGとのショート不良の発生を防止することができる。
このような本実施形態によれば、ゲート電極MG間に形成するドレインコンタクトDCを自己整合的に形成する場合において、コンタクトホール形成時にゲート電極MGとコンタクトバリア用のシリコン窒化膜11との間にできるシリコン酸化膜10がエッチング除去されてできるスリット状の落ち込みを、続く工程でシリコン窒化膜15cを埋め込み形成するので、コンタクトプラグ16を形成する際に、ゲート電極MGとのショート不良の発生を防止することができる。
この結果、ドレインコンタクトDCの形成を自己整合的に行なえることから、パターンの微細化を促進できると共に、工程能力の向上も図ることができる。
(他の実施形態)
本発明は、上記実施例にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
(他の実施形態)
本発明は、上記実施例にのみ限定されるものではなく、次のように変形または拡張できる。
ドレインコンタクトDCの形成と同様に、ローカルソース線LSの形成工程にも適用することもできる。また、ドレインコンタクトDCのコンタクトホール14とローカルソース線LSの溝を形成した状態でコンタクトプラグ16用の金属膜を埋め込み形成することで、同時に形成することができる。
実施形態においては、ドレインコンタクトDCの形成領域のゲート電極MGの間隔に対して、ローカルソース線LSの形成領域のゲート電極MGの間隔を広く設定した構成としているが、同じ間隔に設定しても良い。
ゲート電極MGの上部に設けるタングステンシリサイド膜8に代えて、コバルトシリサイド膜やニッケルシリサイド膜などのシリサイド膜を用いることができる。
NAND型フラッシュメモリ装置のコンタクトプラグの形成工程にも適用することができる。
NAND型フラッシュメモリ装置のコンタクトプラグの形成工程にも適用することができる。
図面中、1はシリコン基板(半導体基板)、2はSTI(素子分離領域)、3は活性領域、4はゲート絶縁膜(第1のゲート絶縁膜)、5は多結晶シリコン膜(第1の電極膜)、6はONO膜(第2のゲート絶縁膜)、7は多結晶シリコン膜(第2の電極膜)、9は第1のシリコン窒化膜、10は第1のシリコン酸化膜、11は第2のシリコン窒化膜、12は第2のシリコン酸化膜、14はコンタクトホール、15は第3のシリコン窒化膜、16はコンタクトプラグである。
Claims (5)
- 半導体基板の上面に第1のゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記第1のゲート絶縁膜上に第1の電極膜、第2のゲート絶縁膜、第2の電極膜、第1のシリコン窒化膜を積層してなる複数のゲート電極を形成する工程と、
前記複数のゲート電極の側壁に第1のシリコン酸化膜および第2のシリコン窒化膜を積層形成する工程と、
前記第2のシリコン窒化膜を形成した前記ゲート電極間に第2のシリコン酸化膜を埋め込み形成する工程と、
ゲート電極間の半導体基板の表面と電気的に接触するように前記第2のシリコン酸化膜の上面から貫通するコンタクトを形成する工程とを備え、
前記コンタクトの形成工程では、
前記コンタクト形成の対象領域の前記第2のシリコン酸化膜をシリコン窒化膜に対して選択性を有する条件でエッチングしてコンタクトホール上部を形成する第1の工程と、
前記第1の工程で形成したコンタクトホール上部の内壁面に第3のシリコン窒化膜を形成する第2の工程と、
前記第3および第2のシリコン窒化膜、第1のシリコン酸化膜をエッチングして前記半導体基板の上面に達するコンタクトホール下部を形成する第3の工程と、
前記コンタクトホール上部および下部内に導体を埋め込み前記コンタクトを形成する第4の工程と
を順次実行することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体基板の上面に第1のゲート絶縁膜を形成する工程と、
前記第1のゲート絶縁膜上に第1の電極膜、第2のゲート絶縁膜、第2の電極膜、第1のシリコン窒化膜を積層してなる複数のゲート電極を形成する工程と、
前記複数のゲート電極の側壁に第1のシリコン酸化膜および第2のシリコン窒化膜を積層形成する工程と、
前記第2のシリコン窒化膜を形成した前記ゲート電極間に第2のシリコン酸化膜を埋め込み形成する工程と、
ゲート電極間の半導体基板の表面と電気的に接触するように前記第2のシリコン酸化膜の上面から貫通するコンタクトを形成する工程とを備え、
前記コンタクトの形成工程では、
前記コンタクト形成の対象領域を含み且つ前記ゲート電極の上面にかかる開口パターンで前記第2のシリコン酸化膜をシリコン窒化膜に対して選択性を有する条件でエッチングしてコンタクトホール上部を形成する第1の工程と、
前記第1の工程で形成したコンタクトホール上部のエッチング面を覆うように第3のシリコン窒化膜を形成する第2の工程と、
前記第3および第2のシリコン窒化膜、第1のシリコン酸化膜をエッチングして前記半導体基板の上面に達するコンタクトホール下部を形成する第3の工程と、
前記コンタクトホール上部および下部内に導体を埋め込み前記コンタクトを形成する第4の工程と
を順次実行することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法において、
前記第3のシリコン窒化膜の形成工程では、前記ゲート電極の側壁の第1のシリコン酸化膜がエッチングにより除去された部分に埋め込むように前記第3のシリコン窒化膜を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記コンタクトは、前記半導体基板の前記ゲート電極の間の表層に不純物を導入して形成した複数個のドレイン領域とコンタクトをとるためのドレインコンタクトであることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置の製造方法において、
前記コンタクトは、前記半導体基板の前記ゲート電極の間の表層に不純物を導入して形成したソース領域を共通に接続するコンタクト溝に形成する溝配線であることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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