JP2009536334A - 接触感知プローブ - Google Patents
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- 針と、前記針に機械的に連結されたトランスデューサと、前記トランスデューサに交流電流を供給して前記針の振動を励起する発振器と、前記トランスデューサに印加される電圧と前記トランスデューサに流れる電流との間の位相差を監視する接触センサと、を備え、接触感知中に、前記発振器が前記トランスデューサに第1の周波数の交流電流を供給する接触感知プローブ装置であって、
前記第1の周波数は、機械的共振を誘発するが機械的共振ピークの最大値からは離れているように選択されることを特徴とする接触感知プローブ装置。 - 前記第1の周波数は、針が表面と接触したときに、前記トランスデューサに印加される電圧とトランスデューサを通過する電流との間の位相差の変化を最大限にするように選択されることを特徴とする請求項1に記載の接触感知プローブ装置。
- 前記第1の周波数を決定するセットアップルーチンを実行するための周波数設定器を備え、
前記周波数設定器は、前記トランスデューサに供給される交流電流の周波数を変化させるように、前記発振器を制御する構成とされていることを特徴とする請求項1または2に記載の接触感知プローブ装置。 - 前記周波数設定器は、前記トランスデューサに印加される電圧と前記トランスデューサを通過する電流との間の位相差を周波数の関数として分析するように構成され、
前記第1の周波数は、前記針の位相差対周波数特性の局所的勾配における絶対最大値に対応する周波数と等しくなるように選択されることを特徴とする請求項3に記載の接触感知プローブ装置。 - 前記第1の周波数は、前記位相差対周波数特性の正および負の局所的勾配の内の少なくとも一方に対応する周波数と等しくなるように選択されることを特徴とする請求項4に記載の接触感知プローブ装置。
- 前記周波数設定器は、第1の周波数範囲で初期化周波数掃引を行うように構成されることを特徴とする 請求項3から5のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 前記周波数設定器具は、第2の周波数範囲で微調整周波数掃引を行い、
前記第2の周波数範囲は、前記第1の周波数範囲よりも狭いことを特徴とする請求項6に記載の接触感知プローブ装置。 - 前記微調整周波数掃引の前記第2の周波数範囲は、前に決定された前期第1の周波数を包含することを特徴とする請求項7に記載の接触感知プローブ装置。
- 前記接触センサは、前記トランスデューサに印加される電圧と前記トランスデューサを通過する電流との間の位相差と、閾値位相差と、を比較するように構成されることを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 接触信号ラインを備え、
前記接触信号ラインは、前記トランスデューサに印加される電圧と前記トランスデューサを通過する電流との間の位相差が閾値位相差より低く下降するたびに、有効化されることを特徴とする請求項9に記載の接触感知プローブ装置。 - 前記トランスデューサは、少なくとも1層の圧電材料を備えることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 前記トランスデューサは、少なくとも2層の圧電材料からなる圧電スタックを備えることを特徴とする請求項11に記載の接触感知プローブ装置。
- 前記第1の周波数は、15KHzよりも大きいことを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 前記第1の周波数は、35KHz未満であることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 解除可能に固定される針を備えることを特徴とする請求項1から14のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 前記針のシャフトは、中空コアを有することを特徴とする請求項1から15のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 前記中空コアの中に質量が保持されることを特徴とする請求項16に記載の接触感知プローブ装置。
- 前記第1の周波数は、縦方向の針の共振モードと一致するように選択されることを特徴とする請求項1から17のいずれかに記載の接触感知プローブ装置。
- 針に機械的に連結されたトランスデューサを備える振動プローブの設定方法であって、
(i)前記プローブの前記トランスデューサに交流電流を印加して、前記針を振動させるステップと、
(ii)前記トランスデューサに印加される電圧と、前記トランスデューサを通過する電流と、の間の位相差を監視するステップと、
(iii)接触感知動作中に前記トランスデューサを駆動する第1の周波数を決定するステップと、
を含み、
ステップ(iii)は、機械的共振を励起するが機械的共振ピークの最大値からは離れている第1の周波数を決定するステップを含むことを特徴とする振動プローブの設定方法。 - ステップ(iii)は、針が物体と接触したときに、前記トランスデューサに印加される電圧と前記トランスデューサを通過する電流との間の位相差の変化を最大限にするように、前記第1の周波数を選択するステップを含むことを特徴とする請求項19に記載の振動プローブの設定方法。
- (iv)表面との接触を検出するように前記振動プローブを動作させるステップを含み、前記動作中に、前記第1の周波数の交流駆動信号が前記トランスデューサに印加されることを特徴とする請求項19または20に記載の振動プローブの設定方法。
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