CN111965742B - 一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜及制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜及制备方法，光学薄膜结构位于圆孔结构与微通道之间，透明玻璃片位于微通道与半导体制冷片之间，半导体制冷下端设有热沉结构；微通道内设有空气腔，与微通道侧壁的空气出口连通；光学薄膜结构与透明玻璃片之间设有光学液体腔，空气腔与光学液体腔之间设有微通道结构，与微通道恻壁的液体入口连通；本发明实现薄膜液体透镜的精确调焦功能，通过控制密封空间内气体的温度，使得空气体积变化，从而引起薄膜向上膨出或者向内凹陷，最后实现对光线的会聚或发散作用。该液体透镜同时具备凹透镜和凸透镜的功能，并且焦距连续可调。

Description

一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜及制备方法

技术领域

本发明属于薄膜液体透镜领域，涉及一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜及制备方法，更具体地说，是涉及一种通过控制密封腔体内气体的温度、压强及体积，驱动微管道内液体流动，实现自动变焦的薄膜液体透镜及相关设计的液体透镜阵列。

背景技术

液体透镜是以液体材料作为光学材料，可通过控制液体界面曲率或改变液体折射率而实现变焦功能。与自动对焦镜头相比，液体透镜因为少了移动的机械结构，具有体积小、反应速度快等优点，已经在生物医疗仪器、微小光学系统检测、智能光学仪器、仿生视觉、光信息通讯等领域应用广泛。

液体透镜主要分为液晶透镜、电润湿透镜、薄膜液体透镜等类型。主要利用液晶材料的双折射效应，即针对不同偏振光的折射率不同，通过控制电压来改变液晶分子的晶向分布，而不同晶向分布对应着不同的折射率，从而实现折射率的渐变，产生了透镜效应。液晶透镜操作简单，但是要求入射光源为偏振光，针对自然光宽光谱变焦仍然是液体透镜的研究难点。

电润湿透镜利用电润湿效应，及通过改变液滴与绝缘基板之间的电压，来改变液滴的形状，进而改变液滴与基板的接触角，这样，液滴表层的润湿特性也会随之有所改变。1995年Gorman等利用介质上的电润湿效应在透明电极上放置一个液滴，并对其通电来改变外形，初步实现了变焦功能。2000年，B.Berge等共同对Gorman的研究进行了改进，并且成立了商业公司。如今较为成熟的液体透镜多是利用介质上的电润湿效应的变焦液体透镜。但是该种透镜存在以下问题：工艺制备较为复杂、控制电压较高，通光孔径较小等限制。

薄膜液体透镜是通过外力来改变薄膜曲率的液体透镜，美国加州大学圣地亚哥分校(UCSD)研究了一种液体变焦透镜结构，液体腔使用聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜，将光学液体注入到透镜腔，由外置液压马达来控制液体透镜的容积，进而液体透镜腔表面的曲率发生相应变化，达到了调节透镜焦距的目的。薄膜液体透镜是光学设计最为丰富、光学效果最佳的一种变焦透镜，它具有成本低、结构简单、操作方便、光学孔径大小灵活等优点。但是，目前研究领域主要采用PMDS材料作为薄膜材料，该材料具有多孔性质，容易与无极性光学液体溶胀，进而使得薄膜液体透镜无法使用。现有较多使用去离子水、乙醇等易挥发的液体，影响液体透镜使用寿命。

聚二甲基硅(PDMS)薄膜是目前应用最为广泛的薄膜液体透镜材料。该材料具有高透光率、高弹性等优点，可实现不同结构的液体透镜，成像效果良好。但是， PDMS材料的多孔结构造成了其与大多数油性光学液体不能相互兼容，出现溶胀现象，破坏透镜结构。为了避免光学液体与PDMS薄膜溶胀，大部分研究选择蒸馏水等极性液体，但是此类光学液体折射率低、色散度大、挥发性强，影响液体透镜成像性能和使用寿命。同时，利用旋涂法所制备的厚度均一的PDMS薄膜，在制备过程中残余应力分布不均匀而导致薄膜变形时不是理想球面，引入更多的像差。综合以上因素，该领域迫切需求一种新的薄膜材料和新的薄膜加工工艺优化液体透镜成像性能。

薄膜液体透镜的机械结构部分通常采用传统的机械数控加工工艺或者微机电(MEMS)加工手段。例如，通过曝光显影的手段，在玻璃或者硅基底上加工结构模板，光学液体腔体和微通道，再浇筑聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料，最终制备液体透镜结构。常规工艺存在以下几个问题：(1)工艺开放通道需要后续的封装工艺，并且通常形成矩形横截面的通道,提高器件制备难度。(2)工艺需要在超净环境中进行曝光、显影、铸模，实验成本较高，耗时较多。(3)传统工艺仅限于制备2D平面上结构。如果需要制备3D结构的通道，需要将各个成型层堆叠并粘合多个PDMS结构，非常耗时并需要精确对准。

发明内容

要解决的技术问题

为了避免现有技术的不足之处，本发明提出一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜及制备方法，提供一种结构简单、成本低廉、变焦精度高，使用寿命长的集成化薄膜液体透镜，可方便应用于手机、数码相机、网络摄像头、内窥镜等多种电子和光学设备中。

技术方案

一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜，其特征在于包括圆孔结构01、光学薄膜结构02、微通道03、微通道结构04、透明ITO玻璃片05、半导体制冷片06和热沉结构07；光学薄膜结构02位于圆孔结构01与微通道03之间，透明玻璃片05位于微通道03与半导体制冷片06之间，半导体制冷片06下端设有热沉结构07；微通道03内设有空气腔08，与微通道03侧壁的空气出口19连通；光学薄膜结构02与透明玻璃片05之间设有光学液体腔09，空气腔08与光学液体腔09之间设有微通道结构04，与微通道03恻壁的液体入口15连通；所述当半导体制冷片06加热时，空气腔08内空气热膨胀，通过04微管道光学液体向气压低的光学液体腔09，光学薄膜结构02向外膨出，薄膜液体透镜对10光线起会聚作用；当半导体制冷片06制冷时，空气腔08的空气冷压缩，光学液体腔09内的光学液体通过04微管道回流，薄膜液体透镜对10光线起到发散作用；半导体制冷片06的温度变化不一样，对应的虚焦距长度不一样。

所述透明ITO玻璃片05表面具有加热电阻丝17。

所述微通道结构04采用三维螺旋通道20，三维螺旋通道20环绕在微通道03的空气腔08内，一端的端口与光学液体腔09连通，另一端位于空气腔08内。

所述微通道03采用3D打印实现。

一种所述基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜中的光学薄膜的制备方法，其特征在于：将3M公司的VHB系列胶带4905型号沿径向拉伸，从而得到高透过率、厚度均匀、应力分布均匀的光学薄膜02，然后固定在中心通孔腔体11和圆形结构12中间，负压引起胶带向内凹陷拉伸，胶带变薄并与透镜圆孔结构01黏合，形成圆形透明的光学薄膜02。

一种利用所述基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜组成的薄膜液体透镜阵列，其特征在于：从上向下的结构依次为阵列圆形通孔结构22、玻璃覆盖层23、光学薄膜 02、微通道阵列26、透明ITO玻璃基底27；阵列圆形通孔结构22位多个圆形通光孔径排列成阵列，通过光学薄膜02的粘性，将玻璃覆盖层23黏合在微通道阵列26上表面；玻璃覆盖层23包含多个液体入口24和空气出口25，针对每一列透镜阵列，都有一个对应的液体入口24；微通道阵列26与透明ITO玻璃27黏合，ITO玻璃基底27 的上表面包含加热电阻丝结构28；当对电阻丝施加电压或者电流，产生的焦耳热使得密封空气膨胀，引起光学薄膜02形变，形成变焦液体透镜阵列。

有益效果

本发明提出的一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜及制备方法，实现薄膜液体透镜的精确调焦功能，通过控制密封空间内气体的温度，使得空气体积变化，从而引起薄膜向上膨出或者向内凹陷，最后实现对光线的会聚或发散作用。该液体透镜同时具备凹透镜和凸透镜的功能，并且焦距连续可调。

问题1：PDMS薄膜是目前应用最为广泛的薄膜液体透镜材料。该材料具有高透光率、高弹性等优点，可实现不同结构的液体透镜，成像效果良好。但是，PDMS 材料的多孔结构造成了其与大多数油性光学液体不能相互兼容，出现溶胀现象，破坏透镜结构。为了避免光学液体与PDMS薄膜溶胀，大部分研究选择蒸馏水等极性液体，但是此类光学液体折射率低、色散度大、挥发性强，影响液体透镜成像性能和使用寿命。同时，利用旋涂法所制备的厚度均一的PDMS薄膜，在制备过程中残余应力分布不均匀而导致薄膜变形时不是理想球面，引入更多的像差。综合以上因素，该领域迫切需求一种新的薄膜材料和新的薄膜加工工艺优化液体透镜成像性能。

解决方案：聚丙烯酸酯薄膜被证明对硅油等部分无极性光学液体具有很好的化学兼容，不产生溶胀现象。商业化的聚丙烯酸酯胶带(3M公司，VHB系列胶带4905 型号)是一种可替代PDMS薄膜的光学薄膜材料。该胶带具有较高的透明度、高弹性、容易拉伸形变。该胶带双面具有粘胶剂，避免使用液态胶水黏合薄膜和基底材料，从而操作简单方便并不会污染光学液体。

操作方式如下：

(1)首先，将胶带固定在一个圆柱形空心腔体上方；

(2)其次，对腔体充气或者抽气，产生正压强或者负压强，引起胶带形变

(3)然后，被拉伸的薄膜中心部分和基底材料自动黏合，要求基底材料中心存在圆形通孔，并且保证平整干净；

(4)最后，机械力去除基底材料以外的多余薄膜材料。

通过该方法，薄膜材料的厚度由最初的0.5mm拉伸到0.05到0.1mm，透明度从 80％提高到92％。由于该拉伸薄膜的方式可以将薄膜沿径向拉伸，在薄膜内部产生均匀分布的内应力。通过该方式，可以解决PDMS材料因为旋涂工艺而产生的内应力不均匀的问题。

问题2：薄膜液体透镜的机械结构部分通常采用传统的机械数控加工工艺或者微机电(MEMS)加工手段。例如，通过曝光显影的手段，在玻璃或者硅基底上加工结构模板，光学液体腔体和微通道，再浇筑聚二甲基硅氧烷(PDMS)材料，最终制备液体透镜结构。常规工艺存在以下几个问题：(1)工艺开放通道需要后续的封装工艺，并且通常形成矩形横截面的通道,提高器件制备难度。(2)工艺需要在超净环境中进行曝光、显影、铸模，实验成本较高，耗时较多。(3)传统工艺仅限于制备2D平面上结构。如果需要制备3D结构的通道，需要将各个成型层堆叠并粘合多个PDMS结构，非常耗时并需要精确对准。

解决方案：高精度3D打印技术发展迅速，可以实现简单，快速，低成本的高效生产。3D打印技术不要求超净间环境，可方便完成2D和3D不同结构要求。无需任何对准结构或牺牲材料部分。在该申请中，提出利用3D打印技术制备封闭微通道，及通道结构嵌入到结构本体，可有效解决光学液体泄漏问题。同时，3D结构的通道，可以大大减小光学器件体积，增加系统集成化程度。总之，利用3D打印技术，实现任意结构的液体通道，提升薄膜液体透镜的设计多样性。

问题3：集成化驱动可以大大提高薄膜液体透镜的使用效率。目前，多种驱动机制可用于连续产生压力驱动光学液体向通光孔径运动。例如，液体蠕动泵可精确控制液体的进给速度和体积，但是必须使用额外的外接管道连接蠕动泵和液体透镜，无法实现集成化控制系统，造成液体透镜体积冗繁，操作人员使用不便。压电驱动材料可实现快速控制薄膜形状，但需要复杂的驱动电路，通常驱动电压需要100V到200V。静电力驱动设计简单，可用于集成化操作，但需要较高的驱动电压，甚至高达上千伏。电磁驱动发展成熟，成本较低，但需要复杂的外部机制结构实现电磁线圈的旋转运动。

解决方案：热驱动具有结构简单，驱动电压低，工艺简单，容易实现较小的集成封装。在本申请中，采用半导体加热/制冷片，通过改变电流的方向，对密封腔体内的空气实现加热或者制冷，从而引起空气体积和压强的变化，并精确控制光学液体在3D 打印结构微通道内的运动形式，引起光学液体在通光孔径的体积变化，从而控制薄膜的曲率变化，最终实现薄膜液体透镜对光线的会聚和发散作用。

附图说明

图1薄膜液体透镜的2D结构示意图。

图2半导体制冷片加热时，气体温度升高，压强增大，出现凸透镜状态，光线会聚

图3半导体制冷片制冷时，气体温度降低，压强减小，出现凹透镜状态，光线发散。

图4为图1中的薄膜液体透镜中光学薄膜的制备过程。

图5为图1中的薄膜液体透镜中光学薄膜的制备过程。

图6薄膜液体透镜3D结构示意图。

图7半导体制冷片和热沉结构

图8三维微流体通道结构示意图

图9薄膜液体微透镜阵列3D结构示意图。

以凸透镜为例，随着温度的升高，薄膜曲率变小，焦距变短，反之亦然示意图图10实施例2液体透镜阵列的结构图

具体实施方式

现结合实施例、附图对本发明作进一步描述：

(1)本发明提出一种自动变焦液体透镜。如附图1所示，该薄膜液体透镜包括：薄膜、光学液体、3D打印微通道、微型制冷/加热片、散热基底。采用在热—气驱动原理，当制冷片加热或者降温，改变密闭腔体内空气分子运动速度，进而引起体积变化，最后控制微量液体在封闭腔道内运动，引起薄膜形变，实现自动变焦光学透镜。

(2)常温常压下，空气可以近似看成理想气体。对于一定质量的理想气体的状态可以用三个状态参量P、V、T来描述。且若其中任意两个参量确定之后，第三个参量一定有唯一确定的值。

(3)拉伸薄膜的制备方式。薄膜材料固定在空心圆柱的腔体上放，外接链接真空泵，在负压的情况下，薄膜材料向内凹陷。同理，在正压的情况下，薄膜材料向上膨出。该拉伸方式可产生更薄，更透明，应力均匀分布的光学薄膜。由于该薄膜自身具有粘性，可方便黏合在平整干净的基底材料上面。

(4)相对于现有技术，本发明所提供的液体透镜具有以下优点：

其一，结构简单。本发明提供的液体透镜只包括密封壳体、液态介质、液体介质、微型制冷片和热沉四个组件，因此结构简单易于制备，且成本低廉。

其二，变焦精度高。本发明通过给微型半导体制冷片通电，改变电流方向，实现对密封腔体内空气的加热和制冷，进而改变空气压力和体积，实现对微通道内液体的往复运动，从而改变薄膜的凹/凸面型，实现了液体透镜的对光线发散或者会聚作用，最终达到液体透镜变焦的目的。由于半导体制冷片的通电电压、空气温度或压力、和液体透镜焦距之间存在着既定的规律，因此，可以通过控制其中一个参数来精确控制液体透镜的焦距变化。

其三，变焦速度快。由于半导体制冷片的原理，可以实现通过改变电流方向，控制加热和制冷面，同时，半导体制冷片具有升降温速度快(即热响应速度快)的优点，可以快速调节液体透镜的焦距。

图1器件的各个自称部分,分别包含以下7个结构：透镜圆孔结构01，该结构允许光线从中心通孔通过，发挥透镜光阑的作用；光学薄膜02，该结构在可见光范围内具有高透过率，高弹性的特性，所以其可在不同压强下产生不同形变，从而实现自动变焦的目的；3D打印微流体芯片03，三维微通道结构04，连接空气腔08和液体腔09；透明ITO玻璃片05，密封光学液体，使光线通过；半导体制冷片06，加热或者制冷作用；热沉结构07，发挥散热作用。

图2：当06半导体制冷片在加热模式下，引起空气腔08内密封空气的热膨胀和气压升高，推动三维微管道04内光学液体向液体腔09运动，光学薄膜02向外膨出。在这种情况下，薄膜液体透镜与平凸透镜功能类似，对光线10起会聚作用。温度变化不一样，对应的实焦距长度不一样。

图3：在半导体制冷片06在制冷模式下，引起空气腔08内密封空气冷压缩和气压降低，液体腔09内光学液体通过三维微管道04向空气腔08运动，光学薄膜02向内凹陷。薄膜液体透镜与平凹透镜功能类似，对光线10起发散作用。温度变化不一样，对应的虚焦距长度不一样。

图4说明光学薄膜02的制备过程：首先，透镜圆孔结构01置于腔体11的中心位置，该腔体11通过在具备一定厚度的基底中心加工通孔形成。然后，光学薄膜02 通过自身粘性黏合在腔体11的上表面。同时，圆形结构12固定在光学薄膜02的上表面，并将光学薄膜02固定住。排气孔13连接外部真空泵，可以通过真空泵调节腔体 11内空气负压大小。

图5说明光学薄膜02的制备过程：当真空泵从排气孔13中抽出空气时，腔体11 内产生负压强14，使得光学薄膜02向内凹陷。持续抽气，最终光学薄膜02与透镜圆孔结构01黏合，并覆盖在该结构表面。通过以上步骤，可以获得透光率高、厚度均匀、内应力分布均匀的光学薄膜。同时，由于该薄膜自身具有一定粘性，在于圆孔基底黏合过程中，避免使用胶水等液体粘合剂，大大提高工艺装配效率。

图6是薄膜液体透镜三维示意图，包含透镜圆孔结构01；光学薄膜02；3D打印微流体芯片03，该3D打印微流体芯片的侧壁上包含液体入口15；透明ITO玻璃片 16，该ITO玻璃片表面具有加热电阻丝结构17。该电阻丝结构17的加工方法为激光刻蚀ITO玻璃片16金属氧化层所形成。

图7是微型半导体制冷片06和热沉结构07。微型半导体制冷片06通过导热胶和热沉结构07黏合，该整体结构可以直接或者间接与3D打印结构粘合，通过改变通过半导体制冷片06的电流方向，最终实现对密封空气加快升温或者加快降温的作用。

图8是微流体芯片03的结构，包含光学液体腔09、空气腔08、三维螺旋通道20、光学液体入口15、空气出口19。其中，光学液体入口15和空气出口19分别位于微流体芯片03的侧壁，光学液体腔09位于微流体芯片03的中心，空气腔08环绕于光学液体腔09。三维螺旋通道20直接连接光学液体腔09和空气腔08。光学液体首先通过液体入口15流入液体腔09，再填充三维螺旋通道20，最后光学液体停止在空气腔与螺旋通道的交界面21，多余的空气从空气出口19排出。待液体填充完毕，空气出口 19用少量紫外固化胶水密封。光线从圆形通光孔18径透过。

图9是薄膜液体透镜阵列三维示意图，该透镜阵列从上向下的结构依次为阵列圆形通孔结构22、玻璃覆盖层23、光学薄膜02、微通道阵列26、透明ITO玻璃基底27。阵列圆形通孔结构22包含多个圆形通光孔径，并排列成阵列，光线可以从每一个小圆孔中通过。玻璃覆盖层23起到密封气体的作用，通过光学薄膜02的粘性，将玻璃覆盖层23黏合在微通道阵列26上表面。玻璃覆盖层23包含多个液体入口24和空气出口25，针对每一列透镜阵列，都有一个对应的液体入口24。当光学液体流入微通道，多余的空气从空气出口25排出。微通道阵列结构26与圆形通孔结构22相互对应，保证每一个圆形通孔结构22的小圆孔都对应一个微通道阵列26的通光孔径。微通道阵列26与透明ITO玻璃27黏合，ITO玻璃基底27的上表面包含加热电阻丝结构28。由于光学薄膜02被玻璃覆盖层23、微通道阵列26和阵列圆形通孔结构22固定，所以当对电阻丝施加电压或者电流，产生的焦耳热使得密封空气膨胀，引起光学薄膜02 形变，形成变焦液体透镜阵列。

本发明的第一个实施例为：如附图6所示，通光口径2mm的刻蚀硅片或者激光刻蚀的不锈钢薄板圆孔，薄膜厚度0.1mm并粘附在圆孔基底上方，侧壁高1.5mm，半导体制冷片选择微型制冷片，基底采用热传导系数高的黄铜基底、铝合金基底或者硅基底，密闭空气腔体和封闭液体管道采用3D打印结构。通过改变电流方向，半导体制冷片可在同一表面上产生加热或者制冷的作用，从而产生如附图2和附图3的效果。

在本实例中，半导体制冷片的施加电压从0V到1.2V，再从0V到-1.2V，引起薄膜曲率变化从而实现光焦度的变化。采用硅油作为光学液体，照明为可见光波段 456nm-656nm，未发现明显的光谱吸收。与传统液体透镜相比，该透镜有效的增大了光焦度范围，使得同一个光学器件具备不同的光学功能。需要指出的本发明实施例中电压驱动也可以用电流源驱动代替。

本发明的第二个实时例为：如附图10所示，液体透镜阵列从上向下的结构依次包含如下：透镜孔径阵列结构、光学薄膜、玻璃覆盖层(包含液体入口和空气出口)、3D 打印微通道、ITO玻璃基底、半导体散热片和热沉。其中，透镜孔径阵列结构：结构尺寸为7mm×7mm×0.3mm，一共包含6行×6列共36个圆孔，每个圆孔的直径均为 0.6mm。玻璃覆盖层结构：结构外尺寸15mm×15mm×0.3mm，结构内框尺寸7.1 mm×7.1mm×0.3mm。玻璃覆盖层包含六个圆孔直径为0.4mm，圆心间距为2.4mm，分别对应液体透镜阵列中的每列的微通道液体入口。3D打印微通道列由直径为1mm 的6×6个圆孔排列而成，圆孔之间的横向距离和纵向距离均为1.2mm。每列圆孔均含有一个流入液体的入口，入口为0.5mm×0.5mm的正方形。ITO玻璃基底结构的整体尺寸为18mm×18mm×1mm。电阻丝的材料是氧化铟锡，宽度为0.3mm，厚度100nm，采用激光刻蚀工艺加工该结构。电阻丝的总长度约为60mm～70mm。与玻璃厚度相比，电阻丝可被认为是一层薄膜。在玻璃基底下方设计两个方形电极用于连接外部电源。当电阻丝通电，产生焦耳热，从而使得空气受热膨胀，改变液体透镜的曲率半径。如图10结构，可以和半导体制冷片和热沉相结合，加快调制空气腔内的温度变化。

Claims (5)

1.一种基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜，其特征在于包括圆孔结构(01)、光学薄膜结构(02)、微通道(03)、微通道结构(04)、透明ITO玻璃片(05)、半导体制冷片(06)和热沉结构(07)；光学薄膜结构(02)位于圆孔结构(01)与微通道(03)之间，透明ITO玻璃片(05)位于微通道(03)与半导体制冷片(06)之间，半导体制冷片(06)下端设有热沉结构(07)；微通道(03)内设有空气腔(08)，与微通道(03)侧壁的空气出口(19)连通；光学薄膜结构(02)与透明ITO玻璃片(05)之间设有光学液体腔(09)，空气腔(08)与光学液体腔(09)之间设有微通道结构(04)，与微通道(03)侧壁的液体入口(15)连通；当半导体制冷片(06)加热时，空气腔(08)内空气热膨胀，光学液体通过微通道结构(04)向气压低的光学液体腔(09)流动，光学薄膜结构(02)向外膨出，薄膜液体透镜对光线(10)起会聚作用；当半导体制冷片(06)制冷时，空气腔(08)的空气冷压缩，光学液体腔(09)内的光学液体通过微通道结构(04)回流，薄膜液体透镜对光线(10)起到发散作用；半导体制冷片(06)的温度变化不一样，对应的虚焦距长度不一样。

2.根据权利要求1所述基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜，其特征在于：所述透明ITO玻璃片(05)表面具有加热电阻丝(17)。

3.根据权利要求1所述基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜，其特征在于：所述微通道结构(04)采用三维螺旋通道(20)，三维螺旋通道(20)环绕在微通道(03)的空气腔(08)内，一端的端口与光学液体腔(09)连通，另一端位于空气腔(08)内。

4.根据权利要求1所述基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜，其特征在于：所述微通道(03)采用3D打印实现。

5.根据权利要求1所述基于温度控制的自动变焦薄膜液体透镜，其特征在于：所述光学薄膜结构的制备方法如下：将3M公司的VHB系列胶带4905型号沿径向拉伸，从而得到高透过率、厚度均匀、应力分布均匀的光学薄膜结构(02)，然后固定在中心通孔腔体(11)和圆形结构(12)中间，负压引起胶带向内凹陷拉伸，胶带变薄并与圆孔结构(01)黏合，形成圆形透明的光学薄膜结构(02)。

Images