JP5407452B2 - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
装置において、前記温度制御手段が前記瞬時加熱手段を兼ねる、というものである。
図1は、本発明の第1実施形態の紫外線照射装置のシステム構成を示す図である。図2は、図1のランプ10をA−A線で切断した幅方向の断面図を示す。紫外線照射装置100は、ランプ10と、ランプ10を点灯駆動する点灯電源21と、ヨウ素固形物Iが配置されたヨウ素固形物収容空間Kを加熱または冷却する温度可変部30と、温度可変部30の動作を制御する制御部40とを備えて構成される。
放電空間Sには、ヨウ素固形物Iから供給されるヨウ素ガスの他、クリプトンガス、アルゴンガス、またはこれらの混合ガスが充填されている。クリプトンガス、アルゴンガス、またはこれらの混合ガスは、その全圧が例えば40〜133kPaの範囲となるように放電容器に充填される。
I+ + I− + M → I2 * + M
(ステップS101)
点灯制御部20は、受信した点灯指令に従い、電力指令および周波数指令を点灯電源21に送出する。点灯電源21は、受信した電力指令および周波数指令に従ってランプ10を点灯させる。
(ステップS102)
温調制御部42は、記憶部43に格納された目標温度データTSを読出す。
(ステップS103)
温調制御部42は、温度センサー41により検知された実測温度データTMを取得する。
(ステップS104)
温調制御部42は、実測温度データTMが目標温度データTSに一致しているかを確認する。実測温度データTMが目標温度データTSに一致している場合は、ステップS105に進む。実測温度データTMが目標温度データTSに一致していない場合は、ステップS103に進む。
(ステップS105)
点灯制御部20に消灯指令が送出された場合は、点灯制御部20は電源21に消灯指令を送出し、点灯電源21がランプ10への電力供給を停止してランプ10を消灯する。ステップS105においてランプ消灯指令が入力されていない場合は、ステップS103に戻り、ステップS103〜S104のプロセスが繰り返し実行される。
図5は、本発明の第2実施形態の紫外線照射装置のシステム構成を示す図である。紫外線照射装置200は、ランプ10と、ランプ10を点灯駆動する点灯電源21と、ヨウ素固形物収容空間Kを所定の温度に加熱または冷却する温度可変部30と、ヨウ素固形物Iを瞬時加熱する瞬時加熱部50と、これらの動作を制御する制御部60とを備えて構成される。図5では、図1および2に示す第1の実施形態の紫外線照射装置と共通する箇所は図1および2と同一符号を付すことにより説明を省略する。
・初期照度データXS:個々のランプ毎にランプを製造した直後においてランプ10から発せられるヨウ素分子発光の強度を測定した照度データ
・実測照度データXM:光センサー61によってランプ10から発せられるヨウ素分子発光の強度を測定した照度データ
・電力データW0:ヨウ素固形物Iの瞬時加熱するときの電力データ
・時間データS0:ヨウ素固形物Iの瞬時加熱するときの時間データ
・目標温度データTS:ヨウ素固形物Iを定温加熱するときの温度データ
図7は、本実施形態の紫外線照射装置の動作についてのフローチャートを示す。
(ステップS201)
点灯制御部20は、受信した点灯指令に従い、電力指令および周波数指令を点灯電源21に送出する。点灯電源21は、受信した電力指令および周波数指令に従ってランプ10を点灯させる。
(ステップS202)
温調制御部42は、記憶部63に格納された目標温度データTSを読出す。
(ステップS203)
温調制御部42は、温度センサー41により検知された実測温度データTMを取得する。
(ステップS204)
温調制御部42は、実測温度データTMが目標温度データTSに一致しているかを確認する。実測温度データTMが目標温度データTSに一致している場合は、ステップS205に進む。実測温度データTMが目標温度データTSに一致していない場合は、ステップS203に進む。
(ステップS205)
瞬時加熱制御部62は、記憶部63に格納された初期照度データXSを読み出す。
(ステップS206)
瞬時加熱制御部62は、光センサー61により検知された実測照度データXMを取得する。
(ステップS207)
瞬時加熱制御部62は、実測照度データXMが初期照度データXSに対して、例えば30%以上低下したかを判定する。照度低下が30%を超える場合はステップS208に進む。照度低下が30%を超えない場合はステップS210に進む。
(ステップS208)
瞬時加熱制御部62は、記憶部63に格納された、電力データW0および時間データS0を読み出す。
(ステップS209)
瞬時加熱制御部62は、記憶部63から読み出した電力データW0および時間データS0を、それぞれ電力指令および時間指令として電源64に送出する。
電源64は、瞬時加熱制御部62から送出された各種の指令にしたがって、瞬時加熱部50を駆動する。このようにして、瞬時加熱部50がヨウ素固形物Iを瞬時加熱することにより、ヨウ素固形物が溶融してヨウ素を供給できる状態にする。
(ステップS210)
点灯制御部20に消灯指令が送出された場合は、ランプ10への電力供給を停止してランプ10を消灯する。ランプ消灯指令が入力されていない場合は、ステップS206に戻り、ステップS206〜S209のプロセスが繰り返し実行される。
図8は、本発明の第2実施形態の紫外線照射装置において、ヨウ素固形物Iの瞬時加熱処理の他の例について説明するための機能ブロック図を示す。
同図に示す制御部80は、点灯制御部20、温度センサー41、温調制御部42、電源44、タイマー81、瞬時加熱制御部82、記憶部83および電源84を備えて構成される。点灯制御部20、温度可変部30、温度センサー41、温度制御部42、電源44および瞬時加熱部50は、図2に示すものと共通する。
・標準時間データSS:各ランプ毎に決めた、前記瞬時加熱部を動作させるタイミングを決定する基準になる時間データ
・ランプ点灯時間データSM:タイマー81により検知されるランプの点灯時間のデータ
・電力データW0:ヨウ素固形物Iの瞬時加熱するときの電力データ
・時間データS0:ヨウ素固形物Iの瞬時加熱するときの時間データ
・目標温度データTS:ヨウ素固形物Iを定温加熱するときの温度データ
(ステップS301)
点灯制御部20は、点灯指令を受信することにより、電力指令および周波数指令を点灯電源21に送出する。点灯電源21は、点灯制御部20より送られた電力指令および周波数指令に従ってランプ10を点灯させる。
(ステップS302)
点灯制御部20は、点灯指令と同期してタイマー81にカウント開始指令を送出する。タイマー81は、カウント開始指令を受信することにより、ランプ点灯時間のカウントを開始する。
(ステップS303)
温調制御部42は、記憶部83に格納された目標温度データTSを読出す。
(ステップS304)
温調制御部42は、温度センサー41により検知された実測温度データTMを取得する。
(ステップS305)
温調制御部42は、実測温度データTMが目標温度データTSに一致しているかを確認する。実測温度データTMが目標温度データTSに一致している場合は、ステップS305に進む。実測温度データTMが目標温度データTSに一致していない場合は、ステップS304に進む。
(ステップS306)
瞬時加熱制御部82は、記憶部83に格納された標準時間データSSを読み出す。
(ステップS307)
瞬時加熱制御部82は、タイマー81によってカウントされたランプ点灯時間データSMを取得する。
(ステップS308)
瞬時加熱制御部82は、ランプ点灯時間データSMが標準時間データSSを超えたかを判定する。ランプ点灯時間データSMが標準時間データSSを超えた場合はステップS309に進む。ランプ点灯時間データSMが標準時間データSSを超えない場合は、ステップS312に進む。
(ステップS309)
瞬時加熱制御部82は、記憶部83に格納された、電力データW0および時間データS0を読み出す。
(ステップS310)
瞬時加熱制御部82は、記憶部83から読み出した電力データW0および時間データS0を、それぞれ電力指令および時間指令として電源84に送出する。
電源84は、瞬時加熱制御部82から送出された各種の指令にしたがって、瞬時加熱部50を駆動する。このようにして、瞬時加熱部50がヨウ素固形物Iを瞬時加熱することにより、ヨウ素固形物が溶融してヨウ素を供給できる状態にする。
(ステップS311)
瞬時加熱制御部82は、タイマー81に対し、リセット指令を送出する。タイマー81は、受信したリセット指令に従ってランプ点灯時間データSMをリセットして零にしてから点灯時間データSMのカウントを再開する。
(ステップS312)
点灯制御部20に消灯指令が送出された場合は、ランプ10への電力供給を停止してランプ10を消灯する。消灯指令が入力されていない場合は、ステップS307に戻り、ステップS307〜S311のプロセスが繰り返し実行される。
したがって、ヨウ素固形物Iが放電空間S内に転がり込んで放電空間S中で熱せられて過剰なヨウ素ガスを放出する、といった不具合の発生を確実に防止することができる。
1 放電容器
2 一方の壁部
3 他方の壁部
4 一方の封止用壁部
5 他方の封止用壁部
6 一方の電極
7 他方の電極
8 紫外線反射膜
9 排気管残部
20 点灯制御部
21 点灯電源
30 温度可変部
40、60、80 制御部
41 温度センサー
42 温調制御部
43、63、83 記憶部
44、64、84 電源
50 瞬時加熱部
61 光センサー
62、82 瞬時加熱制御部
81 タイマー
Claims (5)
- ヨウ素固形物および希ガスと、
互いに対向する一対の壁部と封止用壁部との間に形成される放電空間および前記放電空間の最冷部を形成するヨウ素固形物収容空間を備える放電容器と、
前記放電空間を挟んで対向するように配置された一対の電極とを備え、
前記ヨウ素固形物により前記放電空間に供給されるヨウ素ガスが励起ヨウ素分子を形成することによって、ピーク波長が342nm付近にある紫外線を放射するランプと、
前記ヨウ素固形物収容空間を所定の温度にする温度可変部と、前記温度可変部の動作を制御する制御部と、前記ヨウ素固形物を瞬時加熱するための瞬時加熱部と、前記瞬時加熱部の動作を制御する制御部とを備えることを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記制御部が、前記ランプより放射されるピーク波長が342nm付近にあるヨウ素分子発光の照度を検知する光センサーを備え、前記ランプの初期照度データを格納すると共に、前記光センサーにより検知される前記ランプの実測照度データが前記初期照度データに対して所定割合以下に低下したかを判定し、前記実測照度データが前記初期照度データに対して所定割合以下に低下したときに前記瞬時加熱部を動作させ、前記ヨウ素固形物を瞬時加熱することを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。
- 前記制御部が、前記ランプの点灯時間を検知するタイマーを備え、前記瞬時加熱部を動作させるタイミングを決定する基準になる標準時間データを格納すると共に、前記タイマーにより検知されるランプ点灯時間データが前記標準時間データを上回るかどうかを判定し、前記ランプ点灯時間データが前記標準時間データを上回ったときに前記瞬時加熱部を動作させ、前記ヨウ素固形物を瞬時加熱することを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。
- 前記温度可変部が前記瞬時加熱部を兼ねることを特徴とする請求項1ないし請求項3記載の紫外線照射装置。
- 前記瞬時加熱部が前記ヨウ素固形物収容空間の温度が110℃以上になるように、前記ヨウ素固形物を瞬時加熱することを特徴とする請求項1ないし請求項3記載の紫外線照射装置。
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