JP2010008335A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様に係るプローブカード20は、外部から信号が入力されるメイン基板30と、複数の垂直型のプローブ22が設けられ、メイン基板30と導通している配線基板21を備え、垂直型のプローブ22は、配線基板21に固定された接続部23と、接続部23から延在し、配線基板21から開放されていて弾性を有する支持部25と、支持部25の末端に設けられた接触部24を有し、支持部25は、平面視で接続部23に内包されている。
【選択図】 図2
Description
11 半導体チップ
12 電極パッド
20 プローブカード
21 配線基板
21a ST基板
21b 積層基板
22 プローブ
23 接続部
24 接触部
24a 第2導電層
25 支持部
25a 第1導電層
25b 第3導電層
25c 第4導電層
30 メイン基板
31 ICピン
32 外部端子
33 補強板
34 パッド
40 犠牲基板
41 第1犠牲層
42 第2犠牲層
43 第3犠牲層
Claims (4)
- 外部から信号が入力されるメイン基板と、複数の垂直型のプローブが設けられ、前記メイン基板と導通している配線基板を備えたプローブカードであって、
前記垂直型のプローブは、
前記配線基板に固定された接続部と、
前記接続部から延在し、前記配線基板から開放されていて弾性を有する支持部と、
前記支持部の末端に設けられた接触部を有し、
前記支持部は、平面視で前記接続部に内包されていることを特徴とするプローブカード。 - 前記支持部は、前記接触部を前記電極パッド側に付勢する付勢部を有する請求項1に記載のプローブカード。
- 前記支持部は、Z字型形状を有していることを特徴とする請求項1又は2に記載のプローブカード。
- 前記支持部は、格子構造、網目構造又は多孔構造を有する導電性材料からなる請求項1、2又は3に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008170472A JP2010008335A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008170472A JP2010008335A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | プローブカード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010008335A true JP2010008335A (ja) | 2010-01-14 |
Family
ID=41589012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008170472A Withdrawn JP2010008335A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | プローブカード |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2010008335A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11133060A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Tani Denki Kogyo Kk | テスト用端子 |
WO2007015600A1 (en) * | 2005-08-03 | 2007-02-08 | Phicom Corporation | Vertical probe and methods of fabricating and bonding the same |
JP2007101455A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
-
2008
- 2008-06-30 JP JP2008170472A patent/JP2010008335A/ja not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11133060A (ja) * | 1997-10-31 | 1999-05-21 | Tani Denki Kogyo Kk | テスト用端子 |
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JP2007101455A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
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