JP2010027255A

JP2010027255A - エキシマランプ

Info

Publication number: JP2010027255A
Application number: JP2008184404A
Authority: JP
Inventors: Kengo Moriyasu; 研吾森安; Fumihiko Oda; 史彦小田
Original assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Current assignee: Ushio Denki KK; Ushio Inc
Priority date: 2008-07-16
Filing date: 2008-07-16
Publication date: 2010-02-04

Abstract

【課題】
本発明の目的は、不点灯や光量不足を抑制したエキシマランプを提供することである。
【解決手段】
第１の発明に係るエキシマランプは、単結晶からなる放電容器と、該放電容器の外面に設けた一対の外部電極と、からなるエキシマランプにおいて、該外部電極に、繊維状金属の集合体又は箔状の導電体を介して給電体が設けられたことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、単結晶からなる放電容器と、該放電容器の外面に設けた外部電極とからなるエキシマランプに関する。

従来、光化学反応用の紫外線光源としてエキシマランプが使用されている。エキシマランプとしては、特許文献１に記載されたものがある。

従来に係るエキシマランプには、例えばサファイア（Ａｌ_２Ｏ_３）のような単結晶からなる管状の放電容器と、該放電容器の両端に設けた蓋部材と、該放電容器の外面に設けた一対の外部電極とにより、構成されるものがある。
図７は、このエキシマランプ２の説明図である。図７（ａ）は、放電容器２１の管軸に沿った断面図で、（ｂ）は（ａ）の放電容器２１の管軸に対して直交する断面図である。

エキシマランプ２の放電容器２１は、サファイア（単結晶Ａｌ_２Ｏ_３）のような単結晶で構成される場合、円管状に形成することが困難であることから、その外面形状が図７（ｂ）に示すように凹凸を有する略円状となる。また、放電容器２１の長手方向においても、その外面形状が図７（ａ）に示すように弓形に湾曲することもがある。

この放電容器２１の両端には、封止体２３１，２３２を介して蓋部材２２１，２２２が設けられる。このように封止された放電容器２１の内部には、発光ガスとして例えばクリプトン（Ｋｒ）とフッ素（Ｆ_２）ガスが封入される。

放電容器２１の外面には、一対の外部電極３１，３２が互いに離隔されて設けられる。
この一対の外部電極３１，３２には、高周波電源７が電気的に接続される。

ランプ点灯時、一対の外部電極３１，３２には、高周波・高電圧が印加され、他方の外部電極３２は接地される。
一対の外部電極３１，３２に給電されることで、一対の外部電極３１，３２に挟まれた放電容器２１は誘電体として機能する。このとき放電容器２１の内部では、発光ガスが電離され、例えばクリプトンイオンとフッ素イオンとを形成し、クリプトン−フッ素からなるエキシマ分子を形成し、例えば２４８ｎｍの波長近傍の光を発生させ、エキシマ発光が開始される。

特許３１７８１６２号公報

ところが、従来に係るエキシマランプ２は、放電容器２１に単結晶を用いることに起因して、不点灯や光量不足といった問題が起きた。
そこで、本発明の目的は、不点灯や光量不足を抑制したエキシマランプを提供することである。

第１の発明に係るエキシマランプは、単結晶からなる放電容器と、該放電容器の外面に設けた一対の外部電極と、からなるエキシマランプにおいて、該外部電極に、繊維状金属の集合体又は箔状の導電体を介して給電体が設けられたことを特徴とする。

第２の発明に係るエキシマランプは、単結晶からなる放電容器と、該放電容器の外面に設けた一対の外部電極と、からなるエキシマランプにおいて、該外部電極と該放電容器との間に、繊維状金属の集合体又は箔状の導電体が設けられたことを特徴とする。

従来のエキシマランプは、上述したように、放電容器が単結晶により構成されている。この単結晶上では、半田による接着性が殆んど機能しない。このため、放電容器の外面に外部電極を設けるには、工夫が必要であった。

例えば、放電容器の外面に導電性ペーストを塗布して、焼成することで外部電極を設けることが考えられる。単結晶からなる放電容器は表面に凹凸を有することから、外部電極が凹部分に設けられる場合がある。このとき、放電容器の外面に給電体を設けると、給電体が放電容器の凸部分と接するので、外部電極と給電体との電気的接続ができなくて不点灯になったり、その接触面積が不十分で光量不足になることがあった。

そこで、第１の発明に係るエキシマランプは、給電体と外部電極との間に設けた繊維状金属の集合体又は箔状の導電体によって、電気的接続を実現でき、ランプの不点灯や光量不足を抑制することができる。

また、例えば、放電容器の外面に金属部材を押圧することで密着させ、この金属部材を外部電極とすることが考えられる。単結晶からなる放電容器は表面に凹凸を有したり、湾曲したりすることから、外部電極と放電容器との外面との間に空隙が形成されることがある。このとき、空隙が絶縁体として機能してしまう。このため、放電容器と外部電極との間に空隙がある部分では、エキシマ発光が起こらないことで不点灯になったり、エキシマ発光が起こりにくいことで光量不足になることがあった。

そこで、第２の発明に係るエキシマランプは、放電容器と外部電極との間に設けた繊維状金属の集合体又は箔状の導電体によって、放電容器の外面に密着することができ、ランプの不点灯や光量不足を抑制することができる。

図１は、第１の実施例に係るエキシマランプ２の説明図である。
図１（ａ）はエキシマランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ断面図であり、図１（ｃ）は図１（ｂ）の点線の丸で囲った部分の拡大図である。
なお、図１には、図７に示したものと同じものに同一の符号が付されている。

第１の実施例に係るエキシマランプ２は、単結晶からなる放電容器２１と、該放電容器２１の外面に設けた一対の外部電極３１，３２と、該外部電極３１，３２に箔状の導電体５を介して設けた給電体４とにより構成される。

放電容器２１は、例えばサファイア（単結晶Ａｌ_２Ｏ_３）のような単結晶部材により構成されるので、図１（ａ）に示すように、弓形に湾曲した円管状に構成される。また、放電容器２１は、図１（ｂ）に示すようにその外面形状に凹凸を有する。
放電容器２１を構成する単結晶部材には、上述のサファイア以外に、水晶（ＳｉＯ_２），フッ化マグネシウム（ＭｇＦ_２），フッ化カルシウム（ＣａＦ_２），フッ化バリウム（ＢａＦ_２）及びフッ化リチウム（ＬｉＦ）が挙げられる。

管状の放電容器２１の両端は開放されており、その両端にカップ状の蓋部材２２１，２２２が封止体２３１，２３２を介して設けられる。
蓋部材２２１，２２２は、例えば鉄（Ｆｅ）にニッケル（Ｎｉ）及びコバルト（Ｃｏ）を配合した合金（いわゆるコバール）や放電容器２１と同一の単結晶部材のように、耐紫外線性を有する部材により構成される。

封止体２３１，２３２は、放電容器２１と蓋部材２２１，２２２との間に充填されることにより、放電容器２１と蓋部材２２１，２２２とを接続する。
封止体２３１，２３２を構成する部材には、例えば銀と銅との合金（Ａｇ−Ｃｕ合金）からなるロウ材のような耐紫外線性及び耐熱性を有するものが挙げられる。

放電容器２１は、その開放された両端に、封止体２３１，２３２を介して蓋部材２２１，２２２が設けられることにより、その内部に密閉された放電空間２１１が設けられる。この放電空間２１１には、例えば、希ガスとフッ化物とが封入される。
封入される希ガスとしては、例えば、アルゴン（Ａｒ），クリプトン（Ｋｒ）及びキセノン（Ｘｅ）が挙げられる。
また、フッ化物としては、六フッ化硫黄（ＳＦ_６），四フッ化炭素（ＣＦ_４）及び三フッ化窒素（ＮＦ_３）が挙げられる

放電容器２１の外面には、一対の外部電極３１，３２が互いに離隔されるように設けられる。一対の外部電極３１，３２は、図１（ａ）に示すように、放電容器２１の長手方向に沿って設けられる。一対の外部電極３１，３２には、放電容器２１と放電空間２１１を介して対向される部分と、対向されない部分とで構成される。
この外部電極３１，３２は、例えば銅と低融点ガラスとを混合した導電性ペーストを放電容器２１の外面に塗布して焼成することで形成したものである。

一対の外部電極３１，３２が対向されない部分には、一対の環状の給電体４が設けられる。
この環状の給電体４は、円管状の放電容器２１の外周面の凸部分に所々接して設けられる。
この環状の給電体４を構成する部材には、例えばニッケルのような電気伝導性を有する金属部材が用いられる。この給電体４の肉厚Ｌ１は、例えば０．３ｍｍである。

給電体４と外部電極３１，３２との間には、導電体５が設けられる。
この導電体５について、図２を用いて説明する。
図２（ｂ）は図１（ｃ）のエキシマランプ２の長手方向に沿った断面拡大図（Ｂ−Ｂ断面図）であり、図２（ａ）は図２（ｂ）の給電体４を外部電極３１，３２から離した図である。
なお、図２には、図１に示したものと同じものに同一の符号が付されている。

図２（ａ）に示すように、箔状の導電体５は、給電体４に巻き回される。この導電体５は、例えば溶接などにより給電体４に巻き回された状態を維持される。導電体５は、給電体４の外面（図２（ａ）における紙面下側）に溶接されて接合される。導電体５と給電体４の内面（図２（ａ）における紙面上側）との間には、隙間６が設けられる。

導電体５が設けられた給電体４は、放電容器２１の外面に設けられると、図２（ｂ）に示すように、接合部５１が給電体４と導電体５とを接続した状態で、給電体４の内面側にあった隙間６を側面側（図２（ｂ）における紙面左右側）に逃がしながら、導電体５が撓んだ状態で外部電極３１，３２に接する。

導電体５を構成する部材としては、例えば銅のような電気伝導性を有する金属部材が挙げられる。導電体５は、その肉厚Ｌ２が例えば０．０３ｍｍの箔状に構成される。特に、導電体５は、外部電極（図１における３１，３２）との接触を良好にするため、反発性を有することが好ましい。

一方の外部電極３１には、一方の導電体５を介して一方の給電体４が電気的に接続され、他方の外部電極３２には、他方の導電体５を介して他方の給電体４が電気的に接続される。
一方の給電体４（図１（ａ）における紙面左側の給電体４）と他方の給電体４（図１（ａ）における紙面右側の給電体４）には、高周波電源７が接続される。

第１の実施例に係るエキシマランプ２は、ランプ点灯時、一対の外部電極３１，３２間に位置する放電空間２１１では、封入した発光ガスによってエキシマ発光が行なわれる。
発光ガスとして、例えばアルゴン（Ａｒ）と六フッ化硫黄（ＳＦ_６）の場合、これらが電離されて、アルゴンイオンとフッ素イオンを形成し、アルゴン−フッ素からなるエキシマ分子が形成され、１９３ｎｍの波長近傍の光が発光され、放電容器２１から放射される。

単結晶からなる放電容器２１の外面に、導電性ペーストを用いて外部電極３１，３２を設けた場合、図１（ｂ）に示すように、放電容器２１の外面の凹部分に外部電極３１，３２が設けられることがある。このとき、導電体５を設けずに、放電容器２１の外面に環状の給電体４を設けただけでは、外部電極３１，３２と給電体４との間に空隙が形成されてしまい、外部電極３１，３２に給電できず、不点灯になることがある。また、ランプが点灯できたときであっても、外部電極３１，３２と給電体４との接触面積が不十分で、十分な給電ができず、光量不足になることがある
そこで、第１の実施例に係るエキシマランプ２は、外部電極３１，３２に箔状の導電体５を介して給電体４が設けられたことにより、箔状の導電体５が外部電極３１，３２に当接され、該導電体５が給電体４に例えば接合部５１で電気的に接続される。これによって、外部電極３１，３２には、給電体４と導電体５を介して給電を行なうことができ、ランプ不点灯や光量不足を抑制することができる。
さらに、第１の実施例においては、導電体５が反発性を有することにより、外部電極３１，３２を押圧するように当接され、電気的接続を良好にすることができる。

第１の実施例では、導電体５が箔状の金属部材で示したが、本発明に係るエキシマランプ２は箔状に限定されるものではなく、箔状以外の例として第２の実施例を説明する。

図３は、第２の実施例の説明図である。図３（ｂ）は、エキシマランプ２の長手方向に沿った断面図であり、給電体４の周辺を拡大した拡大断面図である。図３（ａ）は図３（ｂ）の給電体４を外部電極３１，３２から離した図である。
なお、図３には、図２に示したものと同じものに同一の符号が付されている。

図３の第２の実施例は、導電体５を繊維状金属の集合体で構成した点で、図２の第１の実施例とは相違する。
図３の第２の実施例の説明として、図１及び２で示した第１の実施例の説明と共通する部分は省略し、図２との相違点について述べる。

図３で示す導電体５は、例えばスチールウールのような繊維状金属の集合体で構成される。この導電体５を構成する繊維状金属の集合体は、複数の金属線を互いに絡み合わせ、内部に多数の隙間（不図示）を有したものである。

この導電体５は給電体４の外周に設けられる。給電体４は、放電容器２１の外面に設けられると、図３（ｂ）に示すように、給電体４の内面側（図３（ｂ）における紙面上側）と外部電極３１，３２との間に導電体５が介在される。
導電体５は、繊維状金属の集合体により構成されるので、変形可能な柔軟性を有する。このため、導電体５は、給電体４と外部電極３１，３２との間に介在されると、給電体４と外部電極３１，３２とからの押圧を受け、内部の隙間（不図示）を小さくさせることで変形され、絡み合った複数の金属線による反発性によって、給電体４と外部電極３１，３２へ押圧を行なう。これにより、給電体４と外部電極３１，３２とは、導電体５によって接触状態となり、電気的接続が実現される。

このように、第２の実施例に係るエキシマランプ２は、導電体５を繊維状金属の集合体で構成した場合においても、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。

第１の実施例及び第２の実施例では、給電体４を放電容器２１の外面に設けた例を示した。次に、給電体４に放電容器２１を支持する支持機能を備えさせた例として、第３の実施例を説明する。

図４は、第３の実施例の説明図であり、エキシマランプ２の長手方向に対して直交する断面図である。
なお、図４には、図１に示したものと同じものに同一の符号が付されている。

図４の第３の実施例は、給電体に支持機能を備えた点で、図１の第１の実施例と相違する。
図４の第３の実施例の説明として、図１及び２で示した第１の実施例の説明と共通する部分は省略し、図１との相違点について述べる。

給電体４は、一部開口した環状部分４１と、該開口に対向する環状部分４１に設けた台形部分４２とにより構成される。
給電体４は、例えばアルミニウムからなる可撓性を有する金属部材により構成される。この給電体４の肉厚は、例えば０．４ｍｍであり、その巾（放電容器の長手方向に沿った長さ）は例えば１０ｍｍである。

放電容器２１は、可撓性を有する給電体４の開口から挿入され、その環状部分４１で保持される。放電容器２１の一対の外部電極３１，３２にそれぞれ給電体４が導電体５を介して設けられることで、図示しないが、放電容器２１の両端に給電体４が設けられる。これにより、放電容器２１は、一対の給電体４の台形部分４２によって支持される。

このように、第３の実施例に係るエキシマランプ２は、給電体４に支持機能を具備される。この第３の実施例に係るエキシマランプ２は、外部電極３１，３２と給電体４との間に箔状の導電体５が設けられることから、第１の実施例と同様の効果を得ることができる。

なお、第３の実施例における導電体５は、第２の実施例で示した繊維状金属の集合体からなる導電体５であってもかまわない。

上述した第１〜第３の実施例では、単結晶からなる放電容器２１の外面に、導電性ペーストを用いて外部電極３１，３２を設けた場合において、外部電極３１，３２と給電体４との電気的接続を実現するため、繊維状金属の集合体又は箔状の導電体５を設けたものである。
次に、単結晶からなる放電容器２１の外面に、金属部材を用いて外部電極３１，３２を設けた場合において、放電容器２１と外部電極３１，３２との密着を実現するため、繊維状金属の集合体又は箔状の導電体５を設けた例として、第４及び第５の実施例を説明する。

図５は、第４の実施例に係るエキシマランプ２の説明図である。
図５（ａ）はエキシマランプ２の側面図であり、図５（ｂ）は図５（ａ）のＣ−Ｃ断面図であり、図５（ｃ）は図５（ｂ）の点線の丸で囲った部分の拡大図である。
なお、図５には、図１に示したものと同じものに同一の符号が付されている。

図５の第４の実施例は、給電体４を設けない点と、導電体５を設けた位置が外部電極３１，３２と放電容器２１との間である点とで、図１の第１の実施例と相違する。
図５の第４の実施例の説明として、図１との相違点について述べる。

第４の実施例に係るエキシマランプ２は、単結晶からなる放電容器２１と、該放電容器２１の外面に設けた一対の外部電極３１，３２と、該外部電極３１，３２と該放電容器２１との間に設けた箔状の導電体５とにより構成される。

放電容器２１は、例えばサファイア（単結晶Ａｌ_２Ｏ_３）のような単結晶部材により構成されるので、図５（ａ）に示すように、弓形に湾曲した円管状に構成される。また、放電容器２１は、図５（ｂ）に示すようにその外面形状に凹凸を有する。
放電容器２１を構成する単結晶部材には、上述のサファイア以外に、水晶（ＳｉＯ_２），フッ化マグネシウム（ＭｇＦ_２），フッ化カルシウム（ＣａＦ_２），フッ化バリウム（ＢａＦ_２）及びフッ化リチウム（ＬｉＦ）が挙げられ、フッ素イオンの吸収が少ないものが用いられる。

放電容器２１の外面には、一対の外部電極３１，３２が互いに離隔されつつ、二重螺旋構造を形成して設けられる。一対の外部電極３１，３２は、放電容器２１の長手方向に沿って設けられる。
この外部電極３１，３２は、例えばニッケルのような電気伝導性を有する金属部材により構成される。外部電極３１，３２は、その肉厚Ｌ３が例えば０．３ｍｍであり、その巾Ｌ４が例えば２ｍｍである。特に、外部電極３１，３２は、放電容器２１との接触を良好にするため、可撓性を有することが好ましい。

外部電極３１，３２と放電容器２１との間には、導電体５が設けられる。
図５（ｃ）に示すように、箔状の導電体５は、外部電極３１，３２に巻き回される。この導電体５は、例えば溶接などにより外部電極３１，３２に巻き回された状態を維持される。導電体５は、外部電極３１，３２の外面（図５（ｃ）における紙面下側）に溶接されて接合される。図示しないが、外部電極３１，３２は、放電容器２１の外面に設ける前には、導電体５と外部電極３１，３２の内面との間に、隙間６が設けられる。

導電体５が設けられた外部電極３１，３２は、放電容器２１の外面に設けられると、図５（ｃ）に示すように、接合部５１が外部電極３１，３２と導電体５とを接続した状態で、給電体４の内面側（図５（ｃ）における紙面上側）にあった隙間６を側面側（図５（ｃ）における紙面左右側）に逃がしながら、導電体５が撓んだ状態で放電容器２１に接する。

導電体５を構成する部材としては、例えば銅のような電気伝導性を有する部材が挙げられる。導電体５は、その肉厚Ｌ５が例えば０．０３ｍｍの箔状に構成される。特に、導電体５は、放電容器２１との接触を良好にするため、反発性を有することが好ましい。

一方の外部電極３１には、一方の導電体５が設けられ、他方の外部電極３２には、他方の導電体５が設けられる。
一方の外部電極３１又は一方の導電体５と、他方の外部電極３２又は他方の導電体５とには、高周波電源７が接続される。

第４の実施例に係るエキシマランプ２は、ランプ点灯時、一対の外部電極３１，３２間に位置する放電空間２１１では、封入した発光ガスによってエキシマ発光が行なわれる。
発光ガスとして、例えばアルゴン（Ａｒ）と六フッ化硫黄（ＳＦ_６）の場合、これらが電離されて、アルゴンイオンとフッ素イオンを形成し、アルゴン−フッ素からなるエキシマ分子が形成され、１９３ｎｍの波長近傍の光が発光され、放電容器２１から放射される。

単結晶からなる放電容器２１の外面は、図５（ｂ）に示すように、凹凸が形成される。このとき、導電体５を設けずに、放電容器２１の外面に外部電極３１，３２を巻き回して設けただけでは、外部電極３１，３２と放電容器２１外面の凹部分との間に空隙が形成されてしまい、この空隙が電極間の抵抗を高めることになる。電極間に空隙が形成されると、ランプ点灯時に、その部分が不点灯や、光量不足を招くことがある。
そこで、第４の実施例に係るエキシマランプ２は、外部電極３１，３２と放電容器２１との間に箔状の導電体５を設けたことにより、箔状の導電体５が放電容器２１に当接される。これによって、一対の外部電極３１，３２は、電気的に接続された導電体５によって放電容器２１の外面に当接できることから、空隙による電極間の抵抗の発生を抑制することができ、ランプ不点灯や光量不足を抑制することができる。
さらに、第４の実施例においては、導電体５が反発性を有することにより、放電容器２１を押圧するように当接され、空隙による電極間の抵抗を抑制することができる。
特に、第４の実施例に係るエキシマランプにおいては、外部電極３１，３２を可撓性を有する部材で構成したことにより、外部電極３１，３２が放電容器２１を押圧するように設けることができ、導電体５の反発性と相俟って、放電容器２１と導電体５との密着を良好に行なうことができる。

単結晶からなる放電容器２１は、大変高価である。このため、単結晶からなる放電容器２１を再利用したいという要望がある。
このため、第４の実施例に係るエキシマランプ２は、導電体５を設けた外部電極３１，３２を放電容器２１の外面に巻き回して設けたことにより、外部電極３１，３２を放電容器２１の外面から容易に取り外すことができ、放電容器２１の再利用を容易に行なうことができる。

なお、第４の実施例における導電体５は、第２の実施例で示した繊維状金属の集合体からなる導電体５であってもかまわない。

第４の実施例では、外部電極３１，３２を放電容器２１の外面に設けた例を示した。次に、外部電極３１，３２に放電容器２１を支持する支持機能を備えさせた例として、第５の実施例を説明する。

図６は、第５の実施例に係るエキシマランプ２の説明図である。
図６（ａ）はエキシマランプ２の長手方向に沿った断面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）のＤ−Ｄ断面図であり、図６（ｃ）は図６（ｂ）の点線の丸で囲った部分の拡大図である。
なお、図６には、図５に示したものと同じもの同一の符号が付されている。

図６の第５の実施例は、一対のブロック状の外部電極３１，３２で放電容器２１を挟持した点で、図５の第４の実施例と相違する。
図６の第５の実施例の説明として、図５で示した第４の実施例の説明と共通する部分は省略し、図５との相違点について述べる。

外部電極３１，３２は、ブロック状であり、その放電容器２１に対向する面に凹部を有する。
この外部電極３１，３２は、例えばアルミニウムからなる電気伝導性を有する金属部材により構成される。外部電極３１，３２は、高さＬ６が例えば３ｍｍであり、巾Ｌ７が例えば４ｍｍであり、長さＬ８が例えば１００ｍｍである。特に、外部電極３１，３２は、放電容器２１を支持するため、剛性を有することが好ましい。

ブロック状の外部電極３１，３２には、その凹部を覆うように反発性を有する導電体５が設けられる。
この導電体５は、ブロック状の外部電極３１，３２の側壁（図６（ｃ）における紙面左右側）に溶接される。

単結晶からなる放電容器２１の外面は、図５（ｂ）に示すように、凹凸が形成される。このとき、導電体５を設けずに、放電容器２１の外面にブロック状の外部電極３１，３２で挟持しただけでは、外部電極３１，３２と放電容器２１の凹部分との間に空隙が形成されてしまう。さらに、単結晶からなる放電容器２１の外面は、図５（ａ）に示すように、弓形に湾曲されるので、一方の外部電極３１の中央部分と放電容器２１との間に空隙が形成され、他方の外部電極３２の両端部分と放電容器２１との間に空隙が形成される。これらの空隙は、電極間の抵抗を高めることになり、ランプ点灯時に、その部分が不点灯や、光量不足を招くことがある。
そこで、第５の実施例に係るエキシマランプ２は、外部電極３１，３２と放電容器２１との間に箔状の導電体５を設けたことにより、箔状の導電体５が放電容器２１に当接される。これによって、一対の外部電極３１，３２は、電気的に接続された導電体５によって放電容器２１の外面に当接できることから、空隙による電極間の抵抗の発生を抑制することができる。
さらに、第５の実施例においては、導電体５が反発性を有することにより、放電容器２１を押圧するように当接され、空隙による電極間の抵抗の発生を抑制することができる。
特に、第５の実施例に係るエキシマランプにおいては、外部電極３１，３２で放電容器２１を挟持することにより、外部電極３１，３２が放電容器２１を押圧し、導電体５の反発性と相俟って、放電容器２１と導電体５との密着を良好に行なうことができる。

また、第５の実施例に係るエキシマランプ２においては、一対の外部電極３１，３２で挟持することにより、放電容器２１が一対の外部電極３１，３２によって支持される。

単結晶からなる放電容器２１は、大変高価である。このため、単結晶からなる放電容器２１を再利用したいという要望がある。
このため、第５の実施例に係るエキシマランプ２は、導電体５を設けた外部電極３１，３２を放電容器２１の外面に挟持するように設けたことにより、外部電極３１，３２を放電容器２１の外面から容易に取り外すことができ、放電容器２１の再利用を容易に行なうことができる。

なお、第５の実施例における導電体５は、第２の実施例で示した繊維状金属の集合体からなる導電体５であってもかまわない。

第１の実施例に係るエキシマランプの説明図である。第１の実施例に係るエキシマランプの説明図である。第２の実施例に係るエキシマランプの説明図である。第３の実施例に係るエキシマランプの説明図である。第４の実施例に係るエキシマランプの説明図である。第５の実施例に係るエキシマランプの説明図である。従来に係るエキシマランプの説明図である。

符号の説明

２エキシマランプ
２１放電容器
２１１放電空間
２２１一方の蓋
２２２他方の蓋
２３１一方の封止体
２３２他方の封止体
３１一方の外部電極
３２他方の外部電極
４給電体
４１環状部分
４２台形部分
５導電体
５１接合部
６隙間
７高周波電源

Claims

単結晶からなる放電容器と、
該放電容器の外面に設けた一対の外部電極と、
からなるエキシマランプにおいて、
該外部電極に、繊維状金属の集合体又は箔状の導電体を介して給電体が設けられた
ことを特徴とするエキシマランプ。
単結晶からなる放電容器と、
該放電容器の外面に設けた一対の外部電極と、
からなるエキシマランプにおいて、
該外部電極と該放電容器との間に、繊維状金属の集合体又は箔状の導電体が設けられた
ことを特徴とするエキシマランプ。