JP2010016239A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】封止層の厚みを均一にする半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】第一のマスクを用いて半導体チップ700を液状光硬化樹脂806で覆った後、液状光硬化樹脂806で覆われた状態の半導体チップ700の上からさらに、印刷法により液状熱硬化樹脂706を第二のマスク704の開口部709に充填することによって、半導体チップ700を封止する。これにより、第二のマスク704の開口部709における液状熱硬化樹脂706の充填むらが低減され、封止層の厚みの均一化を実現できる。
【選択図】図2

Description

本発明は、半導体装置の製造方法に関する。
従来、半導体チップを封止する方法として、例えば、半導体チップを搭載した配線基板上に、半導体チップを内側に配置可能な開口部を設けたマスクを重ね、このマスクの上面に供給する液状の熱硬化樹脂をスキージで刷って開口部内に充填し封止する、印刷封止法が知られている。この印刷封止法は、複数の半導体チップを配列して搭載した配線基板を一括封止するのに適している。
しかしながら、複数の半導体チップを一括封止した場合、液状熱硬化樹脂に、その粘度によっては、スキージ移動方向に引きずられる力が働く場合があった。このため、スキージ開始のマスク開口部端面では充填量が減少して樹脂厚が薄くなり、スキージ終了のマスク開口部端面には充填量が多くなり樹脂厚が厚くなる。また、マスク開口部内側の半導体チップ、金(Au)ワイヤーが液状熱硬化樹脂の流動に対して抵抗として働く場合があった。このため、半導体チップ、Auワイヤー部は充填量が多くなり樹脂厚が厚く、それ以外の領域は、樹脂厚が薄くなる。すなわち半導体装置同士において、また半導体装置それぞれにおいて封止層の厚みが不均一になるという問題があった。
封止層の厚みを均一にする技術として、特許文献1には、スキージの移動方向における半導体チップの存在区間でその他の区間よりも厚みが小さくなるようにマスク厚を調整したマスクを用いることが記載されている。また、これに関連する技術として特許文献2乃至4が挙げられる。
特開2005−167100号公報 特開2005−183807号公報 特開平11−040588号公報 特開2001−267341号公報
しかしながら、上記特許文献1乃至4で説明した技術では、半導体チップ表面の凹凸または半導体チップ自体が封止樹脂の流動の抵抗となるため、封止層の厚みをより均一にするのにさらなる改善の余地があった。
本発明による半導体装置の製造方法は、
基板上に搭載された複数の半導体チップの封止位置に対応した部分に開口部を備えるマスクを用い、印刷法により前記開口部内に封止樹脂を充填して、前記半導体チップを一括封止する半導体装置の製造方法であって、
第一のマスクの開口部に第一の樹脂を充填して、前記半導体チップを覆う工程と、
前記第一の樹脂を硬化させる工程と、
第二のマスクの開口部に第二の樹脂を充填して、前記第一の樹脂に覆われた前記半導体チップを一括封止して、表面全体が平坦な封止層を形成する工程と、
を含むことを特徴とする。
この半導体装置の製造方法においては、第一のマスクを用いて半導体チップを第一の樹脂で覆った後、第一の樹脂で覆われた状態の半導体チップの上からさらに、印刷法により第二の樹脂を第二のマスクの開口部に充填することによって、半導体チップを封止する。
すなわち、半導体チップを第一の樹脂で覆うことにより、半導体チップ表面の凹凸や半導体チップによる基板上の凹凸が低減されることとなり、その後の印刷法による第二の樹脂の充填の際に、半導体チップによる抵抗が抑えられる。これにより、マスクの開口部における第二の樹脂の充填むらが低減され、半導体装置の封止層の厚みの均一化が実現できる。
本発明によれば、封止層の厚みを均一にするのに適した半導体装置の製造方法が実現される。
以下、図面を参照しつつ、本発明による半導体装置の製造方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1実施形態)
図1(a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。図2(a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。図3は、本発明による半導体装置の製造方法の第1実施形態を示す断面図である。
本発明による半導体装置の製造方法は、配線基板702上に搭載された複数の半導体チップ700(半導体素子)の封止位置に対応した部分に開口部709を備える(第二の)マスク704を用い、印刷法により開口部709内に液状熱硬化樹脂706を充填して、半導体チップ700を一括封止する。
まず、図1(a)に示すように、ステージ703上に配線基板702を準備する。配線基板702上に搭載された複数の半導体チップ700は、ワイヤー701により配線基板702と接続されている。続けて、配線基板702上に(第一の)マスク804を配置する。
次に、(第一の)マスク804の上面の一部に液状光硬化樹脂806(第一の樹脂)を塗布した後、液状光硬化樹脂806をスキージ705により図1(a)の矢印の方向に刷って、(第一の)マスク804の開口部809に液状光硬化樹脂806を充填する。
すなわち、スキージ705が(第一の)マスク804の上面に沿って摺動することにより、液状光硬化樹脂806が開口部809内に充填される(図1(b))。これにより、半導体チップ700が液状光硬化樹脂806に覆われる。
半導体チップ700の被覆は、全面被覆だけでなく部分被覆であってもよい。
その後、図1(c)に示すように、(第一の)マスク804を取り外し、レーザー光807を照射して、液状光硬化樹脂806を硬化させる。
硬化された液状光硬化樹脂806は、完全硬化または半硬化であってもよい。
次に、図2(a)に示すように、配線基板702上に(第二の)マスク704を配置する。
(第二の)マスク704の上面の一部に液状熱硬化樹脂706を塗布した後、液状熱硬化樹脂706をスキージ705により図2(a)の矢印の方向に刷って、(第二の)マスク704の開口部709に液状熱硬化樹脂706を充填する。
すなわち、スキージ705が(第二の)マスク704の上面に沿って摺動することにより、液状熱硬化樹脂706が開口部709内に充填される(図2(b))。これにより、液状熱硬化樹脂706に覆われた半導体チップ700が一括封止され、表面全体が平坦な封止層が形成される。一括封止により、複数の半導体チップ700の封止ができる。
その後、(第二の)マスク704を取り外し、高温炉を用いて、液状熱硬化樹脂706を熱により硬化させる。
続けて、図2(c)に示すように、各個片分離境界線707に沿って、配線基板702をダイシングして個片化することによって、半導体装置710が得られる(図3)。図3に示すように、半導体装置710の側面全体が、液状熱硬化樹脂706により覆われている。
(第二の)マスク704、(第一の)マスク804について説明する。
図4(a)、(b)は、本発明による半導体装置の製造方法で用いられるマスクを模式的に示した平面図である。図4(a)中、X,Yは、(第一の)マスク804の開口部809の形成領域の長さ、図4(b)中、X,Yは、(第二の)マスク704の開口部709の形成領域の長さを示している。
(第二の)マスク704の開口部709は、平面視において、(第一の)マスク804の開口部809を包囲し(図4)、かつ、(第二の)マスク704の高さが、(第一の)マスク804の高さよりも高い(図1、図2)。すなわち、図4に示すように、平面視において、X<X、Y<Yとなる。たとえば、X,YはいずれもX,Yよりも1mmずつ大きく、また、(第二の)マスク704よりも(第一の)マスク804の高さが1mm低い。なお、マスクの高さとは、いずれも、マスクの開口部周縁部の高さをいう。
また、図4(a)に示すように、(第一の)マスク804は、平面視において複数の開口部809が格子状に配置されている。複数の開口部809はそれぞれ、複数の半導体チップ700それぞれに対応する位置に形成される。このような(第一の)マスク804を用いることにより、半導体チップ700を覆う液状光硬化樹脂806が、配線基板702上に格子状に平面配置される。たとえば、開口部809は2mm間隔で形成される。
このような(第一の)マスク804を用いることにより、液状光硬化樹脂806で覆われた各半導体チップ700の間に、液状熱硬化樹脂706が充填できる。これにより、図3に示すように、半導体装置710の側面全体が、液状熱硬化樹脂706により覆われる。すなわち、半導体装置710の上面および側面全体が、光を透過しない液状熱硬化樹脂706に覆われることにより、半導体チップ700に光が到達するのを防ぐことができる。
なお、(第二の)マスク704、(第一の)マスク804の寸法は、液状熱硬化樹脂706、液状光硬化樹脂806の粘度に応じて調整される。
液状光硬化樹脂806としては、光または、光および熱によって硬化する樹脂が用いられる。光によって硬化させることにより、硬化時間が短縮できる。
液状熱硬化樹脂706としては、熱によって硬化する樹脂が用いられる。これにより、半導体チップ700を封止できる。
本実施形態の効果を説明する。
本実施形態の半導体装置の製造方法においては、(第一の)マスク804を用いて半導体チップ700を液状光硬化樹脂806で覆った後、液状光硬化樹脂806で覆われた状態の半導体チップ700の上からさらに、印刷法により液状熱硬化樹脂706を第二のマスクの開口部709に充填することによって、半導体チップ700を封止する。
すなわち、半導体チップ700を液状光硬化樹脂806で覆うことにより、半導体チップ700表面の凹凸や半導体チップ700による配線基板702上の凹凸が低減されることとなり、その後の印刷法による液状熱硬化樹脂706の充填の際に、半導体チップ700による抵抗が抑えられる。これにより、第二のマスクの開口部709における液状熱硬化樹脂706の充填むらが低減され、半導体装置710の封止層の厚みの均一化が実現できる。
また、本発明によれば、液状光硬化樹脂806を光により硬化させているため、硬化時間が短縮でき、半導体装置710の製造をより効率的にできる。なお、液状光硬化樹脂806は、光を透過する性質を有するため、半導体チップ700に光が到達しないよう光を透過しない液状熱硬化樹脂706で封止しなければならない。このため、図3に示すように、半導体装置710の上面および側面全体が液状熱硬化樹脂706で覆われる。
また、本実施形態の半導体チップ700は、複数のワイヤー701により配線基板702と接続されているため、印刷法による液状熱硬化樹脂706の充填の際に、ワイヤー701による抵抗も生じる。しかしながら、本発明の半導体装置の製造方法によれば、ワイヤー701による抵抗も低減できる。
また、上記特許文献1乃至4に開示された技術では、マスクの断面形状を加工することによって封止層の厚みの均一化を図るため、マスクの精密加工を要する。また、用いられる封止樹脂の粘度に応じて、マスクの加工寸法を微調整してマスクを作り変えなければならなかった。これらのことは、半導体装置の製造コストの増大につながるといった問題があった。これに対し、本発明の半導体装置の製造方法によれば、(第二の)マスク704、(第一の)マスク804を精密加工することなく、封止を行うことができるため、半導体装置の製造コストの増大を抑制できる。
また、封止層を平坦化するために、粘度の低い封止用樹脂を使用した場合、マスク開口部周縁部に樹脂ダレが生じ、この樹脂ダレによって樹脂領域の縦横寸法が設計値通りにならないといった問題があった。しかしながら、本発明によれば、粘度の低い樹脂を用いなくても、封止層の平坦化が実現できる。
また、封止層の表面に凹凸が生じると、封止された半導体装置を搬送する際に、搬送器具と封止層の表面との吸着がうまくいかないことがあったが、本発明によれば、封止層の表面が平坦であるため、搬送器具と封止層の表面とが吸着し、搬送が可能となる。
本発明による半導体装置およびその製造方法は、上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
図5(a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の変形例を示す工程断面図である。上記図1(a)〜図1(c)においては、レーザー光807を照射して、液状光硬化樹脂806を硬化させたのに対し、図5(a)〜図5(c)においては、紫外線光808を照射して液状光硬化樹脂806を硬化させており、それ以外は同様である。図5(c)に示すように、液状光硬化樹脂806は紫外線光808の照射により硬化されてもよい。
また、図6(a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の変形例を示す工程断面図である。上記図2(a)〜図2(c)は(第二の)マスク704を用いた例について示したのに対し、図6(a)〜図6(c)は(第二の)マスク714を用いた例について示しており、それ以外は同様である。
図6(c)に示すように、格子状に配置された液状熱硬化樹脂706(第一の樹脂)の上にさらに、液状光硬化樹脂806(第二の樹脂)が格子状に平面配置されてもよい。この場合、用いられる(第二の)マスク714は、平面視において複数の開口部719が格子状に配置されている。また、(第二の)マスク714の複数の開口部719はそれぞれ、平面視において、(第一の)マスク804の複数の開口部809をそれぞれ包囲し、かつ、(第二の)マスク714の高さが、(第一の)マスク804の高さよりも高くなっている。すなわち、開口部719,809は封止位置に対応するように格子状に配置され、一の封止位置に対応する開口部719は、それに対応する開口部809を平面視において包囲している。
また、第一の樹脂として液状光硬化樹脂806を充填した後に液状熱硬化樹脂706を充填して封止する例について示したが、第一の樹脂として液状熱硬化樹脂706を充填した後さらに液状熱硬化樹脂706を充填して封止してもよい。
また、上記実施形態においては、ワイヤーボンディングを用いた半導体装置について説明したが、これに限られず、フリップチップ式を用いた半導体装置でもよい。
(a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。 (a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の一例を示す工程断面図である。 本発明による半導体装置の第1実施形態を示す断面図である。 (a)、(b)は、本発明による半導体装置の製造方法で用いられるマスクを模式的に示した平面図である。 (a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の変形例を示す工程断面図である。 (a)〜(c)は、本発明による半導体装置の製造方法の変形例を示す工程断面図である。
符号の説明
700 半導体チップ
701 ワイヤー
702 配線基板
703 ステージ
704 マスク
705 スキージ
706 液状熱硬化樹脂
707 各個片分離境界線
709 開口部
710 半導体装置
714 マスク
719 開口部
804 マスク
806 液状光硬化樹脂
807 レーザー光
808 紫外線光
809 開口部
(第一の)マスク804の開口部形成領域の縦方向の長さ
(第一の)マスク804の開口部形成領域の横方向の長さ
(第二の)マスク704の開口部形成領域の縦方向の長さ
(第二の)マスク704の開口部形成領域の横方向の長さ

Claims (11)

  1. 基板上に搭載された複数の半導体チップの封止位置に対応した部分に開口部を備えるマスクを用い、印刷法により前記開口部内に封止樹脂を充填して、前記半導体チップを一括封止する半導体装置の製造方法であって、
    第一のマスクの開口部に第一の樹脂を充填して、前記半導体チップを覆う工程と、
    前記第一の樹脂を硬化させる工程と、
    第二のマスクの開口部に第二の樹脂を充填して、前記第一の樹脂に覆われた前記半導体チップを一括封止して、表面全体が平坦な封止層を形成する工程と、
    を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  2. 請求項1に記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記第二のマスクの前記開口部は、平面視において、前記第一のマスクの前記開口部を包囲し、かつ、前記第二のマスクの高さが、前記第一のマスクの高さよりも高いことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  3. 請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記半導体チップを覆う前記第一の樹脂が、前記基板上に格子状に平面配置されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  4. 請求項1乃至3いずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記第一のマスクは、平面視において複数の前記開口部が格子状に配置されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  5. 請求項3または4に記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記第一の樹脂を光により硬化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  6. 請求項5に記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記第一の樹脂を紫外線光またはレーザー光により硬化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  7. 請求項1乃至6いずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記第二の樹脂を熱により硬化させて封止層を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
  8. 請求項1乃至7いずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
    封止層を形成する前記工程の後に、
    前記基板をダイシングして個片化する工程と、
    を含み、
    前記半導体装置の側面全体が、前記第二の樹脂により覆われていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  9. 請求項3乃至8いずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記第一の樹脂を覆う前記第二の樹脂が、前記基板上に格子状に平面配置されることを特徴とする半導体装置の製造方法。
  10. 請求項4乃至9いずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記第二のマスクは、平面視において複数の前記開口部が格子状に配置され、
    前記第二のマスクの複数の前記開口部はそれぞれ、平面視において、前記第一のマスクの複数の前記開口部をそれぞれ包囲し、かつ、前記第二のマスクの高さが、前記第一のマスクの高さよりも高いことを特徴とする半導体装置の製造方法。
  11. 請求項1乃至10いずれかに記載の半導体装置の製造方法であって、
    前記半導体チップは、ワイヤーにより前記基板と接続されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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