JP2010034247A - キャリア付きプリント配線基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔2と金属極薄箔3とからなるキャリア層5と、前記金属極薄箔3の表面に形成され外部電極と接続するための外部接続電極6と、電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極10と、前記外部接続電極6と前記電子デバイス接続電極10とを導通する配線パターン8とを有する。
【選択図】図1
Description
2 銅箔
3 剥離層
4 極薄銅箔
5 ピーラブル銅箔
6 外部接続電極
7 絶縁層
8 配線パターン
9,25 金属下地層
10 バンプ
21 他の配線パターン
22 他の絶縁層
Claims (10)
- 導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔と金属極薄箔とからなるキャリア層と、
前記金属極薄箔の表面に形成され外部電極と接続するための外部接続電極と、
電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極と、
前記外部接続電極と前記電子デバイス接続電極とを導通する配線パターンと
を有することを特徴とするキャリア付きプリント配線基板。 - 前記キャリア層は、前記キャリア付きプリント配線基板の製造工程においてかかる負荷により寸法変形が生じない厚みを有することを特徴とする請求項1に記載のキャリア付きプリント配線基板。
- 前記金属箔と前記金属極薄箔とは、銅からなることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のキャリア付きプリント配線基板。
- 前記キャリア層は、厚みが18μm以上70μm以下であることを特徴とする請求項3に記載のキャリア付きプリント配線基板。
- 前記金属極薄箔は、厚みが1〜10μmであることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のキャリア付きプリント配線基板。
- 前記電子デバイス接続電極は、金属バンプであることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のキャリア付きプリント配線基板。
- 前記配線パターンを複数積層したことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のキャリア付きプリント配線基板。
- 導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔と金属極薄箔とからなるキャリア層の前記金属極薄箔の表面に、外部電極と接続するための外部接続電極が形成される位置を除いて絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記金属極薄箔の表面であって前記絶縁層が形成されていない位置に、電気めっきにより、前記外部接続電極を形成する外部接続電極形成工程と、
前記絶縁層および前記外部接続電極の表面に、金属下地層を形成した後に、前記金属下地層の表面に、電気めっきにより金属層を形成し、所定箇所の前記金属下地層及び前記金属層を除去して配線パターンを形成する配線パターン形成工程と、
前記配線パターンの所定位置に、電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極を形成する電子デバイス接続電極形成工程とを有することを特徴とするキャリア付きプリント配線基板の製造方法。 - 導電性を有し少なくとも互いに剥離可能に接着された金属箔と金属極薄箔とからなるキャリア層の前記金属極薄箔の表面に、外部電極と接続するための外部接続電極が形成される位置を除いて絶縁層を形成する絶縁層形成工程と、
前記金属極薄箔の表面であって前記絶縁層が形成されていない位置に、電気めっきにより、前記外部接続電極を形成する外部接続電極形成工程と、
前記絶縁層および前記外部接続電極の表面に、金属下地層を形成した後に、前記金属下地層の表面に、電気めっきにより金属層を形成し、所定箇所の前記金属下地層及び前記金属層を除去して配線パターンを形成する配線パターン形成工程と、
前記配線パターンおよび前記絶縁層の表面に、前記配線パターンと他の配線パターンとの接続箇所を除いて、他の絶縁層を形成する他の絶縁層形成工程と、
前記配線パターンおよび前記他の絶縁層の表面に、金属下地層を形成した後に、前記金属下地層の表面に、電気めっきにより金属層を形成し、所定箇所の前記金属下地層及び前記金属層を除去して前記他の配線パターンを形成する他の配線パターン形成工程と、
前記他の配線パターンの所定位置に、電子デバイスと電気的に接続する電子デバイス接続電極を形成する電子デバイス接続電極形成工程とを有することを特徴とするキャリア付きプリント配線基板の製造方法。 - 前記他の絶縁層形成工程および前記他の配線パターン形成工程を複数回繰り返した後、前記電子デバイス接続電極形成工程を行うことを特徴とする請求項7に記載のキャリア付きプリント配線基板の製造方法。
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JP2000043188A (ja) * | 1998-05-29 | 2000-02-15 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 樹脂付複合箔およびその製造方法並びに該複合箔を用いた多層銅張り積層板および多層プリント配線板の製造方法 |
JP2007096260A (ja) * | 2005-08-29 | 2007-04-12 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 多層配線基板及びその製造方法 |
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