JP2010029973A - 研削盤および研削方法 - Google Patents

Abstract

【課題】Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石がワークの中心軸方向に常に移動することを可能とする研削盤および研削方法を提供する。
【解決手段】ベッド１０を基準として主軸台２０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ１を常時監視する第一変位監視手段７１、６１、６２と、ベッド１０を基準として心押台３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ２を常時監視する第二変位監視手段７２、６１、６２と、主軸台２０の相対変位Ｌ１および心押台３０の相対変位Ｌ２に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きθ１を算出する傾き算出手段６３と、ワーク軸の傾きθ１に基づいてワークＷのテーパ誤差を補正する補正手段６４とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、研削盤および研削方法に関するものである。

長尺ワークを研削する際には、一般に、当該長尺ワークを主軸台と心押台とにより挟持して行われる。主軸台と心押台とによりワークを挟持する場合には、主軸台の回転軸と心押台の回転軸とが一致していない場合には、研削盤のＺ軸方向に対してワークの回転軸が傾く。そして、対象のワークが長尺であるほど、主軸台と心押台とは離れた位置にあるため、例えば、熱変位により主軸台の回転軸と心押台の回転軸とが一致しなくなることがある。この状態のまま、ワークを円筒状に研削しようとすると、テーパ状になってしまう。

この問題を解決するために、例えば、特開平６−１１４７０２号公報（特許文献１）に記載されたものがある。特許文献１には、砥石台に設けられたタッチセンサを、主軸台に設けられた測定部と心押台の測定部とに当接させて、両者の傾きを算出するとされている。そして、算出された傾きに応じて、心押台をＸ方向に移動させることで、主軸台の回転軸と心押台の回転軸とが一致するようにしている。
特開平６−１１４７０２号公報

しかし、砥石台に設けたタッチセンサを用いて、主軸台の回転軸と心押台の回転軸との傾きを測定しているため、実際の研削途中においてはその傾きを測定することができない。研削途中においても、主軸台や心押台の熱変位量が変化するおそれがあるため、従来の技術では、一度補正した後においても、主軸台の回転軸と心押台の回転軸とに傾きが生じるおそれがある。つまり、測定時における変位量と研削時における変位量が異なるおそれがある。そうすると、高精度な研削ができない。そこで、Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石がワークの中心軸方向に常に移動することが望まれる。ただし、砥石台に設けられたタッチセンサを用いたとしても、研削途中に当該タッチセンサによる測定ができないため、解決することはできない。

さらに、特許文献１の研削盤では、通常の研削動作とは別に、熱変位補正のために、タッチセンサを測定部に当接させる動作を行わなければならない。そのため、サイクルタイムが長くなってしまうという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、サイクルタイムが長くなることなく、Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石がワークの中心軸方向に常に移動することを可能とする研削盤および研削方法を提供することを目的とする。

以下、上記課題を解決するのに適した各手段につき、必要に応じて作用効果等を付記しつつ説明する。

＜第一の研削盤＞
（手段１）手段１の研削盤は、
ベッドと、
前記ベッド上に載置されワークの両端を支持する主軸台および心押台と、
前記ベッド上に載置され前記主軸台および前記心押台に対してＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動可能な砥石台と、
前記ベッドを基準として前記主軸台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第一変位監視手段と、
前記ベッドを基準として前記心押台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第二変位監視手段と、
前記主軸台の前記相対変位および前記心押台の前記相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きを算出する傾き算出手段と、
前記ワーク軸の傾きに基づいて前記ワークのテーパ誤差を補正する補正手段と、
を備えることを特徴とする。

手段１によれば、第一変位監視手段および第二変位監視手段により、ベッドを基準として主軸台および心押台の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視している。ここで、基準となるベッドは固定されているため、このベッドを基準とすることにより、当該相対変位を常時監視することが可能となる。従って、傾き算出手段は、基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きを常時算出することができる。つまり、研削途中においても、傾き算出手段は、前記傾きを算出できる。そして、補正手段により、当該ワーク軸の傾きに基づいてワークのテーパ誤差を補正している。つまり、熱変位などによりワーク軸が基準Ｚ軸に対して傾いていたとしても、Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石がワークの中心軸方向に常に移動することができる。その結果、高精度な加工が可能となる。

さらに、本発明によれば、従来のような通常の研削動作とは別の動作（熱変位補正のためのタッチセンサを測定部に当接させる動作）を行うことなく、通常の研削動作のみで上記処理が可能となる。従って、本発明によれば、従来に比べて、サイクルタイムが長くなることを防止できる。

（手段２）手段１の研削盤において、
前記砥石台は、前記ベッドに対して前記Ｚ軸方向に相対移動可能であり、
前記ベッドを基準として前記砥石台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第三変位監視手段を備え、
前記傾き算出手段は、前記砥石台の相対変位に基づいて、前記基準Ｚ軸に対する前記砥石台が移動する前記Ｚ軸方向の傾きを算出し、
前記補正手段は、前記ワーク軸の傾きおよび前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きに基づいて、前記ワークのテーパ誤差を補正する。

手段２によれば、さらに、第三変位監視手段により、ベッドを基準として砥石台の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視している。ここで、ワークのテーパ誤差が生じる原因として、ワーク軸が基準Ｚ軸に対して傾いていることに加えて、砥石台のＺ軸移動方向の傾きがある。つまり、手段２によれば、両者を考慮した上で、ワークのテーパ誤差を補正しているため、より高精度に研削加工ができる。

（手段３）手段１または２の研削盤において、前記ワーク軸の傾きは、前記主軸台による前記ワークの支持点と前記心押台による前記ワークの支持点とを結ぶ支持点間方向と、前記基準Ｚ軸との傾きである。支持点間方向がワークの回転軸となる。手段３によれば、確実にワークのテーパ誤差を補正できる。

（手段４）手段２の研削盤において、
前記砥石台は、前記ベッドに設けられた砥石台用ガイドに沿って前記Ｚ軸方向に相対移動し、
前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きは、前記基準Ｚ軸に対する前記砥石台用ガイドの傾きである。
手段４によれば、砥石台のＺ軸方向の傾きを確実に算出できる。その結果、より高精度に研削加工ができる。

（手段５）手段１〜４の何れかの研削盤において、
前記第一変位監視手段または前記第二変位監視手段は、
前記主軸台または前記心押台の温度を検出する温度センサと、
予め前記主軸台または前記心押台の温度と前記絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との第一の関係または第二の関係を記憶する関係記憶手段と、
前記温度センサにより検出された前記温度と前記関係記憶手段に記憶された前記第一の関係または前記第二の関係とに基づいて前記主軸台または前記心押台の前記相対変位を推定する変位推定手段と、
を備える。
手段５によれば、主軸台または心押台の温度を監視することで、主軸台または心押台の変位量を推定している。これにより、主軸台および心押台の熱変位による影響を確実に補正できる。

（手段６）手段２の研削盤において、
前記第三変位監視手段は、
前記砥石台または前記砥石台近傍の温度を検出する温度センサと、
予め前記砥石台または前記砥石台近傍の温度と前記絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との第三の関係を記憶する関係記憶手段と、
前記温度センサにより検出された前記温度と前記関係記憶手段に記憶された前記第三の関係とに基づいて前記砥石台の前記相対変位を推定する変位推定手段と、
を備える。

手段６によれば、砥石台または砥石台近傍（例えば、砥石台用ガイドレール）の温度を監視することで、砥石台の変位量を推定している。これにより、砥石台の熱変位による影響を確実に補正できる。

（手段７）手段１〜４の何れかの研削盤において、前記第一変位監視手段および前記第二変位監視手段は、変位センサである。
手段７によれば、主軸台および心押台の変位を直接的に監視している。これにより、主軸台および心押台の熱変位を含む変位全ての影響を確実に補正できる。

（手段８）手段７の研削盤において、前記第一変位監視手段は、前記主軸台のうち前記ワークの支持点における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する。
手段８によれば、主軸台のうちワークの支持点の相対変位を直接的に監視しているので、より確実にワークの傾きを算出できる。

（手段９）手段７の研削盤において、前記第一変位監視手段は、前記主軸台に設けられた基準座における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する。
手段９によれば、主軸台のうちワークの支持点の変位ではなく、主軸台の基準座の変位を監視している。位置によっては、主軸台のうちワークの支持点の変位を直接監視できない場合があるが、このような場合に、基準座の変位を監視することで、確実に、主軸台の変位を監視することができる。

（手段１０）手段７の研削盤において、前記第二変位監視手段は、前記心押台のうち前記ワークの支持点における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する。
手段１０によれば、心押台のうちワークの支持点の相対変位を直接的に監視しているので、より確実にワークの傾きを算出できる。

（手段１１）手段７の研削盤において、前記第二変位監視手段は、前記心押台に設けられた基準座における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する。
手段１１によれば、心押台のうちワークの支持点の変位ではなく、心押台の基準座の変位を監視している。位置によっては、心押台のうちワークの支持点の変位を直接監視できない場合があるが、このような場合に、基準座の変位を監視することで、確実に、心押台の変位を監視することができる。

（手段１２）手段２または４の研削盤において、前記第三変位監視手段は、変位センサである。
手段１２によれば、砥石台の変位を直接的に監視している。これにより、砥石台の熱変位を含む変位全ての影響を確実に補正できる。

＜第二の研削盤＞
（手段１３）手段１３の研削盤は、
ベッドと、
前記ベッド上に載置されワークの両端を支持する主軸台および心押台と、
前記ベッド上に載置され前記主軸台および前記心押台に対してＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動可能であり前記ベッドに対して前記Ｚ軸方向に相対移動可能な砥石台と、
前記ベッドを基準として前記砥石台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第三変位監視手段と、
前記砥石台の相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対する前記砥石台が移動する前記Ｚ軸方向の傾きを算出する傾き算出手段と、
前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きに基づいて、前記ワークのテーパ誤差を補正する補正手段と、
を備えることを特徴とする。

手段１３によれば、第三変位監視手段により、ベッドを基準として砥石台の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視している。ここで、基準となるベッドは固定されているため、このベッドを基準とすることにより、当該相対変位を常時監視することが可能となる。従って、傾き算出手段は、基準Ｚ軸に対する砥石台が移動するＺ軸方向の傾きを常時算出することができる。つまり、研削途中においても、傾き算出手段は、前記傾きを算出できる。そして、補正手段により、当該砥石台が移動するＺ軸方向の傾きに基づいてワークのテーパ誤差を補正している。つまり、熱変位などにより砥石台が移動するＺ軸方向が基準Ｚ軸に対して傾いていたとしても、Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石がワークの中心軸方向に常に移動することができる。その結果、高精度な加工が可能となる。

（手段１４）手段１３の研削盤において、
前記第三変位監視手段は、
前記砥石台または前記砥石台近傍の温度を検出する温度センサと、
予め前記砥石台または前記砥石台近傍の温度と前記絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との第三の関係を記憶する関係記憶手段と、
前記温度センサにより検出された前記温度と前記関係記憶手段に記憶された前記第三の関係とに基づいて前記砥石台の前記相対変位を推定する変位推定手段と、
を備える。

手段１４によれば、砥石台または砥石台近傍（例えば、砥石台用ガイドレール）の温度を監視することで、砥石台の変位量を推定している。これにより、砥石台の熱変位による影響を確実に補正できる。

（手段１５）手段１３の研削盤において、前記第三変位監視手段は、変位センサである。
手段１５によれば、砥石台の変位を直接的に監視している。これにより、砥石台の熱変位を含む変位全ての影響を確実に補正できる。

＜第一の研削方法＞
（手段１６）手段１６の研削方法は、
ベッド上に載置された主軸台および心押台により両端を支持されたワークに対して、前記ベッド上に載置された砥石台をＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動させることにより研削を行う研削方法であって、
前記ベッドを基準として前記主軸台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視し、
前記ベッドを基準として前記心押台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視し、
前記主軸台の前記相対変位および前記心押台の前記相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きを算出し、
前記ワーク軸の傾きに基づいて前記ワークのテーパ誤差を補正することを特徴とする。
手段１６によれば、手段１に係る研削盤による効果と同様の効果を奏する。

＜第二の研削方法＞
（手段１７）手段１７の研削方法は、
ベッド上に載置された主軸台および心押台により両端を支持されたワークに対して、前記ベッド上に載置された砥石台をＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動させることにより研削を行う研削方法であって、
前記ベッドを基準として前記砥石台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視し、
前記砥石台の相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対する前記砥石台が移動する前記Ｚ軸方向の傾きを算出し、
前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きに基づいて、前記ワークのテーパ誤差を補正することを特徴とする。
手段１７によれば、手段１３に係る研削盤による効果と同様の効果を奏する。

以下、本発明の研削盤および研削方法を具体化した実施形態について図面を参照しつつ説明する。第一実施形態は、砥石台トラバース構成の研削盤であって、温度センサを用いるものである。第二実施形態は、テーブルトラバース構成の研削盤であって、温度センサを用いるものである。第三実施形態は、砥石台トラバース構成の研削盤であって、変位センサを用いるものである。第四実施形態は、テーブルトラバース構成の研削盤であって、変位センサを用いるものである。

＜第一実施形態＞
第一実施形態の研削盤１について、図１および図２を参照して説明する。図１は、研削盤１の平面図である。図２は、研削盤１の制御ブロック図である。

図１に示すように、研削盤１は、いわゆる砥石台トラバース構成からなる。この研削盤１は、ベッド１０と、主軸台２０と、心押台３０と、砥石支持装置４０と、制御装置６０と、温度センサ７１〜７４から構成される。

ベッド１０は、ほぼ矩形状からなり、床上に配置される。このベッド１０の上面には、砥石支持装置４０を構成する砥石台トラバースベース４１が摺動可能な砥石台用ガイドレール１１、１２が、絶対座標系Ｚ軸方向（図１の左右方向）に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。ただし、この砥石台用ガイドレール１１、１２は、熱変位などにより、絶対座標系Ｚ軸方向から傾く可能性がある。また、ベッド１０には、砥石台用ガイドレール１１、１２の間に、砥石台トラバースベース４１を図１の左右方向に駆動するための、砥石台用Ｚ軸ボールねじ（図示せず）が配置され、この砥石台用Ｚ軸ボールねじを回転駆動する砥石台用Ｚ軸モータ１７が配置されている。

主軸台２０は、主軸台本体２１と、主軸２２と、主軸センタ２３とを備えている。主軸台本体２１は、ベッド１０上に固定されている。この主軸台本体２１の内部には、主軸２２が主軸軸回りに回転可能に挿通支持されている。この主軸２２の回転軸は、絶対座標系Ｚ軸に一致するように設定されているが、主軸台２０の熱変位などの影響により、絶対座標系Ｚ軸に対して傾くこともある。さらに、この主軸２２の右端に、ワークＷの軸方向一端を支持する主軸センタ２３が取り付けられている。

心押台３０は、心押台本体３１と、心押センタ３２とを備えている。心押台本体３１は、ベッド１０上のうち、主軸台２０に対向するように固定されている。この心押台本体３１は、図１の左右方向に貫通する穴が形成されている。この心押台本体３１の貫通孔に、心押センタ３２が回転可能に挿通支持されている。そして、この心押センタ３２は、ワークＷの軸方向他端を支持する。つまり、心押センタ３２は、主軸センタ２３に対向するように配置されている。この心押センタ３２の回転軸は、主軸２２の主軸軸と同軸上、すなわち、絶対座標系Ｚ軸に一致するように位置している。心押センタ３２の回転軸は、絶対座標系Ｚ軸に一致するように設定されているが、心押台３０の熱変位などの影響により、絶対座標系Ｚ軸に対して傾くこともある。

そして、主軸センタ２３と心押センタ３２とにより、ワークＷの両端を支持している。つまり、ワークＷは、主軸センタ２３および心押センタ３２により、主軸２２の回転軸回りに回転可能に支持されている。したがって、主軸センタ２３によるワークＷの支持点と心押センタ３２によるワークＷの支持点とを結ぶ支持点間方向が、ワークＷの回転軸となる。このワークＷの回転軸は、基本的には、絶対座標系Ｚ軸に一致する。ただし、主軸台２０および心押台３０の熱変位の影響により、ワークＷの回転軸が、絶対座標系Ｚ軸に対して傾くことがある。

砥石支持装置４０は、砥石台トラバースベース４１と、砥石台４２と、砥石車４３と、砥石回転用モータ４４とを備えている。砥石台トラバースベース４１は、ほぼ矩形の平板状に形成されており、ベッド１０の上面のうち、砥石台用ガイドレール１１、１２上を摺動可能に配置されている。砥石台トラバースベース４１は、砥石台用ボールねじのナット部材に連結されており、砥石台用Ｚ軸モータ１７の駆動により砥石台用ガイドレール１１、１２に沿って移動する。つまり、砥石台用ガイドレール１１、１２が絶対座標系Ｚ軸に一致している場合には、砥石台トラバースベース４１は、絶対座標系Ｚ軸方向に移動可能であるが、砥石台用ガイドレール１１、１２が絶対座標系Ｚ軸に対して傾いている場合には、砥石台トラバースベース４１は、絶対座標系Ｚ軸から傾いた方向に移動することになる。

この砥石台トラバースベース４１の上面には、砥石台４２が摺動可能なＸ軸ガイドレール４１ａ、４１ｂが、図１の上下方向（Ｘ軸方向）に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。さらに、砥石台トラバースベース４１には、Ｘ軸ガイドレール４１ａ、４１ｂの間に、砥石台４２を図１の上下方向に駆動するための、Ｘ軸ボールねじ（図示せず）が配置され、このＸ軸ボールねじを回転駆動するＸ軸モータ４１ｃが配置されている。

砥石台４２は、砥石台トラバースベース４１の上面のうち、Ｘ軸ガイドレール４１ａ、４１ｂ上を摺動可能に配置されている。そして、砥石台４２は、Ｘ軸ボールねじのナット部材に連結されており、Ｘ軸モータ４１ｃの駆動によりＸ軸ガイドレール４１ａ、４１ｂに沿って移動する。つまり、砥石台４２は、ベッド１０、主軸台２０および心押台３０に対して、Ｘ軸方向およびＺ軸方向に相対移動可能となる。

そして、この砥石台４２のうち図１の下側部分には、図１の左右方向に貫通する穴が形成されている。この砥石台４２の貫通孔に、砥石車回転軸部材が、砥石中心軸周り（Ｚ軸周り）に回転可能に支持されている。この砥石車回転軸部材の一端（図１の左端）に、砥石車４３が同軸的に取り付けられている。また、砥石台４２の上面には、砥石回転用モータ４４が固定されている。そして、砥石車回転軸部材の他端（図１の右端）と砥石回転用モータ４４の回転軸とにプーリが懸架されることで、砥石回転用モータ４４の駆動により、砥石車４３が砥石軸回りに回転する。

制御装置６０は、主軸２２の回転、砥石台４２のＸ軸位置およびＺ軸位置をＮＣ制御している。つまり、制御装置６０により、砥石車４３を回転させながら、砥石車４３のワークＷに対するＸ軸位置およびＺ軸位置を制御することで、ワークＷの外周面を研削加工する。後述するが、制御装置６０は、温度センサ７１〜７４の出力に基づいて、砥石台４２の移動方向を補正する。

温度センサ７１は、主軸台２０、特に、主軸２２を回転駆動するためのビルトインモータ（図示せず）近傍に設けられ、当該部位の温度を検出する。温度センサ７２は、心押台３０に設けられ、心押台３０の温度を検出する。温度センサ７３は、砥石台用ガイドレール１１のうち一方端付近に設けられ、当該部位の温度を検出する。温度センサ７４は、砥石台用ガイドレール１１のうち他方端付近に設けられ、当該部位の温度を検出する。

次に、制御装置６０によるＺ軸補正に関する処理について図２を参照して説明する。図２に示すように、制御装置６０の機能ブロックとしては、関係記憶部６１と、変位推定部６２と、傾き算出部６３と、補正部６４とから構成される。

ここで、上述したように、主軸台２０、心押台３０の熱変位の影響により、ワーク軸が絶対座標系Ｚ軸に対して傾くことがある。このような場合に、砥石台４２をＺ軸方向に移動させる指令を出した場合に、砥石台４２が移動する方向がワークＷの回転軸に一致しない。そうすると、円筒外周面を研削したい場合に、テーパ状に研削されてしまう。また、砥石台用ガイドレール１１、１２が熱変位の影響により絶対座標系Ｚに対して傾くことがある。このような場合にも、砥石台４２をＺ軸方向に移動させる指令を出した場合に、砥石台４２が移動する方向がワークＷの回転軸に一致しない。この場合も、上記同様に、ワークはテーパ状に研削されてしまう。そこで、以下に説明するようにテーパ誤差を補正することで、円筒外周面を研削したい場合に、熱変位などの影響を受けることなく、確実に円筒外周面を研削できるようにする。

関係記憶部６１は、以下の第一の関係、第二の関係、および第三の関係を記憶しておく。第一の関係とは、主軸台２０の温度と、主軸台２０における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係である。第二の関係とは、心押台３０の温度と、心押台３０における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係である。第三の関係とは、砥石台用ガイドレール１１の一端の温度と当該一端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係と、砥石台用ガイドレール１１の他端の温度と当該他端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係である。

変位推定部６２は、温度センサ７１により検出された主軸台２０の温度と第一の関係とに基づいて、主軸センタ２３によるワークＷの支持点における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ１を算出する。また、変位推定部６２は、温度センサ７２により検出された心押台３０の温度と第二の関係とに基づいて、心押センタ３２によるワークＷの支持点における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ２を算出する。

同時に、変位推定部６２は、温度センサ７３により検出された砥石台用ガイドレール１１の一端の温度と第三の関係とに基づいて、当該一端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ３を算出する。また、変位推定部６２は、温度センサ７４により検出された砥石台用ガイドレール１１の他端の温度と第三の関係とに基づいて、当該他端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ４を算出する。

ここで、変位Ｌ１は、ベッド１０を基準とした場合に、主軸台２０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位に相当する。つまり、温度センサ７１と、関係記憶部６１の第一の関係と、変位推定部６２とにより、ベッド１０を基準として主軸台２０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第一変位監視手段を構成する。また、変位Ｌ２は、ベッド１０を基準とした場合に、心押台３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位に相当する。つまり、温度センサ７２と、関係記憶部６１の第二の関係と、変位推定部６２とにより、ベッド１０を基準として心押台３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第二変位監視手段を構成する。

また、変位Ｌ３、Ｌ４は、ベッド１０を基準とした場合における砥石台用ガイドレール１１の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位、すなわち、ベッド１０を基準として砥石台４２の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位に相当する。つまり、温度センサ７３、７４と、関係記憶部６１の第三の関係と、変位推定部６２とにより、ベッド１０を基準として砥石台４２の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第三変位監視手段を構成する。

傾き算出部６３は、変位Ｌ１、Ｌ２に基づいて、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きθ１を算出する。さらに、傾き算出部６３は、変位Ｌ３、Ｌ４に基づいて、基準Ｚ軸に対する砥石台用ガイドレール１１の傾きθ２を算出する。ここで、基準Ｚ軸とは、絶対座標系Ｚ軸に一致する。

補正部６４は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きθ１と、基準Ｚ軸に対する砥石台用ガイドレール１１の傾きθ２とに基づいて、ワークＷのテーパ誤差を補正する。

以上説明したように、第一変位監視手段および第二変位監視手段により、ベッド１０を基準として主軸台２０および心押台３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ１、Ｌ２を常時監視している。ここで、基準となるベッド１０は固定されているため、このベッド１０を基準とすることにより、当該相対変位Ｌ１、Ｌ２を常時監視することが可能となる。従って、傾き算出部６３は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きθ１を常時算出することができる。つまり、研削途中においても、傾き算出部６３は、傾きθ１を算出できる。

さらに、第三変位監視手段により、ベッド１０を基準として砥石台４２の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位Ｌ３、Ｌ４を常時監視している。傾き算出部６３は、基準Ｚ軸に対する砥石台用ガイドレール１１の傾きθ２を常時算出することができる。つまり、研削途中においても、傾き算出部６３は、傾きθ２を算出できる。

ここで、ワークＷのテーパ誤差が生じる原因として、ワークＷの回転軸が基準Ｚ軸に対して傾いていることに加えて、砥石台４２のＺ軸移動方向の傾きがある。そして、補正部６４により、ワークＷの回転軸の傾きθ１および砥石台用ガイドレール１１の傾きθ２に基づいて、ワークＷのテーパ誤差を補正している。つまり、熱変位などによりワークＷの回転軸が基準Ｚ軸に対して傾いていたとしても、さらには、砥石台用ガイドレール１１が基準Ｚ軸に対して傾いていたとしても、Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石車４３がワークＷの中心軸方向に常に移動することができる。その結果、高精度な加工が可能となる。

さらに、本実施形態によれば、従来のような通常の研削動作とは別の動作（熱変位補正のためのタッチセンサを測定部に当接させる動作）を行うことなく、通常の研削動作のみで上記処理が可能となる。従って、本実施形態によれば、従来に比べて、サイクルタイムが長くなることを防止できる。

＜第二実施形態＞
第二実施形態の研削盤１００について、図３を参照して説明する。図３は、研削盤１００の平面図である。

図３に示すように、研削盤１００は、いわゆるテーブルトラバース構成からなる。この研削盤１００は、ベッド１１０と、主軸台１２０と、心押台１３０と、砥石台１４０と、テーブル１５０と、制御装置１６０と、温度センサ１７１〜１７４から構成される。

ベッド１１０は、凸形状、すなわち手前側（図３の下側）が幅広で、奥側（図３の上側）が幅狭の形状からなり、床上に配置される。このベッド１１０の上面には、テーブル１５０が摺動可能なテーブル用ガイドレール１１１、１１２が絶対座標系Ｚ軸方向（図３の左右方向）に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。ただし、このテーブル用ガイドレール１１１、１１２は、熱変位などにより、絶対座標系Ｚ軸方向から傾く可能性がある。また、ベッド１１０には、砥石台１４０が摺動可能な砥石台用ガイドレール１１３、１１４が、絶対座標系Ｘ軸（図３の上下方向）に延びるように、且つ、相互に平行に形成されている。また、ベッド１１０には、テーブル用ガイドレール１１１、１１２の間に、テーブル１５０を図３の左右方向に駆動するための、テーブル用Ｚ軸ボールねじ（図示せず）が配置され、このテーブル用Ｚ軸ボールねじを回転駆動するテーブル用Ｚ軸モータ１１５が配置されている。ベッド１１０には、砥石台用ガイドレール１１３、１１４の間に、砥石台１４０を図３の上下方向に駆動するための、砥石台用Ｘ軸ボールねじ（図示せず）が配置され、この砥石台用Ｘ軸ボールねじを回転駆動する砥石台用Ｘ軸モータ１１６が配置されている。

テーブル１５０は、横長の矩形の平板状に形成されており、ベッド１１０の上面のうち、テーブル用ガイドレール１１１、１１２上を摺動可能に配置されている。テーブル１５０は、テーブル用ボールねじのナット部材に連結されており、テーブル用Ｚ軸モータ１１５の駆動によりテーブル用ガイドレール１１１、１１２に沿って移動する。つまり、テーブル用ガイドレール１１１、１１２が絶対座標系Ｚ軸に一致している場合には、テーブル１５０は、絶対座標系Ｚ軸方向に移動可能であるが、テーブル用ガイドレール１１１、１１２が絶対座標系Ｚ軸に対して傾いている場合には、テーブル１５０は、絶対座標系Ｚ軸から傾いた方向に移動することになる。

主軸台１２０は、主軸台本体２１と、主軸２２と、主軸センタ２３とを備えている。主軸台本体２１は、テーブル１５０上の一端側（図３の左側）に固定されている。この主軸台本体２１の内部には、主軸２２が主軸軸周りに回転可能に挿通支持されている。この主軸２２の回転軸は、絶対座標系Ｚ軸に一致するように設定されているが、主軸台２０の熱変位などの影響により、絶対座標系Ｚ軸に対して傾くこともある。さらに、この主軸２２の右端に、ワークＷの軸方向一端を支持する主軸センタ２３が取り付けられている。

心押台１３０は、心押台本体３１と、心押センタ３２とを備えている。心押台本体３１は、テーブル１５０上の他端側（図３の右側）に、主軸台１２０に対向するように固定されている。この心押台本体３１は、図３の左右方向に貫通する穴が形成されている。この心押台本体３１の貫通孔に、心押センタ３２が回転可能に挿通支持されている。そして、この心押センタ３２は、ワークＷの軸方向他端を支持する。つまり、心押センタ３２は、主軸センタ２３に対向するように配置されている。この心押センタ３２の回転軸は、主軸２２の主軸軸と同軸上、すなわち、絶対座標系Ｚ軸に一致するように位置している。心押センタ３２の回転軸は、絶対座標系Ｚ軸に一致するように設定されているが、心押台１３０の熱変位などの影響により、絶対座標系Ｚ軸に対して傾くこともある。

そして、主軸センタ２３と心押センタ３２とにより、ワークＷの両端を支持している。つまり、ワークＷは、主軸センタ２３および心押センタ３２により、主軸２２の回転軸回りに回転可能に支持されている。したがって、主軸センタ２３によるワークＷの支持点と心押センタ３２によるワークＷの支持点とを結ぶ支持点間方向が、ワークＷの回転軸となる。このワークＷの回転軸は、基本的には、絶対座標系Ｚ軸に一致する。ただし、主軸台１２０および心押台１３０の熱変位、および、テーブル用ガイドレール１１１、１１２の熱変位の影響により、ワークＷの回転軸が、絶対座標系Ｚ軸に対して傾くことがある。

砥石台１４０は、ベッド１１０の上面のうち、砥石台用ガイドレール１１３、１１４上を摺動可能に配置されている。そして、砥石台１４０は、砥石台用Ｘ軸ボールねじのナット部材に連結されており、砥石台用Ｘ軸モータ１１６の駆動により砥石台用Ｘ軸ガイドレール１１３、１１４に沿って移動する。つまり、砥石台１４０は、ベッド１１０、テーブル１５０、主軸台１２０および心押台１３０に対して、Ｘ軸方向に相対移動可能となる。

そして、この砥石台１４０のうち図３の下側部分には、図３の左右方向に貫通する穴が形成されている。この砥石台１４０の貫通孔に、砥石車回転軸部材が、砥石中心軸周り（Ｚ軸周り）に回転可能に支持されている。この砥石車回転軸部材の一端（図３の左端）に、砥石車１４２が同軸的に取り付けられている。また、砥石台１４０の上面には、砥石回転用モータ１４１が固定されている。そして、砥石車回転軸部材の他端（図３の右端）と砥石回転用モータ１４１の回転軸とにプーリが懸架されることで、砥石回転用モータ１４１の駆動により、砥石車１４２が砥石軸回りに回転する。

制御装置１６０は、主軸２２の回転、テーブル１５０のＺ軸位置、砥石台１４０のＸ軸位置をＮＣ制御している。つまり、制御装置１６０により、砥石車１４２を回転させながら、砥石車１４２のワークＷに対するＸ軸位置およびＺ軸位置を制御することで、ワークＷの外周面を研削加工する。後述するが、制御装置１６０は、温度センサ１７１〜１７４の出力に基づいて、砥石台１４０のＸ軸への移動方向を補正する。

温度センサ１７１は、主軸台１２０、特に、主軸２２を回転駆動するためのビルトインモータ（図示せず）近傍に設けられ、当該部位の温度を検出する。温度センサ１７２は、心押台１３０に設けられ、心押台１３０の温度を検出する。温度センサ１７３は、テーブル用ガイドレール１１１のうち一方端付近に設けられ、当該部位の温度を検出する。温度センサ１７４は、テーブル用ガイドレール１１１のうち他方端付近に設けられ、当該部位の温度を検出する。

次に、制御装置１６０による補正に関する処理について図２を参照して説明する。関係記憶部６１は、以下の第一の関係、第二の関係、および第三の関係を記憶しておく。第一の関係とは、主軸台１２０の温度と、主軸台１２０における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係である。第二の関係とは、心押台１３０の温度と、心押台１３０における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係である。第三の関係とは、テーブル用ガイドレール１１１の一端の温度と当該一端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係と、テーブル用ガイドレール１１１の他端の温度と当該他端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との関係である。

変位推定部６２は、温度センサ１７１により検出された主軸台１２０の温度と第一の関係とに基づいて、テーブル１５０を基準とした場合における、主軸センタ２３によるワークＷの支持点における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ１１を算出する。また、変位推定部６２は、温度センサ１７２により検出された心押台１３０の温度と第二の関係とに基づいて、テーブル１５０を基準とした場合における、心押センタ３２によるワークＷの支持点における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ１２を算出する。

同時に、変位推定部６２は、温度センサ１７３により検出されたテーブル用ガイドレール１１１の一端の温度と第三の関係とに基づいて、ベッド１１０を基準とした場合における、当該一端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ１３を算出する。また、変位推定部６２は、温度センサ１７４により検出されたテーブル用ガイドレール１１１の他端の温度と第三の関係とに基づいて、ベッド１１０を基準とした場合における、当該他端の部位における絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ１４を算出する。

ここで、変位Ｌ１１、Ｌ１３、Ｌ１４を考慮すると、ベッド１１０を基準とした場合に、主軸台１２０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を導くことができる。つまり、温度センサ１７１、１７３、１７４と、関係記憶部６１の第一、第三の関係と、変位推定部６２とにより、ベッド１１０を基準として主軸台１２０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第一変位監視手段を構成する。また、変位Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ１４を考慮すると、ベッド１１０を基準とした場合に、心押台１３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を導くことができる。つまり、温度センサ１７２〜１７４と、関係記憶部６１の第二、第三の関係と、変位推定部６２とにより、ベッド１１０を基準として心押台１３０の絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第二変位監視手段を構成する。

傾き算出部６３は、変位Ｌ１１、Ｌ１２に基づいて、テーブル１５０を基準とした場合における、ワークＷの回転軸の傾きθ１１を算出する。さらに、傾き算出部６３は、変位Ｌ１３、Ｌ１４に基づいて、基準Ｚ軸に対するテーブル用ガイドレール１１１の傾きθ１２を算出する。ここで、基準Ｚ軸とは、絶対座標系Ｚ軸に一致する。つまり、傾き（θ１１＋θ１２）は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きとなる。そして、補正部６４は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きに基づいて、ワークＷのテーパ誤差を補正する。

以上説明したように、第二実施形態においても、第一実施形態と同様に、傾き算出部６３は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きを常時算出することができる。従って、熱変位などによりワークＷの回転軸が基準Ｚ軸に対して傾いていたとしても、Ｚ軸方向へ移動する指令が出された時に、砥石車１４２がワークＷの中心軸方向に常に移動することができる。その結果、高精度な加工が可能となる。

＜第三実施形態＞
第三実施形態の研削盤２００について、図４を参照して説明する。図４は、研削盤２００の平面図である。第三実施形態の研削盤２００は、第一実施形態の研削盤１と共通構成を採用している。以下、両者の異なる点のみ説明し、同構成については同符号を付して説明を省略する。

第三実施形態の研削盤２００は、第一実施形態の研削盤１を構成する温度センサ７１〜７４を、変位センサ２７１〜２７４に変更している。変位センサ２７１は、主軸台２０のうちワークＷの支持点、すなわち、主軸センタ２３における、ベッド１０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ２１を検出する。変位センサ２７２は、心押台３０のうちワークＷの支持点、すなわち、心押センタ３２における、ベッド１０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ２２を検出する。また、変位センサ２７３は、砥石台用ガイドレール１１のうち一方端付近に設けられ、当該部位のベッド１０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ２３を検出する。変位センサ２７４は、砥石台用ガイドレール１１のうち他方端付近に設けられ、当該部位のベッド１０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ２４を検出する。

次に、制御装置２６０によるＺ軸補正に関する処理について図５を参照して説明する。図５に示すように、制御装置２６０の機能ブロックとしては、傾き算出部２６１と、補正部２６２とから構成される。

傾き算出部２６１は、変位Ｌ２１、Ｌ２２に基づいて、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きθ１を算出する。さらに、傾き算出部２６１は、変位Ｌ２３、Ｌ２４に基づいて、基準Ｚ軸に対する砥石台用ガイドレール１１の傾きθ２を算出する。ここで、基準Ｚ軸とは、絶対座標系Ｚ軸に一致する。補正部２６２は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きθ１と、基準Ｚ軸に対する砥石台用ガイドレール１１の傾きθ２とに基づいて、ワークＷのテーパ誤差を補正する。

以上より、変位センサ２７１〜２７４により、それぞれの変位Ｌ２１〜Ｌ２４を直接的に監視しているので、より確実にワークＷの傾きθ１および砥石台用ガイドレール１１の傾きθ２を算出できる。

＜第三実施形態の変形態様＞
当該変形態様について、図６を参照して説明する。図６は、主軸台２０および心押台３０近傍を含む平面図である。上記第三実施形態においては、変位センサ２７１、２７２を、主軸センタ２３および心押センタ３２の変位を直接検出している。ただし、各構成部品の位置によっては、変位センサ２７１、２７２を設けることができない場合がある。このような場合には、図６に示すように、変位センサ２７１は、主軸台本体２１に取り付けられた基準座２１ａの変位を検出するようにし、変位センサ２７２は、心押台本体３１に取り付けられた基準座３１ａの変位を検出するようにする。このようにしても、第三実施形態と実質的に同様となる。なお、砥石台用ガイドレール１１に設ける変位センサ２７３、２７４についても、別途基準座を設けて、当該基準座の変位を検出するようにしてもよい。

＜第四実施形態＞
第四実施形態の研削盤３００について、図７を参照して説明する。図７は、研削盤３００の平面図である。第四実施形態の研削盤３００は、第二実施形態の研削盤１００と共通構成を採用している。以下、両者の異なる点のみ説明し、同構成については同符号を付して説明を省略する。

第四実施形態の研削盤３００は、第二実施形態の研削盤１００を構成する温度センサ１７１〜１７４を、変位センサ３７１〜３７４に変更している。変位センサ３７１は、テーブル１５０に配置され、主軸台１２０のうちワークＷの支持点、すなわち、主軸センタ２３における、テーブル１５０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ３１を検出する。変位センサ２７２は、テーブル１５０に配置され、心押台１３０のうちワークＷの支持点、すなわち、心押センタ３２における、テーブル１５０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ３２を検出する。また、変位センサ３７３は、テーブル用ガイドレール１１１のうち一方端付近に設けられ、当該部位のベッド１１０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ２３を検出する。変位センサ３７４は、テーブル用ガイドレール１１１のうち他方端付近に設けられ、当該部位のベッド１１０に対する絶対座標系Ｘ軸方向の変位Ｌ２４を検出する。

次に、制御装置３６０によるＺ軸補正に関する処理について、第三実施形態で用いた図５を参照して説明する。図５に示すように、制御装置３６０の機能ブロックとしては、傾き算出部２６１と、補正部２６２とから構成される。

傾き算出部２６１は、変位Ｌ３１、Ｌ３２に基づいて、テーブル１５０を基準とした場合における、ワークＷの回転軸の傾きθ１１を算出する。さらに、傾き算出部２６１は、変位Ｌ３３、Ｌ３４に基づいて、基準Ｚ軸に対するテーブル用ガイドレール１１１の傾きθ１２を算出する。ここで、基準Ｚ軸とは、絶対座標系Ｚ軸に一致する。つまり、傾き（θ１１＋θ１２）は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きとなる。そして、補正部３６２は、基準Ｚ軸に対するワークＷの回転軸の傾きに基づいて、ワークＷのテーパ誤差を補正する。

以上より、変位センサ３７１〜３７４により、それぞれの変位Ｌ３１〜Ｌ３４を直接的に監視しているので、より確実にワークＷの傾きθ１を算出できる。

研削盤１の平面図である。 研削盤１の制御ブロック図である。 研削盤１００の平面図である。 研削盤２００の平面図である。 研削盤２００の制御ブロック図である。 主軸台２０および心押台３０近傍を含む平面図である。 研削盤３００の平面図である。

符号の説明

１、１００、２００、３００：研削盤
１０、１１０：ベッド、 ２０、１２０：主軸台、 ３０、１３０：心押台
４０：砥石支持装置、 ４２、１４０：砥石台
６０、１６０、２６０、３６０：制御装置
７１〜７４：温度センサ
１５０：テーブル

Claims (17)

1. ベッドと、
   前記ベッド上に載置されワークの両端を支持する主軸台および心押台と、
   前記ベッド上に載置され前記主軸台および前記心押台に対してＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動可能な砥石台と、
   前記ベッドを基準として前記主軸台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第一変位監視手段と、
   前記ベッドを基準として前記心押台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第二変位監視手段と、
   前記主軸台の前記相対変位および前記心押台の前記相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きを算出する傾き算出手段と、
   前記ワーク軸の傾きに基づいて前記ワークのテーパ誤差を補正する補正手段と、
   を備えることを特徴とする研削盤。
2. 前記砥石台は、前記ベッドに対して前記Ｚ軸方向に相対移動可能であり、
   前記ベッドを基準として前記砥石台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第三変位監視手段を備え、
   前記傾き算出手段は、前記砥石台の相対変位に基づいて、前記基準Ｚ軸に対する前記砥石台が移動する前記Ｚ軸方向の傾きを算出し、
   前記補正手段は、前記ワーク軸の傾きおよび前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きに基づいて、前記ワークのテーパ誤差を補正する請求項１に記載の研削盤。
3. 前記ワーク軸の傾きは、前記主軸台による前記ワークの支持点と前記心押台による前記ワークの支持点とを結ぶ支持点間方向と、前記基準Ｚ軸との傾きである請求項１または２に記載の研削盤。
4. 前記砥石台は、前記ベッドに設けられた砥石台用ガイドに沿って前記Ｚ軸方向に相対移動し、
   前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きは、前記基準Ｚ軸に対する前記砥石台用ガイドの傾きである請求項２に記載の研削盤。
5. 前記第一変位監視手段または前記第二変位監視手段は、
   前記主軸台または前記心押台の温度を検出する温度センサと、
   予め前記主軸台または前記心押台の温度と前記絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との第一の関係または第二の関係を記憶する関係記憶手段と、
   前記温度センサにより検出された前記温度と前記関係記憶手段に記憶された前記第一の関係または前記第二の関係とに基づいて前記主軸台または前記心押台の前記相対変位を推定する変位推定手段と、
   を備える請求項１〜４の何れか一項に記載の研削盤。
6. 前記第三変位監視手段は、
   前記砥石台または前記砥石台近傍の温度を検出する温度センサと、
   予め前記砥石台または前記砥石台近傍の温度と前記絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との第三の関係を記憶する関係記憶手段と、
   前記温度センサにより検出された前記温度と前記関係記憶手段に記憶された前記第三の関係とに基づいて前記砥石台の前記相対変位を推定する変位推定手段と、
   を備える請求項２に記載の研削盤。
7. 前記第一変位監視手段および前記第二変位監視手段は、変位センサである請求項１〜４の何れか一項に記載の研削盤。
8. 前記第一変位監視手段は、前記主軸台のうち前記ワークの支持点における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する請求項７に記載の研削盤。
9. 前記第一変位監視手段は、前記主軸台に設けられた基準座における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する請求項７に記載の研削盤。
10. 前記第二変位監視手段は、前記心押台のうち前記ワークの支持点における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する請求項７に記載の研削盤。
11. 前記第二変位監視手段は、前記心押台に設けられた基準座における前記ベッドに対する前記相対変位を監視する請求項７に記載の研削盤。
12. 前記第三変位監視手段は、変位センサである請求項２または４の何れか一項に記載の研削盤。
13. ベッドと、
    前記ベッド上に載置されワークの両端を支持する主軸台および心押台と、
    前記ベッド上に載置され前記主軸台および前記心押台に対してＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動可能であり前記ベッドに対して前記Ｚ軸方向に相対移動可能な砥石台と、
    前記ベッドを基準として前記砥石台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視する第三変位監視手段と、
    前記砥石台の相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対する前記砥石台が移動する前記Ｚ軸方向の傾きを算出する傾き算出手段と、
    前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きに基づいて、前記ワークのテーパ誤差を補正する補正手段と、
    を備えることを特徴とする研削盤。
14. 前記第三変位監視手段は、
    前記砥石台または前記砥石台近傍の温度を検出する温度センサと、
    予め前記砥石台または前記砥石台近傍の温度と前記絶対座標系Ｘ軸方向の熱変位量との第三の関係を記憶する関係記憶手段と、
    前記温度センサにより検出された前記温度と前記関係記憶手段に記憶された前記第三の関係とに基づいて前記砥石台の前記相対変位を推定する変位推定手段と、
    を備える請求項１３に記載の研削盤。
15. 前記第三変位監視手段は、変位センサである請求項１３に記載の研削盤。
16. ベッド上に載置された主軸台および心押台により両端を支持されたワークに対して、前記ベッド上に載置された砥石台をＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動させることにより研削を行う研削方法であって、
    前記ベッドを基準として前記主軸台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視し、
    前記ベッドを基準として前記心押台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視し、
    前記主軸台の前記相対変位および前記心押台の前記相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対するワーク軸の傾きを算出し、
    前記ワーク軸の傾きに基づいて前記ワークのテーパ誤差を補正することを特徴とする研削方法。
17. ベッド上に載置された主軸台および心押台により両端を支持されたワークに対して、前記ベッド上に載置された砥石台をＸ軸方向およびＺ軸方向に相対移動させることにより研削を行う研削方法であって、
    前記ベッドを基準として前記砥石台の前記絶対座標系Ｘ軸方向の相対変位を常時監視し、
    前記砥石台の相対変位に基づいて、予め設定された基準Ｚ軸に対する前記砥石台が移動する前記Ｚ軸方向の傾きを算出し、
    前記砥石台の前記Ｚ軸方向傾きに基づいて、前記ワークのテーパ誤差を補正することを特徴とする研削方法。

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