JP2009538238A - マイクロマシン構成素子及びその製法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明によれば、マイクロマシンセンサ機能及び電子評価装置を簡単に1つのチップ上に集積することができ、大量生産にも適した安価な技術を提供することができる。
前述のように、本発明による構成素子の層構造は、基板の表面マイクロマシンプロセシングによって形成される。図示の実施例における原材料として、pドーピングされたシリコン基板1が用いられる。このシリコン基板1のドーピング及び配向は任意であってよい。
Claims (15)
- 少なくとも1つの対抗エレメント(13)と上側に少なくとも1つのダイヤフラム(12)とを備えた層構造を有する、マイクロマシン構成素子であって、前記ダイヤフラム(12)と対抗エレメント(13)との間に中空室が形成されていて、前記対抗エレメントが、この対抗エレメントの背面スペースに通じる少なくとも1つの貫通開口(4)を有している形式のものにおいて、
前記背面スペースが、前記対抗エレメント(13)の下側の閉じられた別の中空室(6)によって形成されており、該別の中空室(6)が、少なくとも1つの圧力補償開口(5)を介して層構造の上側に接続されていることを特徴とする、マイクロマシン構成素子。 - 前記対抗エレメント(13)の下側の別の中空室(6)が少なくとも1つの狭窄部(24)を有しているか、又は互いに連通する複数の空洞によって形成されている、請求項1記載のマイクロマシン構成素子。
- 少なくとも1つの前記貫通開口(5)は、不都合な圧力が作用しないように、層構造の上側でカバーされている、請求項1又は2記載のマイクロマシン構成素子。
- 前記ダイヤフラム(12)と前記対抗エレメント(13)とが、ダイヤフラムの変形を容量式に検出するための電極として働く、請求項1から3までのいずれか1項記載のマイクロマシン構成素子。
- 前記層構造が、基板(1)と、該基板(1)上の少なくとも1つの第1の層(2)とを有しており、
前記対抗エレメント(13)が第1の層(2)内に形成されており、
前記ダイヤフラム(12)が、少なくとも1つの別の層(10)内で前記電極としての前記対抗エレメント(13)上に形成されており、
前記別の中空室(6)が、前記基板(1)内で前記対抗エレメント(13)の下に形成されている、
ことを特徴とする、マイクロマシン構成素子。 - 少なくとも1つの対抗エレメント(13)と上に少なくとも1つのダイヤフラム(12)とを備えた層構造を有し、前記ダイヤフラム(12)と対抗エレメント(13)との間に中空室が形成されていて、前記対抗エレメントが、この対抗エレメントの背面空間に通じる少なくとも1つの貫通開口(4)を有している形式の、請求項1から5までのいずれか1項記載のマイクロマシン構成素子を製造するための方法において、
基板(1)上に少なくとも1つの第1の層(2)を形成し、
前記第1の層(2)内に少なくとも前記基板(1)まで達する開口(4,5)を形成し、この際に、少なくとも1つの開口(4)を対抗エレメント(13)内の貫通開口として、形成しようとするダイヤフラムの領域内に配置し、少なくとも1つの別の開口(5)を圧力補償開口として、形成しようとするダイヤフラム(12)の隣の領域に配置し、
層構造の上側を基点として、前記第1の層(2)内の前記開口(4,5)を介して行う第1のエッチング段階で、第1の層(2)の下側に基板(1)の中空室(6)を形成し、
微細加工された第1の層(2)の上側に少なくとも1つの犠牲層(7)を形成し、この際に、前記第1の層(2)内の前記開口(4,5)を閉鎖し、
前記犠牲層(7)に前記ダイヤフラム(12)のためのフレーム領域(8)を形成し、
前記犠牲層(7)上に、ダイヤフラム材料から少なくとも1つの層(10)を析出し、かつ微細加工し、
層構造の上側を基点として、前記第1の層(2)内の補償開口(5)と、前記第1の層(2)の下の前記中空室(6)と、前記対抗エレメント(13)の貫通開口(4)とを介して行う第2のエッチング段階で、前記犠牲層を取り除くことによって、前記ダイヤフラム(12)を露出する、
ことを特徴とする、マイクロマシン構成素子を製造するための方法。 - pドーピングされたシリコン基板を基板(1)として使用し、第1の層(2)をnドーピングされたシリコン基板によって形成し、前記第1の層(2)の開口(4,5)をトレンチプロセスによって形成し、この場合、第1のエッチング段階と、フッ化水素酸(HF)による電気仕上げ段階とを有している、請求項6記載の方法。
- nドーピングを基板表面に部分的に設ける、請求項7記載の方法。
- 前記第1の層(2)の、形成しようとする対抗エレメント(13)の領域に、表面近傍における打ち込みによって、付加的なドーピングを形成する、請求項7又は8記載の方法。
- 犠牲層(7)としてSiGe層をLPCVDによって生ぜしめ、犠牲層材料を取り除くための第2のエッチング段階においてClF3エッチングを用いる、請求項7から9までのいずれか1項記載の方法。
- 犠牲層としてSiO2層(15)をPECVDによって生ぜしめ、第2のエッチング段階において犠牲層材料を取り除くためのHF蒸気エッチングを実施する、請求項7から9までのいずれか1項記載の方法。
- 前記ダイヤフラム(12)を、ドーピングされたポリシリコン層(10)に形成する、請求項7から11までのいずれか1項記載の方法。
- 第1のエッチング段階後に形成されたシリコン構造を、殊に熱的な酸化によって不動態化し、ポリシリコン層(17)を犠牲層として生ぜしめ、誘電体、殊にSiO2,SiN,Si3N4及び/又はSiCをダイヤフラム材料として使用する、請求項7から9までのいずれか1項記載の方法。
- 犠牲層(7;15)内に、ダイヤフラム(12)のための、殊にSiO2又はSiN領域としての又はpドーピングによる、絶縁されたフレーム領域(8;16)を生ぜしめる、請求項6までのいずれか1項記載の方法。
- 少なくとも1つのキャップウェーハを、圧力補償開口(5)上の領域で層構造上にボンディングする、請求項6から14までのいずれか1項記載の方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013043280A (ja) * | 2011-08-22 | 2013-03-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 容量性トランスデューサとその製造及び動作方法 |
JP2013111745A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives | 異なる厚さの領域を有する少なくとも1つの活性部を備える構造を製造する方法 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10032579B4 (de) * | 2000-07-05 | 2020-07-02 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements sowie ein nach dem Verfahren hergestelltes Halbleiterbauelement |
DE102008002332B4 (de) | 2008-06-10 | 2017-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Membranstruktur mit Zugang von der Substratrückseite |
DE102009000053A1 (de) | 2009-01-07 | 2010-07-08 | Robert Bosch Gmbh | Bauelement mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur |
US20120062570A1 (en) * | 2010-09-10 | 2012-03-15 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Process of forming an air gap in a microelectromechanical system device using a liner material |
DE102011006332A1 (de) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Erzeugen von monokristallinen Piezowiderständen |
DE102011016934A1 (de) * | 2011-04-13 | 2012-10-18 | Epcos Ag | MEMS-Sensor |
JP5868202B2 (ja) * | 2012-02-01 | 2016-02-24 | ローム株式会社 | 静電容量型圧力センサおよびその製造方法 |
EP2991926A1 (en) | 2013-05-02 | 2016-03-09 | Robert Bosch GmbH | Monolithic cmos-mems microphones and method of manufacturing |
DE102013212173B4 (de) * | 2013-06-26 | 2016-06-02 | Robert Bosch Gmbh | MEMS-Bauelement mit einer auslenkbaren Membran und einem feststehenden Gegenelement sowie Verfahren zu dessen Herstellung |
DE102013213065B4 (de) * | 2013-07-04 | 2016-06-02 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
CN106032267B (zh) * | 2015-03-19 | 2017-11-14 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种mems器件及其制作方法和电子装置 |
US20220345828A1 (en) * | 2021-04-26 | 2022-10-27 | RF360 Europe GmbH | Etch stop and protection layer for capacitor processing in electroacoustic devices |
DE102021205736A1 (de) | 2021-06-08 | 2022-12-08 | Robert Bosch Gesellschaft mit beschränkter Haftung | Mikromechanisches Bauteil für eine Sensorvorrichtung |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60121400U (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-16 | アイワ株式会社 | コンデンサ形マイクロホン |
JPH0750899A (ja) * | 1992-03-18 | 1995-02-21 | Monolithic Sensors Inc | ソリッドステートコンデンサ及びマイクロホン装置 |
JP2003531017A (ja) * | 2000-02-10 | 2003-10-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロマシーニング構造素子の製造法および該方法により製造された構造素子 |
WO2005120130A1 (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Olympus Corporation | 静電容量型超音波振動子とその製造方法、静電容量型超音波プローブ |
WO2006013137A2 (de) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum ätzen einer sige-schicht auf einem substrat |
JP2006075981A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Robert Bosch Gmbh | トレンチされたキャビティを有するセンサエレメント |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60121400A (ja) | 1983-12-06 | 1985-06-28 | Yazaki Corp | Lpg容器自動切換調整器 |
EP0981823A1 (en) * | 1996-04-18 | 2000-03-01 | California Institute Of Technology | Thin film electret microphone |
ITVA20000042A1 (it) | 2000-12-15 | 2002-06-15 | St Microelectronics Srl | Sensore di pressione monoliticamente integrato e relativo processo direalizzazione. |
DE10160830A1 (de) * | 2001-12-11 | 2003-06-26 | Infineon Technologies Ag | Mikromechanische Sensoren und Verfahren zur Herstellung derselben |
US6928178B2 (en) * | 2002-12-17 | 2005-08-09 | Taiwan Carol Electronics Co., Ltd. | Condenser microphone and method for making the same |
DE10313738A1 (de) * | 2003-03-27 | 2004-10-07 | Robert Bosch Gmbh | Kapazitiver mikromechanischer Drucksensor |
DE102005004878B4 (de) * | 2005-02-03 | 2015-01-08 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanischer kapazitiver Drucksensor und entsprechendes Herstellungsverfahren |
-
2006
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60121400U (ja) * | 1984-01-25 | 1985-08-16 | アイワ株式会社 | コンデンサ形マイクロホン |
JPH0750899A (ja) * | 1992-03-18 | 1995-02-21 | Monolithic Sensors Inc | ソリッドステートコンデンサ及びマイクロホン装置 |
JP2003531017A (ja) * | 2000-02-10 | 2003-10-21 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロマシーニング構造素子の製造法および該方法により製造された構造素子 |
WO2005120130A1 (ja) * | 2004-06-03 | 2005-12-15 | Olympus Corporation | 静電容量型超音波振動子とその製造方法、静電容量型超音波プローブ |
WO2006013137A2 (de) * | 2004-07-29 | 2006-02-09 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum ätzen einer sige-schicht auf einem substrat |
JP2006075981A (ja) * | 2004-09-08 | 2006-03-23 | Robert Bosch Gmbh | トレンチされたキャビティを有するセンサエレメント |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013043280A (ja) * | 2011-08-22 | 2013-03-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 容量性トランスデューサとその製造及び動作方法 |
JP2013111745A (ja) * | 2011-11-30 | 2013-06-10 | Commissariat A L'energie Atomique & Aux Energies Alternatives | 異なる厚さの領域を有する少なくとも1つの活性部を備える構造を製造する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007137893A1 (de) | 2007-12-06 |
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US8165324B2 (en) | 2012-04-24 |
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