JP2010018514A - 圧電材料の製造方法、圧電素子および圧電発電機 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電材料として、一般式ABO3で示されるペロブスカイト型酸化物を含み、Aは、ナトリウム(Na)、カリウム(K)、およびリチウム(Li)を含み、Bは、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta),およびアンチモン(Sb)を含む。また、酸化クロムおよび酸化鉄カルシウムのうちの少なくとも1つを含むことができる。上記組成の仮焼成物を得る仮焼成工程と、少なくとも前記仮焼成物を粉砕し、該仮焼成物および酸化銀又は銀からなる第2原料が混合された混合物を得る工程と、前記混合物をドクターブレード法またはエアゾール法により成形して成形物を得る工程と、前記成形物を本焼成する工程と、を含み、前記第2原料を構成する粒子の平均粒径は、前記混合物の平均粒径よりも小さい。
【選択図】なし
Description
一般式ABO3で示されるペロブスカイト型酸化物を含み、
前記Aは、ナトリウム(Na)、カリウム(K)、およびリチウム(Li)を含み、
前記Bは、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、およびアンチモン(Sb)を含む。
鉛(Pb)を含まないことができる。
前記ペロブスカイト型酸化物は、下記式(1)で表されることができる。
(NaxKyLi1-x-y)(NbaTabSb1-a-b)O3 ・・・(1)
酸化マンガン、酸化クロム、および酸化鉄カルシウムのうちの少なくとも1つを含むことができる。
酸化銀および銀のうちの少なくとも一方を含むことができる。
第1原料を仮焼成し、一般式ABO3で示され、前記Aは、ナトリウム(Na)、カリウム(K)、およびリチウム(Li)を含み、前記Bは、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、およびアンチモン(Sb)を含むペロブスカイト型酸化物を含む仮焼成物を得る仮焼成工程と、
少なくとも前記仮焼成物を粉砕し、該仮焼成物および第2原料が混合された混合物を得る工程と、
前記混合物をドクターブレード法またはエアゾール法により成形して成形物を得る工程と、
前記成形物を本焼成する工程と、を含み、
前記第2原料を構成する粒子の平均粒径は、前記混合物の平均粒径よりも小さい。
前記粒子として、酸化銀および銀のうちの少なくとも一方を用いることができる。
前記粒子の平均粒径は、50nm以上150nm以下であり、
前記混合物の平均粒径は、0.1μm以上5μm以下であることができる。
前記仮焼成工程の温度は、850℃以上1150℃以下であることができる。
圧電材料からなる圧電体層と、
前記圧電体層に電気的に接続された1対の電極と、を含み、
前記圧電材料は、一般式ABO3で示されるペロブスカイト型酸化物を含み、
前記Aは、ナトリウム(Na)、カリウム(K)、およびリチウム(Li)を含み、
前記Bは、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、およびアンチモン(Sb)を含む。
前記圧電材料は、酸化銀および銀のうちの少なくとも一方を含むことができる。
圧電発電機として用いられることができる。
(NaxKyLi1-x-y)(NbaTabSb1-a-b)O3 ・・・(1)
(NaxKyLi1-x-y)(NbaTabSb1-a-b)O3+mX+nZ ・・・
(2)
Claims (18)
- 複数の第1原料を混合して得られた第1原料の混合粉末を仮焼成し、ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ、タンタルおよびアンチモンを含むペロブスカイト型酸化物を得る仮焼成工程と、
得られた仮焼成物を粉砕し成形する成形工程と、
得られた成形物を本焼成する本焼成工程と、を備えた圧電材料の製造方法であって、
前記第1原料の混合粉末は、前記第1原料として酸化クロムを含むことを特徴とする圧電材料の製造方法。 - 前記酸化クロムを0.1wt%以上1.0wt%以下含むことを特徴とする請求項1に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記仮焼成物は、前記酸化クロムが固溶していることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧電材料の製造方法。
- 複数の第1原料を混合して得られた第1原料の混合粉末を仮焼成し、ナトリウム、カリウム、リチウム、ニオブ、タンタルおよびアンチモンを含むペロブスカイト型酸化物を得る仮焼成工程と、
得られた仮焼成物を粉砕し成形する成形工程と、
得られた成形物を本焼成する本焼成工程と、を備えた圧電材料の製造方法であって、
前記第1原料の混合粉末は、前記第1原料として酸化鉄カルシウムを含むことを特徴とする圧電材料の製造方法。 - 前記酸化鉄カルシウムを0.1wt%以上1.0wt%以下含むことを特徴とする請求項4に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記仮焼成物は、前記酸化鉄カルシウムが固溶していることを特徴とする請求項4又は5に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記第1原料の混合粉末は、前記第1原料として炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム、酸化ニオブ、酸化タンタル、酸化アンチモンを含むことを特徴とする請求項1乃至6何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記仮焼成の温度は、850℃〜1150℃であることを特徴とする請求項1乃至7何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記仮焼成物を粉砕する際に、前記仮焼成物に平均粒径が50nm以上150nm以下の酸化銀を合わせて粉砕することを特徴とする請求項1乃至8何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記酸化銀の混合量は0.5vol%以上5.0vol%以下であることを特徴とする請求項9に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記仮焼成物を粉砕する際に、前記仮焼成物に平均粒径が50nm以上150nm以下の銀を合わせて粉砕することを特徴とする請求項1乃至8何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記銀の混合量は0.5vol%以上5.0vol%以下であることを特徴とする請求項11に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記成形物の厚みは、10μm〜100μmであることを特徴とする請求項1乃至12何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記成形工程において、エアゾール法にて成形することを特徴とする請求項1乃至13何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記成形工程において、ドクターブレード法にて成形することを特徴とする請求項1乃至14何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 前記仮焼成の温度は、1050℃〜1150℃であることを特徴とする請求項1乃至15何れか一項に記載の圧電材料の製造方法。
- 請求項1乃至16何れか一項に記載の製造方法により製造された圧電材料と、電極と、を備えることを特徴とする圧電素子。
- 請求項17に記載の圧電素子を備えることを特徴とする圧電発電機。
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