JP6577816B2 - 測定プローブ、及び測定プローブシステム - Google Patents
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Description
本願の請求項6に係る発明は、前記複数の第1ヒンジ部材が、円板形状であり、第1中心部と該第1中心部の外周に設けられた第1周辺部を備え、該第1中心部で前記径方向変位部材を支持し、該第1周辺部を前記径方向ハウジングで支持するようにしたものである。
本願の請求項7に係る発明は、前記先端部を複数とし、互いの該先端部の位置を相対的に調整可能としたものである。
102、202、402…ボールねじ
102A、402A…ねじ溝
102B、402B…ねじ溝上面
102C、402C…ねじ溝下面
103…フリックスタンダード
104…回転軸
106…ベース
108…回転機構
110、146…コラム
112…ガイド
114…ワーク支持部材
116…タイミングベルト
118…駆動源
120…ロータリーエンコーダ
122、156…表示装置
122A、156A…表示部
124、224、324、424…測定プローブ
125、225、325、425…ケーシング
126、226、326、426、ST…スタイラス
126A、326A、426A、426AA…先端部
126B、426B、426BB…ロッド部
127、227、327…径方向変位機構
128、228、328…径方向変位部材
129、229、329、429、HG…第1ヒンジ部材
129A…中心部
129B…リム部
129C…周辺部
130、230、330…径方向ハウジング
131、231、331…軸方向変位機構
132、232、332…軸方向変位部材
133、233、333、433…第2ヒンジ部材
134、234、334…軸方向ハウジング
134A、134B、230A、230B…開口部
135、136、235、236、335、336、435、436…センサ
135A、136A…基準部材
135B、136B…検出部材
142…プローブ支持機構
144…調整ステージ
148…Zステージ
150…リニアエンコーダ
152…検出ヘッド
154…リニアスケール
158…バランス機構
160…ワイヤ
162、164…滑車
166…バランサ
168、468…信号処理装置
237…緩衝機構
238、239…磁性構造体
238A、239A…支持部
238B、239B、MB…磁性部材
238C、238D、238E、239C、239D、239E、MU、MD、MR、ML…永久磁石
302…円筒カム
302A…カム溝
302B…カム溝上面
328A…凹部
337…クランプ機構
426C…固定部
426CC…可変部
AR…スタイラスの変位領域
BL…ボール
BT、BT1、BT2…ボルト
CS…円
ΔRR、ΔX、ΔX1、ΔZ…変位
EE…回転むら
EG…溝径むら
EL…リードむら
FG…ねじ溝の形状
NT…ナット
O…軸心
P、Q…軸
PI…測定時の最初の状態のスタイラスの位置
RE…回転精度
ST…スタイラス
T…時間
TLE、TRE、TS、TT…時間遅れ
TP…接触点
TR1、TR2…折り返し部
X、Y、Z…方向
X0、Z0、Z00、θ0…時間に対する指令時点の出力
X1、Z1、Z11、θ1…時間に対する実際の出力
W…ワーク(ボールねじ)
θi…事前回転角度
Claims (10)
- 相対的に回転可能とされたワークの側面形状を測定する測定プローブであって、
前記ワークの側面に接触する先端部を有するスタイラスと、
該スタイラスを該ワークの軸心に向かう方向に変位可能に支持する径方向変位機構と、
該スタイラスを該軸心の軸方向に変位可能に支持する軸方向変位機構と、
該径方向変位機構と該軸方向変位機構とによる該スタイラスの変位を検出するセンサと、
を備え、
前記径方向変位機構は、前記スタイラスに一体的に設けられた径方向変位部材と、該径方向変位部材に接続され、該スタイラスの変位に対応して変形する複数の第1ヒンジ部材と、該複数の第1ヒンジ部材を介して該径方向変位部材を支持する径方向ハウジングと、を備えることを特徴とする測定プローブ。 - 前記軸方向変位機構は、前記径方向ハウジングを支持する軸方向変位部材と、該軸方向変位部材に接続され、前記スタイラスの変位に対応して変形する複数の第2ヒンジ部材と、該複数の第2ヒンジ部材を介して該軸方向変位部材を支持する軸方向ハウジングと、を備えることを特徴とする請求項1に記載の測定プローブ。
- 前記第1、第2ヒンジ部材の変形量に対応して増大する復元力をそれぞれ低減可能な緩衝機構を備えることを特徴とする請求項2に記載の測定プローブ。
- 前記径方向変位機構は、前記径方向変位部材を前記径方向ハウジングに対して一時的にクランプするクランプ機構を備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の測定プローブ。
- 前記複数の第2ヒンジ部材は、円板形状であり、第2中心部と該第2中心部の外周に設けられた第2周辺部を備え、
該第2中心部で前記軸方向変位部材を支持し、該第2周辺部が前記軸方向ハウジングに支持されていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の測定プローブ。 - 前記複数の第1ヒンジ部材は、円板形状であり、第1中心部と該第1中心部の外周に設けられた第1周辺部を備え、
該第1中心部で前記径方向変位部材を支持し、該第1周辺部が前記径方向ハウジングに支持されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の測定プローブ。 - 前記先端部は複数とされ、互いの該先端部の位置が相対的に調整可能とされていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の測定プローブ。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載の測定プローブを備える測定プローブシステムであって、
前記ワークの前記測定プローブに対する相対的な回転を可能とする回転機構と、
該回転機構を制御し、且つ該測定プローブの出力を処理する信号処理装置と、
を備えることを特徴とする測定プローブシステム。 - 前記信号処理装置は前記測定プローブの出力を処理することで該ワークの実側面形状を求める処理部を備え、前記回転機構は前記ワークの相対的な回転角度を出力するロータリーエンコーダを備え、
該処理部は、該回転機構の回転開始位置をそれぞれ異ならせた状態を初期状態とする複数の実側面形状を求め、該複数の実側面形状同士の演算を行うことで、該回転機構に起因する測定誤差を低減することを特徴とする請求項8に記載の測定プローブシステム。 - 前記回転機構による回転に従って前記測定プローブを前記軸方向に移動可能に支持するプローブ支持機構を備え、該プローブ支持機構は前記測定プローブの該軸方向における位置を出力するリニアエンコーダを備え、
前記処理部は、前記実側面形状を求める際に、前記測定プローブ、該リニアエンコーダ、及び前記ロータリーエンコーダの出力応答特性を校正することを特徴とする請求項9に記載の測定プローブシステム。
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JP6481804B1 (ja) * | 2017-10-26 | 2019-03-13 | 日本精工株式会社 | ボールねじ装置の軸方向すきま測定方法及び測定装置、並びに、ボールねじ装置、車両、及び機械装置の製造方法 |
DE202018002681U1 (de) * | 2018-06-06 | 2019-09-09 | PREMETEC Automation GmbH | Taktiles Wellenmessgerät |
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DE3634688A1 (de) * | 1986-10-11 | 1988-04-14 | Zeiss Carl Fa | Verfahren und einrichtung zur messung von verzahnungen mit hilfe eines koordinatenmessgeraetes |
JPH062081Y2 (ja) * | 1987-02-16 | 1994-01-19 | 新日本工機株式会社 | 測定プロ−ブ |
JPS6450303U (ja) * | 1987-09-24 | 1989-03-28 | ||
JPH0749366Y2 (ja) * | 1993-03-17 | 1995-11-13 | 株式会社尾崎製作所 | てこ式孔径測定用ダイヤルゲージ |
GB9612383D0 (en) * | 1995-12-07 | 1996-08-14 | Rank Taylor Hobson Ltd | Surface form measurement |
US5829148A (en) * | 1996-04-23 | 1998-11-03 | Eaton; Homer L. | Spatial measuring device |
IT1299955B1 (it) * | 1998-04-06 | 2000-04-04 | Marposs Spa | Testa per il controllo di dimensioni lineari di pezzi. |
JPH11325869A (ja) * | 1998-05-11 | 1999-11-26 | Mitsutoyo Corp | ワーク形状測定方法、装置及び座標測定機 |
DE10006753A1 (de) * | 2000-02-15 | 2001-08-16 | Zeiss Carl | Dreh-Schwenkeinrichtung für den Tastkopf eines Koordinatenmeßgerätes |
JP3628938B2 (ja) * | 2000-06-23 | 2005-03-16 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
CN1140432C (zh) * | 2001-06-12 | 2004-03-03 | 西南交通大学 | 铁路车辆轮对几何参数自动测量装置 |
GB0609022D0 (en) * | 2006-05-08 | 2006-06-14 | Renishaw Plc | Contact sensing probe |
JP2009125853A (ja) * | 2007-11-22 | 2009-06-11 | Murata Mach Ltd | センサ |
JP5317549B2 (ja) * | 2008-06-23 | 2013-10-16 | 株式会社ミツトヨ | カムプロファイル測定装置 |
US8650939B2 (en) * | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
CN101769714B (zh) * | 2010-02-04 | 2011-12-14 | 西安理工大学 | 差压式流量计孔板检测仪及其检测方法 |
DE202012011761U1 (de) * | 2012-11-27 | 2013-01-11 | Horst Knäbel | Vorrichtung zur Überprüfung eines Kettenrades |
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