JP2010009724A - 光ディスク原盤処理液及び光ディスク原盤の処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板2上に無機レジストにより凹凸パターン(無機レジスト層3)が形成された光ディスク原盤1の凹凸パターンを除去するための光ディスク原盤処理液である。この処理液は、過酸化水素とアンモニアを含有する。処理液に含まれる過酸化水素及びアンモニアは、過酸化水素水(試薬特級)及びアンモニア水(試薬特級)を基準として、1倍〜200倍に希釈されている。また、過酸化水素水とアンモニア水の比率は4:1〜1:10である。
【選択図】 図2
Description
Claims (11)
- 基板上に無機レジストにより凹凸パターンが形成された光ディスク原盤の前記凹凸パターンを除去するための光ディスク原盤処理液であって、
過酸化水素とアンモニアを含有することを特徴とする光ディスク原盤処理液。 - 前記過酸化水素及びアンモニアは、過酸化水素水(試薬特級)及びアンモニア水(試薬特級)を基準として、1倍〜200倍に希釈されていることを特徴とする請求項1記載の光ディスク原盤処理液。
- 過酸化水素水とアンモニア水の比率が4:1〜1:10であることを特徴とする請求項2記載の光ディスク原盤処理液。
- 基板上に無機レジストにより凹凸パターンが形成された光ディスク原盤を過酸化水素とアンモニアを含有する光ディスク原盤処理液により処理し、前記凹凸パターンを除去することを特徴とする光ディスク原盤の処理方法。
- 前記光ディスク原盤処理液において、過酸化水素及びアンモニアは、過酸化水素水(試薬特級)及びアンモニア水(試薬特級)を基準として、1倍〜200倍に希釈されていることを特徴とする請求項4記載の光ディスク原盤の処理方法。
- 前記光ディスク原盤処理液において、過酸化水素水とアンモニア水の比率が4:1〜1:10であることを特徴とする請求項5記載の光ディスク原盤の処理方法。
- 前記光ディスク原盤処理液による処理は、密閉空間内で行うことを特徴とする請求項4から6のいずれか1項記載の光ディスク原盤の処理方法。
- 前記光ディスク原盤処理液の温度を20℃〜80℃とすることを特徴とする請求項4から7のいずれか1項記載の光ディスク原盤の処理方法。
- 光ディスク原盤処理液による処理の後、研削及び/又は研磨を行うことを特徴とする請求項4から8のいずれか1項記載の光ディスク原盤の処理方法。
- 前記無機レジストは、タングステン又はモリブデンの酸化物を含有することを特徴とする請求項4から9のいずれか1項記載の光ディスク原盤の処理方法。
- 処理後の基板を再利用することを特徴とする請求項4から10のいずれか1項記載の光ディスク原盤の処理方法。
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