JP2010040329A - 半導体リソグラフィ用光源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウェハ上に回路パターンを形成するための短波長の光を発生させる半導体リソグラフィ用光源であって、負圧の状態で希ガス又は希ガスを含んだ混合ガスが充填される内部空間を画定した外周壁部を有する光源本体と、前記内部空間内に所定の軸線周りの回転磁場を発生させる磁場発生手段とを備え、前記光源本体は、少なくとも外周壁部が電気絶縁性を有する非磁性の材料で構成されるとともに、少なくとも一部に短波長の光成分又は該光成分を含んだ光を内部空間から外部へ放出させる光放出部が形成されていることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 半導体ウェハ上に回路パターンを形成するための短波長の光を発生させる半導体リソグラフィ用光源であって、負圧の状態で希ガス又は希ガスを含んだ混合ガスが充填される内部空間を画定した外周壁部を有する光源本体と、前記内部空間内に所定の軸線周りの回転磁場を発生させる磁場発生手段とを備え、前記光源本体は、少なくとも外周壁部が電気絶縁性を有する非磁性の材料で構成されるとともに、少なくとも一部に短波長の光成分又は該光成分を含んだ光を内部空間から外部へ放出させる光放出部が形成されていることを特徴とする半導体リソグラフィ用光源。
- 前記磁場発生手段は、内部空間内に前記軸線方向の軸磁場を発生させつつ回転磁場を発生させるように構成されている請求項1に記載の半導体リソグラフィ用光源。
- 前記光源本体は、外周壁部が筒状に形成され、前記磁場発生手段は、外周壁部周りに間隔をあけて配置された複数の第一コイルと、外周壁部の軸線方向に間隔をあけて該外周壁部に外嵌された複数の第二コイルとを備え、第二コイルで軸磁場を発生させつつ第一コイルで交番磁界を発生させて回転磁場を発生させるように構成されている請求項2に記載の半導体リソグラフィ用光源。
- 前記希ガスは、キセノン(Xe)ガス、又はネオン(Ne)ガスの何れかである請求項1乃至3の何れか1項に記載の半導体リソグラフィ用光源。
- 前記光源本体は、少なくとも外周壁部が耐熱ガラスで構成されている請求項1乃至4の何れか1項に記載の半導体リソグラフィ用光源。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079857A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kansai Univ | 半導体リソグラフィ用光源装置 |
JP2012204159A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Nihon Univ | 定常プラズマ生成装置 |
JP2016516257A (ja) * | 2013-02-27 | 2016-06-02 | エコール ポリテクニック | パルス磁場によりレーザープラズマを磁化するための装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05220353A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-08-31 | Trw Inc | 磁界内に電気的に中性で、密度の均一なプラズマの連続流をつくる方法 |
JP2001155896A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-08 | Japan Atom Energy Res Inst | 回転プラズマ放電型x線発生装置 |
JP2002507832A (ja) * | 1998-03-18 | 2002-03-12 | プレックス・エルエルシー | 希釈ガスを使用するzピンチの柔らかいx線源 |
JP2005522839A (ja) * | 2002-04-10 | 2005-07-28 | サイマー インコーポレイテッド | 極紫外線光源 |
JP2006080255A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
JP2008508729A (ja) * | 2004-07-28 | 2008-03-21 | ボード・オブ・リージェンツ・オブ・ザ・ユニヴァーシティー・アンド・コミュニティー・カレッジ・システム・オブ・ネヴァダ・オン・ビハーフ・オブ・ザ・ユニヴァーシティー・オブ・ネヴァダ | 無電極放電型極紫外線源 |
JP2008166772A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Asml Netherlands Bv | デブリ低減システム及びリソグラフィ装置 |
-
2008
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05220353A (ja) * | 1991-08-26 | 1993-08-31 | Trw Inc | 磁界内に電気的に中性で、密度の均一なプラズマの連続流をつくる方法 |
JP2002507832A (ja) * | 1998-03-18 | 2002-03-12 | プレックス・エルエルシー | 希釈ガスを使用するzピンチの柔らかいx線源 |
JP2001155896A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-06-08 | Japan Atom Energy Res Inst | 回転プラズマ放電型x線発生装置 |
JP2005522839A (ja) * | 2002-04-10 | 2005-07-28 | サイマー インコーポレイテッド | 極紫外線光源 |
JP2008508729A (ja) * | 2004-07-28 | 2008-03-21 | ボード・オブ・リージェンツ・オブ・ザ・ユニヴァーシティー・アンド・コミュニティー・カレッジ・システム・オブ・ネヴァダ・オン・ビハーフ・オブ・ザ・ユニヴァーシティー・オブ・ネヴァダ | 無電極放電型極紫外線源 |
JP2006080255A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置 |
JP2008166772A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Asml Netherlands Bv | デブリ低減システム及びリソグラフィ装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012079857A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-19 | Kansai Univ | 半導体リソグラフィ用光源装置 |
JP2012204159A (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-22 | Nihon Univ | 定常プラズマ生成装置 |
JP2016516257A (ja) * | 2013-02-27 | 2016-06-02 | エコール ポリテクニック | パルス磁場によりレーザープラズマを磁化するための装置 |
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