TWI398192B

TWI398192B - Ultraviolet light irradiation device and ultraviolet light irradiation device

Info

Publication number: TWI398192B
Application number: TW098116736A
Authority: TW
Inventors: Masaki Nakamura
Original assignee: Ushio Electric Inc
Priority date: 2008-07-23
Filing date: 2009-05-20
Publication date: 2013-06-01
Also published as: TW201006314A; JP5071289B2; JP2010027944A; KR101228756B1; KR20100010900A; CN101636031B; CN101636031A

Description

紫外線照射裝置及紫外線照射裝置的點燈控制方法

本發明是關於一種使用於半導體基板或液晶基板的製程上的基板的洗淨等的準分子燈的紫外線照射裝置及該裝置的點燈控制方法，尤其是，關於一種依據設於準分子燈的IC標籤的資訊進行控制點燈裝置的紫外線照射裝置及該裝置的點燈控制方法者。

習知，在半導體基板或液晶基板的製程，將此些基板的洗淨作為目的使用著具備照射真空紫外線的準分子燈的紫外線照射裝置。

準分子燈是例如放射將氙氣體作為發光物質的波長172nm的真空紫外光者，而在洗淨能力比低壓水銀燈優異。

上述的準分子燈是當作為使用壽命末期，則隨著構成發光管的石英玻璃等劣化會降低真空紫外線的放射強度。所以必須與新者更換，惟一般很難從準分子燈的外觀判定是否達到使用壽命末期。

在此，提案在各個準分子燈設置IC標籤，而在該IC標籤記憶著準分子燈的統計點燈時間資訊，作成可管理統計點燈時間的裝置(例如，參照專利文獻1)。

在第12圖及第13圖，表示裝載準分子燈的紫外線照射裝置的斷面圖。第12圖是表示以平行於準分子燈的管軸的平面切剖的斷面，第13圖是表示垂直於準分子燈的管軸的平面切剖的斷面圖。

如同圖所示地，紫外線照射裝置是內部具有循環惰性氣體的金屬製筐體101。在筐體101的下方設有光照射窗101a，而在筐體101的側面，設有用於導入惰性氣體的氣體導入口101b，及用於排出惰性氣體的氣體排出口101c。

在筐體101的內部，配置有管軸成為平行的方式排列配置的複數支準分子燈100沿著準分子燈100。將從準分子燈100所放射的紫外線朝被處理物方向反射的槽狀反射鏡102，為對應設於各準分子燈100。設有反射鏡102的各準分子燈100是例如將內部被固定於循環著水冷管104的鋁製的冷卻凸塊103。

準分子燈100是透射真空紫外光的介質材料所成的發光管100a的兩端，分別形成有埋設金屬箔100e的密封部100f，而在發光管100a內部，線圈狀內部電極100b配置於發光管100a的管軸上，而以絕緣體100d覆蓋內部電極100b的周圍。又，在發光管100a的外表面配置有網狀外部電極100c。

在各金屬箔100e，連接有朝發光管100a外方突出的外部引線100g，而在外部引線100g，連接有高壓饋電電纜120c，在其端部設有高壓饋電端子120。

在筐體101安裝有樹脂製連接器110，而在該連接器110內設有天線140。又，在高壓饋電電纜120c的端部安裝有高壓饋電端子120，而在高壓饋電端子120的絕緣座內設有IC標籤13。

藉由將高壓饋電端子120的插頭插入至上述連接器110，導通有內部電極100b與高頻點燈電源(未圖示)。針對外部電極100c與高頻點燈電源(未圖示)。針對於外部電極100，雖未圖示，惟同樣地與高頻點燈電源。

又，準分子燈是除了表示於第12圖及第13圖的構造者以外，例如專利文獻3所示地，眾如有長方體型式者，或是如專利文獻4所示地眾如有雙重管型式者，也可使用此種型式的準分子燈。

第14圖是表示將具備上述的IC標籤的準分子燈予以點燈的紫外線照射裝置10的系統構成的一例的圖式。

準分子燈100是具備IC標籤130，當安裝有準分子燈100，則控制部21的IC標籤R/W部21b是由天線21c，從IC標籤130讀取作為IC標籤130的資訊例如統計點燈時間。CPU 21a是將該資訊記憶於記憶部21d。

又，以高頻點燈電源22進行點燈準分子燈100之期間，隨時有最新的點燈時間資訊被加在記載於記憶部21d的通算點燈時間。

當該統計點燈時間到達使用壽命時間，則CPU 21a是對於高頻點燈電源22送訊點燈停止訊號，俾進行熄燈準分子燈100(參照專利文獻1的段落0021、0022)。

又，在專利文獻1，也記載著使用被記載於IC標籤130的照度特性資訊來控制準分子燈100(參照專利文獻1的段落0023)。

又，作為使用IC標籤的光源裝置，提案藉由將燈的點燈時間或點燈次數等資訊具有於各個燈，而可供應正確的燈的資訊的裝置(參照專利文獻2)。

氙光源是亮度分別不相同之故，因而在記載於專利文獻2者，事先將發貨規格值記錄在IC標籤，而裝置側讀取該發貨規格值俾設定最適當的燈電流值，作成以燈電源可控制氙光源(專利文獻2的段落0030、0031、0032)。

專利文獻1：日本特開2007-123069號公報

專利文獻2：日本特開2003-068478號公報

專利文獻3：日本特開2004-111326號公報

專利文獻4：日本特開2000-048772號公報

為了開始點燈準分子燈，在初期點燈時需要比穩定點燈還要大的電力。在該初期點燈時的電力是藉由準分子燈的製造偏差有所不同。

例如準分子燈是使用具有如石英玻璃的介質性的玻璃構件，其厚度藉由製造偏差有所變動，而藉由該厚度的變動，初期點燈時所必需的接通電力有所不同。所以，為了確實地點燈準分子燈，將準分子燈的初期點燈時的接通電力配合製造偏差的最需要接通電力者，對於製造偏差的接通電力最小者，成為過剩的接通電力，而成為縮短燈壽命的結果。

亦即，準分子燈是在較冷狀態下點燈性不好，又點燈性是藉由燈而偏差很大。所以，在初期點燈時，能點燈所有燈的方式，須把接通電力過度地接通，須強制地進行點燈。所以，如第15(a)圖所示地，在初期點燈時成為過度光進行發光的情形。

如此地，如專利文獻2所述地，考量將發貨規定值事先記錄在IC標籤，而裝置側讀取該發貨規格值而設定最適當數值的情形。

但是，準分子燈是在點燈燈使用高電壓與高頻者，而並不是如專利文獻2所述的氙氣體燈地流動電流而進行點燈者。又，經本發明人的專心努力加以解釋清楚，則可知準分子燈是隨著點燈燈時間(統計點亮時間)的經過，該初期點燈所必須的電力有所不同。

亦即，可知燈點燈的統計點燈時間例如200小時的準分子燈的初期點燈的所需電力，與燈點燈的統計點燈時間例如100小時的準分子燈的初期點燈的所需電力有所不同。

所以在具備準分子燈的IC標籤，僅設定用於初期點燈的電力，並無法因應於統計點燈時間不相同的準分子燈的適當電力進行初期點燈。

又，也可考慮無法利用IC標籤的資料的準分子燈安裝於裝置，或是安裝有在其他裝置所使用的燈。在該情形，也不會以過剩的接通電力進行初期點燈，而期望以適當的電力進行初期點燈。

本發明是鑑於上述的事項而發明者，本發明的目的是在於提供一種即使燈的統計點燈時間不相同的燈也能夠以適當的初期點燈電力進行點燈，又，即使無法利用IC標籤的資料，或是安裝有在其他裝置所使用的燈的情形，也可以在可能範圍內以適當的電力可進行初期點燈的紫外線照射裝置及該裝置的控制方法。

在本發明中，在設於燈的IC標籤，除了該燈的點燈時間的累計值的統計點燈時間，點燈履歷資訊等的資訊以外，還記錄著初期電壓規定值，初期頻率規定值，穩定電壓規定值，穩定頻率規定值等的該燈上所固有電性特性值。

起動裝置之際，從IC標籤讀取上述資訊，而依據燈的統計點燈時間與該燈上所固有的電性特性值，在初期點燈時設定施加於燈的電壓、頻率等而將燈進行初期點燈。

藉此，考慮燈的偏差，使用經過狀態，就可進行各燈別地所適用的初期點燈動作。所以，如第15(b)圖所示地可抑制過剩的光，而如第15(a)圖所示地在初期點燈時不會發光過度的光。

亦即，在本發明中，作成如下地來解決上述課題。

(1)一種紫外線照射裝置，是具備：進行來自設於準分子燈的IC標籤的資訊的讀取及對於IC標籤的資訊的寫入的IC標籤讀取/入手段；及控制饋電至準分子燈的點燈源與準分子燈的點燈的控制部，安裝有具備IC標籤的準分子燈的紫外線照射裝置，其特徵為：在IC標籤，至少記錄著具備該IC標籤的準分子燈的統計點燈時間，及表示該準分子燈的固有電性特性的資訊，及表示該紫外線照射裝置的有無點燈實績的資訊。

又，在上述紫外線照射裝置的控制部設置：準分子燈被安裝於該紫外線照射裝置之際，藉由實行依上述IC標籤讀取/寫入手段對於IC標籤的存取，來判定是否從IC標籤讀取資訊且可對於IC標籤的寫入，或是是否可讀取資訊，且具有該紫外線照射裝置的點燈實績的判定手段；及依據被儲存於上述IC標籤的資訊，設定初期點燈條件的第1設定手段；及依據被儲存於上述IC標籤的資訊，設定穩定點燈條件的第2設定手段；及因應於該準分子燈的統計點燈時間來更新上述初期點燈條件及穩定點燈條件的更新手段，及記錄被更新的上述初期點燈條件及穩定點燈條件的記憶手段。

又，在上述紫外線照射裝置的控制部，上述判定手段的判定結果，為從IC標籤可讀取資訊，且沒有該紫外線照射裝置的點燈實績時，則依據藉由上述第1設定手段所設定的初期點燈條件，進行初期點燈該準分子燈，在初期點燈後，使用藉由上述第2設定手段所設定的穩定點燈條件，將該準分子燈移行至穩定點燈。

上述判定手段的判定結果，為從IC標籤可讀取資訊，且具有該紫外線照射裝置的點燈實績時，則依據被記憶於上述記憶手段的初期點燈條件，進行初期點燈該準分子燈，在初期點燈後，使用被記憶於上述記憶手段的穩定點燈條件，將該準分子燈移行至穩定點燈，上述判定手段的判定結果，為從IC標籤無法讀取資訊時，則藉由事先所設定的安全值的初期點燈條件，進行初期點燈該準分子燈，在初期點燈後，使用事先所設定的安全值的穩定點燈條件，將該準分子燈移行至穩定點燈的點燈控制手段。

(2)在上述(1)中，上述第1設定手段是作為上述初期點燈條件，依據被儲存於上述IC標籤的初期電壓規定值及初期頻率規定值，進行設定初期電壓目標值及初期點燈頻率目標值，上述第2設定手段是作為上述穩定點燈條件，依據被儲存於上述IC標籤的穩定電壓規定值及穩定頻率規定值，進行設定穩定電壓目標值及穩定頻率目標值。

上述更新手段是因應於該準分子燈的統計點燈時間進行更新上述初期電壓目標值，初期點燈頻率目標值，穩定電壓目標值及穩定頻率目標值。

上述記憶手段是進行記憶被更新的上述初期電壓目標值，初期點燈頻率目標值，穩定電壓目標值及穩定頻率目標值。

又，上述點燈控制手段是上述判定手段的判定結果，為從IC標籤可讀取資訊，且沒有該紫外線照射裝置的點燈實績時，則依據藉由第1設定手段所設定的上述初期電壓目標值及初期點燈頻率目標值，進行初期點燈該準分子燈，在初期點燈後，使用藉由上述第2設定手段所設定的穩定電壓目標值及穩定頻率目標值，將該準分子燈移行至穩定點燈，上述判定手段的判定結果，為從IC標籤可讀取資訊，且具有該紫外線照射裝置的點燈實績時，則依據被記憶於上述記憶手段的初期電壓目標值，初期點燈頻率目標值，進行初期點燈該準分子燈，在初期點燈後，使用被記憶於上述記憶手段的穩定電壓目標值及穩定頻率目標值，將該準分子燈移行至穩定點燈，上述判定手段的判定結果，為從IC標籤無法讀取資訊時，則藉由事先所設定的安全值的初期電壓安全值及初期頻率安全值，進行初期點燈該準分子燈，在初期點燈後使用事先所設定的安全值的穩定電壓安全值及穩定頻率安全值，將該準分子燈移行至穩定點燈。

(3)一種紫外線照射裝置的點燈控制方法，是具備：來自設於準分子燈的IC標籤的資訊的讀取/寫入手段，及控制準分子燈的點燈的控制部的紫外線照射裝置的點燈控制方法，其特徵為：上述紫外線照射裝置的控制部是準分子燈被安裝於該紫外線照射裝置之際，上述準分子燈具備IC標籤，辨別從該IC標籤是否可讀取/寫入資訊，從該準分子燈的IC標籤可讀取/寫入資訊時，則取得被儲存於IC標籤的資訊，依據從IC標籤所取得的資訊，辨別有無該準分子燈的該紫外線照射裝置的點燈實績，因應於上述辨別結果進行如下(A)至(C)的步驟。

(A)從IC標籤可讀取資訊，沒有該紫外線照射裝置的點燈實績時，則依據被儲存於上述IC標籤的資訊，進行設定初期點燈條件，而依據該被設定的初期點燈條件，進行初期點燈該準分子燈，依據被儲存於上述IC標籤的資訊，進行設定穩定點燈條件，初期點燈後，使用該被設定的穩定點燈條件，將該準分子燈移行至穩定點燈，

(B)從IC標籤可讀取資訊，具有該紫外線照射裝置的點燈實績時，則依據有關於被儲存於該紫外線照射裝置的該準分子燈的資訊及/或被儲存於上述IC標籤的資訊，進行設定初期點燈條件，依據該被設定的初期點燈條件，初期點燈該準分子燈，依據有關於被儲存於該紫外線照射裝置的該準分子燈的資訊及/或被儲存於上述IC標籤的資訊，進行設定穩定點燈條件，初期點燈後，使用該被設定的穩定點燈條件，將該準分子燈移行至穩定點燈，

(C)從IC標籤無法讀取資訊時，則設定事先所設定的安全值的初期點燈條件，藉由該安全值的該初期點燈條件，進行初期點燈該準分子燈，設定事先所設定的安全值的穩定點燈條件，初期點燈後，使用安全值的該穩定點燈條件，將該準分子燈移行至穩定點燈。

(4)在上述(3)的(A)的步驟中，從IC標籤可讀取資訊，沒有該紫外線照射裝置的點燈實績，而具有其他裝置的點燈實績時，則使用表示被儲存於IC標籤的統計點燈時間及該準分子燈的固有電性特性的資訊，進行設定初期點燈條件，而且進行設定穩定點燈條件。

(5)在上述(3)、(4)的(A)、(B)的步驟中，作為上述初期點燈條件，依據被儲存於上述IC標籤的初期電壓規定值、初期頻率規定值及/或有關於被儲存於該紫外線照射裝置的該準分子燈的資訊，進行設定初期電壓目標值及初期點燈頻率目標值，作為上述穩定點燈條件，依據被儲存於上述IC標籤的穩定電壓規定值、穩定頻率規定值及/或有關於被儲存於該紫外線照射裝置的該準分子燈的資訊，進行設定穩定電壓目標值及穩定頻率目標值，在上述(C)的步驟中，作為上述初期點燈條件，進行設定安全值的初期電壓安全值及初期頻率安全值，作為上述穩定點燈條件，進行設定事先所設定的安全值的初期電壓安全值及穩定頻率安全值。

(6)在上述(5)的(A)及(B)的步驟中，依據被儲存於上述IC標籤的資訊及/或有關於被儲存於該紫外線照射裝置的該準分子燈的資訊如下地求出上述初期電壓目標值及初期點燈頻率目標值。

(a)求出對應於該準分子燈的統計點燈時間的初期電壓修正值，

(b)演算初期電壓修正值及初期電壓規定值而求出初期電壓規定值，

(c)求出對應於所求出的該初期電壓目標值的初期點燈頻率修正值。

演算該初期點燈頻率修正值及初期頻率規定值而求出初期點燈頻率目標值。

(7)在上述(5)的(A)及(B)的步驟中，依據被儲存於上述IC標籤的資訊及/或有關於被儲存於該紫外線照射裝置的該準分子燈的資訊如下地求出上述穩定電壓目標值及穩定頻率目標值。

(a)求出對應於該準分子燈的統計點燈時間的穩定點燈電壓修正值，

(b)演算穩定點燈電壓修正值及穩定電壓規定值而求出穩定電壓目標值，

(c)求出對應於所求出的該穩定電壓目標值的穩定點燈頻率修正值，演算該穩定點燈頻率修正值及穩定頻率規定值而求出穩定頻率目標值。

(8)在上述(3)至(7)中，從IC標籤可讀取資訊及可將資訊寫入至IC標籤時，上述導通構件是當熄燈準分子燈時，更新設於該準分子燈的IC標籤的統計點燈時間，而且記錄在該紫外線照射裝置有使用實績的情形，在該紫外線照射裝置記憶用於識別上述準分子燈的資訊，及進行下一次點燈之際的初期電壓目標值、初期點燈頻率目標值、穩定電壓目標值及穩定頻率目標值。

在本發明中，可得到以下的效果。

(1)依據被記憶於設在燈的IC標籤的該燈的至今為止的統計點燈時間，及該燈固有的電性特性值，將燈予以點燈之故，因而抑制在初期點燈時電力過剩地接通於燈的情形，而可防止縮短燈壽命。

又，事先設定電力未過剩地輸入於燈的安全的電性特性值，而無法從IC標籤讀取資訊時，則藉由依據上述安全的電性特性值而將燈予以點燈，即使例如未具備IC標籤的燈，也可限制接通電力而可將燈予以點燈，可防止縮短燈壽命。

(2)將表示有無該裝置的點燈實績的資料記錄在IC標籤，而且將安裝於裝置的燈的電性特性值記憶於該裝置的記憶部，藉此，點燈時，從IC標籤的記錄資料判斷該燈在該裝置中是否具有點燈實績，有點燈實績時，則從該裝置的記憶部可取得初期點燈該燈之際的資料。

所以，針對於各燈，可縮短初期點燈之際的處理時間，即使被安裝於該裝置的燈為多數支時，也可迅速地上昇裝置。

第1圖是表示本發明的一實施形態的紫外線照射裝置的系統構成的圖式。

本發明的紫外線照射裝置10是備：具以非接觸可輸入記錄資訊的IC標籤1a的準分子燈(以下稱為燈)1，及將高頻高電壓供應於燈1所用的高頻點燈電源2，及設於高頻點燈電源2的輸出側的變壓器3，及控制燈1的點燈的控制部4。

控制部4是由：實行控制燈1的點燈的演算處理的演算處理器(CPU)11，及記憶部13，及在與IC標籤1a之間進行資料的發訊受訊所用的天線14，及控制與IC標籤1a之間的資料發訊受訊的IC標籤R/W部12，及A/D變換器16，D/A變換器17所構成。A/D變換器16是將來自高頻點燈電源2的訊號變換成數位訊號且送出至CPU 11，而D/A變換器17是將來自CPU 11的數位訊號變換成類比訊號且送出至高頻點燈電源2。

上述記憶部13是具備：可讀寫的揮發性記憶體(RAM 13a)，及讀取專用的非揮發性記憶體(ROM 13b)，及可重寫的非揮發性記憶體(EEPROM 13c)，進行記憶程式或資料。

在記憶部13的ROM 13b，為了設定因應於統計點燈時間供應於燈1的初期點燈時的電壓目標值，或是初期頻率目標值等記錄有電壓修正表Tv或頻率修正表Tf等，在EEPROM 13c，記錄有初期點燈時的電壓目標值，初期頻率目標值等的資訊。

上述準分子燈1是例如封入有氙氣體等的放電氣體，而射出波長172nm的真空紫外光。IC標籤1a是被設於每一各燈，記錄有統計點燈時間Ts等，該燈固有的資料。

如下所述地，控制部4的CPU 11是準分子燈安裝於該紫外線照射裝置10之際，判定是否從IC標籤1a可讀取/寫入資訊，或是判定是否可讀取資訊且有該紫外線照射裝置的點燈實績時，在來自IC標籤的資訊可進行讀取/寫入時，依據被記錄於IC標籤1a的資訊，設定初期點燈條件及穩定點燈條件，而依據此進行初期點燈準分子燈1之後，移行至穩定點燈。又，無法從IC標籤1a讀取資訊時，則藉由事先所設定的安全值的初期點燈條件，穩定點燈條件，將準分子燈1予以初期點燈之後，移行至穩定點燈。

在此，綜合地表示本實施形態中所使用的各種資料。這些資料是例如被儲存於讀取專用的非揮發性記憶體(ROM 13b)，可重寫的非揮發性記憶體(EEPROM 13c)，或是視需要被儲存於可讀取寫入的記憶體(RAM 13a)。

又，此些資料的儲存部位是可適當地變更，例如未設置ROM，而將所有資料儲存於EEPROM也可以，或是記憶其他的非揮發性記憶體或磁碟，而在實行時展開於RAM，在終了時躲避於非揮發性記憶體或記憶媒體也可以。

‧統計點燈時間Ts：被儲存於IC標籤的點燈燈時間累計值。

‧因有號碼(連續號碼)：個別地設定於所製造的各個準分子燈的號碼。

‧點燈履歷資訊：有無點燈實績的資訊。

‧裝置資訊：被安裝且進行點燈的裝置的資訊。

‧初期電壓規定值Vfk：在燈發貨前事先所設定且被儲存於IC標籤的該燈所固有的點燈初期燈施加電壓值。

‧初期頻率規定值Ffk：在燈發貨前事先所設定且被儲存於IC標籤的該燈所固有的點燈初期燈施加頻率。

‧初期電壓目標值Vfm：由電壓修正表的修正值與初期電壓規定值Vfk所演算的實際上施加於該燈的點燈初期燈電壓值，或是藉由初期電壓安全值Vfs所設定的燈施加電壓值。

‧初期頻率目標值Ffm：由頻率修正表的修正值與初期頻率規定值Ffk所演算的實際上施加於該燈的點燈初期燈頻率，或是藉由初期頻率安全值Ffs所設定的燈施加頻率。

‧穩定電壓規定值Vtk：在燈發貨前事先所設定且被儲存於IC標籤的該燈所固有的穩定點燈時的燈施加電壓值。

‧穩定頻率規定值Ftk：在燈發貨前事先所設定且被儲存於IC標籤的該燈所固有的穩定點燈時的燈施加頻率。

‧穩定電壓目標值Vtm：由電壓修正表的修正值與穩定電壓規定值Vth所演算的實際上施加於該燈的穩定點燈時的燈施加電壓值，或是藉由穩定電壓安全值Vts所設定的燈施加電壓值。在以下，也稱為點燈電壓。

‧穩定頻率目標值Ftm：藉由頻率修正表的修正值與穩定電壓目標值Vtm所設定的燈施加頻率，或是藉由穩定頻率安全值Fts所設定的燈施加頻率。在以下，也稱為點燈頻率。

‧初期電壓安全值Vfs：考慮燈的安全的初期點燈燈施加電壓值(考慮製造偏差時的施加於點燈燈初期的電壓內的最低值)。

‧初期頻率安全值Ffs：考慮燈的安全的初期點燈燈施加頻率(考慮製造偏差時的施加於點燈燈初期的頻率內的最低值)。

‧穩定電壓安全值Vts：考慮燈的安全的穩定點燈燈施加電壓值(考慮製造偏差時的施加於燈穩定點燈時的電壓內的最低值)。

‧穩定頻率安全值Fts：考慮燈的安全的穩定點燈時的頻率(考慮製造偏差時的施加於燈穩定點燈時的頻率內的最低值)。

‧電壓修正表Tv：統計點燈時間與修正值的對應表。

‧頻率修正表Tf：燈施加電壓值與修正值的對應表。

第2圖是表示本發明的一實施形態的光源裝置的功能方塊圖，藉由將在控制部4的CPU 11所實行的處理所實現的功能表示作為方塊圖者。

在設於燈1的IC標籤1a，如上述地記錄著統計點燈時間Ts，固有號碼(連續號碼)，點燈履歷資訊，裝置資訊，初期電壓規定值Vfk，初期頻率規定值Ffk，穩定電壓規定值Vtk，穩定頻率規定值Ftk，IC標籤R/W部12是如上述地經由天線14，讀取被記錄在上述IC標籤1a的上述資料，作為IC標籤資料而記錄在記憶部13。

控制部4的判定手段4a，是燈1被安裝於紫外線照射裝置之際，判定是否可進行來自依IC標籤R/W部12的讀取/寫入，或是是否可進行資訊的讀取，且具有該紫外線照射裝置的點燈實績等。

在此，在被安裝於紫外線照射裝置的燈1可考量以下的(a)至(d)的事例，而判定手段4a是判定被安裝於裝置的燈1為那一種的燈，並將判定結果交給點燈控制手段4e。

(a)無法進行來自IC標籤1a的讀取/寫入的燈

該情形，是在IC標籤1a的資料無法利用的情形，IC標籤1a的資料是無法利用。

又，在可進行來自IC標籤的讀取/寫入時，則有以下情形。

(b)從未使用的新品的燈

該情形，為點燈履歷資訊表示無法點燈實績的情形，而統計點燈時間Ts是0。被儲存於IC標籤1a的初期電壓規定值Vfk，初期頻率規定值Ffk等的資料是可使用。

(c)在該紫外線照射裝置未被使用，惟有點燈實績的燈

該情形，點燈履歷資訊表示有點燈實績，裝置資訊是表示在該紫外線照射裝置未被使用的情形，統計點燈時間Ts是0以上。

(d)在該紫外線照射裝置被使用的燈

該情形，點燈履歷資訊表示有點燈實績，裝置資訊是表示在該紫外線照射裝置被使用的情形，統計點燈時間Ts是0以上。又，該事例的情形，將上一次使用該燈時的資料被保存於該紫外線照射裝置內的記憶部13內，而以燈的固有號碼可讀出。

第1設定手段4b是依據被儲存於IC標籤1a的資訊進行設定初期點燈條件，而第2設定手段4c是依據被儲存於IC標籤1a的資訊進行設定穩定點燈條件。

亦即，第1設定手段4b，是作為上述初期點燈條件，依據藉由統計點燈時間等所設定的電壓修正表及頻率修正表的修正值與被記錄於IC標籤1a的初期電壓規定值Vfk，初期頻率規定值Ffk，進行設定初期電壓目標值Vfm及初期頻率目標值Ffm。

又，第2設定手段4c，是作為上述穩定點燈條件，依據藉由統計點燈時間等所設定的電壓修正表及頻率修正表的修正值與被記錄於IC標籤1a的穩定電壓規定值Vtk及穩定頻率規定值Ftk，進行設定穩定電壓目標值Vtm及穩定頻率目標值Ftm。

又，具有因應於該紫外線照射裝置的統計點燈時間進行更新上述初期點燈條件及穩定點燈條件的更新手段4d，被更新的上述初期點燈條件及穩定點燈條件是被記憶在記憶手段13。

亦即，更新手段4d是因應於燈1的統計點燈時間Ts進行更新上述初期電壓目標值Vfm，初期頻率目標值Ffm，穩定點燈電壓目標值Vtm及穩定頻率目標值Ftm。

又，累計定時器4f是累計計數燈1所點燈的時間，上述更新手段4d，是每當達到所定累計時間進行更新被記憶在記憶部13的統計點燈時間。該被更新的統計點燈時間Ts，是停止裝置的動作時，被寫入到設於燈1的IC標籤1a。

點燈控制手段4e是判定手段4a的判定結果為從IC標籤1a可讀取資訊，沒有該紫外線照射裝置的點燈實績時[上述(b)、(c)的事例]，依據藉由上述第1設定手段4b所設定的初期點燈條件，亦即依據初期電壓目標值Vfm及初期頻率目標值Ffm，進行初期點燈該準分子燈，初期點燈後，使用藉由上述第2設定手段4c所設定的穩定點燈條件，亦即使用穩定電壓目標值Vtm及穩定頻率目標值Ftm，將燈1移行至穩定點燈。

又，判定手段4a的判定結果為從IC標籤1a可讀取資訊，有該紫外線照射裝置的點燈實績時[上述(d)的事例]，依據被記憶在記憶手段13的初期點燈條件，亦即依據初期電壓目標值Vfm及初期點燈頻率目標值Ffm，進行初期點燈燈1，初期點燈後，使用被記憶在記憶手段13的穩定點燈條件，亦即使用穩定電壓目標值Vtm及穩定頻率目標值Ftm，將燈1移行至穩定點燈。

又，判定手段4a的判定結果，為從IC標籤1a無法讀取資料時[上述(a)的事例]，將事先所設定的安全值的初期點燈條件，亦即將初期安全值Vfs及初期頻率安全值Ffs作為初期電壓目標值Vfm及初期頻率目標值Ffm而進行初期點燈燈1，初期點燈後，將事先所設定的安全值的穩定點燈條件，亦即，將事先所設定的安全值的穩定電壓安全值Vts及穩定頻率安全值Fts作為穩定電壓目標值Vtm及穩定頻率目標值Ftm，將燈1移行至穩定點燈。

點燈控制手段4e是控制高頻點燈電源2，俾控制被供應於燈的電壓、頻率。亦即，檢測出被施加於燈1的電壓與燈電流，而從點燈電源2送到控制部4的點燈控制手段4e。又，在點燈電源2所檢測的電壓、電流是類比訊號，該類比訊號是如上所述地藉由A/D變換器被變換成數位訊號後，被傳送到控制部4的CPU 11。

控制部4的點燈控制手段4e是將點燈燈1予以初期點燈之際，將頻率為上述初期點燈頻率目標值Ffm，電壓為上述初期電壓目標值Vfm的電壓施加於燈1，而以初期點燈定時器4g所設定的期間，在燈1進行初期點燈動作。又，上述初期點燈頻率目標值Ffm是比穩定點燈時的頻率還要高的70kHz左右。

燈1的初期點燈後，點燈控制手段4e是作為初期值，將頻率為上述穩定頻率目標值Ftm，而電壓為穩定電壓目標值Vtm的電壓施加於燈1，而移行至穩定點燈。又，開始穩定點燈時的頻率是頻率目標值Ftm為50kHz左右。

在穩定點燈，進行電力一定控制。此時，首先，將電壓、頻率作為初期值，而控制頻率成被供應於燈的電力成為一定。

亦即，點燈控制手段4e，是算出從高頻點燈電源2所傳送的電壓，從電流供應於燈的電力，而把算出的電力演算成一致於事先所設定的目標電力的燈電壓與頻率。該燈電壓與頻率是作為電壓指令、頻率指令而被送出到點燈電源2。

點燈電源2是因應於該電壓指令、頻率指令進行控制燈1的驅動電壓、頻率。

藉此，被供應於燈1的電力被控制成一致於目標電力，燈1是在因應於目標電力的照度進行點燈。

又，準分子燈1所射出的真空紫外光的照度，是藉由各種主要原因而經時性地降低。如下所述地，為了修正該照度降低，視需要，也可以因應於燈的統計點燈時間而作成增加燈的穩定點燈電壓。

又，在熄燈時，則使熄燈定時器4h動作，一直到熄燈定時器4h到時為止的期間，如下所述地進行熄燈動作。

在本實施形態的紫外線照射裝置中，如上述地依據被記憶在IC標籤的電性特性值及累計時間，來設定燈的初期點燈條件、穩定點燈條件，而將燈予以點燈之故，因而在初期點燈時抑制電力過剩地接通於燈，而可抑制縮燈壽命。

又，例如在未具備IC標籤的燈，或是在讀取IC標籤上有不方便的燈中，電力不會過剩地輸入的方式，藉由限制事先所設定的安全值的接通電力的初期點燈條件及穩定點燈條件，將燈予以點燈之故，因而即使未具備IC標籤的燈，也不會縮短燈壽命。

又，判定該紫外線照射裝置的點燈實績，而有點燈實績時，則利用被保存在裝置內的資料，進行初期點燈，穩定點燈之故，因而起動裝置時不必進行再演算。所以，可快速地進行初期點燈。

以下，針對於本實施形態的光源裝置的動作藉由流程圖詳細地加以說明。

第3圖是概略地表示圖示於第1圖、第2圖的紫外線照射裝置的控制部的處理的流程圖。又，第4圖至第8圖是詳細地表示第3圖的各步驟S1至S6的流程圖。

首先，利用第3圖來說明表示於第1圖、第2圖的紫外線照射裝置的控制處理的概略。

當起動紫外線照射裝置，則取得初期資料(步驟S1)。亦即，從燈1的IC標籤1a讀取資料之同時，視需要將資料從記憶部13的ROM 13b、EEPROM 13c等轉送至RAM 13a。

然後，依據從上述IC標籤1a所讀取的資料等，如上述地，將燈1進行點燈初期點燈之後，移行至穩定點燈(步驟S2)。

當燈1移行至穩定點燈，之後，一直到燈的熄燈訊號成為導通為止，仍維持燈的點燈，這時候，隨著燈1的統計點燈時間，進行更新被儲存在上述記憶部13的內部資料(步驟S3)。

當燈熄燈訊號成為導通，則進行燈的熄燈動作(步驟S4、S5)，並進行熄燈時的IC標籤的資料更新，又，進行被儲存於記憶部13的RAM 13a的資料對於EEPROM 13c等的躲避(步驟S6)，結束處理。

以下，利用第4圖至第8圖的流程圖，針對於本實施形態的紫外線照射裝置的控制部的處理進行說明。

第4圖及第5圖是表示從起動裝置一直到移行至燈的穩定點燈動作為止的處理。

在第4圖中，起動高頻點燈電源2(步驟S11)，構成控制部4的各部(CPU 11，IC標籤R/W部12，控制部4，天線14，記憶部13)被通電而成為待機狀態。此時，被記憶於記憶部13的ROM 13b，EEPROM 13c等的資料，視需要被轉送於RAM 13a，使得裝置被預置(步驟S1)。藉此，控制部4是使用被儲存於RAM 13a的資料成為可進行處理。

又，在以下的說明中，即使資料被轉送至RAM 13a的情形，視需要在被儲存於裝置起動時的場所也有特定資料的儲存場所的情形。

在步驟S12，控制部4是經由IC標籤R/W部12，將具備於天線14與準分子燈1的IC標籤1a予以通訊，而控制成可讀取被記錄於IC標籤1a的資訊，並將所讀取的資訊記憶在記憶部13(RAM 13a)。

在此，作為從IC標籤1a所讀取的資訊，如上述地，有統計點燈時間Ts，固有號碼(連續號碼)，點燈履歷資訊，裝置資訊，初期電壓規定值Vfk，初期頻率規定值Ftk，穩定電壓規定值Ftk等。

又，如第13圖所示地在同一裝置中，也有設有複數準分子燈的情形之故，因而上述裝置資訊是除了裝置資訊以外，還包括安裝有該裝置的準分子燈而表示位置的「頻道資訊」。「頻道資訊」是指例如第13圖的裝置中，準分子燈具備4支，而將各準分子燈所配置的位置稱為「頻道」，而將該頻道從右邊依次稱為「頻道1」，「頻道2」.........地，用於區別各頻道的資訊。

控制部4是在步驟S13確認在上述步驟S12是否可讀反被記錄於IC標籤1a的資訊。在可讀取被記錄於IC標籤1a的資訊時，則移行至步驟S14，而在未讀取時，則移行至步驟S191。

在步驟S14中，從被記錄於IC標籤1a的「點燈履歷資訊」判斷有無準分子燈的點燈實績(確認新/舊燈位元)。

在步驟S14，判斷為沒有準分子燈的點燈實績時，則移行至步驟S15，而判斷為有準分子燈的點燈實績時，則移行至步驟S16。

在步驟S16中，判斷是否有同一裝置的點燈實績，沒有同一裝置的點燈實績時，則移行至步驟S17，而在有點燈實績時，則移行至步驟S18。

又，在此，從「點燈履歷資訊」判斷有無點燈實績，惟例如從「累計時間」或「裝置資訊」也可進行判斷。例如以「累計時間」判斷時，則「累計時間」為0時間時成為沒有點燈實績，而「累計時間」為0時間以外時成為有點燈實績。又，以「裝置資訊」判斷時，則沒有「裝置資訊」的記憶時成為沒有點燈實績，而有「裝置資訊」的記憶時成為有點燈實績。

亦即，控制部4是核對從IC標籤1a所讀取的「固有號碼(連續號碼)」，及被記憶在記憶部13的具點燈實績的準分子燈1的「固有號碼(連續號碼)」，而針對於具備該IC標籤1a的準分子燈1，判斷具備該控制部的紫外線照射裝置有無點燈實績。

又，控制部4是判斷從IC標籤1a所讀取的「裝置資訊」，是否為被安裝於準分子燈1的紫外線照射裝置的資訊。

在步驟S16，判斷為具有具備該控制部4的紫外線照射裝置的點燈實績之同時，「裝置資訊」為一致時，則移行至步驟S18，而在此以外時，則移行至步驟S17。

以下，分成上述的(a)至(d)的情形，針對於各事例的情形的處理加以說明。

(a)安裝有從IC標籤1a法讀取/寫入的燈的情形。該情形，是從步驟移行至步驟S191。在步驟S191中，從記憶部13(例如ROM 13b)讀取初期電壓安全值Vfs，初期頻率安全值Ffs，穩定電壓安全值Vts，穩定頻率安全值Fts。

又，準分子燈1是初期點燈時及穩定點燈時，若過剩電力被輸入至燈，則有劣化的危險性，而有考慮安全的初期電壓安全值Vfs，初期頻率安全值Ffs，穩定電壓安全值Vts，穩定頻率安全值Fts被儲存在記憶部13(例如ROM 13b)。

在步驟S19中，將上述初期電壓安全值Ffs，初期頻率安全值Ffs分別設定作為初期電壓目標值Vfm，初期頻率目標值Ffm。

然後，在步驟S192，將上述穩定電壓安全值Vts，穩定頻率安全值Fts設定作為穩定電壓目標值Vtm，初期頻率目標值Ftm。

該初期電壓目標值Vfm，初期頻率目標值Ffm，穩定電壓目標值Vtm，穩定頻率目標值Ftm被記憶在記憶部13(例如RAM 13a)。

步驟S192的處理後，移行至第5圖。

(b)安裝有未被使用的新品的燈的情形。

該情形，從步驟S13移行至步驟S14，步驟S15。在步驟S15中，將從IC標籤1a所讀取的初期電壓規定值Vfk，初期頻率規定值Ffk分別設定作為初期電壓目標值Vfm，初期頻率目標值Ffm。

之後，在步驟S151，將從IC標籤1a所讀取的上述穩定電壓規定值Vtk，穩定頻率規定值Ftk設定作為穩定電壓目標值Vtm，穩定頻率目標值Ftm。

(c)在該紫外線照射裝置未被使用，惟安裝有點燈實績的燈的情形。該情形，則從步驟S14移行至步驟S16、步驟S17。

準分子燈1是可從紫外線照射裝置10拆下。因此，藉由使用者的使用方法，則有拆下被稱為A的紫外線照射裝置所使用的準分子燈1，而將該準分子燈1使用在被稱為B的紫外線照射裝置的情形。

該情形，雖在準分子燈1的IC標籤1a有點燈實績，惟為A裝置的點燈實績，而並不是B裝置的點燈實績。

為了判斷此點，在準分子燈1的IC標籤1a的「裝置資訊」，僅記憶著即將具點燈實績之前的裝置的「裝置資訊」。

亦即，在被稱為A的紫外線照射裝置所使用的準分子燈1的IC標籤1a，若在A裝置被點燈時，則A裝置的「裝置資訊」被記憶，之後在B裝置被點燈時，則適合於「裝置資訊」的A裝置的資訊是重寫成B裝置的資訊。

在步驟S16中，在安裝有具點燈實績的準分子燈1的紫外線照射裝置，使用被記憶在IC標籤1a的「裝置資訊」，判斷在剛使用之前是否在同一裝置的有無點燈。若沒有在同一裝置的有無點燈時，則移行至步驟S17。

在步驟S17中，如下地進行處理。

表示於上述第2圖的控制部4的第1設定手段4b，第2設定手段4c，是從事先被記憶在記憶部13(ROM 13b)的電壓修正表讀取對應於從IC標籤1a所讀取的統計點燈時間Ts的電壓值的修正值。在第9圖表示電壓修正表Tv的構成例。

如同圖所示地，電壓修正表Tv，是登錄對於燈的統計點燈時間(h)的電壓修正值的表，利用該修正值而因應於統計點燈時間，進行修正初期電壓規定值及穩定電壓規定值。

亦即，第1設定手段4b，是參照上述電壓修正表Tv而待到電壓修正值，演算該電壓修正值與從IC標籤1a所讀取的初期電壓規定值Vtk而求出初期電壓目標值Vfm。

然後，第2設定手段4c，是從事先被記憶在記憶部13(ROM 13b)的頻率修正表Tf讀取對應於經演算所求出的「電壓值」的頻率修正值。在第10圖表示頻率修正表Tf的構成例。

如同圖所示地，頻率修正表Tf是登錄對於電壓值(KV)的頻率修正值的表，而利用該修正值進行修正初期頻率規定值Ffk及穩定頻率規定值Ftk。

亦即，第1設定手段4b是參照上述頻率表Tf而得到頻率修正值，演算該頻率修正值與初期頻率規定值Ffk而求出初期頻率目標值Ffm。

上述初期電壓目標值Vfm，初期頻率目標值Ffm，是被設定作為燈1的初期點燈電力，被記憶在記憶部13。

使用數值例加以說明；從IC標籤1a所讀取的「統計點燈時間」為「300」小時，而從IC標籤1a所讀取的初期電壓規定值Vfk有8KV時，則在步驟S17，從事先被記憶在記憶部13的表示於第9圖的的電壓修正表Tv讀取對應於統計點燈時間300小時的電壓值的修正值，而將所讀取的「1.010」演算作為初期電壓規定值Vfk。亦即，將初期電壓規定值「8」KV×「1.010」=「8.08」KV演算求出作為初期電壓目標值Vfm。

然後，從表示於事先被記憶於記憶部13的頻率修正表Tf讀取對應於經演算所求得的初期電壓規定值Vfm的「8.08」KV的頻率的修正值，俾將所讀取的頻率修正值「1.05」與從該IC標籤1a所讀取的初期頻率規定值Ffk的「50」kHz，演算成50kHz×「1.05」=「52.5」KHz，求得「初期點燈頻率目標值Ffm」。將所求得的「初期電壓目標值Vfmk」，「8.08」KV與「52.5」KHz記憶在記憶部13。

然後，求得在初期點燈後所進行的穩定電力點燈所用的穩定電壓目標值Vtm與穩定頻率目標值Ftm。在步驟S171，控制部4的第2設定手段4c，是從上述電壓修正表Tv得到對應於從IC標籤1a所讀取的統計點燈時間Ts的電壓修正值，演算該電壓修正值與從IC標籤1a所讀取的穩定電壓規定值Vtk，求得穩定電壓目標值Vtm。穩定電壓目標值Vtm之後，第2設定手段4c是從上述頻率修正表Tf讀取對應於經演算所求得的穩定電壓目標值Vtm的頻率的修正值，演算該頻率修正值與從IC標籤1a所讀取的穩定頻率規定值Ftk而求得穩定頻率目標值Ftm。將所求得的穩定電壓目標值Vtm與穩定頻率目標值Ftm記憶在記憶部13。

(d)在該紫外線照射裝置所使用的燈仍被安裝的情形。該情形，從步驟S14移行至步驟S16、步驟S18。

如下所述地，在記憶部13記憶著上一次點燈時的準分子燈1的固有號碼(連續號碼)，及初期點燈上一次的該準分子燈1時的初期電壓目標值Vfm，初期頻率目標值Ffm。又，以穩定電壓目標值Vtm，穩定頻率目標值Ftm開始穩定點燈，移行至穩定點燈之後，記憶著結束穩定點燈時的點燈電壓值與點燈頻率值。

如此，在步驟S18中，讀取被記憶於記憶部13(EEPROM 13c)的初期電壓目標值Vfm，初期頻率目標值Ffm，被記憶在記憶部13(RAM 13a)。

又，在步驟S181，控制部4是讀取被記憶在記憶部13(EEPROM 13c)的資料的上述點燈電壓值與點燈頻率值，作為穩定電壓目標值Vtm，穩定頻率目標值Ftm，被記憶在記憶部(RAM 13a)。

又，本發明是有關於具備IC標籤1a的準分子燈1的控制者，進行分開可讀取在步驟S13的IC標籤1a的資料者，及無法讀取者，並將可讀取資料者依據該資料進行控制，為其特徵者。

如上述地，在各步驟S15、S17、S18、S19設定被安裝於紫外線照射裝置的準分子燈1的初期電壓目標值Vfm與初期頻率目標值Ffm。

然後，利用第5圖，使用上述初期電壓目標值Vfm與初期頻率目標值Ffm，以及從IC標籤1a所讀取的統計點燈時間，初期點燈準分子燈1，之後針對於進行一般點燈的處理加以說明。

在步驟S21、S22，控制部4的點燈控制手段4e，是將被記憶在記憶部13的上述初期電壓目標值Vfm與初期頻率目標值Ffm設定作為初期點燈準分子燈1所用的目標值。

又，在步驟S23，點燈控制手段4e是將初期點燈時間T0設定於初期點燈定時器4g。

以下，在步驟S24中，將點燈訊號輸出於高頻點燈電源2，與此同時地，在步驟S25，將設定作為目標值的初期電壓目標值Vfm與初期頻率目標值Ffm輸出至高頻點燈電源2，高頻點燈電源2是依據上述電壓與頻率，開始準分子燈1的初期點燈。

又，與步驟S24之同時地，在步驟S26中，開始遞減計數(減算)在步驟S23所設定的初期點燈定時器4g。又，在步驟S2，為了累計燈的點燈時間，開始點燈累計定時器4f的計數。

在步驟S28，初期點燈定時器4g等待時間已到。該期間，作為目標值所設定的初期電壓目標值Vfm及初期頻率目標值Ffm，輸出至高頻點燈電源2，高頻點燈電源2，是以該電壓、頻率繼續點燈準分子燈1。當經過初期點燈時間T0，則移行至步驟S29。

在步驟S29，步驟S291中，控制部4的點燈控制手段4e是將被記憶在記憶部13的上述穩定電壓目標值Vtm與穩定頻率目標值Ftm設作為開始穩定點燈準分子燈1之際的目標值。

又，在步驟S292，將穩定電壓目標值Vtm與穩定頻率目標值Ftm輸出至高頻點燈電源2，而高頻點燈電源2是開始準分子燈1的電力控制。

點燈控制手段4e是開始穩定點燈之後，從上述高頻點燈電源2所傳送的電壓、電流進行算出被供應於燈的電力，經算出的電力(在上述電壓、電流的相乘積再乘以功率COSΦ的數值)，一致於事先所設定的目標電力的方式求得頻率，作為頻率指令送出至點燈電源2。

又，在開始穩定點燈時，則對應於上述穩定電壓目標值Vtm的電壓被控制成施加於燈1，惟如下述地，隨著燈的統計點燈時間增大，把被施加於燈的電壓予以增大。

點燈電源2是因應於該電壓指令、頻率指令進行控制燈1的驅動電壓、頻率。藉此，被供應於燈1的電力被控制成一致於目標電力，燈1是以因應於目標應力的照度進行點燈。

又，在以下，在穩定點燈中，將被施加於燈的電壓、頻率分別稱為「點燈電壓」、「點燈頻率」。

第6圖是表示點燈後一直到熄燈為止之期間的內部資料的更新處理的流程圖。

點燈後，在一直到熄燈為止的熄定點燈中，表示於第2圖的更新手段4d，是因應於點燈累計定時器4f的計數值，更新燈的統計點燈時間Ts，同時如上所述地在穩定點燈時進行更新被施加於燈的點燈電壓，而因應於統計點燈時間Ts把燈的點燈電壓予以增大。

又，燈之點燈中，因應於燈的統計點燈時間Ts，更新被儲存在記憶部13的初期電壓目標值Vfm與初期頻率目標值Ftm，穩定電壓目標值Vtm(點燈電壓)與穩定頻率目標值Ftm，而在開始下一次點燈時，以該被更新的電壓、頻率，把該燈作成初期點燈、穩定點燈。

以下，針對於第6圖的流程圖的處理加以說明。

在第6圖中，步驟S31，以未圖示的光感測器來確認燈1是否為普通點燈中，若為點燈中則移行至步驟S311，而不是點燈中，則結束處理。在步驟S311中，確認以點燈累計定時器4f(參照第2圖)所計數的時間是否經過所定時間，若經過所定時間，則移行至步驟S32。

在步驟S32，將所經過的所定時間加算於被記憶在記憶部13的統計點燈時間並予以更新。例如使用數值加以說明，則將上述「所定時間」作為1小時，而被記憶在記憶部13的統計點燈時間作為199小時。在步驟S311，若以累計定時器4f確認經過1小時，則在步驟S32，加算1小時於199小時俾將統計點燈時間作為200小時。

當統計點燈時間Ts被更新，則表示於第9圖的電壓修正值表Tv的修正值有被更新的可能性。

就這樣，在步驟S33，調查因應於增加統計點燈時間Ts是否須更新點燈電壓。

例如，調查參照電壓修正值表Tv而被更新的統計點燈時間的電壓修正值，是否與先前參照電壓修正值表Tv時的電壓修正值[例如第4圖的步驟S17(或S171)或是S18(或S181)中參照時的電壓修正值]不相同。

例如使用數值加以說明，當統計點燈時間為199小時，而所定時間為1小時時，則在統計點燈時間199小時被加算1小時而成為200小時。這時候，在表示於第9圖的表中，統計點燈時間199小時的修正值，統計點燈時間200小時的修正值部同樣是「1.005」之故，因而並沒有更新修正值。又，再經過時間，統計點燈時間成為201小時，則修正值是成為「1.010」之故，因而成為有更新修正值，而有須更新點燈電壓。

統計點燈時間被加算的結果，若電壓值的修正值未被更新，則移行至步驟S41，若被更新，則移行至步驟S331。

在沒有更新點燈電壓時，則移行至步驟S41，確認熄燈訊號，而熄燈訊號為斷開時，回到步驟S311。

又，有更新點燈電壓時，則移行至步驟S331。

在步驟S331，以被更新的修正值，與被記憶於記憶部13的該燈的初期電壓規定值Vfk進行演算，藉由該演算結果，更新被記憶於記憶部13的初期電壓目標值Vfm。

該初期電壓規定值Vfk是欲在下次進行點燈該燈之際，從記憶部13所讀出，而被設定作為初期電壓目標值Vfm(第43圖的步驟S18)。

同樣，在步驟S331中，以被更新的電壓修正值，及被記憶於記憶部13的該燈的穩定電壓規定值Vtk進行演算，得到因應於此時的統計點燈時間的點燈電壓，將此作為新的點燈電壓。

使用數值例進行說明，則穩定電壓規定值Vtk為7KV，而對應於「被加算的累計時間」為「201小時」時的修正值「1.010」，藉由演算求得7KV×1.010=7.07KV，將該7.07KV，作為被更新的點燈電壓，被記憶在記憶部13。

在步驟S34中，將在步驟S331被記憶在記憶部13的電壓值作為新穎的點燈電壓值設定成目標值，從累計時間被加算之前的點燈電壓值，變更成新的點燈電壓值，而在高頻電源輸出新穎的點燈電壓值。

例如，將上述7.07KV作為被更新的點燈電壓時，點燈電壓值是被變更成7.07KV「電壓規定值」7IV×「修正值」1.010。在高頻點燈電源2作為新的點燈電壓值輸出7.07KV。

當點燈電壓值被更新，則有表示於第10圖的頻率修正表Tf的頻率修正值被更新的可能性。

所以，在步驟S36，從表示第10圖的頻率修正表Tf讀取對應於被更新的點燈電壓值的頻率修正值，該頻率修正值，調查該頻率修正值是否與事先參照頻率修正表Tf時的頻率修正值[例如在第4圖的步驟S17(或S171)或是S18(或S181)所參照時的頻率修正值]有所不同。

又，點燈電壓值被更新的結果，若頻率值的修正值未被更新，則移行至步驟S41，若被更新則移行至步驟S37。

在步驟S37中，以被更新的頻率的修正值，與被記憶在記憶部13的該燈的穩定頻率規定值Ftk進行演算，而在步驟S371，將經該演算所求得的穩定頻率目標值Ftm記憶在記憶部13。

該穩定頻率目標值Ftm是下一次進行點燈該燈之際，從記憶部13被讀取，被設定作為穩定頻率目標值Ftm(第4圖的步驟S18)。

在步驟S41，確認燈熄燈訊號，而燈熄燈訊號未被輸出時(導通時)，是燈點燈中之故，因而回到步驟S311，重複上述處理。當熄燈訊號被輸出(斷開=是)，則結果處理，而進行以下所說明的熄燈處理。

以下針對於燈的熄燈處理加以說明，惟首先針對於熄燈步驟所必需的理由加以說明。

準分子燈是在一對電極間，經由例如具如石英玻璃的介質性的放電容器，激磁該放電容器內部的發光氣體而進行準分子發光。

準分子燈未使用者之情形，而進行準分子發光的初期點燈時，則放電容器，經由電極被施加有例如8KV的高電壓。

如第11(a)圖所示地，被施加高電壓的放電容器1b，是具有介質性之故，因而被分極，在其表面出現電極，而使用該電荷進行準分子發光。

在準分子燈中，也輸入高頻率，因此放電容器1b的分極是藉由所輸入的高頻有所變化。具體而言，分極被解決或是分極會逆轉。

如第11(b)圖所示地，準分子燈的一方電極是在高頻的山部分時施加有高電位，惟在高頻的谷部分時，與另一方的電極同樣地被接地的狀態(0KV)，放電容器的分極是被解決。

又，其他點燈方式時，被施加於一方的電極與另一方的電極的電壓的高低是會逆轉之故，因而例如一方的電極側為高電位時的放電容器時的放電容器的分極，是由另一方電極側為高電位時的放電容器的分極觀看為逆轉。放電容器的分極是在穩定點燈時也發生。

熄燈此種準分子燈時，將所輸入的高電位立即成為0KV，並將同時地輸入的高頻立即可作成0KHz，惟將高電壓與高頻立即作成0時，則在下一次的燈點燈時有成為不點燈，或燈輸入成為過剩的情形。

該問題是在燈熄燈後也有放電容器成為分極的原因。在以下表示其原因的推測。

在燈點燈時，若將所輸入的高電壓與高頻立即作成0，則放電容器表面的電荷是被解決。然而，剛將高電壓與高頻作成0之前為6KV時，則放電容器本身的分極是6KV時者被維持。

被輸入時準分子燈的高電壓或高頻，是並未考慮放電容器被分極的狀態。所以，在放電容器被分極的狀態下，當在準分子燈輸入高電壓與高頻，則受到放電容器的分極狀態的影響，有燈輸入過剩，或不充分，而會發生燈的不點燈，過剩輸入的情形。

如此，本案發明人，實際發現在燈熄燈時，若輸入比恆定電力控制時的電壓值還要低的電壓，又輸入比恆定電力控制時的頻率值還要高的頻率值，可抑制放電容器的分極狀態，可解決下一次的點燈燈時不完備。

針對於此種熄燈步驟的熄燈處理，藉由第7圖的流程圖加以說明。

在步驟S501，當熄燈訊號被輸入，則控制部4的點燈控制手段4e，是讀取來自事先被記憶於記憶部13的點燈電壓值的減算值α。又，演算被記憶在記憶部13的點燈電壓與上述減算值α，將該演算結果作為熄燈電壓值而記憶在記憶部13，並將該熄燈電壓值設作為目標值。

在步驟S502，點燈控制手段4e是讀取事先被記憶在記憶部13的點燈頻率值的加算值β，演算被記憶在記憶部13的點燈頻率數值與上述加算值+β，將該演算結果作為熄燈頻率值被記憶在記憶部13，並將該熄燈頻率值設定作為目標值。

在步驟S503，點燈控制手段4e是讀取事先被記憶在記憶部13的熄燈時間T1，並將該熄燈時間T1設定在熄燈定時器4h(參照第2圖)。

在步驟S52，點燈控制手段4e是將作為目標值所設定的「點燈電壓值-α」輸出至高頻點燈電源2，又，同時地在步驟S53，將「點燈頻率+β」輸出至高頻點燈電源2。

高頻點燈電源2是依據熄燈電壓的「點燈電壓值-α」與熄燈頻率的「點燈頻率+β」，開始準分子燈1的熄燈動作。

與步驟S52及步驟S53同時地，在步驟S54，開始熄燈定時器4h的遞減計數(減算)。

被輸入於準分子燈1的熄燈電壓，是比點燈電壓僅低α的熄燈電壓，準分子燈1是被停止準分子發光。

在步驟S55，「熄燈時間T1」之期間，將作為目標值所設定的熄燈電壓值與熄燈頻率輸出至高頻點燈電源2，繼續點燈準分子燈1，經過熄燈時間T1，當熄燈定時器4h時間已到，則移行至步驟S56。又，與時間已到之同時，結束熄燈定時器4h的動作。

在步驟S56，控制部4的點燈控制手段4e是結束從高頻點燈電源2輸出至準分子燈1，而將高頻點燈電源作成斷開。

第8圖是表示熄燈時的更新處理的流程圖，在此，進行更新IC標籤的資料，及更新設置的記憶部13的資料。

在步驟S62，控制部4的更新手段4d，是將被記憶在記憶部的統計點燈時間Ts記錄在IC標籤1a。又，作為裝置資訊，安裝有準分子燈的「裝置資訊」，安裝有準分子燈的「裝置資訊」，及在具備複數支準分子燈的裝置中，安裝有該準分子燈的頻道資訊被記錄在IC標籤1a。

又，視需要將IC標籤1a的「點燈履歷資訊」的新/舊旗標位元作成導通，記憶具有點燈實績的情形。

在步驟S67，將被記憶在記憶部13的RAM 13a的準分子燈1的「固有號碼(連續號碼)」與初期點燈因應於準分子燈1的統計點燈時間被更新的該準分子燈1時的「初期電壓目標值Vfm」與「初期頻率目標值Ffm」，及恆定電力控制該準分子燈1時的最後的「點燈電壓值」與「點燈頻率」(剛熄燈點燈之前的「點燈電壓值」與「點燈頻率值」，與「統計點燈時間」記憶在記憶部13的EEPROM 13c，而斷控制部4的電源。

又，在上述的說明中，作為將燈予以點燈的控制參數，使用「電壓值」與「頻率值」，惟控制「頻率值」的情形，也可說控制「電流值」的情形之故，因而更換控制頻率值，而作成控制電流值也可以。

又，擬進行電力控制，除了控制頻率值以外，作成施加於燈的電壓的作用比也可以。亦即，作為本發明的控制點燈燈的參數，有「電壓值」與「頻率值」，還可作成控制「電流值」與「電壓的作用比」等。

又，在上述實施形態中，電壓值的「修正參數」(第9圖)及頻率值的「修正參數」(第10圖)是使用初期點燈時及穩定點燈時的任一都共通者，惟也可使用各自的修正參數。亦即分成初期點燈時的「修正參數A」，及穩定點燈時的「修正參數B」也可以。

1．．．燈(準分子燈)

1a．．．IC標籤

2．．．點燈電源

3．．．變壓器

4a．．．判定半段

4b．．．第1設定手段

4c．．．第2設定手段

4d．．．更新手段

4e．．．點燈控制手段

4f．．．累計定時器

4g．．．初期點燈定時器

4h．．．熄燈定時器

10．．．紫外線照射裝置

11．．．CPU

12．．．IC標籤R/W部

13．．．記憶部

13a．．．記憶部(RAM)

13b．．．記憶部(ROM)

13c．．．記憶部(EEPROM)

14．．．天線

16．．．A/D變換器

17．．．D/A變換器

第1圖是表示本發明的實施形態的紫外線照射裝置的系統構成的圖式。

第2圖是表示本發明的實施形態的光源裝置的功能方塊圖。

第3圖是表示本發明的實施形態的紫外線照射裝置的控制部的處理的概略的流程圖。

第4圖是表示從裝置的超動移行至燈的穩定點燈動作為止的處理的流程圖(1)。

第5圖是表示從裝置的超動移行至燈的穩定點燈動作為止的處理的流程圖(2)。

第6圖是表示點燈後，一直到熄燈之間的內部資料的更新處理的流程圖。

第7圖是表示熄燈處理的流程圖。

第8圖是表示熄燈時的資料的更新處理的流程圖。

第9圖是表示電壓修正值表的一例的圖式。

第10圖是表示頻率修正表的一例的圖式。

第11(a)圖及第11(b)圖是表示說明準分子燈的分極的樣子的圖式。

第12圖是表示裝載準分子燈的紫外線照射裝置的構成的圖式(以平行於管軸的平面切剖的斷面圖)。

第13圖是表示裝載準分子燈的紫外線照射裝置的構成的圖式(以垂直於管軸的平面切剖的斷面圖)。

第14圖是表示將具備IC標籤的準分子燈的紫外線照射裝置的系統構成的圖式。

第15(a)圖及第15(b)圖是表示初期點燈時的照度變化的圖式。