JP2009542174A - ティルティング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (29)
- 平面を規定する平面要素と前記平面のほぼ中心に配置されるピボット位置部分とを有する選択的に位置決め可能な平面要素アセンブリ,
前記ピボット位置部分に枢支可能に係合するピボット支持要素,
前記ピボット支持要素に固定され,前記平面に対してほぼ垂直な方向に磁力を働かせ,これによって前記平面要素を前記ピボット支持要素のまわりに傾かせるように配置される少なくとも1個の電磁石,
前記平面要素の位置を検知する少なくとも1個のセンサ,および
前記の少なくとも1個のセンサの少なくとも1つの出力に応答して動作して少なくとも1個の前記電磁石の作用を制御するフィードバック回路,
を備える平面ティルティング装置。 - 前記ピボット位置部分は前記平面要素に凹部を備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記ピボット支持要素はピボット点を含むシャフトを備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記ピボット点はほぼ球状の形状を有する,請求項3に記載の平面ティルティング装置。
- 前記平面要素の裏側に取付けられる回転保持磁石をさらに含む,請求項3に記載の平面ティルティング装置。
- 前記回転保持磁石は,上記平面要素が上記ピボット点のまわりに回転するのに抗する作用をするよう磁化される,請求項5に記載の平面ティルティング装置。
- 前記回転保持磁石はリング状の磁石を備える,請求項5に記載の平面ティルティング装置。
- 前記シャフト上に取付けられかつ前記平面要素に固定される少なくとも1個の圧縮ばねをさらに備える,請求項3に記載の平面ティルティング装置。
- 前記少なくとも1個の圧縮ばねは,前記平面要素が上記ピボット点まわりに回転するのを防ぐように働く,請求項8に記載の平面ティルティング装置。
- 前記ピボット支持要素は,前記方向に対して垂直に延びる第1の軸に沿って配置される球状体の第1の対を備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記球状体の第1の対は相互に接触する構成である,請求項10に記載の平面ティルティング装置。
- 前記ピボット位置部分は,前記平面要素の裏側に取付けられる球状体の第2の対を備え,前記球状体の第2の対は,前記球状体の第1の対にピボット可能に係合するとともに,前記第1の軸と前記方向とに対して垂直に延びる第2の軸に沿って配置される,請求項10に記載の平面ティルティング装置。
- 前記球状体の第2の対は相互に接触する構成である,請求項12に記載の平面ティルティング装置。
- 前記球状体の第1の対および前記球状体の第2の対のうちの少なくとも一方は,炭化タングステンにより形成される,請求項12に記載の平面ティルティング装置。
- 前記平面要素が前記ピボット支持要素とピボット可能に係合した状態に保持するように働く保持磁石をさらに備える,請求項10に記載の平面ティルティング装置。
- 前記保持磁石は環状磁石を備える,請求項15に記載の平面ティルティング装置。
- 前記平面要素が前記ピボット支持要素とピボット可能に係合した状態に保持するように働く保持磁石をさらに備える,請求項2に記載の平面ティルティング装置。
- 前記保持磁石は環状磁石を備える,請求項17に記載の平面ティルティング装置。
- 少なくとも1個の前記電磁石は,前記ピボット位置部分に関して対称に分布する複数の電磁石を備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記ピボット位置部分に関して少なくとも1個の前記電磁石の反対側に配置される少なくとも1個のばねをさらに備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 少なくとも1個の前記センサは容量型センサを備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記フィードバック回路は,単一の軸のまわりにおいて前記平面要素がティルトするのを制御し,それによって前記平面要素の二次元位置に影響を及ぼす,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記フィードバック回路は,2つの軸のまわりにおける前記平面要素のティルトを制御し,それによって前記平面要素の三次元位置に影響を及ぼす,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記平面要素はミラー要素用のベースを備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 前記フィードバック回路は,第1の位置決め軸のまわりにおける前記平面要素の位置決めを制御する働きをする第1の制御回路と,前記第1の位置決め軸に対して垂直に延びる第2の位置決め軸のまわりにおける前記平面要素の位置決めを制御する働きをする第2の制御回路とを備える,請求項1に記載の平面ティルティング装置。
- 平面を有する平面要素と,前記平面に平行に延びる第1の軸に沿って配置される球状体の第1の対であって前記平面に対してほぼ中心に配置される球状体の前記第1の対を含むピボット位置要素とを含む,選択的に位置決め可能な平面要素アセンブリ,
前記第1の軸に対して垂直に延びる第2の軸に沿って配置される球状体の第2の対であって,球状体の前記第1の対にピボット可能に係合する球状体の前記第2の対により形成されるピボット支持要素,
前記平面に磁力を働かせて前記平面要素を前記ピボット支持要素のまわりにおいてピボットさせるように配置される少なくとも1個の電磁石変位装置,
前記平面要素の位置を検知する少なくとも1個のセンサ,および
少なくとも1個の前記センサの少なくとも1つの出力に応答して少なくとも1個の前記電磁石変位装置の動作を制御するように働くフィードバック回路,
を備える平面ティルティング装置。 - 球状体の前記第1の対は相互に接触する構成である,請求項26に記載の平面ティルティング装置。
- 球状体の前記第2の対は相互に接触する構成である,請求項26に記載の平面ティルティング装置。
- 球状体の前記第1の対および球状体の前記第2の対のうちの少なくとも一方は炭化タングステンにより形成される,請求項26に記載の平面ティルティング装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020508031A (ja) * | 2017-02-10 | 2020-03-12 | マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲーMicro−Epsilon Messtechnik Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung & Compagnie Kommanditgesellschaft | リラクタンスアクチュエータ |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9765920B2 (en) | 2011-06-17 | 2017-09-19 | Abariscan Gmbh | Positioning apparatus and system for directing a beam |
EP2721439B1 (en) * | 2011-06-17 | 2015-08-19 | Abariscan GmbH | Positioning apparatus and system for directing a beam |
CN102313966B (zh) * | 2011-09-06 | 2013-04-17 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种刚性承载式快速控制反射镜 |
CN102323656B (zh) * | 2011-09-28 | 2013-03-20 | 哈尔滨工业大学 | 基于双轴柔性铰链的高频响二维微角摆控制反射镜 |
JP2013083553A (ja) * | 2011-10-11 | 2013-05-09 | Sony Corp | 情報処理装置、情報処理方法、及びプログラム |
DE102012214232A1 (de) * | 2012-08-10 | 2013-08-14 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Spiegellagerung für spiegel einer projektionsbelichtungsanlage |
CN102928956A (zh) * | 2012-11-26 | 2013-02-13 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种小型化刚性承载式快速反射镜 |
DE102013211310A1 (de) * | 2013-06-17 | 2014-12-18 | Carl Zeiss Smt Gmbh | EUV-Abbildungsvorrichtung |
JP6190253B2 (ja) * | 2013-11-29 | 2017-08-30 | 東京パーツ工業株式会社 | 振動発生装置 |
DE102013114822B3 (de) * | 2013-12-23 | 2014-11-20 | Ernst-Abbe-Fachhochschule Jena | Zweiachsige Kippvorrichtung |
WO2015112775A1 (en) * | 2014-01-22 | 2015-07-30 | Swift Control Systems, Inc. | A smart mirror mount device |
EP3006975A3 (en) * | 2014-10-08 | 2016-05-25 | Optotune AG | Device for tilting an optical element, particularly a mirror |
CN104777587B (zh) * | 2015-04-20 | 2017-07-14 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种主镜定位安装机构 |
WO2017019557A1 (en) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | Trustees Of Boston University | Mems devices for smart lighting applications |
WO2017111629A1 (en) * | 2015-12-23 | 2017-06-29 | Stm Spółka Z Ograniczoną Odpowiedzialnością | Bearing system for the rotary column of a pet preform blow molding machine |
KR200494591Y1 (ko) * | 2016-03-09 | 2021-11-10 | 오르보테크 엘티디. | 광학적 처리 시스템을 위한 광학 헤드 및 섀시 |
TWI777945B (zh) * | 2016-03-15 | 2022-09-21 | 德商阿莫瓦有限公司 | 用於在高架倉庫中貯存和獲取或者重排貯存品的運輸和轉移系統 |
DE102016212853B3 (de) * | 2016-07-14 | 2017-11-09 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zum Justieren einer optischen Einrichtung |
KR101736153B1 (ko) * | 2016-12-27 | 2017-05-16 | 국방과학연구소 | 고속 정밀 구동을 위한 가이드 장치 및 그 가이드 장치의 설계 방법 |
CN108761772A (zh) * | 2018-05-30 | 2018-11-06 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种类镜框安装的框架式电调镜 |
CN108562992B (zh) * | 2018-06-20 | 2024-01-19 | 中国人民解放军国防科技大学 | 一种基于柔性铰链的精密反射镜架 |
DE102020206843A1 (de) | 2020-06-02 | 2021-12-02 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Vorrichtung zum Ausrichten eines Sensors oder Beleuchtungsmittels |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB672341A (en) * | 1949-02-14 | 1952-05-21 | Oswald Tschudin | Improvements in and relating to ball-bearings |
JPS6225956Y2 (ja) * | 1981-12-05 | 1987-07-02 | ||
JPH01297617A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-11-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 光ビーム偏向器 |
JPH11281925A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Nec Corp | レーザポインティング装置 |
JP2001290100A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Mitsubishi Electric Corp | ミラースキャナ |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3587335A (en) * | 1969-04-10 | 1971-06-28 | Massasetts Inst Of Technology | Device for providing precise motions |
US4157861A (en) * | 1977-08-03 | 1979-06-12 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Optical beam steering system |
US5239361A (en) * | 1991-10-25 | 1993-08-24 | Nicolet Instrument Corporation | Dynamic mirror alignment device for the interferometer of an infrared spectrometer |
US5459932A (en) * | 1993-08-27 | 1995-10-24 | Levelite Technology, Inc. | Automatic level and plumb tool |
DE19828689A1 (de) * | 1997-06-27 | 1999-01-07 | Asahi Optical Co Ltd | Spiegelgalvanometereinheit |
US6201629B1 (en) * | 1997-08-27 | 2001-03-13 | Microoptical Corporation | Torsional micro-mechanical mirror system |
US6188502B1 (en) * | 1998-03-26 | 2001-02-13 | Nec Corporation | Laser pointing apparatus and on-fulcrum drive apparatus |
EP0977066A1 (en) * | 1998-07-27 | 2000-02-02 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Radiation-beam manipulator having a pretensioned thrust bearing |
US6552840B2 (en) * | 1999-12-03 | 2003-04-22 | Texas Instruments Incorporated | Electrostatic efficiency of micromechanical devices |
AU2001278039A1 (en) * | 2000-07-27 | 2002-02-13 | Holl Technologies, Inc. | Flexureless magnetic micromirror assembly |
EP1191382A3 (en) * | 2000-09-20 | 2003-10-15 | Texas Instruments Inc. | Stacked micromirror structures |
JP4602542B2 (ja) * | 2000-12-18 | 2010-12-22 | オリンパス株式会社 | 光偏向器用のミラー揺動体 |
FR2820833B1 (fr) * | 2001-02-15 | 2004-05-28 | Teem Photonics | Micro-miroir optique a pivot, matrice de tels micro-miroirs et procede de realisation dudit micro-miroir |
US6873447B2 (en) * | 2001-07-03 | 2005-03-29 | Pts Corporation | Two-dimensional free-space optical wavelength routing element based on stepwise controlled tilting mirrors |
JP3740444B2 (ja) * | 2001-07-11 | 2006-02-01 | キヤノン株式会社 | 光偏向器、それを用いた光学機器、ねじれ揺動体 |
US6538802B2 (en) * | 2001-07-31 | 2003-03-25 | Axsun Technologies, Inc | System and method for tilt mirror calibration due to capacitive sensor drift |
US6700688B2 (en) * | 2001-08-24 | 2004-03-02 | Megasense, Inc. | Rolling mirror apparatus and method of use |
US20030137716A1 (en) * | 2002-01-22 | 2003-07-24 | Corning Intellisense Corporation | Tilting mirror with rapid switching time |
US6856437B2 (en) * | 2002-02-01 | 2005-02-15 | Terabeam Corporation | Fast steering mirror |
US20040004775A1 (en) * | 2002-07-08 | 2004-01-08 | Turner Arthur Monroe | Resonant scanning mirror with inertially coupled activation |
US6900918B2 (en) * | 2002-07-08 | 2005-05-31 | Texas Instruments Incorporated | Torsionally hinged devices with support anchors |
JP4307171B2 (ja) * | 2002-07-19 | 2009-08-05 | キヤノン株式会社 | マイクロ可動体 |
US6961485B2 (en) * | 2002-08-28 | 2005-11-01 | Nec Tokin Corporation | Optical switch |
US6758571B2 (en) * | 2002-09-30 | 2004-07-06 | Texas Instruments Incorporated | Scanning MEMS mirror with reluctance force motor |
CN100580545C (zh) * | 2003-07-17 | 2010-01-13 | 纽波特股份有限公司 | 用于样本检测和处理的高分辨率动态定位机构 |
US7034415B2 (en) * | 2003-10-09 | 2006-04-25 | Texas Instruments Incorporated | Pivoting mirror with improved magnetic drive |
US7061660B1 (en) * | 2005-04-13 | 2006-06-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | MEMs device with feedback control |
US7643196B2 (en) * | 2005-12-16 | 2010-01-05 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Systems, methods and devices for actuating a moveable miniature platform |
-
2006
- 2006-06-22 US US11/472,325 patent/US7598688B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-06-04 TW TW096119954A patent/TWI456368B/zh active
- 2007-06-20 KR KR1020087028570A patent/KR101427432B1/ko active IP Right Grant
- 2007-06-20 EP EP07825688A patent/EP2030069A4/en not_active Withdrawn
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2008
- 2008-11-19 IL IL195388A patent/IL195388A/en active IP Right Grant
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB672341A (en) * | 1949-02-14 | 1952-05-21 | Oswald Tschudin | Improvements in and relating to ball-bearings |
JPS6225956Y2 (ja) * | 1981-12-05 | 1987-07-02 | ||
JPH01297617A (ja) * | 1988-05-26 | 1989-11-30 | Matsushita Electric Works Ltd | 光ビーム偏向器 |
JPH11281925A (ja) * | 1998-03-26 | 1999-10-15 | Nec Corp | レーザポインティング装置 |
JP2001290100A (ja) * | 2000-04-10 | 2001-10-19 | Mitsubishi Electric Corp | ミラースキャナ |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020508031A (ja) * | 2017-02-10 | 2020-03-12 | マイクロ−エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲーMicro−Epsilon Messtechnik Gesellschaft Mit Beschrankter Haftung & Compagnie Kommanditgesellschaft | リラクタンスアクチュエータ |
JP7018064B2 (ja) | 2017-02-10 | 2022-02-09 | マイクロ-エプシロン・メステヒニク・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カー・ゲー | リラクタンスアクチュエータ |
US11614614B2 (en) | 2017-02-10 | 2023-03-28 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Reluctance actuator |
Also Published As
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