JP2010015770A - 透明導電膜の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明導電膜の製造方法は、導電性微粒子及び分散剤を含む分散液の膜を基板上に形成する第1工程と、少なくとも大気より低酸素雰囲気で前記膜に含まれる液体成分を低減する第2工程と、膜に紫外光を照射する第3工程と、少なくとも大気より低酸素雰囲気で前記膜を加熱する第4工程と、酸素雰囲気で前記膜を加熱する第5工程とを含む。
【選択図】図1
Description
導電性微粒子として、粒径約20nmのIn−Snナノ粒子を含有する分散液をガラス基板に塗布する塗布工程の後、100Paの減圧雰囲気で10分間乾燥する乾燥工程を実行し、その後、大気雰囲気中で波長172nmの紫外光を膜に照射するUV照射工程を行った。UV照射工程では、光源と膜との距離を0.8mm、照射時間を300秒とした。その後、4Paの窒素ガス雰囲気で230℃で1時間加熱する第1加熱工程を実行し、その後、大気雰囲気で230℃で1時間加熱する第2加熱工程を実行した。
導電性微粒子として、粒径約20nmのIn−Snナノ粒子を含有する分散液をガラス基板に塗布する塗布工程の後、4Paの減圧雰囲気で230℃で1時間加熱する工程を実行し、その後、大気雰囲気で230℃で1時間加熱する工程を実行した。
比較例で得られた透明導電膜の比抵抗は、10mΩ・cmであった。一方、本願発明に係る実験例で得られた透明導電膜の比抵抗は、1mΩ・cmであった。このように、本願発明においては、低抵抗な透明導電膜を得ることができた。また、膜の密度は、実験例に係る膜のほうが、比較例に係る膜より、約2倍であった。
Claims (4)
- 導電性微粒子及び分散剤を含む分散液の膜を基板上に形成する第1工程と、
少なくとも大気より低酸素雰囲気で前記膜に含まれる液体成分を低減する第2工程と、
前記膜に紫外光を照射する第3工程と、
少なくとも大気より低酸素雰囲気で前記膜を加熱する第4工程と、
酸素雰囲気で前記膜を加熱する第5工程と、を含む透明導電膜の製造方法。 - 前記第3工程で、前記膜中の前記分散剤の分子量が小さくなる請求項1記載の製造方法。
- 前記第5工程で、前記分散剤が酸化される請求項1又は2記載の製造方法。
- 前記分散剤は、有機物を含む請求項1〜3のいずれか一項記載の製造方法。
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