JP2010014808A - 液膜光学装置、液膜光学デバイス、液膜撮像デバイス及び液膜光源デバイス - Google Patents
液膜光学装置、液膜光学デバイス、液膜撮像デバイス及び液膜光源デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010014808A JP2010014808A JP2008172553A JP2008172553A JP2010014808A JP 2010014808 A JP2010014808 A JP 2010014808A JP 2008172553 A JP2008172553 A JP 2008172553A JP 2008172553 A JP2008172553 A JP 2008172553A JP 2010014808 A JP2010014808 A JP 2010014808A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid film
- temperature
- optical device
- liquid
- film optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】 本発明の液膜光学装置は、雰囲気中又は密閉空間中の液膜材料を凝集するために、気体との界面を有する液膜を形成する液膜形成エリアの温度を可変する温度可変手段と、該温度可変手段の温度を制御する温度制御手段とを有している。
【選択図】 図1
Description
100,200,300,400,500,600,700,800,900,1000,1100;液膜光学デバイス、
101;ガラス基板、102,202;液膜形成エリア、
103;液膜形成管、104;P型半導体、105;N型半導体、
106;放熱器、107;冷却器、108,208;熱電交換器、
109,209;電力供給線、120;液膜、201;基板、
202;空洞部、203;液膜支持層、204;P型半導体膜、
205;N型半導体膜、206;放熱膜、207;冷却膜、
210;液膜形成管壁、211;検出用電極、
212,214;検出信号線、213;検出器、
215;液膜部材供給排出路、216;伸縮層、217;静電電極膜、
219;透明基材、220;通気流路、221;圧電膜ポンプ、
222;レーザダイオード、223;イメージセンサ、
224;発光ダイオード、1200;液膜撮像デバイス、
1300;液膜光源デバイス。
Claims (35)
- 雰囲気中又は密閉空間中の液膜材料を凝集するために、気体との界面を有する液膜を形成する液膜形成エリアの温度を可変する温度可変手段と、該温度可変手段の温度を制御する温度制御手段とを有することを特徴とする液膜光学装置。
- 気体との界面を有し、かつイオン液体材料からなる液膜を形成した液膜形成エリアの温度を可変する温度可変手段と、該温度可変手段の温度を制御する温度制御手段とを有することを特徴とする液膜光学装置。
- 前記温度制御手段によって前記温度可変手段の温度を制御して前記液膜形成エリアに形成された液膜を保持することを特徴とする請求項1又は2に記載の液膜光学装置。
- 前記温度制御手段によって前記温度可変手段の温度を制御して前記液膜形成エリアに形成された液膜の形状を可変することを特徴とする請求項1又は2に記載の液膜光学装置。
- 所定の液膜材料を雰囲気中若しくは密閉空間中に供給、又は雰囲気中若しくは密閉空間中の液膜材料を排出、の少なくともいずれかを行う液膜材料供給排出路を設けることを特徴とする請求項1記載の液膜光学装置。
- 前記イオン液体材料を前記液膜形成エリアに供給し、又は前記液膜形成エリアから前記イオン液体材料を排出する液膜材料供給排出路を設けることを特徴とする請求項2記載の液膜光学装置。
- 前記温度可変手段は熱電変換器又はヒートパイプであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 前記温度可変手段を前記液膜形成エリアに集合配置することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 液膜を形成する箇所に前記温度可変手段を個別に配置することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 前記温度可変手段を平坦状に配置することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 前記温度可変手段を、角柱面、角錐面、円柱面、円錐面、ボビン型面、中絞り型面又は自由曲面の面上に集合配置することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 前記温度可変手段及び前記温度制御手段を多段に設け、各段毎の前記各温度制御手段によって前記温度可変手段のそれぞれの温度を制御して、形成された液膜の形状及び位置を制御することを特徴とする請求項1〜11のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 雰囲気中又は密閉空間中の気体の温度及び密度を測定する測定器を設け、該測定器によって測定した雰囲気中又は密閉空間中の気体の温度及び密度に基づいて、前記温度制御手段は前記温度可変手段の温度を制御することを特徴とする請求項1、3〜5、7〜12のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 前記イオン液体材料の温度及び密度を測定する測定器を設け、該測定器によって測定した前記イオン液体材料の気体の温度及び密度に基づいて、前記温度制御手段は前記温度可変手段の温度を制御することを特徴とする請求項2〜4、6〜12のいずれか1項に記載の液膜光学装置。
- 基板の空洞部の上に配置した液膜支持層と、雰囲気中又は密閉空間中の液膜材料を凝集するために、前記液膜支持層上であって気体との界面を有する液膜を形成する液膜形成エリアの温度を可変する温度可変パターンを有する温度可変パターン層とを少なくとも積層することを特徴とする液膜光学デバイス。
- 基板の空洞部の上に配置した液膜支持層と、イオン液体材料である液膜を形成する液膜形成エリアの温度を調整する温度可変パターンを有する温度可変パターン層とを少なくとも積層することを特徴とする液膜光学デバイス。
- 前記温度可変パターンを円環に配置させ、あるいは対向させて配置させ、円環の内側又は対向間に前記液膜形成エリアを設けることを特徴とする請求項15又は16に記載の液膜光学デバイス。
- 同一基板上に複数個の前記空洞部を設け、前記各空洞部の上に設けられた前記各液膜支持層に前記各温度可変パターン層をそれぞれ積層したことを特徴とする請求項15〜17のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 複合基板に複数個の前記空洞部を設け、前記各空洞部の上に設けられた前記各液膜支持層に前記各温度可変パターン層をそれぞれ積層したことを特徴とする請求項15〜17のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 前記液膜形成エリアを構成する壁面に反射膜を設け、前記液膜形成エリアに形成された液膜に入射した光が液膜の液面で屈折し、屈折した光が液膜内を通過し、通過した光が前記反射膜によって反射されながら液膜の液面から屈折して出射することを特徴とする請求項15〜19のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 前記液膜支持層を変位させる変位手段を設け、該変位手段によって前記液膜支持層を変位させて液膜の形状を変化させることを特徴とする請求項15又は16に記載の液膜光学デバイス。
- 基板と前記液膜支持層の間に、伸縮部材としての前記変位手段を設け、当該変位手段によって前記液膜支持層を変位させて液膜の形状を変化させることを特徴とする請求項21記載の液膜光学デバイス。
- 前記変位手段は、前記液膜支持層に設けられた第1の静電電極膜と、前記空洞部を挟んで前記液膜支持層に対向する基板側に設けられた第2の静電電極膜との間に働くクーロン力によって前記液膜支持層を変位させて液膜の形状を変化させることを特徴とする請求項21記載の液膜光学デバイス。
- 前記変位手段は、密閉化された前記空洞部の気圧を変化させて液膜の形状を変化させることを特徴とする請求項21記載の液膜光学デバイス。
- 前記液膜形成エリアに液膜材料で液膜を形成し、形成した液膜上に更に当該液膜と異なる液膜材料で別の液膜を形成することを特徴とする請求項15〜24のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 液膜を境界として存在する気体の差圧によって液膜の形状や位置を制御することを特徴とする請求項15〜25のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 液膜を境界として存在する気体に水素又はヘリウムを混合することを特徴とする請求項26記載の液膜光学デバイス。
- 透明の前記液膜支持層と前記温度可変パターン層とを積層した液膜光学デバイスを重ねて構成することを特徴とする請求項15〜27のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 前記液膜形成エリアが同一方向に設けられるように複数の液膜光学デバイスを重ねて構成することを特徴とする請求項15〜27のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 互いの前記液膜支持層が対向するように複数の液膜光学デバイスを重ねて構成することを特徴とする請求項15〜27のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 互いの前記液膜形成エリアが対向するように複数の液膜光学デバイスを重ねて構成することを特徴とする請求項15〜27のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 前記液膜支持層及び前記温度可変パターン層は、基板面に対して平行に光路を形成するために基板上に起立させて設けられていることを特徴とする請求項15〜31のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 液膜に入射する入射光の特性値又は液膜の物性値を測定する検出器となる電極を前記液膜形成エリアに形成することを特徴とする請求項15〜32のいずれか1項に記載の液膜光学デバイス。
- 請求項15〜33のいずれか1項に記載の液膜光学デバイスと、イメージセンサデバイスとを複合させて構成することを特徴とする液膜撮像デバイス。
- 請求項15〜33のいずれか1項に記載の液膜光学デバイスと、発光デバイスとを複合させて構成することを特徴とする液膜光源デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008172553A JP5360530B2 (ja) | 2008-07-01 | 2008-07-01 | 液膜光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008172553A JP5360530B2 (ja) | 2008-07-01 | 2008-07-01 | 液膜光学装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010014808A true JP2010014808A (ja) | 2010-01-21 |
JP5360530B2 JP5360530B2 (ja) | 2013-12-04 |
Family
ID=41701002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008172553A Expired - Fee Related JP5360530B2 (ja) | 2008-07-01 | 2008-07-01 | 液膜光学装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5360530B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011128995A1 (ja) * | 2010-04-14 | 2011-10-20 | トヨタ自動車株式会社 | 光学素子、光学素子アレイ、及び光学素子の製造方法 |
WO2011136012A1 (ja) | 2010-04-28 | 2011-11-03 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 液浸溶液 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005349365A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Honda Electronic Co Ltd | 液体回収装置及び液体分溜装置 |
JP2005351971A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Casio Comput Co Ltd | レンズ装置 |
JP2008089752A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Sony Corp | エレクトロウエッティング装置とこれを用いた可変焦点レンズ、光ピックアップ装置、光記録再生装置、液滴操作装置、光学素子、ズームレンズ、撮像装置、光変調装置及び表示装置 |
JP2008521224A (ja) * | 2004-11-18 | 2008-06-19 | カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ |
JP2009276530A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Ricoh Co Ltd | 液滴光学装置、液滴光学デバイス、液滴撮像デバイス及び液滴光源デバイス |
-
2008
- 2008-07-01 JP JP2008172553A patent/JP5360530B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005351971A (ja) * | 2004-06-08 | 2005-12-22 | Casio Comput Co Ltd | レンズ装置 |
JP2005349365A (ja) * | 2004-06-14 | 2005-12-22 | Honda Electronic Co Ltd | 液体回収装置及び液体分溜装置 |
JP2008521224A (ja) * | 2004-11-18 | 2008-06-19 | カール・ツアイス・エスエムテイ・アーゲー | マイクロリソグラフィ投影露光装置の投影対物レンズ |
JP2008089752A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Sony Corp | エレクトロウエッティング装置とこれを用いた可変焦点レンズ、光ピックアップ装置、光記録再生装置、液滴操作装置、光学素子、ズームレンズ、撮像装置、光変調装置及び表示装置 |
JP2009276530A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Ricoh Co Ltd | 液滴光学装置、液滴光学デバイス、液滴撮像デバイス及び液滴光源デバイス |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011128995A1 (ja) * | 2010-04-14 | 2011-10-20 | トヨタ自動車株式会社 | 光学素子、光学素子アレイ、及び光学素子の製造方法 |
CN102301258A (zh) * | 2010-04-14 | 2011-12-28 | 丰田自动车株式会社 | 光学元件、光学元件阵列、以及光学元件的制造方法 |
JP5257510B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2013-08-07 | トヨタ自動車株式会社 | 光学素子、光学素子アレイ、及び光学素子の製造方法 |
CN102301258B (zh) * | 2010-04-14 | 2013-12-04 | 丰田自动车株式会社 | 光学元件、光学元件阵列、以及光学元件的制造方法 |
KR101351157B1 (ko) | 2010-04-14 | 2014-01-14 | 도요타 지도샤(주) | 광학 소자 및 광학 소자 어레이 |
US8649104B2 (en) | 2010-04-14 | 2014-02-11 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Optical element, optical element array, and method of manufacturing optical element |
DE112010005483B4 (de) * | 2010-04-14 | 2015-08-20 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Verfahren zur Herstellung eines optischen Elements |
WO2011136012A1 (ja) | 2010-04-28 | 2011-11-03 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 液浸溶液 |
US8343769B2 (en) | 2010-04-28 | 2013-01-01 | Olympus Medical Systems Corp. | Immersion solution for microscope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5360530B2 (ja) | 2013-12-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11009673B2 (en) | Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same | |
JP5883600B2 (ja) | 応答時間の速い作動によって膜を変形できる膜デバイス | |
US11209607B2 (en) | Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same | |
TWI451202B (zh) | 可控光學元件及具有熱致動器之光學元件之操作方法及半導體微影技術之投影曝光裝置 | |
JP5541156B2 (ja) | アクチュエータアレイシート | |
TWI595672B (zh) | 光學組件陣列、其成像系統、及控制一光學組件陣列之曲率的方法 | |
CN111965742B (zh) | 一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜及制备方法 | |
EP2313798B1 (en) | A method and arrangement for reducing thermal effects in compact adjustable optical lenses | |
US20040147056A1 (en) | Micro-fabricated device and method of making | |
US8933860B2 (en) | Active cooling of high speed seeker missile domes and radomes | |
JP5227997B2 (ja) | 光線束を案内するためのミラー | |
JP5305128B2 (ja) | 液滴光学装置 | |
US10571646B2 (en) | Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same | |
Grimaldi et al. | Graded-size microlens array by the pyro-electrohydrodynamic continuous printing method | |
JP5360530B2 (ja) | 液膜光学装置 | |
JP5201458B2 (ja) | 液滴光学装置、液滴撮像装置及び液滴光源装置 | |
Wang et al. | Capillary number encouraged the construction of smart biomimetic eyes | |
US10359596B2 (en) | Optical structure with ridges arranged at the same and method for producing the same | |
US8007695B2 (en) | Method of fabricating small dimensioned lens elements and lens arrays using surface tension effects | |
Wang et al. | Compact variable-focusing microlens with integrated thermal actuator and sensor | |
US9939559B2 (en) | Optical device with deformable membrane | |
CN109143425B (zh) | 一种用于采集光场影像的微透镜阵列结构 | |
Pätz et al. | Imaging systems with aspherically tunable micro-optical elements | |
Werber et al. | A thermo-pneumatically actuated tip-tilt-piston mirror | |
Oku et al. | High-speed liquid lens with 2-ms response and 80.3-nm root-mean-square wavefront error |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20091207 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20100115 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20130208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130724 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130822 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5360530 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |