JP2009526389A - ナノチューブトランジスタアクセスデバイスを備えたメモリ - Google Patents
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Abstract
メモリセルは、メモリ素子と、当該メモリ素子にアクセスするために当該メモリ素子に接触したナノチューブトランジスタとを有している。
Description
〔背景〕
不揮発性メモリの1つのタイプとして、抵抗メモリがある。抵抗メモリは、メモリ素子の抵抗値を用いて、1ビットまたはそれ以上のデータを記憶する。例えば、抵抗値が高くなるようにプログラムされたメモリ素子は論理値「1」データビット値を示し、抵抗値が低くなるようにプログラムされたメモリ素子は論理値「0」データビット値を示す。メモリ素子の抵抗値は、メモリ素子に電圧パルスまたは電流パルスを印加することによって、電気的に切り替えられる。抵抗メモリの1つのタイプとして、相変化メモリがある。相変化メモリは、抵抗メモリ素子として相変化材料を用いる。
不揮発性メモリの1つのタイプとして、抵抗メモリがある。抵抗メモリは、メモリ素子の抵抗値を用いて、1ビットまたはそれ以上のデータを記憶する。例えば、抵抗値が高くなるようにプログラムされたメモリ素子は論理値「1」データビット値を示し、抵抗値が低くなるようにプログラムされたメモリ素子は論理値「0」データビット値を示す。メモリ素子の抵抗値は、メモリ素子に電圧パルスまたは電流パルスを印加することによって、電気的に切り替えられる。抵抗メモリの1つのタイプとして、相変化メモリがある。相変化メモリは、抵抗メモリ素子として相変化材料を用いる。
相変化メモリは、少なくとも2つの異なる状態を示す相変化材料に基づいている。相変化材料は、データビットを記憶するためにメモリセル内において用いられる。相変化材料の状態は、アモルファス状態および結晶状態と称される。これらの状態は、アモルファス状態が一般的に結晶状態よりも高い抵抗率を示すため、区別することができる。一般的には、アモルファス状態では原子構造がより不規則であり、結晶状態では格子がより規則的である。一部の相変化材料は、例えば面心立方(face-centered cubic; FCC)状態および六方最密充填(hexagonal closest packing; HCP)状態など、2つ以上の結晶状態を示す。これら2つの結晶状態は抵抗率がそれぞれ異なり、複数のデータビットを記憶するために用いることができる。
相変化材料における相変化は、可逆的に誘発させることができる。メモリは、温度変化に反応して、アモルファス状態から結晶状態、および結晶状態からアモルファス状態へと変化する。相変化材料における温度変化は、様々な方法によって達成することができる。例えば、相変化材料へのレーザー照射、相変化材料への電流供給、相変化材料に隣接する抵抗ヒータへの電流供給を挙げることができる。これら方法のいずれにおいても、相変化材料の加熱が制御可能であることによって、これら相変化材料内における相変化が制御可能となる。
相変化材料からなる複数のメモリセルを有するメモリアレイを備えた相変化メモリは、相変化材料のメモリ状態を利用してデータを記憶するようにプログラムすることができる。このような相変化メモリデバイスにおけるデータの読み出しおよび書き込みを行うための方法の1つとして、相変化材料へ印加される電流および/または電圧パルスを制御する方法がある。電流および/または電圧のレベルは、各メモリセル内の相変化材料内において誘発される温度に対応している。
相変化メモリセル内の相変化素子を、或る状態から別の状態へと変化させる(セットまたはリセットする)ために用いられる電流は、電極と相変化素子との間の界面における電流密度に強く依存している。界面領域を低減して、メモリ素子をセットおよびリセットするために必要な絶対電流を低減するために、スペーサ技術が用いられている。界面領域を低減するために用いられる別の技術としては、2005年7月14日出願、米国特許出願第11/182、022号、「PHASE CHANGE MEMORY CELL HAVING NANOWIRE ELECTRODE」に記載されているように、相変化メモリセルのためのナノワイヤ電極がある。しかし、これらの技術におけるメモリセルサイズは、相変化素子に電流を駆動するために用いられるアクセスデバイスによって、依然として制限されている。
さらに、相変化素子をセットおよびリセットするために、相変化素子の閾値電圧を設定する必要がある。このため、アクセスデバイスの抵抗は、低電圧動作が可能となるように十分に低いものでなくてはならない。さらに、相変化メモリセルは、通常はBEOLメモリセル(backend-of-line memory cell)である。したがって、通常はFEOL(front-end-of-line)に配置されているアクセスデバイスを、BEOLに配置されているメモリセルに接続するために、相当量の領域が用いられる。
〔概要〕
本発明の一実施形態は、メモリセルを提供する。当該メモリセルは、メモリ素子と、当該メモリ素子にアクセスするために当該メモリ素子に接触したナノチューブトランジスタとを備えている。
本発明の一実施形態は、メモリセルを提供する。当該メモリセルは、メモリ素子と、当該メモリ素子にアクセスするために当該メモリ素子に接触したナノチューブトランジスタとを備えている。
〔図面の簡単な説明〕
本発明をさらに理解するために、図面が添付されている。これらの添付図面は本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成する。これらの図面は、本発明の実施形態を例証し、また本明細書における記載と共に本発明の原理を説明するためのものである。本発明の別の実施形態、および本発明の意図する多くの利点については、以下の詳細な説明を参照することによって容易に理解できるであろう。これら図面中の各素子は、必ずしも互いに相対的な縮尺とはなっていない。同様の符号は、対応する同様の箇所を示している。
本発明をさらに理解するために、図面が添付されている。これらの添付図面は本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成する。これらの図面は、本発明の実施形態を例証し、また本明細書における記載と共に本発明の原理を説明するためのものである。本発明の別の実施形態、および本発明の意図する多くの利点については、以下の詳細な説明を参照することによって容易に理解できるであろう。これら図面中の各素子は、必ずしも互いに相対的な縮尺とはなっていない。同様の符号は、対応する同様の箇所を示している。
図1は、メモリデバイスの一実施形態を示すブロック図である。
図2は、カーボンナノチューブ(CNT)トランジスタの一実施形態を示す図である。
図3Aは、メモリセルの一実施形態を示す図である。
図3Bは、メモリセルの別の実施形態を示す図である。
図4Aは、一対のメモリセルの一実施形態を示す図である。
図4Bは、一対のメモリセルの別の実施形態を示す図である。
図4Cは、一対のメモリセルの別の実施形態を示す図である。
図5は、メモリセルの別の実施形態を示す図である。
図6は、一対のメモリセルの別の実施形態を示す図である。
図7は、一対のメモリセルの別の実施形態を示す図である。
〔詳細な説明〕
図1は、メモリデバイス100の一実施形態を示すブロック図である。メモリデバイス100は、書き込みパルス発生器102、分配回路104、メモリセル106a、106b、106c、106d、およびセンス回路108を備えている。一実施形態では、メモリセル106a〜106dは、メモリセル内のメモリ材料のアモルファスから結晶質への相遷移に基づく相変化メモリセルなどの、抵抗メモリセルである。別の実施形態では、メモリセル106a〜106dは、導電性ブリッジングランダムアクセスメモリ(CBRAM)セル、磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(MRAM)セル、強誘電体ランダムアクセスメモリ(FeRAM)セル、カンチレバーメモリセル(cantilever memory cell)、ポリマーメモリセル、あるいはその他の適切なBEOLメモリセルである。
図1は、メモリデバイス100の一実施形態を示すブロック図である。メモリデバイス100は、書き込みパルス発生器102、分配回路104、メモリセル106a、106b、106c、106d、およびセンス回路108を備えている。一実施形態では、メモリセル106a〜106dは、メモリセル内のメモリ材料のアモルファスから結晶質への相遷移に基づく相変化メモリセルなどの、抵抗メモリセルである。別の実施形態では、メモリセル106a〜106dは、導電性ブリッジングランダムアクセスメモリ(CBRAM)セル、磁気抵抗ランダムアクセスメモリ(MRAM)セル、強誘電体ランダムアクセスメモリ(FeRAM)セル、カンチレバーメモリセル(cantilever memory cell)、ポリマーメモリセル、あるいはその他の適切なBEOLメモリセルである。
各メモリセル106a〜106dは、メモリ素子と、当該メモリ素子にアクセスするためのナノチューブトランジスタとを有している。一実施形態では、ナノチューブトランジスタは、カーボンナノチューブ(CNT)トランジスタである。CNTトランジスタは、2つのメタライゼーション(metalization)層間に配置されている。CNTトランジスタの電流密度は、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)の電流密度よりも遥かに高い。メモリ素子、例えば相変化素子は、ナノチューブトランジスタに電気的に結合されている。一実施形態では、メモリ素子はマッシュルーム形状(mushroom configuration)をしており、またナノチューブトランジスタのソースまたはドレインに接触している。別の実施形態では、相変化素子はビア内に配置されている。当該ビア内には、ナノチューブトランジスタも配置されており、またナノチューブトランジスタのソースまたはドレインに接触している。
本発明に係るナノチューブトランジスタに基づくメモリセルの面積は、4F2 (「F」は最小加工寸法)まで寸法変更することができる。各メモリセルによって占有される領域が小さいことによって、内蔵されたスタンドアロンメモリ回路が可能となる。さらに、MOSFETの電流密度よりもCNTトランジスタの電流密度の方が大きいことによって、メモリセルにアクセスするための周辺回路に対する必須要件が緩和される。周辺回路に対する必須要件が緩和されるのは、CNTトランジスタにおける電圧降下がMOSFETにおける電圧降下よりも小さいためである。メモリセルサイズが小さい場合は配線長もまた短くなり、これによって寄生抵抗および寄生容量の定数がさらに低減される。このため、CNTトランジスタメモリセルによってメモリセルを4F2まで変更することができる。
上記CNTトランジスタは、可能な限りメモリ素子に近接して配置される。メモリ素子をシリコン表面まで接続する必要がないため、配線および寄生効果が最低限に抑えられる。メモリ素子の組み込みは、1つの層のみに限定されることなく、複数のメモリ素子をスタックすることができる。CNTトランジスタ選択デバイスと相変化素子との界面における電流密度は内在的に高くなり、これによってセットおよびリセット電流を低減するのに役立つ。複数のメタライゼーションレベルが使用可能である埋め込みメモリ回路においては、メタライゼーションの上方レベルにメモリアレイを統合し、当該メモリアレイの真下に復号器と制御論理部を統合することができる。しかし、十分なメタライゼーションレベルが使用できない場合(例えば、スタンドアロンメモリ回路では、メタライゼーションレベルの量は限られている場合がある)は、下方のメタライゼーションレベルを、高濃度にドープされたシリコンまたはポリシリコンとして形成することができる。
一実施形態では、書き込みパルス発生器102は、分配回路104を介してメモリセル106a〜106dに、制御下で与えられる電流パルスまたは電圧パルスを生成する。一実施形態では、分配回路104は、メモリセルに電流パルスまたは電圧パルスを制御しながら与える複数のトランジスタを備えている。書き込みパルス発生器102は、信号経路110を介して、分配回路104に電気的に結合されている。分配回路104は、信号経路112a〜112dを介して、各メモリセル106a〜106dに電気的に結合されている。分配回路104は、信号経路112aを介して、メモリセル106aに電気的に結合されている。分配回路104は、信号経路112bを介して、メモリセル106bに電気的に結合されている。分配回路104は、信号経路112cを介して、メモリセル106cに電気的に結合されている。分配回路104は、信号経路112dを介して、メモリセル106dに電気的に結合されている。分配回路104はさらに、信号経路114を介して、センス回路108に電気的に結合されており、センス回路108は、信号経路116を介して、書き込みパルス発生器102に電気的に結合されている。
センス回路108は、メモリセル106a〜106dの状態を検知し、メモリセル106a〜106dの抵抗状態を示す信号を供給する。センス回路108は、信号経路114を介して、メモリセル106a〜106dの各状態を読み出す。分配回路104は、センス回路108とメモリセル106a〜106dとの間に、信号経路112a〜l12dを介して、読み出し信号を制御しながら与える。一実施形態では、分配回路104は、センス回路108とメモリセル106a〜106dとの間に読み出し信号を制御しながら与える複数のトランジスタを備えている。
一実施形態では、メモリセル106a〜106dは、アモルファス状態から結晶状態、あるいは結晶状態からアモルファス状態へと温度変化の影響下において変化する、相変化材料から形成されている。したがって、結晶化度によって、メモリデバイス100内にデータを記憶するための少なくとも2つのメモリ状態が規定される。これら少なくとも2つのメモリ状態は、ビット値「0」および「1」に割り当てることができる。メモリセル106a〜106dのビット状態は、その電気抵抗率において大きく異なる。アモルファス状態にある相変化材料は、結晶状態にある場合よりも遥かに高い抵抗率を示す。このように、センスアンプ108は、セル抵抗値を読み出して、特定のメモリセル106a〜106dに割り当てられたビット値が決定される。
メモリデバイス100内のメモリセル106a〜106dをプログラムするために、書き込みパルス発生器102は、標的メモリセル内の相変化材料を加熱する電流パルスまたは電圧パルスを生成する。一実施形態では、書き込みパルス発生器102は、適切な電流パルスまたは電圧パルスを生成し、この電流パルスまたは電圧パルスは分配回路104に供給され、そして適切な標的メモリセル106a〜106dに分配される。上記電流パルスまたは電圧パルスの振幅および幅は、メモリセルがセットされるのか、あるいはリセットされるのかに応じて制御される。一般的に、メモリセルの「セット」動作は、標的メモリセルの相変化材料を、その結晶化温度を超えて(しかしその融点を超えないように)十分に長い時間加熱して、結晶状態を達成する動作である。一般的に、メモリセルの「リセット」動作は、標的セルの相変化材料を、その融点を超えて加熱した後に急速に冷却して、アモルファス状態を達成する動作である。
図2は、ナノチューブトランジスタ150の一実施形態を示す図である。一実施形態では、ナノチューブトランジスタ150は、カーボンナノチューブ(CNT)トランジスタである。CNTトランジスタ150は、第1の金属層152、ゲート層154、第2の金属層156、およびナノチューブ158aおよび158bを有している。第1の金属層152は、CNTトランジスタ150のためのソースおよびドレインの一方であり、第2の金属層156は、CNTトランジスタ150のためのソースおよびドレインの他方である。第1の金属層152は、ソース線またはドレイン線である第1の導電線160に電気的に結合されている。ゲート層154は、ワード線162に電気的に結合されている。第2の金属層156は、ソース線またはドレイン線である第2の導電線164に電気的に結合されている。第1の金属層152は、ナノチューブ158aの一端に電気的に結合されている。ナノチューブ158aの他端は、ゲート層154の一端に電気的に結合されている。ゲート層154の他端は、ナノチューブ158bの一端に電気的に結合されている。ナノチューブ158bの他端は、第2の金属層156に電気的に結合されている。
CNTトランジスタ150は、ワード線162上の論理ハイ信号に応答してオンになり、第1の導電線160と第2の導電線164との間に信号を通す。CNTトランジスタ150はまた、ワード線162上の論理ロー信号に応答してオフになり、第1の導電線160と第2の導電線164との間に信号が通らないように遮断する。CNTトランジスタ150の電流密度は、金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(MOSFET)よりも大きい。
図3Aは、メモリセル200aの一実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル200aと同様である。メモリセル200aは、第1の導電線202a、ワード線204、第2の導電線202b、CNTトランジスタ206、および相変化素子208を有している。第1の導電線202aは、相変化素子208の一端に電気的に結合されている。相変化素子208の他端は、CNTトランジスタ206のソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。CNTトランジスタ206のソース−ドレイン経路の他端は、第2の導電線202bに電気的に結合されている。CNTトランジスタ206のゲートは、ワード線204に電気的に結合されている。
一実施形態では、第1の導電線202aはソース線であり、第2の導電線202bはビット線である。別の実施形態では、第1の導電線202aはビット線であり、第2の導電線202bはソース線である。第1の導電線202aは、第1の水平面内に配置されており、ワード線204は第2の水平面内に配置されており、第2の導電線202bは第3の水平面内に配置されている。第1の水平面は、第2の水平面から離れて配置されていると共に、第2の水平面に平行である。第2の水平面は、第3の水平面から離れて配置されていると共に、第3の水平面に平行である。相変化素子208は、第1の導電線202aからワード線204に向かって伸びている。CNTトランジスタ204のソース−ドレイン経路は、ワード線204から、第1の導電線202aおよび第3の導電線206に向かって伸びている。相変化素子208およびCNTトランジスタ206のソース−ドレイン経路は、実質的に垂直に整列している。
一実施形態では、第1の導電線202aは、第2の導電線202bに実質的に平行であり、ワード線204は、第1の導電線202aおよび第2の導電線202bに対して実質的に垂直である。別の実施形態では、ワード線204は、第1の導電線202aおよび第2の導電線202bと90°以外の角度を成している。
相変化素子208は、CNTトランジスタ206が形成されるビアと同一のビア内に形成される。本発明に係る相変化素子208は、様々な材料から形成されていてよい。このような材料としては、一般的には、周期表の第6族に属する元素を1つまたは1つ以上含有したカルコゲナイド合金が有用である。一実施形態では、メモリセル200aの相変化素子208は、GeSbTe、SbTe、GeTe、あるいはAgInSbTeなどのカルコゲナイド化合物材料から形成される。別の実施形態では、相変化素子208は、GeSb、GaSb、InSb、あるいはGeGaInSbなどのカルコゲンを含有していない材料から形成される。別の実施形態では、相変化素子208は、Ge、Sb、Te、Ga、As、In、Se、およびSの元素を1つまたは1つ以上含有した、任意の適切な材料から形成される。
CNTトランジスタ206は、ワード線204上の論理ハイ信号に応答してオンになり、第1の導電線202aから相変化素子208を通って第2の導電線202bへと流れる信号を通すか、あるいは、第2の導電線202bから相変化素子208を通って第1の導電線202aへと流れる信号を通す。CNTトランジスタ206がオンになって相変化素子208へ流れた信号は、相変化素子208の状態の読み出し、相変化素子208のセット、あるいは相変化素子208のリセットのために用いられる。CNTトランジスタ206はまた、ワード線204上の論理ロー信号に応答してオフになり、信号が第1の導電線202aと第2の導電線202bとの間で相変化素子208を通って流れないように遮断する。
図3Bは、メモリセル200bの別の実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル200bと同様である。メモリセル200bは、第2の導電線202bが第1の導電線202aに対して実質的に垂直であり、ワード線204に実質的に平行である点を除いては、図3Aに照らして説明および図示したメモリセル200aと同様である。メモリセル200bは、メモリセル200aと同様に動作する。
別の実施形態では、ワード線204は、第1の導電線202aおよび第2の導電線202bに実質的に平行である。別の実施形態では、ワード線204は、第1の導電線202aに実質的に平行であり、第2の導電線202bに対して実質的に垂直である。別の実施形態では、他の適切な構成が用いられる。
図4Aは、一対のメモリセル220aの一実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル220aの対のメモリセルのいずれか一方と同様である。メモリセル220aは、第1の導電線202a、第2の導電線202b、第3の導電線202c、第1のワード線204a、第2のワード線204b、第1のCNTトランジスタ206a、第2のCNTトランジスタ206b、第1の相変化素子208a、および第2の相変化素子208bを有している。
第1の導電線202aは、第1の相変化素子208aの一端に電気的に結合されている。第1の相変化素子208aの他端は、第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路の他端は、第2の導電線202bに電気的に結合されている。第2の導電線202bは、第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路の他端は、第2の相変化素子208bの一端に電気的に結合されている。第2の相変化素子208bの他端は、第3の導電線202cに電気的に結合されている。第1のCNTトランジスタ206aのゲートは、第1のワード線204aに電気的に結合されている。第2のCNTトランジスタ206bのゲートは、第2のワード線204bに電気的に結合されている。
一実施形態では、第1の導電線202aおよび第3の導電線202cはソース線であり、第2の導電線202bはビット線である。別の実施形態では、第1の導電線202aおよび第3の導電線202cはビット線であり、第2の導電線202bはソース線である。第1の導電線202aは第1の水平面内に配置されており、第1のワード線204aは第2の水平面内に配置されており、第2の導電線202bは第3の水平面内に配置されており、第2のワード線204bは第4の水平面内に配置されており、第3の導電線202cは第5の水平面内に配置されている。第1の水平面は、第2の水平面から離れて配置されていると共に、第2の水平面と平行である。第2の水平面は、第3の水平面から離れて配置されていると共に、第3の水平面と平行である。第3の水平面は、第4の水平面から離れて配置されていると共に、第4の水平面と平行である。第4の水平面は、第5の水平面から離れて配置されていると共に、第5の水平面と平行である。
第1の相変化素子208aは、第1の導電線202aから第1のワード線204aに向かって伸びている。第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路は、第1のワード線204aから、第1の導電線202aおよび第2の導電線202bに向かって伸びている。第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路は、第2のワード線204bから、第2の導電線202bおよび第3の導電線202cに向かって伸びている。第2の相変化素子208bは、第3の導電線202cから第2のワード線204bに向かって伸びている。第1の相変化素子208a、第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路、第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路、および第2の相変化素子208bは、実質的に垂直に整列している。
一実施形態では、第1の導電線202aは、第3の導電線202cに実質的に平行であり、第2の導電線202b、第1のワード線204a、および第2のワード線204bに対して実質的に垂直である。別の実施形態では、第2の導電線202b、第1のワード線204a、および第2のワード線204bは、第1の導電線202aおよび第3の導電線202cと90°以外の角度を成している。
第1の相変化素子208aは、第1のCNTトランジスタ206aが形成されるビアと同一のビア内に形成される。第2の相変化素子208bは、第2のCNTトランジスタ206bが形成されるビアと同一のビア内に形成される。第1の相変化素子208aおよび第2の相変化素子208bは、図3Aを参照しながら説明した相変化素子208の材料と同様の材料から形成されている。
第1のCNTトランジスタ206aは、第1のワード線204a上の論理ハイ信号に応答してオンになり、第1の導電線202aから第1の相変化素子208aを通って第2の導電線202bへ流れる信号を通すか、あるいは、第2の導電線202bから第1の相変化素子208aを通って第1の導電線202aへ流れる信号を通す。第1のCNTトランジスタ206aがオンになって第1の相変化素子208aへ流れた信号は、第1の相変化素子208aの状態の読み出し、第1の相変化素子208aのセット、あるいは第1の相変化素子208aのリセットのために用いられる。第1のCNTトランジスタ206aはまた、第1のワード線204a上の論理ロー信号に応答してオフになり、信号が第1の導電線202aと第2の導電線202bとの間で第1の相変化素子208aを通って流れないように遮断する。
第2のCNTトランジスタ206bは、第2のワード線204b上の論理ハイ信号に応答してオンになり、第2の導電線202bから第2の相変化素子208bを通って第3の導電線202cに流れる信号を通すか、あるいは、第3の導電線202cから第2の相変化素子208bを通って第2の導電線202bへ流れる信号を通す。第2のCNTトランジスタ206bがオンになって第2の相変化素子208bへ流れた信号は、第2の相変化素子208bの状態の読み出し、第2の相変化素子208bのセット、あるいは第2の相変化素子208bのリセットのために用いられる。第2のCNTトランジスタ206bはまた、第2のワード線204b上の論理ロー信号に応答してオフになり、信号が第2の導電線202bと第3の導電線202cとの間で第2の相変化素子208bを通って流れないように遮断する。
図4Bは、一対のメモリセル220bの別の実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル220bの対のメモリセルのうちいずれか1つと同様である。メモリセル220bは、第2の導電線202bが第1の導電線202aおよび第3の導電線202cに実質的に平行であり、第1のワード線204aおよび第2のワード線204bに対して実質的に垂直である点を除いては、図4Aに照らして説明および図示したメモリセル220aと同様である。メモリセル220bは、メモリセル220aと同様に動作する。
図4Cは、一対のメモリセル220cの別の実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル220cの対のメモリセルのうちいずれか一方と同様である。メモリセル220cは、第2の導電線202bおよび第3の導電線202cが第1の導電線202aに対して実質的に垂直である点を除いては、図4Aに照らして説明および図示したメモリセル220aと同様である。メモリセル220cは、メモリセル220aと同様に動作する。
別の実施形態では、第1のワード線204aおよび第2のワード線204bは、第1の導電線202a、第2の導電線202b、および第3の導電線202cに実質的に平行である。別の実施形態では、第1のワード線204aは、第2のワード線204bに対して実質的に垂直である。別の実施形態では、他の適切な構成が用いられる。
図5は、メモリセル240の別の実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル240と同様である。メモリセル240は、第1の導電線202a、第2の導電線202b、ワード線204、CNTトランジスタ206、および相変化素子208を有している。第1の導電線202aは、相変化素子208の一端に電気的に結合されている。相変化素子208の他端は、CNTトランジスタ206のソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。CNTトランジスタ206のソース−ドレイン経路の他端は、第2の導電線202bに電気的に結合されている。CNTトランジスタ206のゲートは、ワード線204に電気的に結合されている。
一実施形態では、第1の導電線202aはソース線であり、第2の導電線202bはビット線である。別の実施形態では、第1の導電線202aはビット線であり、第2の導電線202bはソース線である。第1の導電線202aは第1の水平面内に配置されており、ワード線204は第2の水平面内に配置されており、第2の導電線202bは第3の水平面内に配置されている。第1の水平面は、第2の水平面から離れていると共に第2の水平面に平行であり、第2の水平面は、第3の水平面から離れていると共に第3の水平面に平行である。
相変化素子208は、第1の導電線202aからワード線204に向かって伸びている。CNTトランジスタ206のソース−ドレイン経路は、ワード線204から、第1の導電線202aおよび第2の導電線202bに向かって伸びている。相変化素子208およびCNTトランジスタ206のソース−ドレイン経路は、実質的に垂直に整列している。
一実施形態では、第1の導電線202aは、第2の導電線202bに実質的に平行であり、ワード線204に対して実質的に垂直である。別の実施形態では、ワード線204は、第1の導電線202aおよび第2の導電線202bと90°以外の角度を成している。別の実施形態では、他の適切な構成が用いられる。相変化素子208は、CNTトランジスタ206が形成されるビア上において、マッシュルーム形状に形成される。メモリセル240は、図3Aに照らして説明および図示したメモリセル200aと同様に動作する。
図6は、一対のメモリセル260の別の実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル260の対のメモリセルのいずれか一方と同様である。メモリセル260は、第1の導電線202a、第2の導電線202b、第3の導電線202c、ワード線204、第1のCNTトランジスタ206a、第2のCNTトランジスタ206b、第1の相変化素子208a、および第2の相変化素子208bを有している。
第1の導電線202aは、第1の相変化素子208aの第1の端、および第2の相変化素子208bの第1の端に、電気的に結合されている。第1の相変化素子208aの第1の端に対して実質的に垂直である、相変化素子208aの第2の端は、第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路の他端は、第2の導電線202bに電気的に結合されている。第2の相変化素子208aの第1の端に対して実質的に垂直である、相変化素子208bの第2の端は、第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路の他端は、第3の導電線202cに電気的に結合されている。第1のCNTトランジスタ206aのゲート、および第2のCNTトランジスタ206bのゲートは、ワード線204に電気的に結合されている。
一実施形態では、第1の導電線202aはソース線であり、第2の導電線202bおよび第3の導電線202cはビット線である。別の実施形態では、第1の導電線202aはビット線であり、第2の導電線202aおよび第3の導電線202cはソース線である。第1の導電線202a、第1の相変化素子208a、および第2の相変化素子208bは、第1の水平面内に配置されており、ワード線204は第2の水平面内に配置されており、第2の導電線202bおよび第3の導電線202cは、第3の水平面内に配置されている。第1の水平面は、第2の水平面から離れていると共に第2の水平面に平行であり、第2の水平面は、第3の水平面から離れていると共に第3の水平面に平行である。
第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路は、ワード線204から、第1の相変化素子208aおよび第2の導電線202bに向かって伸びている。第1の相変化素子208a、および第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路は、実質的に垂直に整列している。第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路は、ワード線204から、第2の相変化素子208bおよび第3の導電線202cに向かって伸びている。第2の相変化素子208b、および第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路は、実質的に垂直に整列している。
一実施形態では、第1の導電線202aは、第2の導電線202bおよび第3の導電線202cに実質的に平行であり、ワード線204に対して実質的に垂直である。別の実施形態では、ワード線204は、第1の導電線202a、第2の導電線202b、および第3の導電線202cと、90°以外の角度を成している。別の実施形態では、他の適切な構成が用いられる。第1の相変化素子208aは、第1のCNTトランジスタ206aが形成されるビア上において、マッシュルーム形状に形成される。第2の相変化素子208bは、第2のCNTトランジスタ206bが形成されるビア上において、マッシュルーム形状に形成される。
第1のCNTトランジスタ206aは、ワード線204上の論理ハイ信号に応答してオンになり、第1の導電線202aから第1の相変化素子208aを通って第2の導電線202bへ流れる信号を通すか、あるいは、第2の導電線202bから第1の相変化素子208aを通って第1の導電線202aへ流れる信号を通す。第1のCNTトランジスタ206aがオンになって第1の相変化素子208aへ流れた信号は、第1の相変化素子208aの状態の読み出し、第1の相変化素子208aのセット、あるいは第1の相変化素子208aのリセットのために用いられる。また、第2のCNTトランジスタ206bは、ワード線204上の論理ハイ信号に応答してオンになり、第1の導電線202aから第2の相変化素子208bを通って第3の導電線202cへ流れる信号を通すか、あるいは、第3の導電線202cから第2の相変化素子208bを通って第1の導電線202aへ流れる信号を通す。第2のCNTトランジスタ206bがオンになって第2の相変化素子208bへ流れた信号は、第2の相変化素子208bの状態の読み出し、第2の相変化素子208bのセット、あるいは第2の相変化素子208bのリセットのために用いられる。
第1のCNTトランジスタ206aは、ワード線204上の論理ロー信号に応答してオフになり、信号が第1の導電線202aと第2の導電線202bとの間で第1の相変化素子208aを通って流れないように遮断する。また、第2のCNTトランジスタ206bは、ワード線204上の論理ロー信号に応答してオフにされ、信号が第1の導電線202aと第3の導電線202cとの間で第2の相変化素子208bを通って流れないように遮断する。
図7は、一対のメモリセル280の別の実施形態を示す図である。一実施形態では、各メモリセル106a〜106dは、メモリセル280の対のメモリセルのいずれか1つと同様である。メモリセル280は、第1の導電線202a、第2の導電線202b、第3の導電線202c、第1のワード線204a、第2のワード線204b、第1のCNTトランジスタ206a、第2のCNTトランジスタ206b、第1の相変化素子208a、および第2の相変化素子208bを有している。
第1の導電線202aは、第1の相変化素子208aの第1の端に電気的に結合されている。第1の相変化素子208aの第2の端は、第1の相変化素子208aの第1の端に対して実質的に垂直であり、第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路の他端は、第2の導電線202bに電気的に結合されている。第2の導電線202bは、第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路の一端に電気的に結合されている。第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路の他端は、第2の相変化素子208bの第1の端に電気的に結合されている。第2の相変化素子208bの第2の端は、第2の相変化素子208bの第1の端に対して実質的に垂直であり、第3の導電線202cに電気的に結合されている。第1のCNTトランジスタ206aのゲートは、第1のワード線204aに電気的に結合されている。第2のCNTトランジスタ206bのゲートは、第2のワード線204bに電気的に結合されている。
一実施形態では、第1の導電線202aおよび第3の導電線202cはソース線であり、第2の導電線202bはビット線である。別の実施形態では、第1の導電線202aおよび第3の導電線202cはビット線であり、第2の導電線202bはソース線である。第1の導電線202aおよび第2の導電線202cは、第1の水平面内に配置されている。第2の導電線202b、第1のワード線204a、および第2のワード線204bは、第2の水平面内に配置されている。第1の水平面は、第2の水平面から離れていると共に第2の水平面に平行である。
第1の相変化素子208aは、第1の導電線202aから第2の水平面へ伸びている。第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路は、ワード線204bから、第1の相変化素子208aおよび第2の導電線202bへ水平に伸びている。第2の相変化素子208bは、第3の導電線202cから第2の水平面へ伸びている。第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路は、ワード線204bから、第2の相変化素子208bおよび第2の導電線202bへ水平に伸びている。第1のCNTトランジスタ206aのソース−ドレイン経路、および第2のCNTトランジスタ206bのソース−ドレイン経路は、実質的に水平に整列している。
一実施形態では、第1の導電線202aおよび第3の導電線202cは、第2の導電線202b、第1のワード線204a、および第2のワード線204bに実質的に平行である。別の実施形態では、第1の導電線202aおよび第3の導電線202cは、第2の導電線202b、第1のワード線204a、および第2のワード線204bと或る角度を成している。別の実施形態では、他の適切な構成が用いられる。メモリセル280は、図4Aに照らして説明および図示したメモリセル220aと同様に動作する。
本発明の実施形態は、メモリ素子にアクセスするためのナノチューブトランジスタを含んだメモリセルを提供する。当該ナノチューブトランジスタアクセスデバイスは、MOSFETアクセスデバイスよりも高い電流密度を有しており、メモリセルサイズを4F2まで低減することができる。本発明を用いて、スタンドアロンメモリ回路および埋め込みメモリ回路のための多数の構成が可能となる。
Claims (28)
- メモリ素子と、
上記メモリ素子にアクセスするために上記メモリ素子に接触しているナノチューブトランジスタとを含んでいる、メモリセル。 - 上記メモリ素子は、相変化メモリ素子を含んでいる、請求項1に記載のメモリセル。
- 上記メモリ素子は、BEOLメモリ素子を含んでいる、請求項1に記載のメモリセル。
- 上記メモリ素子は、磁気抵抗メモリ素子、導電性ブリッジングメモリ素子、強誘電体メモリ素子、カンチレバーメモリ素子、およびポリマーメモリ素子からなる群から選択される、請求項1に記載のメモリセル。
- 上記ナノチューブトランジスタは、カーボンナノチューブトランジスタを含んでいる、請求項1に記載のメモリセル。
- 第1の導電線と、
上記第1の導電線に結合された第1のメモリ素子と、
第1の端が上記第1のメモリ素子に接触しているソース−ドレイン経路を有する、第1のナノチューブトランジスタと、
上記第1のナノチューブトランジスタのゲートに結合された第1のワード線と、
上記第1のナノチューブトランジスタの上記ソース−ドレイン経路の第2の端に結合された第2の導電線とを含んだ、メモリ。 - 上記第1のワード線に第1の信号を供給することによって、上記第1のナノチューブトランジスタがオンになり、上記第1のナノチューブトランジスタは、上記第1の導電線と上記第2の導電線との間に第2の信号を通し、上記第1のメモリ素子にアクセスする、請求項6に記載のメモリ。
- 上記ワード線は、上記第1の導電線および上記第2の導電線に対して或る角度を成している、請求項6に記載のメモリ。
- 上記ワード線は、上記第1の導電線および上記第2の導電線のいずれか1つに実質的に平行である、請求項6に記載のメモリ。
- 第1の端が上記第2の導電線に結合されたソース−ドレイン経路を有する、第2のナノチューブトランジスタと、
上記第2のナノチューブトランジスタのゲートに結合された第2のワード線と、
上記第2のナノチューブトランジスタの上記ソース−ドレイン経路の第2の端に接触している第2のメモリ素子と、
上記第2のメモリ素子に結合された第3の導電線とをさらに含んでいる、請求項6に記載のメモリ。 - 上記第1の導電線は、上記第3の導電線に実質的に平行であり、上記第2の導電線に対して実質的に垂直である、請求項10に記載のメモリ。
- 上記第1の導電線は、上記第1のワード線および上記第2のワード線に対して実質的に垂直である、請求項10に記載のメモリ。
- 上記第1の導電線、上記第1のワード線、上記第2の導電線、上記第2のワード線、および上記第3の導電線は、異なる平行面内にそれぞれ配置されている、請求項10に記載のメモリ。
- 上記第1の導電線および上記第3の導電線は、第1の面内に配置されており、
上記第1のワード線、上記第2の導電線、および上記第2のワード線は、第2の面内に配置されており、
上記第2の面は、上記第1の面から離れていると共に上記第1の面に平行である、請求項10に記載のメモリ。 - 第1の導電線と、
上記第1の導電線に結合された第1のメモリ素子と、
第1の端が上記第1のメモリ素子に接触しているソース−ドレイン経路を有する、第1のナノチューブトランジスタと、
上記第1のナノチューブトランジスタの上記ソース−ドレイン経路の第2の端に結合された第2の導電線と、
上記第1の導電線に結合された第2のメモリ素子と、
第1の端が上記第2のメモリ素子に接触しているソース−ドレイン経路を有する、第2のナノチューブトランジスタと、
上記第2のナノチューブトランジスタの上記ソース−ドレイン経路の第2の端に結合された第3の導電線と、
上記第1のナノチューブトランジスタのゲートおよび上記第2のナノチューブトランジスタのゲートに結合されたワード線とを含んでいる、メモリ。 - 上記ワード線は、上記第1の導電線に対して実質的に垂直である、請求項15に記載のメモリ。
- 上記第1の導電線、上記第1のメモリ素子、および上記第2のメモリ素子は、同一面内に配置されている、請求項15に記載のメモリ。
- 上記第2の導電線および上記第3の導電線は、同一面内に配置されている、請求項15に記載のメモリ。
- メモリの製造方法であって、
メモリ素子を設ける工程と、
上記メモリ素子にアクセスするために上記メモリ素子に結合されたナノチューブトランジスタを設ける工程とを含んでいる、方法。 - 上記メモリ素子を設ける上記工程は、相変化メモリ素子を設ける工程を含んでいる、請求項19に記載の方法。
- 上記メモリ素子を設ける上記工程は、BEOLメモリ素子を設ける工程を含んでいる、請求項19に記載の方法。
- 上記メモリ素子を設ける上記工程は、磁気抵抗メモリ素子、導電性ブリッジングメモリ素子、強誘電体メモリ素子、カンチレバーメモリ素子、およびポリマーメモリ素子からなる群から選択された上記メモリ素子を設ける工程を含んでいる、請求項19に記載の方法。
- 上記ナノチューブトランジスタを設ける上記工程は、カーボンナノチューブトランジスタを設ける工程を含んでいる、請求項19に記載の方法。
- メモリの製造方法であって、
第1の導電線を設ける工程と、
上記第1の導電線に結合された第1のメモリ素子を設ける工程と、
第1の端が上記メモリ素子に接触しているソース−ドレイン経路を有する、第1のナノチューブトランジスタを設ける工程と、
上記第1のナノチューブトランジスタのゲートに結合された第1のワード線を設ける工程と、
上記第1のナノチューブトランジスタの上記ソース−ドレイン経路の第2の端に結合された第2の導電線を設ける工程とを含んでいる、方法。 - 上記第1のメモリ素子を設ける上記工程は、上記第1のメモリ素子を、上記第1のナノチューブトランジスタが設けられるビアと同一のビアに設ける工程を含んでいる、請求項24に記載の方法。
- 上記第1のメモリ素子を設ける上記工程は、上記第1のメモリ素子を、上記第1のナノチューブトランジスタが設けられるビア上においてマッシュルーム形状に設ける工程を含んでいる、請求項24に記載の方法。
- 第1の端が上記第2の導電線に結合されたソース−ドレイン経路を有する、第2のナノチューブトランジスタを設ける工程と、
上記第2のナノチューブトランジスタのゲートに結合された第2のワード線を設ける工程と、
上記第2のナノチューブトランジスタの上記ソース−ドレイン経路の第2の端に接触している第2のメモリ素子を設ける工程と、
上記第2のメモリ素子に結合された第3の導電線を設ける工程とをさらに含んでいる、請求項24に記載の方法。 - 第1の導電線と、
上記第1の導電線に結合された相変化メモリ素子と、
第1の端が上記メモリ素子に接触しているソース−ドレイン経路を有する、カーボンナノチューブトランジスタと、
上記ナノチューブトランジスタのゲートに結合されたワード線と、
上記ナノチューブトランジスタの上記ソース−ドレイン経路の第2の端に結合された第2の導電線とを含んでおり、
上記ワード線に第1の信号を供給することによって、上記ナノチューブトランジスタがオンになり、上記ナノチューブトランジスタは、上記第1の導電線と上記第2の導電線との間に第2の信号を通し、上記メモリ素子にアクセスする、相変化メモリ。
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Legal Events
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A02 | Decision of refusal |
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