JP2008050205A - 圧電材料の製造方法および圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る圧電材料の製造方法は,第1原料を仮焼成し、一般式ABO3で示され、Aは鉛(Pb)を含み、Bはジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物を含む仮焼成物を得る工程と、少なくとも仮焼成物を粉砕し、該仮焼成物および第2原料が混合された混合物を得る工程と、混合物をドクターブレード法またはエアゾール法により成形して成形物を得る工程と、成形物を本焼成する本焼成工程と、を含み、第2原料を構成する粒子の平均粒径は,混合物の平均粒径よりも小さい。
【選択図】図2
Description
第1原料を仮焼成し、一般式ABO3で示され、前記Aは鉛(Pb)を含み、前記Bはジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物を含む仮焼成物を得る工程と、
少なくとも前記仮焼成物を粉砕し、該仮焼成物および第2原料が混合された混合物を得る工程と、
前記混合物をドクターブレード法またはエアゾール法により成形して成形物を得る工程と、
前記成形物を本焼成する本焼成工程と、を含み、
前記第2原料を構成する粒子の平均粒径は、前記混合物の平均粒径よりも小さい。
前記粒子は、前記本焼成工程において、前記ペロブスカイト型酸化物と反応しないことができる。
前記粒子の融点は、前記本焼成工程の温度よりも高いことができる。
前記粒子として、金属酸化物を用いることができる。
前記金属酸化物は、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、および酸化ジルコニウムのうちの少なくとも1つであることができる。
前記粒子の平均粒径は、50nm以上200nm以下であり、
前記混合物の平均粒径は、0.1μm以上5μm以下であることができる。
圧電材料からなる圧電体層と、
前記圧電体層に電気的に接続された1対の電極と、を含み、
前記圧電材料は、
一般式ABO3で示され、前記Aは、鉛(Pb)を含み、前記Bは、ジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物からなるセラミックス粒子と、
前記セラミックス粒子の粒界に存在する粒子と、を含む。
前記粒子は、金属酸化物からなることができる。
前記金属酸化物は、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、および酸化ジルコニウムのうちの少なくとも1つからなることができる。
圧電発電機として用いられることができる。
Pb(ZrxTiyNb1−x−y)O3+mMnCO3+nZ ・・・(1)
Claims (10)
- 第1原料を仮焼成し、一般式ABO3で示され、前記Aは鉛(Pb)を含み、前記Bはジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物を含む仮焼成物を得る工程と、
少なくとも前記仮焼成物を粉砕し、該仮焼成物および第2原料が混合された混合物を得る工程と、
前記混合物をドクターブレード法またはエアゾール法により成形して成形物を得る工程と、
前記成形物を本焼成する本焼成工程と、を含み、
前記第2原料を構成する粒子の平均粒径は、前記混合物の平均粒径よりも小さい、圧電材料の製造方法。 - 請求項1において、
前記粒子は、前記本焼成工程において、前記ペロブスカイト型酸化物と反応しない、圧電材料の製造方法。 - 請求項1または2において、
前記粒子の融点は、前記本焼成工程の温度よりも高い、圧電材料の製造方法。 - 請求項1乃至3のいずれかにおいて、
前記粒子として、金属酸化物を用いる、圧電材料の製造方法。 - 請求項4において、
前記金属酸化物は、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、および酸化ジルコニウムのうちの少なくとも1つである、圧電材料の製造方法。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記粒子の平均粒径は、50nm以上200nm以下であり、
前記混合物の平均粒径は、0.1μm以上5μm以下である、圧電材料の製造方法。 - 圧電材料からなる圧電体層と、
前記圧電体層に電気的に接続された1対の電極と、を含み、
前記圧電材料は、
一般式ABO3で示され、前記Aは、鉛(Pb)を含み、前記Bは、ジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物からなるセラミックス粒子と、
前記セラミックス粒子の粒界に存在する粒子と、を含む、圧電素子。 - 請求項7において、
前記粒子は、金属酸化物からなる、圧電素子。 - 請求項8において、
前記金属酸化物は、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、および酸化ジルコニウムのうちの少なくとも1つからなる、圧電素子。 - 請求項7乃至9のいずれかにおいて、
圧電発電機として用いられる、圧電素子。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008050206A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Seiko Epson Corp | 圧電材料およびその製造方法、並びに、圧電素子 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06224486A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Toyota Motor Corp | 圧電セラミックスの分極方法 |
JP2000211968A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Fine Ceramics Gijutsu Kenkyu Kumiai | 高耐久性圧電複合セラミックス及びその製法 |
JP2002060269A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電磁器材料、圧電磁器焼結体および圧電磁器素子 |
JP2006216578A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Ricoh Co Ltd | 圧電発電素子 |
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2006
- 2006-08-24 JP JP2006228076A patent/JP2008050205A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06224486A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Toyota Motor Corp | 圧電セラミックスの分極方法 |
JP2000211968A (ja) * | 1999-01-22 | 2000-08-02 | Fine Ceramics Gijutsu Kenkyu Kumiai | 高耐久性圧電複合セラミックス及びその製法 |
JP2002060269A (ja) * | 2000-08-18 | 2002-02-26 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電磁器材料、圧電磁器焼結体および圧電磁器素子 |
JP2006216578A (ja) * | 2005-02-01 | 2006-08-17 | Ricoh Co Ltd | 圧電発電素子 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008050206A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-03-06 | Seiko Epson Corp | 圧電材料およびその製造方法、並びに、圧電素子 |
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