JP2010008808A - 水晶波長板 - Google Patents

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Abstract

【課題】複数の1/2波長板を用いるなど部品点数の増加を招くことなく、複数の波長の光源の偏光状態を1/2波長板により制御(変更)できるようにする。
【解決手段】水晶部品101〜103は、水晶板から構成され、各々が互いに主面が平行な状態に配置され、光学軸が主面に平行とされ、各々が異なる光学軸を備えている。水晶部品101および水晶部品103は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、水晶部品102は、板厚0.255mmの水晶板から構成されている。これら板厚は、0.085mmを基準として、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶部品103の板厚=2:3:2の関係となっている。
【選択図】 図1

Description

本発明は、複屈折を起こす結晶である水晶を用いて直線偏光の入射光の偏光を90°回転させる機能を有する水晶波長板に関するものである。
近年では、高密度実装基板のビアホールの形成などにレーザ加工装置が用いられている。このようなレーザ加工装置では、例えば、基本波に対して高調波を発生させることで得られる複数の波長のレーザ光を同時に用いることで、様々な加工形状が得られるようにしている(特許文献1参照)。また、このレーザ加工においては、よく知られているように、直線偏光のレーザ光の偏光方向を、1/2波長板を用いて制御している。
上述した1/2波長板としては、光出力の高いレーザに耐えられるように、一般には、2枚の水晶板から構成されている。2枚の水晶板の板厚の差により、所望とする波長の光に対応させるようにしている。この1/2波長板は、2枚の水晶板の各々の主面に平行な光学軸が互いに90°異なる状態とし、水晶板の主面に垂直に入射する光の偏光方向を、主面に平行な面内で90°回転させるようにしている。また、よく知られているように、
水晶板をより高い精度で加工し、2枚の水晶板の光学軸の関係が正確に90°となるようにすることで、対象となる光が透過するときの常光と異常光との位相差が、より180°に近くなるようにしている。
特開2007−114520号公報
しかしながら、複数の波長のレーザ光を用いる場合、波長毎に1/2波長板が必要になり、部品点数の増加を招くという問題がある。例えば、3つの波長のレーザ光を用いる場合、2枚の水晶板を貼り合わせた1/2波長板が3個必要となる。また、特許文献1では、1/2波長板を回転させることで、1つの1/2波長板で複数の波長のレーザ光に対応させるようにしているが、この場合、1/2波長板を回転させる回転装置が必要となる。これらのように、複数の波長の光源の偏光状態を1/2波長板により制御しようとする場合、部品点数の増加を招くという問題がある。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、複数の1/2波長板を用いるなど部品点数の増加を招くことなく、複数の波長の光源の偏光状態を1/2波長板により制御(変更)できるようにすることを目的とする。
本発明に係る水晶波長板は、板厚0.17mmの水晶板に対応する第1の水晶部品と、板厚0.255mmの水晶板に対応する第2の水晶部品と、板厚0.17mmの水晶板に対応する第3の水晶部品とを備え、第1,第2,および第3の水晶部品は、各々が互いに主面が平行な状態に配置され、光学軸が主面に平行とされ、各々が異なる光学軸を備えるようにしたものである。
上記水晶波長板において、第1の水晶部品および第3の水晶部品は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、第2の水晶部品は、板厚0.255mmの水晶板から構成されていればよい。
上記水晶波長板において、第1の水晶部品および第3の水晶部品は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、第2の水晶部品は、板厚の差が0.255mmとなる2枚の水晶板から構成されていてもよい。
上記水晶波長板において、第1の水晶部品の水晶部品は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、第2の水晶部品は、板厚0.255mmの水晶板から構成され、第3の水晶部品は、板厚の差が0.17mmとなる2枚の水晶板から構成されていてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、板厚0.17mmの水晶板に対応する第1の水晶部品と、板厚0.255mmの水晶板に対応する第2の水晶部品と、板厚0.17mmの水晶板に対応する第3の水晶部品とを備えるようにしたので、複数の1/2波長板を用いるなど部品点数の増加を招くことなく、複数の波長の光源の偏光状態を1/2波長板により変更できるようになるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
[実施の形態1]
はじめに、本発明の実施の形態1について図1を用いて説明する。図1は、本発明の実施の形態における水晶波長板の構成を示す斜視図である。本実施の形態における水晶波長板は、水晶部品(第1の水晶部品)101と、水晶部品(第2の水晶部品)102と、水晶部品(第3の水晶部品)103とを備えるようにしたものである。各水晶部品101〜103は、水晶板から構成され、各々が互いに主面が平行な状態に配置され、光学軸が主面に平行とされ、各々が異なる光学軸を備えている。
なお、図1において、対象となる入射光の偏光方向をX軸とし、対象となる入社光の入射方向をZ軸としている。各水晶部品101〜103を構成している水晶板の主面をXY平面に平行に配置すると、各水晶部品101〜103を構成している水晶板の光学軸は、XY平面上に配置されることになる。また、各水晶部品101〜103を構成している水晶板の板厚は、Z軸方向の寸法となる。これらのことは、後述する他の実施の形態においても同様である。
加えて、本実施の形態における水晶波長板において、水晶部品101は、板厚0.17mmの水晶板に対応(相当)し、水晶部品102は、板厚0.255mmの水晶板に対応し、水晶板103は、板厚0.17mmの水晶板に対応する。例えば、水晶部品101および水晶部品103は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、水晶部品102は、板厚0.255mmの水晶板から構成されている。これら板厚は、0.085mmを基準として、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶部品103の板厚=2:3:2の関係となっている。
また、水晶部品101の光学軸と水晶部品102の光学軸とのなす角度(小さい方)が72°とされ、水晶部品102の光学軸と水晶部品103の光学軸とのなす角度(小さい方)が72°とされ、水晶部品103の光学軸と水晶部品101の光学軸とのなす角度(小さい方)が、36°とされている。また、水晶部品101の光学軸と水晶部品103の光学軸とのなす角度の大きい角度の2等分線が、水晶部品102の光学軸となっている。
このように構成された本実施の形態1における水晶波長板によれば、波長253〜274nm,317〜362nm,465〜600nm,および1045〜2000nmの光(レーザ光)に対し、位相差を180°±5°の範囲とすることができる。
なお、実際の水晶波長板の作製では、前述した板厚の関係とした水晶部品101,水晶部品102,および水晶部品103の間に、上述した光学軸の関係がおおよそ成立する範囲で、前述した各波長に対する位相差が180°±5°の範囲となるように、適宜に最適な光学軸の角度関係を求めるようにすればよい。この結果、各角度の関係は、例えば、±2°の範囲でずれる場合もある。
例えば、X軸(入射光の偏光方向)と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は63°とされ、水晶部品102の水晶板は−45°とされ、水晶部品103の水晶板は+27°とされていればよい。また、X軸と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は−63°とされ、水晶部品102の水晶板は45°とされ、水晶部品103の水晶板は−27°とされていてもよい。
ここで、水晶部品101,水晶部品102,および水晶部品103を、平面視長方形の水晶板から構成する場合、長方形の中で選択した一辺に対し、水晶部品101の水晶板の光学軸の角度差を−63°とし、水晶部品102の水晶板の光学軸の角度差を45°とし、水晶部品103の水晶板の光学軸の角度差を−27°として水晶波長板を構成すればよい。このように構成することで、水晶波長板の矩形の辺に対し、対象となる光の偏光方向を一致させれば、対象となる光の偏光方向を主面に平行な面内で90°回転させることができる。
[実施の形態2]
次に、本発明の実施の形態2について図2を用いて説明する。図2は、本発明の実施の形態における水晶波長板の構成を示す斜視図である。本実施の形態における水晶波長板は、水晶部品101と、水晶部品(第2の水晶部品)202と、水晶部品103とを備え、水晶部品202を、2つの水晶板221および水晶板222から構成したものである。なお、前述した実施の形態1と同様に、水晶部品101および水晶部品103は、水晶板から構成されている。また、各水晶板は、各々が互いに主面が平行な状態に配置され、光学軸が主面に平行とされ、各々が異なる光学軸を備えている。
加えて、本実施の形態における水晶波長板では、水晶板221と水晶板222との板厚差が、0.255mmとされている。この板厚差は、0.085mmの3倍である。例えば、水晶板221は板厚が0.425mmとされ、水晶板222は板厚が0.68mmとされていればよい。従って、0.085mmと基準とし、水晶部品101の板厚:(水晶板221と水晶板222との板厚差):水晶部品103の板厚=2:3:2の関係となっている。なお、水晶板221および水晶板222においても、板厚は0.085mmの自然数倍とされ、上述の場合、5倍および8倍とされている。従って、上述の場合、水晶部品101の板厚:水晶板221の板厚:水晶板222の板厚:水晶部品103の板厚=2:5:8:2の関係となっている。
また、本実施の形態における水晶波長板では、水晶部品101の光学軸と水晶部品202の光学軸とのなす角度(小さい方)が72°とされ、水晶部品202の光学軸と水晶部品103の光学軸とのなす角度(小さい方)が72°とされ、水晶部品103の光学軸と水晶部品202の光学軸とのなす角度(小さい方)が、36°とされている。また、水晶部品101の光学軸と水晶部品103の光学軸とのなす角度の大きい角度の2等分線が、水晶部品202の光学軸となっている。
ここで、「水晶部品202の光学軸」は、水晶板221と水晶板222との板厚が厚い方の光学軸である。例えば、上述したように、水晶板221は板厚が0.425mmとされ、水晶板222は板厚が0.68mmとされている場合、「水晶部品202の光学軸」は、水晶板222の光学軸である。また、水晶板221の光学軸と水晶板222の光学軸との関係は、これらの差の絶対値が90°となっていればよい。
このように構成された本実施の形態1における水晶波長板によれば、波長253〜274nm,317〜362nm,465〜600nm,および1045〜2000nmの光(レーザ光)に対し、位相差を180°±5°の範囲とすることができる。
なお、本実施の形態においても、実際の水晶波長板の作製では、前述した板厚の関係とした水晶部品101,水晶部品202(水晶板221,水晶板222),および水晶部品103の間に、上述した光学軸の関係がおおよそ成立する範囲で、前述した各波長に対する位相差が180°±5°の範囲となるように、適宜に最適な光学軸の角度関係を求めるようにすればよい。この結果、各角度の関係は、例えば、±2°の範囲でずれる場合もある。
例えば、前述したように、水晶板221は板厚を0.425mmとし、水晶板222は板厚を0.68mmとした場合、X軸と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は63°とされ、水晶板221は45°とされ、水晶板222は−44°とされ、水晶部品103の水晶板は27°とされていればよい。
また、水晶板221は板厚を0.255mmとし、水晶板222は板厚を0.51mmとしてもよく、この場合、X軸と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は27°とされ、水晶板221は45°とされ、水晶板222は−44°とされ、水晶部品103の水晶板は64°とされていればよい。なお、この場合、水晶部品101の板厚:水晶板221の板厚:水晶板222の板厚:水晶部品103の板厚=2:3:6:2の関係となる。
[実施の形態3]
次に、本発明の実施の形態3について図3を用いて説明する。図3は、本発明の実施の形態における水晶波長板の構成を示す斜視図である。本実施の形態における水晶波長板は、水晶部品101と、水晶部品102と、水晶部品303とを備え、水晶部品303を、2つの水晶板331および水晶板332から構成したものである。なお、前述した実施の形態1と同様に、水晶部品101および水晶部品102は、水晶板から構成されている。また、各水晶板は、各々が互いに主面が平行な状態に配置され、光学軸が主面に平行とされ、各々が異なる光学軸を備えている。
加えて、本実施の形態における水晶波長板では、水晶板331と水晶板332との板厚差が、0.17mmとされている。この板厚差は、0.085mmの2倍である。例えば、水晶板331は板厚が0.68mmとされ、水晶板332は板厚が0.85mmとされていればよい。従って、0.085mmと基準とし、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:(水晶板331と水晶板332との板厚差)=2:3:2の関係となっている。なお、水晶板331および水晶板332においても、板厚は0.085mmの自然数倍とされている。上述の場合、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:8:10の関係となる。
また、本実施の形態における水晶波長板では、水晶部品101の光学軸と水晶部品303の光学軸とのなす角度(小さい方)が72°とされ、水晶部品303の光学軸と水晶部品103の光学軸とのなす角度(小さい方)が72°とされ、水晶部品103の光学軸と水晶部品303の光学軸とのなす角度(小さい方)が、36°とされている。また、水晶部品101の光学軸と水晶部品303の光学軸とのなす角度の大きい角度の2等分線が、水晶部品102の光学軸となっている。
ここで、「水晶部品303の光学軸」は、水晶板331と水晶板332との板厚が厚い方の光学軸である。例えば、上述したように、水晶板331は板厚が0.68mmとされ、水晶板332は板厚が0.85mmとされている場合、「水晶部品303の光学軸」は、水晶板332の光学軸である。また、水晶板331の光学軸と水晶板332の光学軸との関係は、これらの差の絶対値が90°となっていればよい。
このように構成された本実施の形態1における水晶波長板によれば、波長253〜274nm,317〜362nm,465〜600nm,および1045〜2000nmの光(レーザ光)に対し、位相差を180°±5°の範囲とすることができる。
なお、本実施の形態においても、実際の水晶波長板の作製では、前述した板厚の関係とした水晶部品101,水晶部品102,および水晶部品303(水晶板331,水晶板332)の間に、上述した光学軸の関係がおおよそ成立する範囲で、前述した各波長に対する位相差が180°±5°の範囲となるように、適宜に最適な光学軸の角度関係を求めるようにすればよい。この結果、各角度の関係は、例えば、±2°の範囲でずれる場合もある。
例えば、前述したように、水晶板331は板厚を0.68mmとし、水晶板332は板厚を0.85mmとした場合、X軸と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は−26°とされ、水晶部品102の水晶板は45°とされ、水晶板331は27°とされ、水晶板332は−63°とされていればよい。
また、水晶板331は板厚を0.51mmとし、水晶板332は板厚を0.68mmとしてもよく、この場合、X軸と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は63°とされ、水晶板221は−45°とされ、水晶板222は−64°とされ、水晶部品103の水晶板は26°とされていればよい。この場合、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:6:8の関係となる。
また、水晶板331は板厚を0.51mmとし、水晶板332は板厚を0.34mmとしてもよく、この場合、X軸と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は−26°とされ、水晶板221は45°とされ、水晶板222は−63°とされ、水晶部品103の水晶板は27°とされていればよい。水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:6:4の関係となる。
また、水晶板331は板厚を0.595mmとし、水晶板332は板厚を0.765mmとしてもよく、この場合、X軸と光学軸とのなす角度が、水晶部品101の水晶板は64°とされ、水晶板221は−45°とされ、水晶板222は−63°とされ、水晶部品103の水晶板は27°とされていればよい。この場合、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:7:9の関係となる。
次に、上述した各実施の形態における水晶波長板の光学特性(位相差の波長依存性)について、図4〜図6に示す。なお、この結果は、回転検光子法を用いたシミュレーション値であり、回転検光子法の特性上、偏光状態の左回りまたは右回りの区別がない。このため、実位相差185°は、175°とされる。
図4は、0.085mmを基準として、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶部品103の板厚=2:3:2の関係とした水晶波長板(実線)、水晶部品101の板厚:水晶板221の板厚:水晶板222の板厚:水晶部品103の板厚=2:5:8:2の関係とした水晶波長板(一点鎖線)、水晶部品101の板厚:水晶板221の板厚:水晶板222の板厚:水晶部品103の板厚=2:3:6:2の関係とした水晶波長板(2点鎖線)の光学特性を示している。
また、図5は、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:8:10の関係とした水晶波長板(実線)、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:6:8の関係とした水晶波長板(一点鎖線)の光学特性を示している。
また、図6は、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:6:4の関係とした水晶波長板(実線)、水晶部品101の板厚:水晶部品102の板厚:水晶板331の板厚:水晶板332の板厚=2:3:7:9の関係とした水晶波長板(一点鎖線)の光学特性を示している。
なお、上述した各実施の形態において、各水晶板(水晶部品)は、接して配置されていてもよく、また、離間して配置されていてもよい。
本発明の実施の形態における水晶波長板の構成を示す斜視図である。 本発明の実施の形態における水晶波長板の構成を示す斜視図である。 本発明の実施の形態における水晶波長板の構成を示す斜視図である。 水晶波長板の光学特性(位相差の波長依存性)のシミュレーション結果を示す特性図である。 水晶波長板の光学特性(位相差の波長依存性)のシミュレーション結果を示す特性図である。 水晶波長板の光学特性(位相差の波長依存性)のシミュレーション結果を示す特性図である。
符号の説明
101…水晶部品(第1の水晶部品)、102…水晶部品(第2の水晶部品)、103…水晶部品(第3の水晶部品)。

Claims (4)

  1. 板厚0.17mmの水晶板に対応する第1の水晶部品と、
    板厚0.255mmの水晶板に対応する第2の水晶部品と、
    板厚0.17mmの水晶板に対応する第3の水晶部品と
    を備え、
    前記第1,第2,および第3の水晶部品は、
    各々が互いに主面が平行な状態に配置され、光学軸が前記主面に平行とされ、各々が異なる光学軸を備える
    ことを特徴とする水晶波長板。
  2. 請求項1記載の水晶波長板において、
    前記第1の水晶部品および前記第3の水晶部品は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、
    前記第2の水晶部品は、板厚0.255mmの水晶板から構成されている
    ことを特徴とする水晶波長板。
  3. 請求項1記載の水晶波長板において、
    前記第1の水晶部品および前記第3の水晶部品は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、
    前記第2の水晶部品は、板厚の差が0.255mmとなる2枚の水晶板から構成されている
    ことを特徴とする水晶波長板。
  4. 請求項1記載の水晶波長板において、
    前記第1の水晶部品の水晶部品は、板厚0.17mmの水晶板から構成され、
    前記第2の水晶部品は、板厚0.255mmの水晶板から構成され、
    前記第3の水晶部品は、板厚の差が0.17mmとなる2枚の水晶板から構成されている
    ことを特徴とする水晶波長板。
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