JP2010027944A - 紫外線照射装置及び紫外線照射装置の点灯制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ランプの通算点灯時間に応じて、適切な初期点灯電力で点灯させることができる紫外線照射装置及び該装置の制御方法を提供すること。
【解決手段】エキシマランプ１に設けられたＩＣタグ１ａに、該ランプの点灯時間の積算値である通算点灯時間、点灯履歴情報などの情報に加え、初期電圧規定値、初期周波数規定値、定常電圧規定値、定常周波数規定値等の該ランプに固有の電気的特性値を記録しておく。装置を起動する際、制御部４は、ＩＣタグ１ａから上記情報を読み取り、ランプの通算点灯時間と該ランプに固有の電気的特性値に基づき、初期点灯時にランプに印加する電圧、周波数などを設定してランプを初期点灯させる。初期点灯後、定常点灯に移行させ、ランプ１へ印加する電力の定電力制御を行なう。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体基板や液晶基板の製造工程における基板の洗浄等に使用されるエキシマランプの紫外線照射装置及び該装置の点灯制御方法に関し、特に、エキシマランプに設けられたＩＣタグの情報に基づいて点灯装置を制御する紫外線照射装置及び該装置の点灯制御方法に関するものである。

従来、半導体基板や液晶基板の製造工程には、これら基板の洗浄を目的として真空紫外線を照射するエキシマランプを備えた紫外線照射装置が用いられる。
エキシマランプは、例えばキセノンガスを発光物質とした波長１７２ｎｍの真空紫外光を放射するものであり、洗浄能力において低圧水銀ランプよりすぐれている。
上述したエキシマランプは、使用寿命末期になると発光管を構成する石英ガラス等の劣化に伴って真空紫外線の放射強度が低下する。このため、新しいものと交換しなければならないが、エキシマランプの外観から使用寿命末期に達したか否かを判断することは通常は困難である。
そこで、個々のエキシマランプにＩＣタグを設け、該ＩＣタグにエキシマランプの通算点灯時間情報を記憶させ、通算点灯時間を管理するようにした装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

図１２、図１３に、エキシマランプを搭載した紫外線照射装置の断面図を示す。図１２は、エキシマランプの管軸に平行な平面で切った断面図、図１３はエキシマランプの管軸に垂直な平面で切った断面図である。
同図に示すように、紫外線照射装置は、内部に不活性ガスを循環させる金属製の筐体１０１を有する。筐体１０１の下方には光照射窓１０１ａが設けられ、筐体１０１の側面には、不活性ガスを導入するためのガス導入口１０１ｂ、不活性ガスを排出させるためのガス排出口１０１ｃが設けられている。
筐体１０１の内部には、管軸が平行となるよう並列して配置された複数本のエキシマランプ１００が配置されている。エキシマランプ１００に沿って、エキシマランプ１００から放射される紫外線を被処理物方向へ反射する樋状の反射鏡１０２が、各エキシマランプ１００に対応して設けられている。反射鏡１０２が設けられた各エキシマランプ１００は、例えば内部を水冷パイプ１０４が循環するアルミニウム製の冷却ブロック１０３に固定されている。

エキシマランプ１００は、真空紫外光を透過させる誘電体材料からなる発光管１００ａの両端には、それぞれ金属箔１００ｅを埋設した封止部１００ｆが形成され、発光管１００ａの内部に、コイル状の内部電極１００ｂが発光管１００ａの管軸上に配置され、内部電極１００ｂの周囲が絶縁体１００ｄで覆われている。また、発光管１００ａの外表面には網状の外部電極１００ｃが配置されている。
各金属箔１００ｅには、発光管１００ａの外方に突出する外部リード１００ｇが接続され、外部リード１００ｇには、高圧給電ケーブル１２０ｃが接続され、その端部に高圧給電端子１２０が設けられている。
筐体１０１には樹脂製のコネクタ１１０が取り付けられ、該コネクタ１１０内にアンテナ１４０が設けられている。また、高圧給電ケーブル１２０ｃの端部に高圧給電端子１２０が取り付けられ、高圧給電端子１２０の絶縁ホルダ内にＩＣタグ１３が設けられている。
上記コネクタ１１０に高圧給電端子１２０のプラグを差し込むことによって、内部電極１００ｂと高周波点灯電源（図示せず）とが導通する。外部電極１００ｃについては図示していないが、同様に高周波点灯電源と導通する。
なお、エキシマランプは、図１２、図１３に示した構造のもの以外に、例えば特許文献３に示されるように直方体タイプのもの、あるいは特許文献４に示されるように二重管タイプのもの等が知られており、このようなタイプのエキシマランプを用いることもできる。

図１４は、上述したＩＣタグを具備したエキシマランプを点灯させる紫外線照射装置１０のシステム構成の一例を示す図である。
エキシマランプ１００はＩＣタグ１３０を具備し、エキシマランプ１００が取り付けられると、制御部２１のＩＣタグＲ／Ｗ部２１ｂは、アンテナ２１ｃを介してＩＣタグ１３０から、ＩＣタグ１３０の情報として例えば通算点灯時間を読み取る。ＣＰＵ２１ａはその情報を記憶部２１ｄに記憶させる。
そして、高周波点灯電源２２でエキシマランプ１００を点灯させている間、随時最新の点灯時間情報が記憶部２１ｄに記憶されている通算点灯時間に加算される。
この通算点灯時間が使用寿命時間に到達すると、ＣＰＵ２１ａは、高周波点灯電源２２に対して点灯停止信号を送信し、エキシマランプ１００を消灯する（特許文献１の段落００２１、００２２参照）
また、特許文献１には、ＩＣタグ１３０に記憶されている照度特性情報を用いてエキシマランプ１００を制御することも記載されている（特許文献１の段落００２３参照）。

またＩＣタグを用いた光源装置として、ランプの点灯時間や点灯回数等の情報を個々のランプに持たせることにより、正確なランプの情報を供給できるようにした装置が提案されている（特許文献２参照）。
キセノン光源はそれぞれ明るさが異なるので、特許文献２に記載のものにおいては、事前に出荷規格値をＩＣタグに記録させ、装置側がその出荷規格値を読み取って最適なランプ電流値を設定し、ランプ電源でキセノン光源を制御するようにしている（特許文献２の段落００３０、００３１、００３２）
特開２００７−１２３０６９号公報 特開２００３−０６８４７８号公報 特開２００４−１１１３２６号公報 特開２０００−０４８７７２号公報

エキシマランプを点灯開始させるためには、初期点灯時に定常点灯よりも大きな電力が必要である。この初期点灯時に投入するべき電力はエキシマランプの製造ばらつきによって異なってくる。
例えばエキシマランプは、石英ガラスのような誘電性を有するガラス部材を用いており、その厚みが製造ばらつきによって変動し、この内厚の変動によって初期点灯時に必要な投入電力が異なってくる。このため、確実にエキシマランプをランプ点灯させるため、エキシマランプの初期点灯時における投入電力を製造ばらつきにおける最も投入電力が必要なものに合わせており、製造ばらつきにおける最も投入電力が小さいものにとっては、過剰な投入電力となり、ランプ寿命を短くさせる結果となっていた。
すなわち、エキシマランプは、冷えた状態では点灯性が悪く、また点灯性はランプよってバラツキが大きい。このため、初期にランプを点灯する際には、すべてのランプが点灯できるように、過度に投入電力を入れて、強制的に点灯させる必要があった。このため、図１５（ａ）に示すように、初期点灯時に過度な光が発光することになる。

そこで、特許文献２に記載されるように、事前に出荷規格値をＩＣタグに記録させ、装置側がその出荷規格値を読み取って最適な値を設定することが考えられる。
しかし、エキシマランプはランプ点灯に高電圧と高周波を用いるものであり、特許文献２に記載されるキセノンランプのように電流を流して点灯させるものではない。また、本発明者の鋭意努力により解明したところ、エキシマランプは、ランプ点灯時間（通算点灯時間）の経過に伴って、その初期点灯に必要な電力が異なることが分かった。
すなわち、ランプ点灯の通算点灯時間が例えば２００時間のエキシマランプの初期点灯に必要な電力と、ランプ点灯の通算点灯時間が例えば１０００時間のエキシマランプの初期点灯に必要な電力とは異なることがわかった。
このため、エキシマランプが具備するＩＣタグに、初期点灯させるための電力を設定しただけでは、通算点灯時間の異なるエキシマランプに応じた適切な電力で初期点灯させることができない。

また、ＩＣタグのデータを利用できないエキシマランプが装置に取り付けられたり、他の装置で使用されたランプが取り付けられることも考えられる。この場合にも、過剰な投入電力で初期点灯させることなく、適切な電力で初期点灯させることが望まれる。
本発明は上記した事情に鑑みなされたものであって、本発明の目的は、ランプの通算点灯時間が異なったランプであっても適切な初期点灯電力で点灯させることができ、また、ＩＣタグのデータを利用できなかったり、他の装置で使用されたランプが取り付けられた場合であっても、可能な範囲で適切な電力で初期点灯させることができる紫外線照射装置及び該装置の制御方法を提供することにある。

本発明では、ランプに設けられたＩＣタグに、該ランプの点灯時間の積算値である通算点灯時間、点灯履歴情報などの情報に加え、初期電圧規定値、初期周波数規定値、定常電圧規定値、定常周波数規定値等の、該ランプに固有の電気的特性値を記録しておく。
そして、装置を起動する際、ＩＣタグから上記情報を読み取り、ランプの通算点灯時間と該ランプに固有の電気的特性値に基づき、初期点灯時にランプに印加する電圧、周波数などを設定してランプを点灯させる。
これにより、ランプのバラツキ、使用経過状態を考慮して、各ランプごとに適した初期点灯動作を行うことができる。このため、図１５（ｂ）に示すように過剰な光を抑制することができ、図１５（ａ）に示すように初期点灯時に過度な光が発光することがない。
すなわち、本発明においては、次のようにして前記課題を解決する。
（１）エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取り及びＩＣタグへの情報の書き込みを行うＩＣタグ読み取り／書き込み手段と、エキシマランプへ給電する点灯電源と、エキシマランプの点灯を制御する制御部を備え、ＩＣタグを備えたエキシマランプが取り付けられる紫外線照射装置において、ＩＣタグに、少なくとも、該ＩＣタグを具備するエキシマランプの通算点灯時間と、該エキシマランプの固有の電気的特性を示す情報と、該紫外線照射装置における点灯実績の有無を示す情報を記録する。
また上記紫外線照射装置の制御部に、エキシマランプが該紫外線照射装置に取り付けられた際、上記ＩＣタグ読み取り／書き込み手段によるＩＣタグへのアクセスを実行することにより、ＩＣタグから情報の読み取りＩＣタグへの書き込みが可能であるか否か、情報の読み取りが可能で、かつ該紫外線照射装置における点灯実績が有るか否か、を判定する判定手段と、上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、初期点灯条件を設定する第１の設定手段と、上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、定常点灯条件を設定する第２の設定手段と、上記初期点灯条件及び定常点灯条件を、該エキシマランプの通算点灯時間に応じて更新する更新手段と、更新された上記初期点灯条件及び定常点灯条件を記憶する記憶手段を設ける。
さらに、上記紫外線照射装置の制御部に、上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績がないとき、上記第１の設定手段により設定された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記第２の設定手段により設定された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、
上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績があるとき、上記記憶手段に記憶された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記記憶手段に記憶された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、
上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りができないとき、予め定められた安全値である初期点灯条件により、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、予め定められた安全値である定常点灯条件を用いて、該エキシマランプを定常点灯に移行させる点灯制御手段を設ける。
（２）上記（１）において、第１の設定手段は、上記初期点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された初期電圧規定値、初期周波数規定値に基づき、初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値を設定し、上記第２の設定手段は、上記定常点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された定常電圧規定値及び定常周波数規定値に基づき、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を設定する。
上記更新手段は、上記初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を、該エキシマランプの通算点灯時間に応じて更新する。
上記記憶手段は、更新された上記初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を記憶する。
さらに、上記点灯制御手段は、上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績がないとき、第１の設定手段により設定された上記初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記第２の設定手段により設定された定常電圧目標値及び定常周波数目標値を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、
上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績があるとき、上記記憶手段に記憶された初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記記憶手段に記憶された定常電圧目標値及び定常周波数目標値を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りができないとき、予め定められた安全値である初期電圧安全値及び初期周波数安全値により、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、予め定められた安全値である定常電圧安全値及び定常周波数安全値を用いて、該エキシマランプを定常点灯に移行させる。
（３）エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取り／書き込み手段と、エキシマランプの点灯を制御する制御部を備えた紫外線照射装置の点灯制御方法において、 上記紫外線照射装置の制御部は、エキシマランプが該紫外線照射装置に取り付けられた際、上記エキシマランプがＩＣタグを備え、該ＩＣタグから情報の読み取り／書き込みが可能であるか否かを判別し、該エキシマランプのＩＣタグから情報の読み取り／書き込みが可能であるとき、ＩＣタグに格納された情報を取得し、ＩＣタグから取得した情報に基づき、該エキシマランプの該紫外線照射装置における点灯実績の有無を判別し、上記判別結果に応じて次の（イ）〜（ハ）の工程を行う。
（イ）ＩＣタグから情報の読み取りが可能であり、該紫外線照射装置における点灯実績がないとき、上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、初期点灯条件を設定し、該設定された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、
上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、定常点灯条件を設定し、初期点灯後、該設定された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させる、
（ロ）ＩＣタグから情報の読み取りが可能であり、該紫外線照射装置における点灯実績があるとき、該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報及び／または上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、初期点灯条件を設定し、該設定された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、
該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報及び／または上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、定常点灯条件を設定し、初期点灯後、該設定された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させる、
（ハ）ＩＣタグから情報の読み取りができないとき、予め定められた安全値である初期点灯条件を設定し、該安全値である該初期点灯条件により、該エキシマランプを初期点灯させ、
予め定められた安全値である定常点灯条件を設定し、初期点灯後、安全値である該定常点灯条件を用いて、該エキシマランプを定常点灯に移行させる。
（４）上記（３）の（イ）の工程において、ＩＣタグから情報の読み取りが可能であり、該紫外線照射装置における点灯実績がなく、他の装置での点灯実績があるとき、ＩＣタグに格納された通算点灯時間及び該エキシマランプの固有の電気的特性を示す情報を用いて、初期点灯条件を設定するとともに、定常点灯条件を設定する。
（５）上記（３）（４）の（イ）（ロ）の工程において、上記初期点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された初期電圧規定値、初期周波数規定値及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき、初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値を設定し、上記定常点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された定常電圧規定値、定常周波数規定値及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を設定し、上記（ハ）の工程において、上記初期点灯条件として、安全値である初期電圧安全値及び初期周波数安全値を設定し、上記定常点灯条件として、予め定められた安全値である定常電圧安全値及び定常周波数安全値を設定する。
（６）上記（５）の（イ）および（ロ）の工程において、前記初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値を、前記ＩＣタグに格納された情報及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき次のように求める。
（ａ）該エキシマランプの通算点灯時間に対応する初期電圧補正値を求め、
（ｂ）初期電圧補正値と、初期電圧規定値とを演算して初期電圧目標値を求め、
（ｃ）求めた該初期電圧目標値に対応する初期点灯周波数補正値を求め、
該初期点灯周波数補正値と、初期周波数規定値とを演算して初期点灯周波数目標値を求める。
（７）上記（５）の（イ）および（ロ）の工程において、前記定常電圧目標値及び定常周波数目標値を、前記ＩＣタグに格納された情報及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき、次のように求める。
（ａ）該エキシマランプの通算点灯時間に対応する定常点灯電圧補正値を求め、
（ｂ）定常点灯電圧補正値と、定常電圧規定値とを演算して定常電圧目標値を求め、
（ｃ）求めた該定常電圧目標値に対応する定常点灯周波数補正値を求め、
該定常点灯周波数補正値と、定常周波数規定値とを演算して定常周波数目標値を求める。
（８）上記（３）〜（７）において、ＩＣタグから情報の読み取り及びＩＣタグへの情報の書き込みが可能であるとき、前記制御部は、エキシマランプを消灯させたとき、該エキシマランプに設けられたＩＣタグの通算点灯時間を更新するとともに該紫外線照射装置で使用実績があることを記録し、該紫外線照射装置に、上記エキシマランプを同定するための情報、および次回点灯させる際の、初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を記憶させる。

本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）ランプに設けられたＩＣタグに記憶された、当該ランプのこれまでの通算点灯時間と、当該ランプ固有の電気的特性値に基づいて、ランプを点灯させているので、初期点灯時にランプに過剰に電力が投入されることを抑制され、ランプ寿命が短くなることを防ぐことができる。
また、ランプに過剰に電力が入力されないような安全な電気的特性値をあらかじめ設定しておき、ＩＣタグから情報を読み取れない場合は、上記安全な電気的特性値に基づいてランプを点灯させることにより、例えばＩＣタグを具備しないランプであっても、投入電力を制限してランプを点灯させることができ、ランプ寿命が短くなるのを防止できる。
（２）当該装置における点灯実績の有無を示すデータをＩＣタグに記録しておくとともに、装置に取り付けられたランプの電気的な特性値を当該装置に記憶部に記憶しておくことにより、点灯時、ＩＣタグの記録データから該ランプが当該装置において点灯実績があるか否かを判断し、点灯実績がある場合、当該装置の記憶部から当該ランプを初期点灯する際のデータを取得することができる。
このため、各ランプについて初期点灯する際の処理時間を短縮することができ、当該装置に取り付けられているランプ本数が多い場合でも、迅速に装置を立ち上げることができる。

図１は、本発明の一実施形態である紫外線照射装置のシステム構成を示す図である。
本発明の紫外線照射装置１０は、記録情報を非接触で入力することのできるＩＣタグ１ａを備えるエキシマランプ（以下ランプという）１と、高周波高電圧をランプ１に供給するための高周波点灯電源２と、高周波点灯電源２の出力側に設けられたトランス３と、ランプ１の点灯を制御する制御部４を備える。
制御部４は、ランプ１の点灯を制御する演算処理を実行する演算処理部（ＣＰＵ）１１と、記憶部１３と、ＩＣタグ１ａとの間でデータの送受信を行うためのアンテナ１４と、ＩＣタグ１ａとの間のデータの送受信を制御するＩＣタグＲ／Ｗ部１２と、Ａ／Ｄ変換器１６、Ｄ／Ａ変換器１７から構成される。Ａ／Ｄ変換器１６は高周波点灯電源２からの信号をデジタル信号に変換しＣＰＵ１１に送出し、Ｄ／Ａ変換器１７はＣＰＵ１１からのデジタル信号をアナログ信号に変換し、高周波点灯電源２に送出する。

上記記憶部１３は、読み書き可能な揮発性メモリ（ＲＡＭ１３ａ）と、読み取り専用の不揮発性メモリ（ＲＯＭ１３ｂ）と、書き換えが可能な不揮発性メモリ（ＥＥＰＲＯＭ１３ｃ）を備え、プログラムやデータを記憶する。
記憶部１３のＲＯＭ１３ｂには、通算点灯時間に応じてランプ１に供給する初期点灯時の電圧目標値や、初期周波数目標値等を設定するため電圧補正テーブルＴｖや周波数補正テーブルＴｆ等が記録され、ＥＥＰＲＯＭ１３ｃには、初期点灯時の電圧目標値、初期周波数目標値、等の情報が記録される。
上記エキシマランプ１は、例えば、キセノンガスなどの放電ガスが封入されており、波長１７２ｎｍの真空紫外光を出射する。ＩＣタグ１ａは、各ランプ毎に設けられており、通算点灯時間Ｔｓ等、当該ランプ固有のデータが記録される。

制御部４のＣＰＵ１１は、後述するように、エキシマランプが該紫外線照射装置１０に取り付けられた際、ＩＣタグ１ａから情報の読み取り／書き込みが可能であるか否か、情報の読み取りが可能で、かつ該紫外線照射装置における点灯実績が有るか否か等を判定し、ＩＣタグからの情報の読み取り／書き込みが可能である場合には、ＩＣタグ１ａに記録された情報に基づき、初期点灯条件及び定常点灯条件を定めて、これに基づきエキシマランプ１を初期点灯させた後、定常点灯に移行させる。また、ＩＣタグ１ａから情報の読み取りができないときは、予め定められた安全値である初期点灯条件、定常点灯条件により、エキシマランプ１を初期点灯させた後、定常点灯に移行させる。

ここで、本実施形態中で用いられる各種のデータをまとめて示す。これらデータは、例えば読み取り専用の不揮発性メモリ（ＲＯＭ１３ｂ）、書き換えが可能な不揮発性メモリ（ＥＥＰＲＯＭ１３ｃ）、また必要に応じて読み取り書込み可能なメモリ（ＲＡＭ１３ａ）に格納される。
なお、これらのデータの格納箇所は適宜変更することができ、例えばＲＯＭを設けずに、全てのデータをＥＥＰＲＯＭに格納してもよいし、その他の不揮発性メモリや磁気ディスクなどの記憶媒体に記憶しておき、実行時ＲＡＭに展開し、終了時に不揮発性メモリや記憶媒体に退避させるようにしてもよい。

・通算点灯時間Ｔｓ :ＩＣタグに格納されたランプ点灯時間の積算値。
・固有番号（シリアル番号）：製造されたエキシマランプのそれぞれに個別に設定された番号。
・点灯履歴情報：点灯実績の有無の情報。
・装置情報：取りつけられ点灯させた装置の情報。
・初期電圧規定値Ｖfk：ランプ出荷前にあらかじめ定められ、ＩＣタグに格納された、当該ランプに固有の点灯初期ランプ印加電圧値。
・初期周波数規定値Ｆfk：ランプ出荷前にあらかじめ定められ、ＩＣタグに格納された、当該ランプに固有の点灯初期ランプ印加周波数。
・初期電圧目標値Ｖfm：電圧補正テーブルの補正値と、初期電圧規定値Ｖfkから演算される、当該ランプに実際に印加される点灯初期ランプ電圧値、あるいは初期電圧安全値Ｖfsにより定まるランプ印加電圧値。
・初期周波数目標値Ｆfm：周波数補正テーブルの補正値と、初期周波数規定値Ｆfkから演算される当該ランプに実際に印加される点灯初期ランプ周波数、あるいは初期周波数安全値Ｆfsにより定まるランプ印加周波数。

・定常電圧規定値Ｖtk：ランプ出荷前にあらかじめ定められ、ＩＣタグに格納された、当該ランプに固有の定常点灯時のランプ印加電圧値。
・定常周波数規定値Ｆtk：ランプ出荷前にあらかじめ定められ、ＩＣタグに格納された、当該ランプに固有の定常点灯時のランプ印加周波数。
・定常電圧目標値Ｖtm：電圧補正テーブルの補正値と、定常電圧規定値Ｖtkから演算される当該ランプに実際に印加される定常点灯時のランプ印加電圧値、あるいは定常電圧安全値Ｖtsにより定まるランプ印加電圧値。以下では、点灯電圧ともいう。
・定常周波数目標値Ｆtm：周波数補正テーブルの補正値と、定常電圧目標値Ｖtmにより定まるランプ印加周波数、あるいは定常周波数安全値Ｆtsにより定まるランプ印加周波数。以下では、点灯周波数ともいう。

・初期電圧安全値Ｖfs：ランプの安全を考慮した初期点灯ランプ印加電圧値（製造バラツキを考慮したときのランプ点灯初期に印加する電圧の内の最も低い値）
・初期周波数安全値Ｆfs：ランプの安全を考慮した初期点灯ランプ周波数（製造バラツキを考慮したときのランプ点灯初期に印加する周波数の内の最も低い値）
・定常電圧安全値Ｖts：ランプの安全を考慮した定常点灯時の印加電圧値（製造バラツキを考慮したときのランプ定常点灯時に印加する電圧の内の最も低い値）
・定常周波数安全値Ｆts：ランプの安全を考慮した定常点灯時の周波数（製造バラツキを考慮したときのランプ定常点灯時に印加する周波数の内の最も低い値）
・電圧補正テーブルＴｖ：通算点灯時間と補正値の対応テーブル。
・周波数補正テーブルＴｆ：ランプ印加電圧値と補正値の対応テーブル。

図２は本発明の１実施形態の光源装置の機能ブロック図であり、制御部４のＣＰＵ１１で実行される処理により実現される機能をブロック図として示したものである。
ランプ１に設けられたＩＣタグ１ａには、前述したように通算点灯時間Ｔｓ、固有番号（シリアル番号）、点灯履歴情報、装置情報、初期電圧規定値Ｖfk、初期周波数規定値Ｆfk、定常電圧規定値Ｖtk、定常周波数規定値Ｆtkが記録され、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２は前述したようにアンテナ１４を介して、上記ＩＣタグ１ａに記録された上記データを読み込み、ＩＣタグデータとして記憶部１３に記憶させる。
制御部４の判定手段４ａは、ランプ１が紫外線照射装置に取り付けられた際、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２によるＩＣタグからの読み取り／書き込みが可能であるか否か、情報の読み取りが可能で、かつ該紫外線照射装置における点灯実績が有るか否か等を判定する。
ここで、紫外線照射装置に取り付けられるランプ１には以下の（ａ）〜（ｄ）のケースが考えられ、判定手段４ａは、装置に取り付けられているランプ１がどの種類のランプであるかを判定し、判定結果を点灯制御手段４ｅに渡す。

（ａ）ＩＣタグ１ａからの読み取り／書き込みが可能でないランプ
この場合は、ＩＣタグ１ａのデータでは利用できない場合であり、ＩＣタグ１ａのデータは利用できない。
また、ＩＣタグからの読み取り／書き込みが可能である場合には、以下の場合がある。（ｂ）使用されたことがない新品のランプ
この場合、点灯履歴情報が点灯実績無を示す場合であり、通算点灯時間Ｔｓは０である。ＩＣタグ１ａに格納された初期電圧規定値Ｖfk、初期周波数規定値Ｆfk等のデータは利用可能である。
（ｃ）当該紫外線照射装置では使用されていないが、点灯実績のあるランプ
この場合、点灯履歴情報が点灯実績有を示し、装置情報は、当該紫外線照射装置で使用されていないことを示している場合であり、通算点灯時間Ｔｓは０以上である。
（ｄ）当該紫外線照射装置で使用されていたランプ
この場合、点灯履歴情報が点灯実績有を示し、装置情報は、当該紫外線照射装置で使用されていたことを示す場合であり、通算点灯時間Ｔｓは０以上である。なお、このケースの場合は、そのランプを前回使用したときのデータが当該紫外線照射装置内の記憶部１３内に保存されており、ランプの固有番号で、読みだすことができる。

第１の設定手段４ｂは、ＩＣタグ１ａに格納された情報に基づき初期点灯条件を設定し、第２の設定手段４ｃは、ＩＣタグ１ａに格納された情報に基づき定常点灯条件を設定する。
すなわち、第１の設定手段４ｂは、上記初期点灯条件として、通算点灯時間等により定まる電圧補正テーブル及び周波数補正テーブルの補正値とＩＣ１ａタグに記録された初期電圧規定値Ｖfk、初期周波数規定値Ｆfkに基づき、初期電圧目標値Ｖfm及び初期周波数目標値Ｆfmを設定する。
また、第２の設定手段４ｃは、上記定常点灯条件として、通算点灯時間等により定まる電圧補正テーブル及び周波数補正テーブルの補正値とＩＣタグ１ａに記録された定常電圧規定値Ｖtk及び定常周波数規定値Ｆtkに基づき、定常電圧目標値Ｖtm及び定常周波数目標値Ｆtmを設定する。

また、上記初期点灯条件及び定常点灯条件を、該エキシマランプの通算点灯時間に応じて更新する更新手段４ｄを有し、更新された上記初期点灯条件及び定常点灯条件は記憶手段１３に記憶される。
すなわち、更新手段４ｄは、上記初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfm、定常点灯電圧目標値Ｖtm及び定常周波数目標値Ｆtmを、ランプ１の通算点灯時間Ｔｓに応じて更新する。
また、積算タイマ４ｆはランプ１が点灯している時間を積算カウントし、上記更新手段４ｄは、所定の積算時間に達する毎に記憶部１３に記憶された通算点灯時間を更新する。この更新された通算点灯時間Ｔｓは、装置の動作を停止させるとき、ランプ１に設けられたＩＣタグ１ａに書き込まれる。

点灯制御手段４ｅは、判定手段４ａの判定結果が、ＩＣタグ１ａから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績がないとき（前記（ｂ）（ｃ）のケース）、上記第１の設定手段４ｂにより設定された初期点灯条件、すなわち初期電圧目標値Ｖfm及び初期点灯周波数目標値Ｆfmに基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記第２の設定手段４ｃにより設定された定常点灯条件、すなわち定常電圧目標値Ｖtm及び定常周波数目標値Ｆtmを用いてランプ1 を定常点灯に移行させる。
また、判定手段４ａの判定結果が、ＩＣタグ１ａから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績があるとき（前記（ｄ）のケース）、記憶手段１３に記憶された初期点灯条件、すなわち初期電圧目標値Ｖfm及び初期点灯周波数目標値Ｆfmに基づき、ランプ１を初期点灯させ、初期点灯後、記憶手段１３に記憶された定常点灯条件、すなわち定常電圧目標値Ｖtm及び定常周波数目標値Ｆtmを用いてランプ１を定常点灯に移行させる。
さらに、判定手段４ａの判定結果が、ＩＣタグ１ａから情報の読み取りができないとき（前記（ａ）のケース）、予め定められた安全値である初期点灯条件、すなわち、初期電圧安全値Ｖfs及び初期周波数安全値Ｆfsを初期電圧目標値Ｖfm及び初期点灯周波数目標値Ｆfmとしてランプ１を初期点灯させ、初期点灯後、予め定められた安全値である定常点灯条件、すなわち、予め定められた安全値である定常電圧安全値Ｖts及び定常周波数安全値Ｆtsを定常電圧目標値Ｖtm及び定常周波数目標値Ｆtmとして、ランプ１を定常点灯に移行させる。

点灯制御手段４ｅは、高周波点灯電源２を制御して、ランプ１に供給される電圧、周波数を制御する。すなわち、ランプ１に印加される電圧とランプ電流が検出され、点灯電源２から制御部４の点灯制御手段４ｅに送られる。なお、点灯電源２で検出された電圧、電流はアナログ信号であり、このアナログ信号は前記したようにＡ／Ｄ変換器によりデジタル信号に変換され、制御部４のＣＰＵ１１へ送られる。
制御部４の点灯制御手段４ｅは、点灯ランプ１を初期点灯させる際、周波数が上記初期点灯周波数目標値Ｆfmで、電圧が上記初期電圧目標値Ｖfmの電圧をランプ１に印加し、初期点灯タイマ４ｇで設定される期間、ランプ１に初期点灯動作をさせる。なお、上記初期点灯周波数目標値Ｆfmは定常点灯時の周波数より高い７０ｋＨｚ程度である。
ランプ１の初期点灯後、点灯制御手段４ｅは、初期値として、周波数が上記定常周波数目標値Ｆtmで、電圧が定常電圧目標値Ｖtmの電圧をランプ１に印加し、定常点灯に移行させる。なお、定常点灯開始時の周波数は、周波数目標値Ｆtmは５０ｋＨｚ程度である。

定常点灯では、電力一定制御を行う。その際、まず、電圧、周波数を上記初期値とし、ランプに供給される電力が一定になるように、周波数を制御する。
すなわち、点灯制御手段４ｅは、高周波点灯電源２から送られてくる電圧、電流からランプに供給される電力を算出し、算出した電力が、予め設定された目標電力に一致するようなランプ電圧と周波数を演算する。このランプ電圧と周波数は、電圧指令、周波数指令として点灯電源２に送出される。
点灯電源２は、この電圧指令、周波数指令に応じてランプ１の駆動電圧、周波数を制御する。
これにより、ランプ１に供給される電力が目標電力に一致するように制御され、ランプ１は目標電力に応じた照度で点灯する。
なお、エキシマランプ１が出射する真空紫外光の照度は、種々の要因によって経時的に低下する。この照度低下を補正するために、後述するように、必要に応じて、ランプの定常点灯電圧をランプの通算点灯時間に応じて増加させるようにしてもよい。
また、消灯時には、消灯タイマ４ｈが動作し、消灯タイマ４ｈがタイムアップするまでの期間に後述するように消灯動作を行なう。

本実施形態の紫外線照射装置においては、上記のようにＩＣタグに記憶された電気的特性値及び積算時間とに基づいて、ランプの初期点灯条件、定常点灯条件を定め、ランプを点灯させているので、初期点灯時にランプに過剰に電力が投入されることを抑制され、ランプ寿命が短くなることを抑制できる。
また、例えばＩＣタグを具備しないランプ、あるいはＩＣタグの読み取りに不具合を有するランプにおいては、電力が過剰に入力されないように、予め定められた安全値である投入電力を制限した初期点灯条件及び定常点灯条件により、ランプを点灯させているので、ＩＣタグを具備しないランプであっても、ランプ寿命が短くなることがない。
また、当該紫外線照射装置の点灯実績を判定し、点灯実績がある場合は、装置内に保存されたデータを利用して、初期点灯、定常点灯をさせているので、装置起動時に再度演算する必要が無い。このため、初期点灯を速やかに行なうことができる。

次に、本実施形態の光源装置の動作についてフローチャートにより詳細に説明する。
図３は、図１、図２に示す紫外線照射装置における制御部の処理の概略を示すフローチャートである。また、図４〜図８は図３の各ステップＳ１〜Ｓ６の詳細を示したフローチャートである。
まず、図３により、図１、図２に示した紫外線照射装置における制御処理の概略を説明する。
紫外線照射装置が起動されると、初期データを取得する（ステップＳ１）。すなわち、ランプ１のＩＣタグ１ａからデータを読み込むとともに、必要に応じて記憶部１３のＲＯＭ１３ｂ、ＥＥＰＲＯＭ１３ｃなどからデータをＲＡＭ１３ａに転送する。
ついで、上記ＩＣタグ１ａから読み込んだデータなどに基づき、前述したように、ランプ１を初期点灯点灯させたのちに、定常点灯に移行させる（ステップＳ２）。
ランプ１が定常点灯に移行すると、以後、ランプの消灯信号がオンになるまで、ランプの点灯を維持するが、その際、ランプ１の積算点灯時間に応じて、上記記憶部１３に格納された内部データを更新する（ステップＳ３）。
ランプ消灯信号がＯＮになると、ランプの消灯動作を行い（ステップＳ４，Ｓ５）、消灯時のＩＣタグのデータ更新を行ない、また、記憶部１３のＲＡＭ１３ａに格納されているデータのＥＥＰＲＯＭ１３ｃなどへの退避を行い（ステップＳ６）、処理を終了する。

次に、図４〜図８のフローチャートにより、本実施形態の紫外線照射装置の制御部における処理について説明する。
図４、図５は、装置の起動からランプの定常点灯動作に移行するまでの処理を示している。
図４において、高周波点灯電源２が起動され（ステップＳ１１）、制御部４を構成する各部（ＣＰＵ１１、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２、制御部４、アンテナ１４、記憶部１３）が通電されて待機状態になる。このとき、記憶部１３のＲＯＭ１３ｂ、ＥＥＰＲＯＭ１３ｃ等に記憶されたデータが、必要に応じてＲＡＭ１３ａに転送され、装置がイニシャライズされる（ステップＳ１）。これにより、制御部４は、ＲＡＭ１３ａに格納されたデータを用いて処理を行なうことができるようになる。
なお、以下の説明においては、データがＲＡＭ１３ａに転送されている場合であっても、必要に応じて装置起動時に格納されていた場所でデータの格納場所を特定する場合がある。

ステップＳ１２で、制御部４は、ＩＣタグＲ／Ｗ部１２を介してアンテナ１４と、エキシマランプ１に具備されたＩＣタグ１ａとを通信させ、ＩＣタグ１ａに記録された情報を読み込むように制御し、読み込んだ情報を記憶部１３（ＲＡＭ１３ａ）に記憶させる。
ここで、ＩＣタグ１ａから読み込む情報としては、前述したように、通算点灯時間Ｔｓ、固有番号（シリアル番号）、点灯履歴情報、装置情報、初期電圧規定値Ｖfk、初期周波数規定値Ｆfk、定常電圧規定値Ｖtk、定常周波数規定値Ｆtk等である。
なお、図１３に示したように同一装置において、複数のエキシマランプが設けられる場合もあるので、上記「装置情報」は、装置の情報に加え、該装置におけるエキシマランプが取付けられ位置を示す「チャンネル情報」を含む。「チャンネル情報」とは、例えば図１３における装置では、エキシマランプが４本具備され、各エキシマランプが配置された位置を「チャンネル」と呼び、このチャンネルを右側から「チャンネル１」「チャンネル２」・・というように、各チャンネルを区別するための情報である。

制御部４は、上記ステップＳ１２でＩＣタグ１ａに記録された情報が読み込めたかどうかを、ステップＳ１３で確認する。ＩＣタグ１ａに記録された情報が読み込めた場合には、ステップＳ１４に進み、読み込めなかった場合には、ステップＳ１９１に進む。
ステップＳ１４では、ＩＣタグ１ａに記録された「点灯履歴情報」からエキシマランプの点灯実績の有無（新／旧ランプビットを確認）を判断する。
ステップＳ１４で、エキシマランプの点灯実績が無かったと判断したときにはステップＳ１５に進み、エキシマランプの点灯実績が有ったと判断したときにはステップＳ１６に進む。
ステップＳ１６では、同一装置での点灯実績があるかを判断し、同一装置での点灯実績が無い場合にはステップＳ１７に進み、点灯実績がある場合にはステップＳ１８に進む。 なお、ここでは、点灯実績の有無を、「点灯履歴情報」から判断したが、例えば「積算時間」や「装置情報」からも判断することができる。例えば「積算時間」で判断する場合、「積算時間」が０時間のとき点灯実績無し、「積算時間」が０時間以外のとき点灯実績となる。また、「装置情報」で判断する場合、「装置情報」の記憶が無かったとき点灯実績無し、「装置情報」の記憶が有ったとき点灯実績有りとなる。

すなわち、制御部４は、ＩＣタグ１ａら読み取った「固有番号（シリアル番号）」と、記憶部１３に記憶された点灯実績のあるエキシマランプ１の「固有番号（シリアル番号）」とを照合することで、該ＩＣタグ１ａを具備するエキシマランプ１について、該制御部を具備する紫外線照射装置における点灯実績の有無を判断する。
さらに、制御部４は、ＩＣタグ１ａから読み取った「装置情報」が、エキシマランプ１に取付けられた紫外線照射装置の情報であるかを判断する。
ステップＳ１６で、該制御部４を具備する紫外線照射装置における点灯実績が有るとともに「装置情報」が一致すると判断したときにはステップＳ１８に進み、それ以外のときにはステップＳ１７に進む。

以下、前記した（ａ）〜（ｄ）の場合に分けて、各ケースの場合の処理について説明する。
（ａ）ＩＣタグ１ａからの読み取り／書き込みが可能でないランプが取り付けられた場合。
この場合は、ステップＳ１３からステップＳ１９１にすすむ。ステップＳ１９１では、記憶部１３（例えばＲＯＭ１３ｂ）から初期電圧安全値Ｖfs、初期周波数安全値Ｆfs、定常電圧安全値Ｖts、定常周波数安全値Ｆtsを読み出す。
なお、エキシマランプ１は初期点灯時および定常点灯時、過剰な電力がランプに入力されると劣化する危険性があり、安全を考慮した初期電圧安全値Ｖfs、初期周波数安全値Ｆfs、定常電圧安全値Ｖts、定常周波数安全値Ｆtsが記憶部１３（例えばＲＯＭ１３ｂ）に格納されている。
ステップＳ１９では、上記初期電圧安全値Ｖfs、初期周波数安全値Ｆfsを、それぞれ、初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfmとして設定する。
次いで、ステップＳ１９２で、上記定常電圧安全値Ｖts、定常周波数安全値Ｆtsを定常電圧目標値Ｖtm、定常周波数目標値Ｆtmとして設定する。
この初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfmは、定常電圧目標値Ｖtm、定常周波数目標値Ｆtm記憶部１３（例えばＲＡＭ１３ａ）に記憶される。
ステップＳ１９２の処理ののち、図５に進む。

（ｂ）使用されたことがない新品のランプが取り付けられた場合。
この場合、ステップＳ１３からステップＳ１４、ステップＳ１５に進む。ステップＳ１５では、ＩＣタグ１ａから読みだした初期電圧規定値Ｖfk、初期周波数規定値Ｆfkを、それぞれ、初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfmとして設定する。
ついで、ステップＳ１５１で、ＩＣタグ１ａから読みだした上記定常電圧規定値Ｖtk、定常周波数規定値Ｆtkを定常電圧目標値Ｖtm、定常周波数目標値Ｆtmとして設定する。
この初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfm、定常電圧目標値Ｖtm、定常周波数目標値Ｆtmは記憶部１３（例えばＲＡＭ１３ａ）に記憶される。

（ｃ）当該紫外線照射装置では使用されていないが、点灯実績のあるランプが取り付けられた場合。この場合、ステップＳ１４からステップＳ１６、ステップＳ１７に進む。
エキシマランプ１は、紫外線照射装置１０から取り外しが可能である。このため、ユーザの使い方によっては、Ａという紫外線照射装置で使用したエキシマランプ１を取り外し、該エキシマランプ１をＢという紫外線照射装置で使用することがある。
この場合、エキシマランプ１のＩＣタグ１ａには点灯実績はあるものの、Ａの装置の点灯実績であって、Ｂの装置の点灯実績ではない。
この点を判断するために、エキシマランプ１のＩＣタグ１ａの「装置情報」には、直前の点灯実績のある装置の「装置情報」のみが記憶される。
すなわち、Ａという紫外線照射装置で使用したエキシマランプ１のＩＣタグ１ａには、Ａ装置で点灯されたときＡ装置の「装置情報」が記憶され、次にＢ装置で点灯されたとき「装置情報」にあったＡ装置の情報はＢ装置の情報に書き換えられる。
ステップＳ１６では、点灯実績のあるエキシマランプ１が取付けられている紫外線照射装置において、ＩＣタグ１ａに記憶された「装置情報」に用いて、直前に同一装置での点灯の有無があるかを判断する。同一装置での点灯の有無がない場合には、ステップＳ１７にすすむ。

ステップＳ１７では、以下のように処理を行う。
前記図２に示す制御部４の第１の設定手段４ｂ、第２の設定手段４ｃは、ＩＣタグ１ａから読み取った通算点灯時間Ｔｓに対応する電圧値の補正値を、あらかじめ記憶部１３（ＲＯＭ１３ｂ）に記憶させた電圧補正テーブルから読み取る。図９に電圧補正テーブルＴｖの構成例を示す。
電圧補正テーブルＴｖは、同図に示すように、ランプの通算点灯時間（ｈ）に対する電圧補正値を登録したテーブルであり、この補正値により通算点灯時間に応じて、初期電圧規定値及び定常電圧規定値を補正する。
すなわち、第１の設定手段４ｂは、上記電圧補正テーブルＴｖを参照し電圧補正値を得て、この電圧補正値とＩＣタグ１ａから読み取った初期電圧規定値Ｖfkとを演算して初期電圧目標値Ｖfmを求める。

続いて、第１の設定手段４ｃは、演算して求めた「電圧値」に対応する周波数の補正値を、あらかじめ記憶部１３（ＲＯＭ１３ｂ）に記憶させた周波数補正テーブルＴｆから読み取る。図１０に周波数補正テーブルＴｆの構成例を示す。
周波数テーブルＴｆは、同図に示すように、電圧値（ＫＶ）に対する周波数補正値を登録したテーブルであり、この補正値により初期周波数規定値Ｆfk及び定常周波数規定値Ｆtkを補正する。
すなわち、第１の設定手段４ｂは、上記周波数テーブルＴｆを参照して、周波数補正値を得て、この周波数補正値と初期周波数規定値Ｆfkとを演算して初期周波数目標値Ｆfm を求める。
上記初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfmは、ランプ１の初期点灯電力として設定され、記憶部１３に記憶される。

数値例を用いて説明すると、ＩＣタグ１ａから読み取った「通算点灯時間」が「３００」時間であり、ＩＣタグ１ａから読み取った初期電圧規定値Ｖfkが８ＫＶであったとき、ステップＳ１７で、通算点灯時間３００時間に対応する電圧値の補正値を、あらかじめ記憶部１３に記憶させた図９に示す電圧補正テーブルＴｖから読み取って、読み取った「１．０１０」を初期電圧規定値Ｖfkと演算する。すなわち、初期電圧規定値「８」ＫＶ×「１．０１０」＝「８．０８」ＫＶを初期電圧目標値Ｖfmとして演算して求める。
続いて、演算して求めた初期電圧目標値Ｖfmk の「８．０８」ＫＶに対応する周波数の補正値を、あらかじめ記憶部１３に記憶させた図１０に示す周波数補正テーブルＴｆから読み取って、読み取った周波数補正値「１．０５」とそのＩＣタグ１ａから読み取った初期周波数規定値Ｆfkの「５０」ＫＨｚとを、５０ＫＨｚ×「１．０５」＝「５２．５」ＫＨｚのように演算して、「初期点灯周波数目標値Ｆfm」を求める。求めた「初期電圧目標値Ｖfmk 」「８．０８」ＫＶと「５２．５」ＫＨｚとを、記憶部１３に、記憶させる。

次に、初期点灯後に行なわれる定常電力点灯させるための定常電圧目標値Ｖtmと定常周波数目標値Ｆtmとを求める。
ステップＳ１７１で、制御部４の第２の設定手段４ｃは、ＩＣタグ１ａから読み取った通算点灯時間Ｔｓに対応する電圧補正値を、前記電圧補正テーブルＴｖから得て、この電圧補正値とＩＣタグ１ａから読み取った定常電圧規定値Ｖtkとを演算して、定常電圧目標値Ｖtmを求める。定常電圧目標値Ｖtm 続いて、第２の設定手段４ｃは演算して求めた定常電圧目標値Ｖtmに対応する周波数の補正値を、前記周波数補正テーブルＴｆから読み取り、その周波数補正値とＩＣタグ１ａから読み取った定常周波数規定値Ｆtkとを演算して定常周波数目標値Ｆtmを求める。求めた定常電圧目標値Ｖtmと定常周波数目標値Ｆtmとを、記憶部１３に記憶させる。

（ｄ）当該紫外線照射装置で使用されていたランプがそのまま取り付けられている場合。この場合、ステップＳ１４からステップＳ１６、ステップＳ１８に進む。
後述するように、記憶部１３には、前回点灯させたときのエキシマランプ１の固有番号（シリアル番号）と、前回の当該エキシマランプ１を初期点灯させたときの初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfmが記憶されている。また、定常電圧目標値Ｖtm、定常周波数目標値Ｆtmで定常点灯を開始し、定常点灯に移行したのち、定常点灯終了時における点灯電圧値と点灯周波数値とが記憶されている。
そこで、ステップＳ１８では、記憶部１３（ＥＥＰＲＯＭ１３ｃ）に記憶されている初期電圧目標値Ｖfm、初期周波数目標値Ｆfmを読み出して、記憶部１３（ＲＡＭ１３ａ）に記憶させる。

また、ステップＳ１８１で、制御部４は、記憶部１３（ＥＥＰＲＯＭ１３ｃ）に記憶されたデータである上記点灯電圧値と点灯周波数値とを読み出して、定常電圧目標値Ｖtm、定常周波数目標値Ｆtmとして、記憶部（ＲＡＭ１３ａ）に記憶させる。
なお、本発明は、ＩＣタグ１ａを具備するエキシマランプ１の制御に係わるものであり、ステップＳ１３でのＩＣタグのデータ読み込みができるもの、及びできないものとの切り分けを行い、データ読み込みができたものをそのデータに基づいて制御する点に特徴がある。

上述のように、各ステップＳ１５，Ｓ１７，Ｓ１８，Ｓ１９で紫外線照射装置に取付けられたエキシマランプ１の初期電圧目標値Ｖfmと初期周波数目標値Ｆfmとを設定した。
次に、図５により上記初期電圧目標値Ｖfmと初期周波数目標値Ｆfm、並びに、ＩＣタグ１ａから読み取った通算点灯時間を用いて、エキシマランプ１を初期点灯させ、その後通常点灯させる処理について説明する。
ステップＳ２１，Ｓ２２で、制御部４の点灯制御手段４ｅは、記憶部１３に記憶させた上記初期電圧目標値Ｖfmと初期周波数目標値Ｆfmをエキシマランプ１を初期点灯するための目標値として設定する。
さらに、ステップＳ２３で、点灯制御手段４ｅは初期点灯タイマ４ｇに初期点灯時間Ｔ０を設定する。
次にステップＳ２４において、高周波点灯電源２に点灯信号を出力し、これと同時に、ステップＳ２５で、目標値として設定した初期電圧目標値Ｖfmと初期周波数目標値Ｆfmを高周波点灯電源２に出力し、高周波点灯電源２は、上記電圧と周波数とに基づいて、エキシマランプ１の初期点灯を開始する。
また、ステップＳ２４と同時に、ステップＳ２６において、ステップＳ２３で設定した初期点灯タイマ４ｇのカウントダウン（減算）を開始する。さらに、ステップＳ２でランプの点灯時間を積算するため点灯積算タイマ４ｆのカウントを開始する。
ステップＳ２８で、初期点灯タイマ４ｇがタイムアップするのを待つ。この間、目標値として設定した初期電圧目標値Ｖfmと初期周波数目標値Ｆfmが、高周波点灯電源２に出力され、高周波点灯電源２は、この電圧、周波数でエキシマランプ１を点灯させ続ける。初期点灯時間Ｔ０が経過すると、ステップＳ２９に進む。

ステップＳ２９、Ｓ２９１において、制御部４の点灯制御手段４ｅは、記憶部１３に記憶させた上記定常電圧目標値Ｖtmと定常周波数目標値Ｆtmをエキシマランプ１を定常点灯を開始する際の目標値として設定する。
そして、ステップＳ２９２で、定常電圧目標値Ｖtmと定常周波数目標値Ｆtm を高周波点灯電源２に出力し、高周波点灯電源２は、エキシマランプ１の電力コントロールを開始する。
点灯制御手段４ｅは、定常点灯開始後、上記高周波点灯電源２から送られてくる電圧、電流からランプに供給される電力を算出し、算出した電力（上記電圧、電流の積に力率ＣＯＳφを乗じた値）が、予め設定された目標電力に一致するような周波数を求め、周波数指令として点灯電源２に送出する。
また、定常点灯開始時には、上記定常電圧目標値Ｖtmに対応した電圧がランプ１に印加されるように制御されるが、後述するように、ランプの通算点灯時間が増大するに従い、ランプに印加される電圧を増大させる。
点灯電源２は、この電圧指令、周波数指令に応じてランプ１の駆動電圧、周波数を制御する。これにより、ランプ１に供給される電力が目標電力に一致するように制御され、ランプ１は目標電力に応じた照度で点灯する。
なお、以下では、定常点灯中において、ランプに印加される電圧、周波数をそれぞれ「点灯電圧」、「点灯周波数」という。

図６は、点灯後、消灯までの間における内部データの更新処理を示すフローチャートである。
点灯後、消灯までの定常点灯中において、図２に示す更新手段４ｄは、点灯積算タイマ４ｆのカウント値に応じて、ランプの通算点灯時間Ｔｓを更新するとともに、上述したように定常点灯時にランプに印加される点灯電圧の更新を行い、通算点灯時間Ｔｓに応じてランプの点灯電圧を増大させる。
また、ランプの点灯中、ランプの通算点灯時間Ｔｓに応じて、記憶部１３に格納されている初期電圧目標値Ｖfmと初期周波数目標値Ｆfm、定常電圧目標値Ｖtm（点灯電圧）と定常周波数目標値Ｆtmを更新し、次の点灯開始時に、この更新された電圧、周波数で、当該ランプを初期点灯、定常点灯させる。

以下、図６のフローチャートにおける処理について説明する。
図６において、ステップＳ３１で、ランプ１が通常点灯中であるかを図示しない光センサで確認し、点灯中であればステップＳ３１１に進み、点灯中でなければ処理を終了する。ステップＳ３１１において、点灯積算タイマ４ｆ（図２参照）でカウントした時間が所定時間経過したか確認し、所定時間経過したらステップＳ３２に進む。
ステップＳ３２で、経過した所定時間を、記憶部１３に記憶させた通算点灯時間に加算して更新する。例えば、数値を用いて説明すると、上記「所定時間」を１時間とし、記憶部１３に記憶された通算点灯時間が１９９時間であるとする。ステップＳ３１１で、積算タイマ４ｆで１時間経過したことを確認したら、ステップＳ３２で１９９時間に１時間加算して通算点灯時間を２００時間とする。
通算点灯時間Ｔｓが更新されると、図９に示した電圧補正値テーブルＴｖの補正値が更新されている可能性がある。

そこで、ステップＳ３３で、通算点灯時間Ｔｓの増加に応じて点灯電圧を更新する必要があるかを調べる。
例えば、電圧補正値テーブルＴｖを参照して、更新された通算点灯時間における電圧補正値が、先に電圧補正値テーブルＴｖを参照したときの電圧補正値（例えば図４のステップＳ１７（又はＳ１７１）又はＳ１８（又はＳ１８１）において参照したときの電圧補正値）と異なるか否かを調べる。
例えば数値を用いて説明すると、通算点灯時間が１９９時間であって、所定時間が１時間であるとき、通算点灯時間１９９時間に所定時間１時間が加算されて２００時間になる。この場合、図９に示すテーブルでは、通算点灯時間１９９時間の補正値も通算点灯時間２００時間の補正値も同じ「１．００５」であるので、補正値の更新はない。また、さらに時間が経過し、通算点灯時間が２０１時間になると、補正値は「１．０１０」になるので、補正値の更新ありとなり、点灯電圧を更新する必要がある。
通算点灯時間が加算された結果、電圧値の補正値が更新されていなかったら、ステップＳ４１に進み、更新されていたら、ステップＳ３３１に進む。

点灯電圧の更新がない場合には、ステップＳ４１へ進み、消灯信号を確認し、消灯信号がオフのとき、ステップ３１１に戻る。
また、点灯電圧の更新がある場合には、ステップＳ３３１に進む。
ステップＳ３３１で、更新された補正値と、記憶部１３に記憶されている当該ランプの初期電圧規定値Ｖfkとで演算し、その演算結果により、記憶部１３に記憶された初期電圧目標値Ｖfmを更新する。
この初期電圧規定値Ｖfkは、当該ランプを次に点灯させる際、記憶部１３から読み出され、初期電圧目標値Ｖfmとして設定される（図４のステップＳ１８）。
同様に、ステップＳ３３１において、更新された電圧補正値と、記憶部１３に記憶されている当該ランプの定常電圧規定値Ｖtkとで演算して、そのときの通算点灯時間に応じた点灯電圧を得て、これを新たな点灯電圧とする。
数値例を用いて説明すると、定常電圧規定値Ｖfkが７ＫＶで、「加算された積算時間」が「２０１時間」であったときの対応する補正値「１．０１０」であり、７ＫＶ×１．０１０＝７．０７ＫＶを演算によって求め、この７．０７ＫＶを、更新された点灯電圧として、記憶部１３に記憶させる。

ステップＳ３４では、ステップＳ３３１で記憶部１３に記憶させた電圧値を新規な点灯電圧値として目標値に設定し、積算時間が加算される前の点灯電圧値から、新たな点灯電圧値に変更し、高周波電源に新規な点灯電圧値を出力する。
例えば、上記７．０７ＫＶを、更新された点灯電圧とした場合、点灯電圧値は、７．０７ＫＶ（「電圧規定値」７ＫＶ×「補正値」１．０１０）に変更され、高周波点灯電源２に新たな点灯電圧値として７．０７ＫＶが出力される。
点灯電圧値が更新されると、図１０に示す周波数補正テーブルＴｆの周波数補正値が更新されている可能性がある。
このため、ステップＳ３６で、更新された点灯電圧値に対応する周波数補正値を、図１０に示す周波数補正テーブルＴｆから読み取り、この周波数補正値が、先に周波数補正テーブルＴｆを参照したときの周波数補正値（例えば図４のステップＳ１７（又はＳ１７１）又はＳ１８（又はＳ１８１）において参照したときの周波数補正値）と異なるか否かを調べる。
そして、点灯電圧値が更新された結果、周波数値の補正値が更新されていなかったら、ステップＳ４１に進み、更新されていたらステップＳ３７に進む。
ステップＳ３７では、更新された周波数の補正値と、記憶部１３に記憶されている当該ランプの定常周波数規定値Ｆtkとで演算し、その演算して求めた定常周波数目標値Ｆtmを、ステップＳ３７１で、記憶部１３に記憶させる。
この定常周波数目標値Ｆtmは、当該ランプを次に点灯させる際、記憶部１３から読み出され、定常周波数目標値Ｆtmとして設定される（図４のステップＳ１８）。
ステップＳ４１で、ランプ消灯信号を確認し、ランプ消灯信号が出力されていないとき（ＯＮのとき）は、ランプ点灯中なので、ステップＳ３１１に戻って、上記処理を繰り返す。消灯信号が出力されると（ＯＦＦ＝Ｙｅｓ）、処理を終了し、次に説明する消灯処理を行なう。

次に、ランプの消灯処理について説明するが、まず、消灯工程が必要な理由について説明する。
エキシマランプは、一対の電極間に、例えば石英ガラスのような誘電性を有する放電容器を介して、その放電容器の内部の発光ガスを励起させてエキシマ発光を行なっている。 エキシマランプが未使用のものの場合、エキシマ発光を行なう初期点灯時に、放電容器には、電極を介して例えば８ＫＶのような高電圧が印加される。
図１１（ａ）に示すように、高電圧を印加された放電容器１ｂは、誘電性を有するので分極し、その表面に電荷が現れ、この電荷を用いてエキシマ発光が行なわれる。
エキシマランプにおいては、高周波も入力されていることから、放電容器１ｂの分極は、入力された高周波によって変化する。具体的には、分極が解消されたり、分極が逆転したりする。
エキシマランプの一方の電極は、図１１（ｂ）に示すように高周波の山部分のときに高電位が印加されるが、高周波の谷部分のときには、他方の電極と同じように接地された状態（０ＫＶ）であり、放電容器の分極は解消される。
また、他の点灯方式の場合、一方の電極と他方の電極に印加される電圧の高低は逆転するので、例えば一方の電極側が高電位のときの放電容器の分極は、他方の電極側が高電位のときの放電容器の分極からみると逆転している。放電容器の分極は、定常点灯時においても起きている。

このようなエキシマランプを消灯するとき、入力していた高電位をすぐさま０ＫＶにし、同時に入力していた高周波をすぐさま０ＫＨｚにすることが可能であるが、すぐさま高電圧と高周波を０にしてしまうと、次回のランプ点灯時において不点灯になったり、ランプ入力が過剰になったりすることがあった。
この問題は、ランプ消灯後においても放電容器が分極することに原因があると考えられる。以下にその原因の推測を示す。
ランプ点灯後において、入力していた高電圧と高周波をすぐさま０にしてしまうと、放電容器の表面の電荷は解消される。しかしながら、高電圧と高周波とを０にする直前が６ＫＶであったときには、放電容器自身の分極は６ＫＶのときのものが維持されてしまう。 エキシマランプに入力される高電圧や高周波は、放電容器が分極した状態を考慮していない。このため、放電容器が分極した状態で、エキシマランプに高電圧と高周波とを入力すると、放電容器の分極状態の影響を受けて、ランプ入力が過剰であったり、不十分であったりして、ランプの不点灯・過剰入力が起きてしまったと考えられる。
そこで、本発明者は、ランプ消灯時に、定電力制御時における電圧値よりも低い電圧を入力し、さらに定電力制御時における周波数値よりも高い周波数値を入力すれば、放電容器の分極状態を抑制することができ、次回のランプ点灯時における不備を解消できる知見を得た。

このような消灯工程を用いた消灯処理について、図７のフローチャートにより説明する。
ステップＳ５０１で、消灯信号が入力されると制御部４の点灯制御手段４ｅは、あらかじめ記憶部１３に記憶させた点灯電圧値からの減算値αを読み出す。そして、記憶部１３に記憶されている点灯電圧と上記減算値αを演算し、その演算結果を消灯電圧値として記憶部１３に記憶させ、この消灯電圧値を目標値として設定する。
ステップＳ５０２で、点灯制御手段４ｅは、あらかじめ記憶部１３に記憶させた点灯周波数値の加算値βを読み出し、記憶部１３に記憶されている点灯周波数値と上記加算値＋βを演算して、その演算結果を消灯周波数値として記憶部１３に記憶させ、この消灯周波数値を目標値として設定する。
ステップＳ５０３で、点灯制御手段４ｅはあらかじめ記憶部１３に記憶させた消灯時間Ｔ１を読み出し、この消灯時間Ｔ１を消灯タイマ４ｈ（図２参照）に設定する。
ステップＳ５２で、点灯制御手段４ｅは目標値として設定した「点灯電圧値−α」を高周波点灯電源２に出力し、また、同時にステップＳ５３で、「点灯周波数＋β」を高周波点灯電源２に出力する。
高周波電源２は消灯電圧である「点灯電圧値−α」と消灯周波数である「点灯周波数＋β」に基づいて、エキシマランプ１の消灯動作を開始する。

ステップＳ５２及びステップＳ５３と同時に、ステップＳ５４で、消灯タイマ４ｈのカウントダウン（減算）を開始する。
エキシマランプ１に入力される消灯電圧は、点灯電圧よりαだけ低い消灯電圧であり、エキシマランプ１は、エキシマ発光が停止される。
ステップＳ５５で、「消灯時間Ｔ１」の間、目標値として設定した消灯電圧値と消灯周波数を高周波点灯電源２に出力し、エキシマランプ１を点灯させ続け、消灯時間Ｔ１が経過し、消灯タイマ４ｈがタイムアップすると、ステップＳ５６に進む。また、タイムアップと同時に、消灯タイマ４ｈの動作を終了させる。
ステップＳ５６で、制御部４の点灯制御手段４ｅは、高周波点灯電源２からエキシマランプ１への出力を終了させ、高周波点灯電源をオフにする。

図８は、消灯時のデータの更新処理を示すフローチャートであり、ここでは、ＩＣタグのデータの更新と、装置の記憶部１３のデータの更新を行なう。
ステップＳ６２で、制御部４の更新手段４ｄは、記憶部１３に記憶させた通算点灯時間Ｔｓを、ＩＣタグ１ａに記録する。また、装置情報として、エキシマランプが取付けられた「装置の情報」と、エキシマランプを複数本具備する装置においては、そのエキシマランプが取付けられたチャンネル情報とがＩＣタグ１ａに記録される。
また、必要に応じてＩＣタグ１ａの「点灯履歴情報」の新／旧フラグビットをＯＮにし、点灯実績が有ったことを記憶させる。
ステップＳ６７で、記憶部１３のＲＡＭ１３ａに記憶されているエキシマランプ１の「固有番号（シリアル番号）」と、エキシマランプ１の通算点灯時間に応じて更新された該エキシマランプ１を初期点灯させるときの「初期電圧目標値Ｖfm」と「初期周波数目標値Ｆfm」、及び、該エキシマランプ１を定電力制御していたときの最後の「点灯電圧値」と「点灯周波数」（消灯点灯直前の「点灯電圧値」と「点灯周波数値」）と、「通算点灯時間」とを記憶部１３のＥＥＰＲＯＭ１３ｃに記憶させ、制御部４の電源をＯＦＦする。

なお、上述の説明では、ランプを点灯させる制御パラメータとして、「電圧値」と「周波数値」を用いたが、「周波数値」を制御することは、「電流値」を制御することとも言えるので、周波数値の制御に換え、電流値を制御するようにしてもよい。
また、電力制御を行なうには、周波数値を制御する以外に、ランプに印加する電圧のデューティ比を制御してもよい。すなわち、本発明におけるランプ点灯の制御のパラメータとしては、「電圧値」と「周波数値」に加え、「電流値」と「電圧のデューティ比」等を制御するようにしてもよい。
また、上述の実施形態においては、電圧値の「補正パラメータ」（図９）及び周波数値の「補正パラメータ」（図１０）は、初期点灯時及び定常点灯時のいずれも共通のものを用いたが、別々の補正パラメータを用いてもかまわない。すなわち、初期点灯時における「補正パラメータＡ」と、定常点灯時における「補正パラメータＢ」と分けてもよい。

本発明の実施形態である紫外線照射装置のシステム構成を示す図である。 本発明の実施形態の光源装置の機能ブロック図である。 本発明の実施形態である紫外線照射装置における制御部の処理の概略を示すフローチャートである。 装置の起動からランプの定常点灯動作に移行するまでの処理のフローチャート（１）である。 装置の起動からランプの定常点灯動作に移行するまでの処理のフローチャート（２）である。 点灯後、消灯までの間における内部データの更新処理を示すフローチャートである。 消灯処理を示すフローチャートである。 消灯時のデータの更新処理を示すフローチャートである。 電圧補正値テーブルの一例を示す図である。 周波数補正テーブルの一例を示す図である。 エキシマランプの分極の様子を説明する図である。 エキシマランプを搭載した紫外線照射装置の構成を示す図（管軸に平行な平面で切った断面図）である。 エキシマランプを搭載した紫外線照射装置の構成を示す図（管軸に垂直な平面で切った断面図）である。 ＩＣタグを具備したエキシマランプを点灯させる紫外線照射装置のシステム構成を示す図である。 初期点灯時の照度変化を示す図である。

符号の説明

１ ランプ（エキシマランプ）
１ａ ＩＣタグ
２ 点灯電源
３ トランス
４ 制御部
４ａ 判定手段
４ｂ 第１の設定手段
４ｃ 第２の設定手段
４ｄ 更新手段
４ｅ 点灯制御手段
４ｆ 積算タイマ
４ｇ 初期点灯タイマ
４ｈ 消灯タイマ
１０ 紫外線照射装置
１１ ＣＰＵ
１２ ＩＣタグＲ／Ｗ部
１３ 記憶部
１３ａ メモリ（ＲＡＭ）
１３ｂ メモリ（ＲＯＭ）
１３ｃ メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）
１４ アンテナ
１６ Ａ／Ｄ変換器
１７ Ｄ／Ａ変換器

Claims (8)

1. エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取り及びＩＣタグへの情報の書き込みを行うＩＣタグ読み取り／書き込み手段と、
   エキシマランプへ給電する点灯電源と、エキシマランプの点灯を制御する制御部を備え、ＩＣタグを備えたエキシマランプが取り付けられる紫外線照射装置であって、
   上記ＩＣタグには、少なくとも、該ＩＣタグを具備するエキシマランプの通算点灯時間と、該エキシマランプの固有の電気的特性を示す情報と、該紫外線照射装置における点灯実績の有無を示す情報が記録され、
   上記紫外線照射装置の制御部は、
   エキシマランプが該紫外線照射装置に取り付けられた際、上記ＩＣタグ読み取り／書き込み手段によるＩＣタグへのアクセスを実行することにより、ＩＣタグから情報の読み取りＩＣタグへの書き込みが可能であるか否か、情報の読み取りが可能で、かつ該紫外線照射装置における点灯実績が有るか否か、を判定する判定手段と、
   上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、初期点灯条件を設定する第１の設定手段と、 上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、定常点灯条件を設定する第２の設定手段と、 上記初期点灯条件及び定常点灯条件を、該エキシマランプの通算点灯時間に応じて更新する更新手段と、更新された上記初期点灯条件及び定常点灯条件を記憶する記憶手段と、 上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績がないとき、上記第１の設定手段により設定された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記第２の設定手段により設定された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、
   上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績があるとき、上記記憶手段に記憶された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記記憶手段に記憶された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、
   上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りができないとき、予め定められた安全値である初期点灯条件により、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、予め定められた安全値である定常点灯条件を用いて、該エキシマランプを定常点灯に移行させる点灯制御手段を備えている
   ことを特徴とする紫外線照射装置。
2. 上記ＩＣタグに記憶されたエキシマランプの固有の電気的特性を示す情報には、少なくとも、該エキシマランプを点灯させるに適した初期電圧規定値、初期周波数規定値、定常電圧規定値及び定常周波数規定値が含まれ、
   上記第１の設定手段は、上記初期点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された初期電圧規定値、初期周波数規定値に基づき、初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値を設定し、
   上記第２の設定手段は、上記定常点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された定常電圧規定値及び定常周波数規定値に基づき、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を設定し、
   上記更新手段は、上記初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を、該エキシマランプの通算点灯時間に応じて更新し、
   上記記憶手段は、更新された上記初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を記憶し、
   上記点灯制御手段は、
   上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績がないとき、第１の設定手段により設定された上記初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記第２の設定手段により設定された定常電圧目標値及び定常周波数目標値を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、
   上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りが可能で、該紫外線照射装置における点灯実績があるとき、上記記憶手段に記憶された初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、上記記憶手段に記憶された定常電圧目標値及び定常周波数目標値を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させ、
   上記判定手段の判定結果が、ＩＣタグから情報の読み取りができないとき、予め定められた安全値である初期電圧安全値及び初期周波数安全値により、該エキシマランプを初期点灯させ、初期点灯後、予め定められた安全値である定常電圧安全値及び定常周波数安全値を用いて、該エキシマランプを定常点灯に移行させる
   ことを特徴とする請求項１に記載の紫外線照射装置。
3. エキシマランプに設けられたＩＣタグからの情報の読み取り／書き込み手段と、エキシマランプの点灯を制御する制御部を備えた紫外線照射装置の点灯制御方法であって、
   上記ＩＣタグには、少なくとも、該ＩＣタグを具備するエキシマランプの通算点灯時間と、該エキシマランプの固有の電気的特性を示す情報と、該紫外線照射装置における点灯実績の有無が記録され、
   上記紫外線照射装置の制御部は、
   エキシマランプが該紫外線照射装置に取り付けられた際、上記エキシマランプがＩＣタグを備え、該ＩＣタグから情報の読み取り／書き込みが可能であるか否かを判別し、
   該エキシマランプのＩＣタグから情報の読み取り／書き込みが可能であるとき、ＩＣタグに格納された情報を取得し、
   ＩＣタグから取得した情報に基づき、該エキシマランプの該紫外線照射装置における点灯実績の有無を判別し、
   上記判別結果に応じて次の（イ）〜（ハ）の工程を行う
   （イ）ＩＣタグから情報の読み取りが可能であり、該紫外線照射装置における点灯実績がないとき、上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、初期点灯条件を設定し、該設定された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、
   上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、定常点灯条件を設定し、初期点灯後、該設定された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させる、
   （ロ）ＩＣタグから情報の読み取りが可能であり、該紫外線照射装置における点灯実績があるとき、該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報及び／または上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、初期点灯条件を設定し、該設定された初期点灯条件に基づき、該エキシマランプを初期点灯させ、
   該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報及び／または上記ＩＣタグに格納された情報に基づき、定常点灯条件を設定し、初期点灯後、該設定された定常点灯条件を用いて該エキシマランプを定常点灯に移行させる、
   （ハ）ＩＣタグから情報の読み取りができないとき、予め定められた安全値である初期点灯条件を設定し、該安全値である該初期点灯条件により、該エキシマランプを初期点灯させ、
   予め定められた安全値である定常点灯条件を設定し、初期点灯後、安全値である該定常点灯条件を用いて、該エキシマランプを定常点灯に移行させる、
   ことを特徴とする紫外線照射装置の点灯制御方法。
4. 上記（イ）の工程において、ＩＣタグから情報の読み取りが可能であり、該紫外線照射装置における点灯実績がなく、他の装置での点灯実績があるとき、
   ＩＣタグに格納された通算点灯時間及び該エキシマランプの固有の電気的特性を示す情報を用いて、初期点灯条件を設定するとともに、定常点灯条件を設定する
   ことを特徴とする請求項３に記載の紫外線照射装置の点灯制御方法。
5. 上記ＩＣタグに格納されたエキシマランプの固有の電気的特性を示す情報には、少なくとも、該エキシマランプを点灯させるに適した初期電圧規定値、初期周波数規定値、定常電圧規定値及び定常周波数規定値が含まれ、
   上記（イ）（ロ）の工程において、上記初期点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された初期電圧規定値、初期周波数規定値及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき、初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値を設定し、 上記定常点灯条件として、上記ＩＣタグに格納された定常電圧規定値、定常周波数規定値及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を設定し、
   上記（ハ）の工程において、上記初期点灯条件として、安全値である初期電圧安全値及び初期周波数安全値を設定し、
   上記定常点灯条件として、予め定められた安全値である定常電圧安全値及び定常周波数安全値を設定する
   ことを特徴とする請求項３または請求項４記載の紫外線照射装置の点灯制御方法。
6. 前記（イ）および（ロ）の工程において、前記初期電圧目標値及び初期点灯周波数目標値を、前記ＩＣタグに格納された情報及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき次のように求める
   （ａ）該エキシマランプの通算点灯時間に対応する初期電圧補正値を求め、
   （ｂ）初期電圧補正値と、初期電圧規定値とを演算して初期電圧目標値を求め、
   （ｃ）求めた該初期電圧目標値に対応する初期点灯周波数補正値を求め、
   該初期点灯周波数補正値と、初期周波数規定値とを演算して初期点灯周波数目標値を求める
   ことを特徴とする請求項５記載の紫外線照射装置の点灯制御方法。
7. 前記（イ）および（ロ）の工程において、前記定常電圧目標値及び定常周波数目標値を、前記ＩＣタグに格納された情報及び／または該紫外線照射装置に格納された該エキシマランプに関する情報に基づき、次のように求める
   （ａ）該エキシマランプの通算点灯時間に対応する定常点灯電圧補正値を求め、
   （ｂ）定常点灯電圧補正値と、定常電圧規定値とを演算して定常電圧目標値を求め、
   （ｃ）求めた該定常電圧目標値に対応する定常点灯周波数補正値を求め、
   該定常点灯周波数補正値と、定常周波数規定値とを演算して定常周波数目標値を求める
   ことを特徴とする請求項５記載の紫外線照射装置の点灯制御方法。
8. ＩＣタグから情報の読み取り及びＩＣタグへの情報の書き込みが可能であるとき、
   前記制御部は、エキシマランプを消灯させたとき、該エキシマランプに設けられたＩＣタグの通算点灯時間を更新するとともに該紫外線照射装置で使用実績があることを記録し、
   該紫外線照射装置に、上記エキシマランプを同定するための情報、および次回点灯させる際の、初期電圧目標値、初期点灯周波数目標値、定常電圧目標値及び定常周波数目標値を記憶させる
   ことを特徴とする請求項３，４，５，６または請求項７記載の紫外線照射装置の点灯制御方法。

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