JP2010034585A - チップ実装装置における平行度調整方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 チップ又はヘッドと、基板又は基板保持ステージとに、それぞれ、互いに対応する少なくとも3点の認識マークを付し、オートフォーカス機能付き2視野の認識手段を挿入し、該2視野の認識手段のオートフォーカス機能により、チップ又はヘッドに付された各認識マークまでの距離および前記基板又は基板保持ステージに付された各認識マークまでの距離を測定し、対応する認識マークまでの各測定距離から、チップ又はヘッドと基板又は基板保持ステージとの間の平行度を算出するとともに、算出された平行度を目標精度範囲内に納めるための平行度補正量を演算し、演算された平行度補正量に基づいて平行度を補正する。
【選択図】 図1
Description
αh=tan-1[((A+D)/2-(B+C)/2)/L1]
チップ2側のα方向平行度については、
αh=tan-1[((E+H)/2-(F+G)/2)/L1]
として算出でき、基板4側のβ方向平行度については、
βh=tan-1[((A+B)/2-(C+D)/2)/L2]
チップ2側のα方向平行度については、
βh=tan-1[((E+F)/2-(G+H)/2)/L2]
として算出できる。
2 チップ
3 ヘッド
4 基板
5 基板保持ステージ
6 ブロック
7 ツール
7a 加圧機構
8 昇降テーブル
9 回転テーブル
10 Y方向に位置制御されるテーブル
11 X方向に位置制御されるテーブル
12 平行移動制御機構
13 オートフォーカス機能付き2視野の認識手段
14 チップ側認識マーク
15 基板側認識マーク
21 マルチポジション対応基板
22 各認識マーク
31 外ハウジング
32 内ハウジング
33 装置フレーム
34 ヘッドブラケット
35、36、37、38 軸
39、40 揺動アーム
41、42 固定アーム
43、44 アクチュエータ
45、46 ロッド
47、48 筒ケーシング
49、50 コイルバネ
51 2視野の認識手段の焦点位置
52 格子状の認識マーク
53 白部分
54 黒部分
55 ストライプ状の認識マーク
61 基板保持ステージ
62 基板
63 基板保持面
64 1視野の認識手段
64a、64b、64c、64d、64e、64f、64g、64h 1視野の認識手段の位置
65、65a、65b、65c、65d 基板側の認識マーク
66 可動テーブル
67 回転テーブル
68 チップ
69a、69b、69c、69d チップ側の認識マーク
71 バックアップガラス部材
72 液晶ディスプレイ
73 チップ
74 レンズ
75 1視野の認識手段
76a、76b、76c、76d 液晶ディスプレイ側の認識マーク
77a、77b、77c、77d チップ側の認識マーク
Claims (9)
- ヘッドに保持されているチップを、前記ヘッドの下方に配されている基板保持ステージに保持されている基板に、ヘッドを下降させることにより接合するチップ実装装置における、前記チップと前記基板との平行度を調整する方法であって、前記チップ又はヘッドと、前記基板又は基板保持ステージとに、それぞれ、互いに対応する少なくとも3点の認識マークを付し、前記チップ又はヘッドと、前記基板又は基板保持ステージとの間に、オートフォーカス機能付き2視野の認識手段を挿入し、該2視野の認識手段のオートフォーカス機能により、前記チップ又はヘッドに付された各認識マークまでの距離および前記基板又は基板保持ステージに付された各認識マークまでの距離を測定し、対応する認識マークまでの各測定距離から、チップ又はヘッドと基板又は基板保持ステージとの間の平行度を算出するとともに、算出された平行度を目標精度範囲内に納めるための平行度補正量を演算し、演算された平行度補正量に基づいて平行度を補正することを特徴とする、チップ実装装置における平行度調整方法。
- ヘッドに保持されているチップを、前記ヘッドの下方に配されている基板保持ステージに保持されている基板に、ヘッドを下降させることにより接合するチップ実装装置における、前記チップと前記基板との平行度を調整する方法であって、前記チップ又はヘッドと、前記基板又は基板保持ステージとに、それぞれ、互いに対応する少なくとも3点の認識マークを付し、前記チップ又はヘッドと、前記基板保持ステージの基板保持面の下方に、オートフォーカス機能付き1視野の認識手段を挿入し、該1視野の認識手段のオートフォーカス機能により、前記基板又は基板保持ステージに付された各認識マークまでの距離および前記チップ又はヘッドに付された各認識マークまでの距離を測定し、対応する認識マークまでの各測定距離から、基板又は基板保持ステージとチップ又はヘッドとの間の平行度を算出するとともに、算出された平行度を目標精度範囲内に納めるための平行度補正量を演算し、演算された平行度補正量に基づいて平行度を補正することを特徴とする、チップ実装装置における平行度調整方法。
- 前記演算された平行度の算出および平行度補正量の演算を、水平方向における、前記チップ又はヘッドと、前記基板又は基板保持ステージとの間の複数の対応位置毎に行い、各対応位置毎に、演算された平行度補正量に基づいて平行度を補正する、請求項1または2のチップ実装装置における平行度調整方法。
- 前記演算された平行度補正量を記憶し、後続の基板へのチップ実装工程においては、前記平行度の算出を行うことなく、前記記憶された平行度補正量に基づいて、前記各対応位置毎に平行度の補正を行う、請求項3のチップ実装装置における平行度調整方法。
- チップ実装装置がヘッドの自動交換機能を有しており、前記平行度の算出と平行度補正量の演算を交換されるヘッド毎に行い、各ヘッド毎に、演算された平行度補正量に基づいて平行度を補正する、請求項1または2のチップ実装装置における平行度調整方法。
- 前記演算された平行度補正量を記憶し、後続の基板へのチップ実装工程においては、前記平行度の算出を行うことなく、前記記憶された平行度補正量に基づいて、各ヘッド毎に平行度の補正を行う、請求項5のチップ実装装置における平行度調整方法。
- 前記平行度補正量に基づいて、前記基板保持ステージおよびヘッドの少なくとも一方を、水平方向における二軸周りに回動制御することにより平行度の補正を行う、請求項1〜6のいずれかに記載のチップ実装装置における平行度調整方法。
- 前記認識手段により検出される認識マークとして、位置決め用のマークに比べて高精度検出が可能な認識マークを付す、請求項1〜7のいずれかに記載のチップ実装装置における平行度調整方法。
- 前記認識マークとして、前記認識手段による検出エッジ長が、単一図形マークの場合に比べて増大されているマークを付す、請求項8のチップ実装装置における平行度調整方法。
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-
2009
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