TWI412062B

TWI412062B - A light source control method and a light source device of the light source device

Info

Publication number: TWI412062B
Application number: TW098116740A
Authority: TW
Inventors: Masaki Nakamura
Original assignee: Ushio Electric Inc
Priority date: 2008-07-23
Filing date: 2009-05-20
Publication date: 2013-10-11
Also published as: KR20100010901A; CN101636030A; JP5168004B2; KR101257981B1; CN101636030B; TW201005790A; JP2010027484A

Description

光源裝置之亮燈控制方法及光源裝置

本發明係關於放射紫外線等光之光源裝置的亮燈控制方法及光源裝置，尤其是關於可對應於光源的光輸出的經時變化，將供給至光源的電力進行控制，此外，可利用被設在光源的IC標籤所記憶的資料，來校正由用以感測光源照度的感測手段所被輸出的資料之光源裝置之亮燈控制方法及光源裝置。

UV/O₃ 洗淨法係作為將紫外線與屬於活性氧種的臭氧(O₃ )加以組合的洗淨方法而廣受利用，藉由在例如LCD用基板或半導體基板表面照射紫外線，將附著在該等基板表面的有機化合物等分子鍵結切斷，藉此去除附著在基板表面的有機化合物等雜質為其目的。

近年來，以如上所示之UV/O₃ 洗淨法中所使用的光源而言，係使用藉由將例如氙氣等作為發光物質而出射波長172nm之真空紫外線之洗淨能力佳的準分子燈，來取代自以往以來所使用之出射波長185nm及254nm之紫外線的低壓水銀燈。如上所示之準分子燈係被揭示於例如專利文獻1等。

在使用如上所示之準分子燈的光源裝置中，必須確認準分子燈的亮燈狀態，俾以進行可靠性高的紫外光照射處理。但是，由於主要所放射的光為真空紫外光，因此該準分子燈的亮燈狀態並無法以目測來確認。因此，用以確認準分子燈之亮燈狀態及在亮燈時由準分子燈所出射的光輸出的各種手法即被提出。

以確認準分子燈之亮燈狀態的手法而言，已知一種手法例如專利文獻1所示，其利用真空紫外光感測器來感測由準分子燈所被放射的真空紫外光。

例如第11圖所示，藉由該感測真空紫外光的手法來確認準分子燈之亮燈狀態的準分子燈裝置係具備有：被裝設在構成外殼80中之頂棚面之冷卻塊81之狀態下的4個準分子燈90，在該冷卻塊81係在各準分子燈90的正上方區域形成有屬於貫穿孔的光導入孔81A，在該光導入孔81A的一端側設有真空紫外光感測器89。在圖中，83係用以將由準分子燈90所放射的光照射在被處理體的光取出窗部。

但是，檢測真空紫外光的光感測器由於真空紫外光的感度會經時性降低，因此可知隨著使用時間加長，無法獲得由作為感測對象的準分子燈所出射的真空紫外光的正確照度資料。

例如，若總計使用6000小時用以檢測真空紫外光的光感測器時，該光感測器的檢測量會降低約10%。因此，當根據由光感測器所被輸出的真空紫外光的照度資料，來調整供給至準分子燈的電力時，會被判斷出由準分子燈所被出射的真空紫外光照度會較低，由於對準分子燈供給過量的電力，因此會有準分子燈壽命變短之虞。

另一方面，準分子燈係當在例如總計亮燈3000小時的情形下，隨著構成發光管之石英玻璃等的劣化，所出射之真空紫外光的照度會比初期亮燈時更加降低約70%。因此，必須定期替換成新品。

其中，由於檢測真空紫外光的光感測器較為昂貴，因此並不能頻繁地替換成新品，並無法實際上與準分子燈同時作替換。

此外，燈一般難以由其外觀來判斷是否已屆使用壽命末期，尤其準分子燈係隨著構成發光管的石英玻璃等的劣化而使所出射之真空紫外光的照度降低者，因此難以由外觀來判斷是否已屆使用壽命。

因此，在各個燈設置IC標籤，使燈的總計亮燈時間資訊記憶在該IC標籤，以管理總計亮燈時間的裝置已被提出(例如參照專利文獻2)。

在第12圖顯示裝載有設有IC標籤之燈的紫外線照射裝置的剖面圖。該圖係以與燈的管軸呈平行的平面所切的剖面圖。其中，在該圖中係顯示使用準分子燈作為燈的情形。

如該圖所示，紫外線照射裝置係具有使惰性氣體在內部循環的金屬製框體101。在框體101內部配置有以管軸呈平行的方式並聯配置的複數支準分子燈100。沿著準分子燈100，與各準分子燈100相對應設有將由準分子燈所放射的紫外線朝向被處理物方向反射的導水筒狀反射鏡102。設有反射鏡102的各準分子燈100係被固定在例如水冷管在內部循環的鋁製冷卻塊103。

準分子燈100係在使真空紫外光透過之由介電質材料所構成的發光管100a的兩端，分別形成埋設有金屬箔100e的密封部100f，在發光管100a的內部，線圈狀的內部電極100b被配置在發光管100a的管軸上，內部電極100b的周圍藉由絕緣體100d予以覆蓋。此外，在發光管100a的外表面配置有網狀的外部電極100c。

在各金屬箔100e連接有朝發光管100a外方突出的外部引線100g，在外部引線100g連接有高壓供電纜線120c，且在其端部設有高壓供電端子120。

在框體101安裝有樹脂製的連接器110，在該連接器110內設有天線140。此外，在高壓供電纜線120c的端部安裝有高壓供電端子120，在高壓供電端子120的絕緣保持具內設有IC標籤130。

藉由在上述連接器110插入高壓供電端子120的插頭，使內部電極100b與高頻亮燈電源呈導通。關於外部電極100c雖未圖示，但是同樣地與高頻亮燈電源呈導通。

第13圖係顯示用以使上述具備有IC標籤之準分子燈亮燈之控制系統之構成例的概念圖。

與準分子燈100的電極相連接的高壓供電纜線的高壓供電端子120係透過前述之連接器110而與高頻亮燈電源200相連接，由高頻亮燈電源200供給高壓‧高頻電壓，藉此使準分子燈100亮燈。

如前所述在連接器110設有天線140，天線140係與用以對IC標籤寫入資料、或讀出資料的讀取器/寫入器230相連接。CPU210係對上述讀取器/寫入器230進行控制，對IC標籤寫入資料、或由IC標籤讀取資料，並且對上述高頻亮燈電源200進行控制，以控制燈100的亮燈。

在第13圖中，亮燈控制係如下所示來進行。

在準分子燈100亮燈開始前，透過天線140藉由讀取器/寫入器230讀出被記憶在IC標籤130之前次使用時為止的總計亮燈時間資訊，使該資訊記憶在與CPU210相連接的記憶體220。

在IC標籤130亦記憶有在各個準分子燈100為固有的使用壽命時間資訊，CPU210係調查由IC標籤130所被讀出的總計亮燈時間是否在使用壽命時間以下，若總計亮燈時間在使用壽命時間以下時，由CPU210對高頻亮燈電源200傳送亮燈訊號。藉此，高頻亮燈電源200係對準分子燈100供給高壓高頻電壓，而使準分子燈100亮燈。

準分子燈100亮燈中，係隨時將最新的亮燈時間資訊加算在被記憶在記憶體220的總計亮燈時間。

接著，若總計亮燈時間到達使用壽命時間，CPU210係對高頻亮燈電源200傳送亮燈停止訊號，而將準分子燈100滅燈。

此外，在總計亮燈時間到達使用壽命時間之前，若使準分子燈熄滅，在準分子燈熄滅後，即在被記憶在記憶體220的總計亮燈時間加算最新亮燈時間，藉由讀取器/寫入器230，使最新總計亮燈時間透過天線而記憶在IC標籤 130。

藉由以上控制，針對各個準分子，可有效管理準分子燈積算亮燈時間資訊。

(專利文獻1)日本專利第2789557號說明書

(專利文獻2)日本特開2007-123069公報

如前所述，準分子燈係在例如總計亮燈3000小時時，所出射之真空紫外光的照度會比初期亮燈時降低約70%。

另一方面，以確認準分子燈之亮燈狀態的手法而言，如前所述，已知一種利用光感測器來感測真空紫外光的手法，但是該類光感測器的感度會經時降低。因此，隨著使用時間變長，愈無法獲得由燈所出射之光的正確照度資料，即使根據由光感測器所被輸出的照度資料來調整供給至燈的電力，亦無法將照度維持在一定狀態。

亦即，如使採用用以檢測真空紫外光之光感測器的準分子燈亮燈的光源裝置等所示，在具備檢測感度經時性劣化的光感測器，藉由該光感測器來檢測照度會伴隨著時間而降低的燈的光，以控制照度的光源裝置中，除了光感測器的檢測感度劣化以外，燈的照度會經時性降低，因此由燈所出射的光的照度以歷經長時間而精度佳地成為所希望的值的方式進行控制乃極為困難。

此外，如上所述在使用感度會經時性降低的光感測器時，在將光感測器安裝在光源裝置的情況下直接可自動校正光感測器的檢測感度為宜，但是具備有如上所示之功能的光源裝置尚未為人所知。

本發明係鑑於上述情形而研創者，本發明之目的在於在使用光照度會伴隨著時間而降低的燈，且用以確認燈之亮燈狀態的光感測器的感度會經時性劣化的光源裝置中，可精度佳地控制由燈所出射之光的照度且將照度保持為一定，此外，可在將光感測器安裝在光源裝置的情況下直接自動校正感度已劣化之光感測器的檢測感度。

在本發明中，如下所示解決前述課題。

A.由燈所出射之光的穩定化控制

本發明係以由燈所被出射之光的照度與目標值相一致的方式進行控制，而將照度維持為一定。

準分子燈之所被出射之光的照度因各種要因而隨著時間經過而降低。如上所示，為了將照度經時性降低的燈的照度維持為一定，當照度降低至相對於目標照度為預定比例以下時，必須以增加供給至燈之電力的方式進行控制。

以如上所示之對供給至燈的電力進行控制的手段而言，在本發明中，係使用被安裝在燈的IC標籤，根據被記錄在IC標籤的該燈的總計亮燈時間，對供給至燈的電力進行控制。

亦即，在本發明中，藉由感測手段，進行感測照度降低是否已超過一定比例，並且當照度降低已超過一定比例時，即對供給至燈的電力進行補正(增加)。

該電力的補正係使用例如將燈的總計亮燈時間與補正電力資料的關係加以規定的補正表等。接著，求出與總計亮燈時間相對應的補正電力，對供給至燈的電力進行控制。

亦即，藉由使用IC標籤，可記錄燈的總計亮燈時間，且可根據被記錄在IC標籤的總計亮燈時間，來取得補正電力的資料。

B.光感測器的補正

在本發明中，因裝配在光源裝置的光感測器的劣化，為了與光的感測感度的降低相對應，對由裝配在裝置之真空紫外光感測器所被輸出的照度資料進行校正。

該校正係使用藉由有別於被設在光源裝置之光感測器之其他新品的光感測器所測定出的值來進行。

例如使用被設在工廠等的新品的感測器，藉由該新品的感測器，求出每個燈之光的正確照度資料，且寫入至被設在各燈的IC標籤。

接著，例如在燈替換時，將該照度與由被裝配在準分子燈裝置之感測器所被輸出的照度資料作對比，以後者的值與前者的值相一致的方式來對後者的值作上方補正。

根據以上所述，在本發明中，如以下解決前述課題。

(1)在被設在光源的IC標籤至少記錄當使光源以預定的基準電力亮燈時由該光源所被出射之光的照度相關的固有照度資料及該光源的總計亮燈時間。

光源裝置係具備有：來自上述IC標籤之資訊的讀取/寫入手段；對由光源所被出射的光的照度進行感測的感測手段；及控制光源之亮燈的控制部的光源裝置，光源裝置的控制部係根據由前述光源之IC標籤所讀出的固有照度資料；及所被設定的目標照度資料，求出為了獲得該目標照度資料所需的目標電力資料，使前述光源根據目標電力資料而亮燈，利用前述感測手段來感測該時間點中由該光源所被出射之光的照度，將所感測到的照度作為基準照度資料加以記錄。

接著，藉由前述感測手段來感測根據上述目標電力資料而使該光源繼續亮燈時之光源的照度，判定藉由該感測手段所被感測的前述光源的照度資料是否已降低至相對於前述所被記錄的基準照度資料為預定比例以下。當光源的照度資料已降低至相對於前述所被記錄之基準照度資料為預定比例以下時，根據由前述IC標籤所讀出的光源的總計亮燈時間，求出該光源的總計亮燈時間所對應的補正電力資料，根據該補正電力資料來對前述目標電力資料進行補正，將所補正的目標電力資料供給至光源。

(2)在上述(1)中，目標電力資料被補正，且根據所補正的目標電力資料來使光源亮燈時，將在前述感測手段所測定之由該光源所被出射的光的照度作為新的基準照度資料加以記錄，判定藉由前述感測手段所被感測的前述光源的照度資料是否已降低至相對於上述新的基準照度資料為預定比例以下。

(3)在上述(1)(2)中，在上述IC標籤記錄藉由校正完畢的感測手段來測定並記錄當以前述預定的基準電力亮燈時之由該光源所被出射的光的照度，作為由設有該IC標籤之光源所被出射之光的照度相關的固有照度資料。

接著，上述光源裝置的控制部係當在光源裝置被安裝有新的光源時，使該光源以上述基準電力亮燈，藉由被設在該光源裝置的感測手段，測定由該光源所被出射的光的照度。

接著，根據藉由被設在光源裝置的感測手段所測定的照度資料、及由前述IC標籤所讀出的固有照度資料，求出用以校正被設在上述光源裝置之感測手段的測定值的校正參數，根據該校正參數，對感測手段的輸出進行補正。

(4)在被設在光源之IC標籤至少記錄當使光源以預定的基準電力亮燈時由該光源所被出射之光的照度相關的固有照度資料及該光源的總計亮燈時間。

光源裝置係具備有：來自IC標籤之資訊的讀取/寫入手段；對由光源所被出射的光的照度進行感測的感測手段；及控制光源之亮燈的控制部，該控制部係具備有：目標電力資料算出手段，根據由前述光源之IC標籤所讀出的固有照度資料、及所被設定的目標照度資料，求出為了獲得該目標照度資料所需的目標電力資料；基準照度資料取得手段，使前述光源根據上述目標電力資料而亮燈，使在該時間點中利用前述感測手段所感測之由該光源所被出射之光的照度資料作為基準照度資料而記錄在記憶部；補正手段，判定根據上述目標電力資料而使該光源繼續亮燈時藉由前述感測手段所感測之光源的照度，是否已降低至相對於前述基準照度資料為預定比例以下，當判定出光源的照度資料已降低至相對於前述所被記錄之基準照度資料為預定比例以下時，求出根據由前述IC標籤所讀出的光源的總計亮燈時間所求出的該光源的總計亮燈時間所對應的補正電力資料，且根據該補正電力資料來對前述目標電力資料進行補正；及亮燈控制手段，以上述目標電力被供給至光源的方式進行控制。

(5)在上述(4)中，在上述IC標籤係記錄有藉由校正完畢的感測手段來測定出當以前述預定的基準電力亮燈時之由該光源所被出射的光的照度的值，作為由設有該IC標籤之光源所被出射之光的照度相關的固有照度資料。

上述光源裝置的控制部係具備有感度經時性劣化之上述感測手段的校正手段，該校正手段係當在上述光源裝置被安裝有新的光源時，使該光源以上述基準電力亮燈，根據藉由被設在該光源裝置的感測手段所被感測之由該光源所被出射的光的照度、及由前述IC標籤所讀出的固有照度資料，求出用以校正被設在上述該光源裝置之感測手段的測定值的校正參數，根據該校正參數，對感測手段的輸出進行補正。

(6)在安裝有IC標籤的光源中，在該IC標籤記錄有該光源的總計亮燈時間；及當使該光源以預定的基準電力亮燈時藉由校正完畢的感測手段所測定出之由該光源所被出射的光的照度，作為由設有該IC標籤之光源所被出射之光的照度相關的固有照度資料。

在本發明中，可得以下效果。

(1)在本發明中，藉由為了獲得目標照度資料所需的目標電力資料來使光源亮燈，將此時的照度藉由感測手段進行感測且作為基準照度資料加以記錄，當藉由該感測手段所被感測的前述光源的照度降低至相對於上述所被記錄之基準照度資料為預定比例以下時，根據由IC標籤所讀出的光源的總計亮燈時間，求出補正電力資料，藉由該補正電力資料，對前述目標電力資料進行補正且供給至光源，因此即使在燈的真空紫外光的照度經時性降低的情形下，亦可將光源的照度維持為一定。

而且，藉由本發明之光源裝置，在每次藉由前述感測手段所被感測到的光的照度超過預定範圍而降低時，記錄考慮到燈之經時性照度降低及感測手段之感度降低的最新基準照度資料，據此求出補正電力資料，以控制光源，田此可以高精度將照度維持為大致一定。

(2)在IC標籤先將藉由校正完畢的感測手段來測定以預定基準電力亮燈時由光源所被出射的光的照度作為固有照度資料加以記錄，當在光源裝置被安裝有新的光源時，使該光源以上述基準電力亮燈，藉由被設在該光源裝置的感測手段，測定由該光源所被出射的光的照度，根據該照度資料、及由IC標籤讀出的固有照度資料，對上述光源裝置的感測手段進行校正，因此在每次將已結束使用壽命之準分子燈替換成新品時，可對由感測器所被輸出的照度資料進行校正，即使裝配在光源裝置的光感測器因長時間的使用而劣化，亦可獲得正確的照度。

因此，可精度佳地控制由燈所出射的光的照度，並且可解決自以往以來所造成問題之因對準分子燈供給過量電力，而產生被照射在被處理體的光的照度大幅超過目標照度之所謂的過衝(overshoot)，或燈的壽命變短等不良情形。

第1圖係顯示本發明之一實施形態之光源裝置的系統構成圖。

如該圖所示，本發明之光源裝置係具備有：具有可以非接觸輸入記錄資訊的IC標籤1a的光源(以下稱為燈)1；用以將高頻高電壓供給至燈1的亮燈電源2；被設在亮燈電源2之輸出側的變壓器3；控制燈1之亮燈的控制部4；及輸入部5。

控制部4係由以下所構成：感測由燈1所出射的真空紫外光等光而輸出照度訊號之屬於感測手段的光感測器15；根據該光感測器15的照度資料等，對燈1的亮燈進行控制，並且執行用以進行光感測器15之校正之運算處理的運算處理部(CPU)11；記憶部13；用以在與IC標籤1a之間進行資料之傳送接收的天線14；用以控制與IC標籤1a之間之資料的傳送接收的IC標籤R/W部12；A/D轉換器16a、16b；及D/A轉換器17。A/D轉換器16a、16b係將來自光感測器15的訊號及來自亮燈光源2的訊號轉換成數位訊號而送出至CPU11，D/A轉換器17係將來自CPU11的數位訊號轉換成類比訊號而送出至亮燈電源2。

上述記憶部13係具備有：可讀寫之揮發性記憶體(RAM13a)；讀取專用之非揮發性記憶體(ROM13b)；及可重寫之非揮發性記憶體(EEPROM13c)，用以記憶程式或資料。

在記憶部13的ROM13b係被記錄有：用以按照總計亮燈時間來補正供給至燈1之電力的補正表Tab、準分子燈的規格照度資料X₀ 、基準電力資料Z₀ 等資訊，在EEPROM13c係被記錄有穩定維持由準分子燈所出射之真空紫外光的照度所需資訊。

上述光源1係封入有例如氙氣等放電氣體，且出射波長172nm之真空紫外光的準分子燈。其中，以下係針對燈1為準分子燈的情形加以說明。

IC標籤1a係按各燈而設，記錄有與有關於各準分子燈固有照度之固有照度資料X₁ 相對應的百分率Y[=(固有照度資料X₁ /規格照度資料X₀ )×100]、總計亮燈時間Ts。

若燈為準分子燈，光感測器15即為真空紫外光感測器，例如ALGN(氮化鋁鎵)等半導體光感測器，藉由將紫外光轉換成可見光的螢光體等所構成。

如前述之第11圖所示，光感測器15係被配置在形成於冷卻塊之光導入孔的一端側，來自燈1的真空紫外線透過該光導入孔而被入射至光感測器15的光入射面。

真空紫外光感測器中的感度係如前所述，隨著使用時間加長而降低。

例如第3圖之(C)所示，真空紫外光的感度係在從使用開始經過3000小時之後降低30%程度。

亦即，由光感測器15所被輸出的照度資料係成為低於實際上由燈1所出射之真空紫外光的照度的值。因此，以由燈1所出射的真空紫外光的照度被維持為一定的方式，若欲根據來自光感測器15的照度資料來控制供給至燈1的電力進行控制時，即對燈1進行過量的電力供給。

因此，如第3圖之(A)所示，準分子燈的照度變得高於第3圖之(B)的目標照度，而會引起過衝(overshoot)。為了避免如上所示之過衝，必須將伴隨著光感測器15的劣化所發生的真空紫外光的感度降低進行補正。

控制部4的CPU11如後所述，根據由輸入部5所被供予的目標照度資料或藉由光感測器15所被感測到的照度資料，以使由燈1所被出射的真空紫外光的照度與作為目標的照度相一致的方式，對亮燈電源2傳送指令而控制供給至燈1的電力。此外，根據藉由光感測器15所感測到的照度資料、及由燈1所具備的IC標籤1a所讀出的固有照度資料，以由光感測器15所被輸出的照度資料與固有照度資料相一致的方式來校正光感測器15的輸出。

輸入部5係具有例如液晶顯示畫面等的觸控面板式，被使用在光源裝置的使用者將按每一被處理體所需之真空紫外光的照度相關的目標照度資料輸入至CPU11。

在此，彙整顯示本實施形態中所使用的各種資料。該等資料係例如以下所示，被儲放在IC標籤、讀取專用之非揮發性記憶體(ROM13b)、可重寫之非揮發性記憶體(EEPROM13c)等，在執行時，視需要被轉送至可讀取寫入的記憶體(RAM13a)並予以儲放。

其中，該等資料的儲放部位可適當變更，例如可未設置ROM，而將所有資料儲放在EEPROM，亦可先記憶在所謂的記憶體媒體(例如非揮發性記憶體或磁碟等)，在執行時在RAM13a展開，在結束時轉移至非揮發性記憶體或記憶媒體。

此外，在以下說明中，為了易於理解，在資料被轉送至RAM的情形下，亦會有視需要，在裝置起動時所被儲放的場所來特定資料之儲放場所的情形。

‧規格照度X₀ ：由標準的準分子燈所被照射的真空紫外光的照度(儲放在ROM)

‧固有照度X₁ ：被記錄在IC標籤之該燈的固有照度(儲放在IC標籤、EEPROM)

‧實測照度X₂ ：由裝置裝配的光感測器所得的照度資料

‧目標照度X₃ ：由輸入部所被設定的目標照度(儲放在EEPROM)

‧基準照度X₄ ：初期或電力補正後，藉目標電力資料Z₁ 或、補正電力資料Z₂ 使該燈亮燈時，由裝置裝配的光感測器所得的照度資料(儲放在EEPROM)

‧基準電力Z₀ ：標準的準分子燈輸出規格照度X₀ 所需電力(儲放在ROM)

‧目標電力Z₁ ：獲得目標照度所需電力(儲放在EEPROM)

‧補正電力Z₂ ：藉由補正電力係數所被補正的目標電力(儲放在EEPROM)

‧補正係數K=固有照度X₁ /實測照度X₂

‧百分率Y=(固有照度X₁ /規格照度X₀ )×100(儲放在IC標籤、EEPROM)

‧總計亮燈時間Ts：燈亮燈時間的積算值(儲放在IC標籤、EEPROM)

‧補正表Tab：記錄有對總計亮燈時間之電力增加量(補正電力係數)的表(儲放在ROM)

第2圖係本發明之一實施形態之光源裝置的功能方塊圖，將藉由利用控制部4的CPU11所被執行的處理所實現的功能顯示為方塊圖者。

在被設在燈1的IC標籤1a係如前所述記錄有百分率Y=(固有照度X₁ /規格照度X₀ )×100及該燈1的總計亮燈時間Ts。

上述固有照度X₁ 係藉由例如新品的光感測器等般輸出正確照度資料之校正完畢的光感測器，來測定出在使燈1以上述基準電力亮燈時由燈1所被出射的光的照度的資料。

IC標籤R/W部12係如前所述透過天線14，讀入被記錄在上述IC標籤1a的上述資料，且作為IC標籤資料而記憶在記憶部13。

控制部4的校正手段4f係當在光源裝置被安裝新品的燈1(總計亮燈時間Ts為0的燈)時，藉由亮燈控制手段4e，使該燈1以上述基準電力Z₀ 亮燈，根據由藉由光感測器15所被感測的該燈1所被出射的光的照度、及由前述IC標籤1a所讀出的固有照度X₁ ，求出用以校正被設在上述該光源裝置的感測手段的測定值的校正參數。接著，根據校正參數，將光感測器15的輸出進行補正。

藉此，在燈1每次被替換成新的燈時，可以光感測器15輸出正確測定值的方式進行校正。

控制部4的積算計時器4g係將燈1呈亮燈的時間作積算計數，總計亮燈時間更新手段4a係在每次達到預定的積算時間時，即更新被記憶在記憶部13的總計亮燈時間。該所被更新的總計亮燈時間Ts係在使光源裝置的動作停止時，即被寫入至被設在燈1的IC標籤1a。

如前所述由輸入部5將目標照度X₃ 輸入至CPU11，該資料係被記憶在記憶部13。

控制部4的目標電力算出手段4b係根據基於由IC標籤1a所被讀出的百分率Y所計算出的固有照度X₁ 與基準電力Z₀ 、上述目標照度X₃ ，計算出為了獲得該目標照度X₃ 所需的目標電力Z₁ 。所被計算出的目標電力Z₁ 係被記憶在記憶部13。

基準照度資料取得手段4d係在裝置起動時或後述之電力補正時，藉由亮燈控制手段4e使燈1根據上述目標電力Z₁ 或補正電力Z₂ 亮燈，獲得在該時間點藉光感測器15所被感測的光的照度資料。該值係作為基準照度資料X₄ 而被記憶在記憶部13。

亮燈控制手段4e係以被供給至燈1的電力與利用上述目標電力算出手段4b所被計算出的目標電力Z₁ (補正後為補正電力Z₂ )為相一致的方式來控制亮燈電源2。

亦即，檢測被施加至燈1的電壓與燈電流，由亮燈電源2被傳送至控制部4的亮燈控制手段4e。其中，由亮燈電源2所被檢測到的電壓、電流為類比訊號，該類比訊號係如前所述藉由A/D轉換器被轉換成數位訊號，且被傳送至控制部4的CPU。

亮燈控制手段4e係根據上述電壓、電流計算出被供給至燈的電力，且將所計算出的電力與前述目標電力Z₁ (補正後為補正電力Z₂ )作比較。接著，將上述所被計算出的電力與目標電力Z₁ (補正後為補正電力Z₂ )為相一致的燈電壓與頻率進行運算。該燈電壓與頻率係作為電壓指令、頻率指令而被送出至亮燈電源2。

亮燈電源2係按照該電壓指令、頻率指令來控制燈1的驅動電壓、頻率。藉此，以被供給至燈1的電力與上述目標電力Z₁ (補正後為補正電力Z₂ )為相一致的方式被控制，燈1係以與目標電力Z₁ (補正後為補正電力Z₂ )相對應的照度而亮燈。

在此，準分子燈係如前所述所出射的光照度會隨著時間經過而降低。因此，在亮燈初期，係對燈1供給與目標電力資料相對應的電力，藉此燈1係以與目標照度相一致的照度而亮燈，但是隨著亮燈時間的經過，燈1的照度會降低。

補正電力算出手段4c係以上述燈1之照度降低被補正的方式，求出已將目標電力Z₁ 補正後的補正電力Z₂ 。

亦即，補正電力算出手段4c係根據上述目標電力Z1(補正後為補正電力Z₂ )，取得便燈1繼續亮燈時藉由前述光感測器15所感測的照度(實測照度X₂ )，進行判定該實測照度X₂ 是否已降低至相對於前述基準照度X₄ 為預定比例以下。

接著，補正電力算出手段4c係當燈1的實測照度X₂ 降低至相對於前述基準照度X₄ 為預定比例以下時，讀出被記憶在前述記憶部13的燈1的總計亮燈時間Ts，參照被記憶在記憶部13的補正表Tab，求出與總計亮燈時間Ts相對應的補正電力資料Z₂ ，且使其記憶在記憶部13。

準分子燈所出射的真空紫外光的照度係因各種要因而經時性降低。為了補正該照度降低，必須使供給至準分子燈的電力增加，如第4圖所示，在補正表Tab係被規定有準分子燈的總計亮燈時間與電力補正係數的關係。

亦即，事前按每個準分子燈求出總計亮燈時間與真空紫外光之照度降低率的關係，根據該關係，求出為了將真空紫外光的照度維持為一定所需的電力增加率，在補正表登錄總計亮燈時間與電力補正係數的關係。因此，讀出該補正表的電力補正係數，藉由乘上目標電力Z₁ ，可求出補正電力資料Z₂ 。

亮燈控制手段4e係在被計算出補正電力資料Z₂ 時，將如前所述被供給至燈的電力成為所被補正後的補正電力資料Z₂ 的燈電壓與頻率進行運算而送出至亮燈電源2。亮燈電源2係藉由該燈電壓與頻率而使燈1亮燈。

此外，當計算出補正電力資料Z₂ ，且根據該補正電力資料Z₂ 而使燈1亮燈時，前述基準照度資料取得手段4d係將藉由光感測器15所被測定之由燈1所出射的光照度作為新的基準照度X₄ 而被記憶在記憶部13。

以下，與前述相同地，判定相對於上述基準照度X₄ ，藉由前述光感測器15所被感測的照度是否已降低至預定比例以下，若已降低至預定比例以下，與上述相同地，求出與總計亮燈時間相對應的補正電力資料Z₂ 。

如上所示，使燈1基本上以一定的電力亮燈，在每次燈1的照度降低至相對於最新的補正後基準照度為預定比例以下時，即按照燈的總計亮燈時間，增加供給至燈1的電力，將燈1的照度作上方補正，因此即使燈1的照度隨著時間經過而降低，亦可將燈1的照度保持為大致一定。此外，藉由光感測器15所得之檢測值係使用在判定燈1的照度是否已降低至相對於基準照度為預定比例以下，因此即使光感測器15的檢測感度經時性降低，亦不會大幅受到其影響。

接著，針對本實施形態之光源裝置的動作，藉由流程圖詳加說明。

1.對於IC標籤的資料記錄與光感測器的校正 (1)對於IC標籤的資料記錄

首先，藉由第5圖，針對在前述IC標籤記錄與固有照度資料X₁ 相對應之百分率Y的處理加以說明。

有別於第1圖所示之光源裝置所具備之會有感度劣化之可能性的光感測器15，而在使用配置在例如工廠等之新品的光感測器或校正完畢的光感測器的光源裝置設置燈1，在該燈1的IC標籤1a記錄上述資料。該光源裝置係除了例如光感測器為新品或校正完畢者以外，為具有與第1圖所示者為相同構成者即可，以下針對使用第1圖所示之光源裝置而在IC標籤1a寫入資料的情形加以說明，但是亦可使用IC標籤寫入用的專用裝置。亦即，亦可使用專用的裝置，藉由新品的光感測器或校正完畢的光感測器來測定燈的照度，計算與固有照度資料X₁ 相對應的百分率Y，使用IC標籤寫入用的裝置而寫入資料至IC標籤1a。

其中，在以下流程圖中，係針對與固有照度資料X₁ 相對應的百分率Y的記錄加以說明，但是在IC標籤，除了該資料以外，另外如前所述記錄有總計亮燈時間，且為新品的燈時，即記錄0作為總計亮燈時間。

(步驟S101)

首先，讀出被記錄在讀取專用記憶體(ROM)13b的基準電力Z₀ ，以基準電力Z₀ 使燈1亮燈。

(步驟S102)

確認由燈1所被出射之真空紫外光的照度是否呈穩定。該確認係進行判斷例如在5分鐘內是否照度變化為1%以下。照度穩定時，即進至步驟S104。

(步驟S103)

照度不穩定時，進行確認是否逾時(time-out)。照度在30分鐘以內為穩定時，係返回步驟S101。即使經過30分鐘，照度亦如上所述為不穩定時，即判斷燈1為不良品，而結束程序。

(步驟S104)

取得照度穩定時的固有照度資料X₁ 。來自光感測器15的類比訊號係藉由A/D轉換器16b而被轉換成數位訊號，並且該數位訊號作為固有照度資料X₁ 而被輸入至CPU11。

(步驟S105)

與被輸入至CPU之固有照度資料X₁ 相對應的值被記錄在IC標籤1a。在此，固有照度資料X₁ 係如以下(1)式所示，作為被記憶在讀取專用記憶體(ROM)13b之固有照度資料X₁ 對規格照度資料X₀ 的百分率Y而被記錄在IC標籤12。

Y=(X₁ /X₀ )×100...(1)

(2)光感測器之校正

接著，針對光感測器之校正動作，藉由流程圖加以說明。其中，該動作係與利用第2圖的校正手段4f所實現的動作相對應。

第6圖係根據被記錄在IC標籤的資料來校正光感測器15的流程。上述校正係在每次將已結束使用壽命的燈替換成新品時，即在執行對於被處理體之光照射處理之前進行。至燈的使用壽命結束為止，並不進行光感測器15之補正。

(步驟S201)

首先，由CPU11在IC標籤R/W部12作資料存取(access)，對於IC標籤1a經由天線14而以135kHz的搬送頻率傳送指令，藉由雙向通訊，由IC標籤1a讀出資訊，經由IC標籤R/W部12而在CPU11接收該資訊。

CPU11係由被記錄在IC標籤1a的總計亮燈時間，來確認燈1是否為新品。若總計亮燈時間Ts=0，即判斷燈1為新品而進至步驟S202。另一方面，若非為總計亮燈時間Ts=0，則並未進行光感測器15之校正，且結束處理。

(步驟S202)

取得藉由CPU11而被記錄在IC標籤1a之固有照度資料X1的百分率Y。亦即，由IC標籤R/W部12對IC標籤1a以135kHz的搬送頻率傳送指令，經由天線14而由IC標籤1a取得百分率Y。

(步驟S203)

接著，以被記錄在記憶部13之讀取專用記憶體(ROM13b)的基準電力Z₀ 使燈1亮燈。

(步驟S204)

確認由燈1所出射的光的照度是否已穩定。該確認係判斷例如在5分鐘內是否照度變化為1%以下。若照度穩定，即進至步驟S206。

(步驟S205)

照度不穩定時，進行確認是否逾時(time-out)。照度在30分鐘以內為穩定時，係返回步驟S201，且執行步驟S201至S204之程序。即使經過30分鐘，照度亦如上所述為不穩定時，即判斷燈1為不良品，而結束程序。

(步驟S206)

接著，利用光感測器15來感測由燈1所出射的光的照度。來自光感測器15的類比訊號係藉由A/D轉換器16b而被轉換成數位訊號，該數位訊號作為實測照度資料X₂ 而被輸入至CPU11。

(步驟S207)

最後，根據在步驟S202中所取得之固有照度資料X₁ 及在步驟S206中所取得之實測照度資料X₂ ，來對由光感測器15所被輸出的照度資料進行補正。步驟S207的補正係如以下所示來進行。

(i)根據由記憶部13之讀取專用記憶體(ROM13b)所讀出的規格照度資料X₀ 、及由IC標籤1a所讀出的百分率Y，對固有照度資料X₁ 的值進行運算。

如以下之(2)所示，求出作為固有照度資料X₁ 對實測照度資料X₂ 之比率的補正係數K。

補正係數K=(固有照度資料X₁ )/(實測照度資料X₂ )...(2)

(ii)在實測照度資料X₂ 乘以(2)式中所求得的補正係數K。

如以上所示，事前在工廠等中使用新品的光感測器或校正完畢的光感測器而在IC標籤記錄表示固有照度資料X₁ 的百分率Y，藉由根據由其所求出的固有照度資料X₁ 、及由裝配在光源裝置之光感測器所得之實測照度資料X₂ 所求出的補正係數K，可對由真空紫外光感測器所被輸出的實測照度資料進行補正。

因此，每次在將已結束使用壽命之準分子燈替換成新品時，即先求出上述補正係數K且加以記憶，藉由該補正係數K來對由感測器所被輸出的照度資料進行補正，藉此即使為裝配在準分子燈之真空紫外光感測器因長時間使用而劣化者，亦可獲得正確的真空紫外光的照度。

因此，藉由本發明，可解決自以往以來所造成問題之因對準分子燈供給過量電力，而產生被照射在被處理體之真空紫外光的照度大幅超過目標照度之所謂的過衝(overshoot)、或準分子燈壽命變短等不良情形。

2.光穩定化控制 (1)全體處理流程

首先，針對本實施形態之光源裝置之全體處理流程加以說明。

第7圖係顯示本實施形態之光源裝置之全體處理流程的流程圖。

如第7圖所示，光源裝置係如下進行動作。

(步驟S1)

裝置被起動。

(步驟S2、S3)

由被設在燈的IC標籤取得資料。根據由IC標籤所取得的總計亮燈時間資料，判定該燈是否為新品的燈(總計亮燈時間為0)。

(步驟S4)

若該燈為新品的燈，則使燈1以基準電力Z₀ 亮燈，且藉由光感測器15來測定照度。接著，如前所述，根據所測定出的實測照度、及根據由IC標籤所讀出之百分率Y所求出的固有照度X₁ ，求出用以校正光感測器15之輸出的校正參數，根據該校正參數，對光感測器15的輸出進行補正。

(步驟S5)

若該燈非為新品的燈，如前所述，根據由IC標籤所讀出的固有照度X₁ 及所被設定的目標照度X₃ 來求出目標電力Z₁ ，且以燈電力與目標電力Z₁ 相一致的方式進行控制。

在此，利用光感測器15來感測如前所述根據目標電力Z₁ 而使燈1亮燈時的照度，當該照度降低至相對於基準照度X₄ 為預定比例以下時，求出根據總計亮燈時間Ts所求得的補正電力Z₂ ，以對目標電力Z₁ 進行補正。

(步驟S6、S7)

持續以上動作至燈熄滅為止，在燈熄滅時，係進行燈的滅燈處理，並且將所需資料進行對於記憶部13之可重寫的非揮發性記憶體(EEPROM)的轉換、及IC標籤之總計亮燈時間的重寫。

(2)光穩定化控制

由燈所出射的光的照度係隨著時間的經過而降低。為了將照度維持為一定，當燈的照度降低至相對於目標照度為預定比例以下時，必須以增加供給至燈之電力的方式進行控制。

在本實施形態之光源裝置中，如以下第8圖之流程之說明所示，為了控制供給至燈的電力，使用被記錄在IC標籤的燈的總計亮燈時間，據此求出電力的補正量(補正電力)。

第8圖係顯示用以將由燈所被出射的光的照度維持為一定的控制處理的流程圖。

(步驟S301)

由CPU11在IC標籤R/W部12作資料存取(access )，對於IC標籤1a，透過天線14以135kHz的搬送頻率傳送指令，藉由雙向通訊，由IC標籤1a讀出資訊，透過IC標籤R/W部12而在CPU11接收該資訊。藉此，可取得與被記錄在IC標籤之固有照度資料X₁ 相對應的百分率Y及總計亮燈時間Ts。

(步驟S302)

根據在步驟S301中所得之總計亮燈時間Ts，確認燈1是否為新品。若總計亮燈時間Ts=0，則判斷燈1為新品且進至步驟S304。另一方面，若非為總計亮燈時間Ts=0，則進至步驟S303。

(步驟S303)

若非為總計亮燈時間Ts=0，在記憶部13(EEPROM13c)係記憶有當使該燈先亮燈時的目標電力資料Z₁ ，且取得該記憶完畢的目標電力資料Z₁ 。

(步驟S304)

取得由輸入部5所被輸入且儲放在記憶部13的目標照度資料X₃ 。

(步驟S305)

根據在步驟S304中所得的目標照度資料X₃ 、由IC標籤1a所讀出的百分率Y、以及由記憶部13(ROM13b)所讀出的規格照度資料X₀ 及基準電力資料Z₀ ，取得為了獲得目標照度所需的目標電力資料Z₁ 。

目標電力資料Z₁ 係如下所示所求得。

固有照度X₁ ：目標照度X₃ =基準電力Z₀ ：目標電力Z₁ 目標電力Z₁ =基準電力Z₀ ×目標照度X₃ /固有照度X₁ 將如上所述所求出的該目標電力資料Z₁ 記錄在記憶部13(EEPROM13c)。

(步驟S306)

使積算計時器(第2圖的4g)為ON，開始計測被加算在總計亮燈時間的亮燈時間。

(步驟S307)

根據在步驟S303或步驟S305中所求出的目標電力資料Z₁ ，使燈1亮燈。

第9圖係為了易於理解以下步驟S308至S313的程序，概念性顯示對亮燈時間之照度變化與供給至燈之電力變化的說明圖。該圖之縱軸係表示燈之光照度(利用感度劣化之光感測器所測定之照度的值與目標照度)，該圖之橫軸係表示燈的亮燈時間。

其中，該圖的實線係表示目標照度，加粗實線係表示藉由已劣化的感測器所測定出的照度的值。此外，該圖之一點鏈線係表示由燈所被出射之真空紫外光的照度因各種要因而經時性降低的態樣，該圖之虛線係表示隨著光感測器的感度降低，由感測器所被輸出的照度資料會經時性降低的態樣。

使用第9圖，說明藉由以下步驟S308至S313所執行之程序的概要。

在燈替換時間點中，執行前述第6圖之流程圖所示之光感測器15的補正，在燈的亮燈中，並不進行該圖之流程所示之光感測器15的補正。

第9圖之T₀ 時間點的照度P1係在步驟S307中根據目標電力資料Z₁ 而將準分子燈亮燈時之初期的基準照度X₄ 。

如第9圖所示，使燈以定電力(目標電力)亮燈，在燈的照度降低至相對於初期基準照度P₁ 為預定比例以下之P₂ 的T₁ 的時間點中，將供給至燈的電力進行補正，且將燈的照度由P₂ 至P₃ 作上方補正。

該補正係如後所述，如以下來進行。

參照第4圖所示之補正表Tab，讀出被記憶在記憶部13之該時間點中之總計亮燈時間Ts所對應的補正電力係數，將該補正電力係數乘以被記憶在記憶部13之該時間點中之目標電力，求出補正電力Z₂ ，且將該電力供給至燈1。接著，利用光感測器15來感測此時的燈1的照度，且形成為補正後的基準照度P₃ (=X₄ )。

將該經上方補正的照度P₃ 設為補正後的基準照度。補正後的基準照度P₃ 係與燈的光照度經時性降低並且光感測器中之光的感度經時性降低的情形相對應，因此被設定為該圖之一點鏈線上的值。

之後，使燈繼續以定電力亮燈，在燈的照度降低至相對於補正後基準照度P₃ 為預定比例以下的P₄ 的T₂ 時間點中，與上述相同地，對供給至燈的電力進行補正，將燈的照度由P₄ 至P₅ 作上方補正。將該經上方補正的照度P₅ 設為補正後的基準照度X₄ 。

補正後的基準照度P₅ (=X₄ )係與上述P₃ 相同地，與燈的光照度經時性降低並且光感測器中之真空紫外光的感度經時性降低的情形相對應，因此被設定為該圖之一點鏈線上的值。

如上所示，基本上使燈以定電力亮燈，每次燈的照度降低至相對於最新的補正後基準照度為預定比例以下時，即增加供給至燈的電力，藉此對燈的照度作上方補正。因此，在每次執行電力的補正時，以時間序列為較舊的補正後基準照度資料X₄ 依序被更新為較新的補正後基準照度資料X₄ ，僅有最新的補正後基準照度資料被記錄在記憶部13(EEPROM13c)。

返回第8圖的流程，針對步驟S308以後的程序加以說明。

(步驟S308)

藉由光感測器，對由燈所被出射的光的照度進行感測。來自光感測器15的類比訊號係藉由第1圖所示之A/D轉換器16b而被轉換成數位訊號，作為初期的基準照度資料X₄ (與第9圖的照度P₁ 相對應)而被輸入至CPU。該初期的基準照度資料X₄ 係被記錄在記憶部13(EEPROM13c)。

(步驟S309)

確認藉由光感測器所被感測的光的照度資料是否已降低至相對於在步驟S308中所得之基準照度資料X₄ 為預定比例以下。預定比例係依執行光照射處理的被處理體的種類而異，例如10%。

若例如使用第9圖加以說明，T₁ 時間點的照度資料P₂ 相對於照度資料P₁ 降低10%以上時，係進至步驟S310。照度資料P₂ 相對於照度資料P₁ 的降低未超過10%時，係進至步驟S313。

(步驟S310)

讀出被記錄在記憶部13(ROM13b)之補正表Tab(參照第4圖)，在該補正表Tab應用被記憶在記憶部13的總計亮燈時間Ts，取得與總計亮燈時間Ts相對應的補正電力係數。

補正電力係數係如前所述，將用以被供給至燈的電力形成為將第9圖中之照度資料P₂ 朝P₃ 作上方補正所需之位準而設定。

其中，第9圖的P₃ 係參照第4圖的補正表Tab，與光感測器之感度之經時性降低相對應而設定。例如準分子燈的總計亮燈時間為2000小時時，補正電力係數被求出為1.1。根據該補正電力係數所被決定的補正電力資料Z₂ 被記錄在記憶部13。

(步驟311、步驟S312)

CPU11係根據在步驟S310中所得之補正電力資料Z₂ ，對亮燈電源2傳送指令，透過亮燈電源2而使供給至燈1的電力增加。

使燈1根據補正電力資料Z₂ 而亮燈時，藉由光感測器15來感測由燈1所被出射的光的照度。來自光感測器15的類比訊號係藉由A/D轉換器16b(參照第1圖)而被轉換成數位訊號，作為補正後的基準照度資料X₄ 而被輸入至CPU11，並且被記錄在記憶部13。補正後的基準照度資料X₄ 係與第9圖的照度P₃ 相對應。

(步驟S313)

CPU11係確認是否已被輸入燈熄滅訊號。若已被輸入燈熄滅訊號，即停止對燈1供給電力而使燈熄滅。

若在步驟S313中未被輸入有準分子燈熄滅訊號時，即返回步驟S309，反覆執行步驟S309至S312之程序。

由步驟S313返回至步驟S309時的處理係與上述相同，在步驟S309中，確認藉由光感測器15所被感測的照度資料是否相對於在步驟S312中所得之補正後的基準照度資料X₄ 為降低例如10%以上，若降低10%以上，即進至步驟S310。若照度降低未超過10%，則進至步驟S313。

接著，如前所述參照補正表Tab，取得與總計亮燈時間Ts相對應的補正電力係數，根據該補正電力係數所被決定的補正電力資料Z₂ 被記錄在記憶部13。

CPU11係如前所述根據上述補正電力資料Z₂ 而對亮燈電源2傳送指令，使供給至燈1的電力增加。

此外，藉由光感測器來感測根據補正電力資料Z₂ 而使燈1亮燈時的照度，且作為補正後的基準照度資料X₄ 加以記憶。

如上所示，燈熄滅訊號被輸入至CPU11為止之期間，係一面將以時間序列為較舊的基準照度資料及補正電力資料依序更新為最新的基準照度資料及補正電力資料，一面記錄在EEPROM13c。僅有最新的基準照度資料及補正電力資料被記憶在記憶部13(EEPROM13c)。

第10圖係顯示滅燈時之處理的流程圖。

在該圖中，滅燈時係進行以下之處理。

(步驟S11)

進行燈之滅燈處理。在燈為準分子燈的情形下，例如在滅燈時，以低電壓施加高頻率的電壓，抑制放電容器的分極而滅燈。

(步驟S12)

將亮燈電源2關閉(off)，且將積算計時器形成為關閉。

(步驟S13)

在燈的IC標籤寫入記憶部13的資料，此外，視需要使屬於讀取寫入記憶體的RAM的內容轉移至EEPROM等非揮發性記憶體等。

(步驟S14)

將控制部的電源形成為關閉(off)。

如以上所示，本實施形態之光源系統係當燈的光照度超過預定範圍而降低時，根據補正表、及被記錄在IC標籤的總計亮燈時間，求出補正電力資料，且根據該補正電力資料來對供給至準分子燈的電力進行控制。

因此，即使在燈之真空紫外光的照度經時性降低的情形下，亦可將燈的照度維持在一定。

而且，在每次燈的光照度超過預定範圍而降低時，記錄有與燈的經時性照度降低及光感測器的感度降低相對應的最新基準照度資料，因此即使光感測器的感度降低，亦可以將燈的照度以高精度維持為一定。

1．．．燈(準分子燈)

1a．．．IC標籤

2．．．亮燈電源

3．．．變壓器

4．．．控制部

4a．．．總計亮燈時間更新手段

4b．．．目標電力算出手段

4c．．．補正電力算出手段

4d．．．基準照度資料取得手段

4e．．．亮燈控制手段

4f．．．校正手段

4g．．．積算計時器

5．．．輸入部

10．．．光源裝置

11．．．CPU

12．．．IC標籤R/W部

13．．．記憶部

13a．．．記憶體(RAM)

13b．．．記憶體(ROM)

13c．．．記憶體(EEPROM)

14．．．天線

15．．．光感測器

16a、16b．．．A/D轉換器

17．．．D/A轉換器

80．．．外殼

81．．．冷卻塊

81A．．．光導入孔

83．．．光取出窗部

89．．．真空紫外光感測器

90．．．準分子燈

100．．．準分子燈

100a．．．發光管

100b．．．內部電極

100c．．．外部電極

100d．．．絕緣體

100e．．．金屬箔

100f．．．密封部

100g．．．外部引線

102．．．反射鏡

103．．．冷卻塊

101．．．框體

101a．．．光照射窗

110．．．連接器

120．．．高壓供電端子

120c．．．高壓供電纜線

130．．．IC標籤

140．．．天線

200．．．亮燈電源

210．．．CPU

220．．．記憶體

230．．．讀取器/寫入器

第1圖係顯示本發明之一實施形態之光源裝置的系統構成圖。

第2圖係本發明之一實施形態之光源裝置的功能方塊圖。

第3圖係說明光感測器之感度降低的說明圖。

第4圖係記錄有總計亮燈時間與電力補正係數(電力增加量)之關係的補正表。

第5圖係顯示在IC標籤記錄與固有照度資料X₁ 相對應的百分率Y之處理的流程圖。

第6圖係顯示根據被記錄在IC標籤的資料來校正光感測器15之處理的流程圖。

第8圖係顯示用以將由燈所出射之光的照度維持在一定之控制處理的流程圖。

第9圖係顯示對亮燈時間之照度變化與供給至燈之電力變化的說明圖。