JP2009507660A - 対象物洗浄装置を利用して対象物を研磨するための装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本出願は、2005年9月9日出願された米国特許出願番号第60/715,751号と2006年7月12日出願された米国特許出願番号第60/830,258号との優先権の利益を受ける権利があり、これらは、何れもここに参照として統合される。
Claims (37)
- 対象物を研磨するために少なくとも一つの研磨ユニットを含む研磨ステーションと、
洗浄ステーション及び乾燥ステーションを備え、前記研磨ステーションの側面に隣接して配された移動可能な対象物洗浄装置と、
前記研磨ステーションから前記移動可能な対象物洗浄装置に前記対象物を移送できるように配された対象物移送装置と、
前記研磨ステーション及び前記移動可能な対象物洗浄装置に動けるように連結されたガイド機構と、を備え、
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの部品に接近できるように、前記移動可能な対象物洗浄装置が初期位置から後続位置に動けるようにし、かつ前記移動可能な対象物洗浄装置が前記後続位置から前記初期位置に戻れるように構成されている、対象物研磨装置。 - 前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの前記側面に付着される線形ガイドを備え、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記線形ガイドを使用して、前記側面に平行な方向に沿って前記初期位置と前記後続位置との間を直線的に動けるようにした請求項1に記載の対象物研磨装置。
- 前記ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着される線形ガイド機構を備え、前記線形ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記移動可能な対象物洗浄装置が動けるように伸長可能に構成されている請求項1に記載の対象物研磨装置。
- 前記線形ガイド機構は、長い雌型部分及び前記長い雌型部分に挿入される長い雄型部分を含み、前記線形ガイド機構が伸長されるように、前記長い雄型部分が前記雌型部分から部分的に引き出し可能である請求項3に記載の対象物研磨装置。
- 前記ガイド機構は、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記研磨ステーションから回転して、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着された回転ガイド機構を備える請求項1に記載の対象物研磨装置。
- 前記移動可能な対象物洗浄装置と、前記研磨ステーション及び底部のうちの一方とに付着され、前記移動可能な対象物洗浄装置が動くとき、曲がるか、または回転するように構成された流体管システムをさらに備える請求項1に記載の対象物研磨装置。
- 前記研磨ステーションの他の側面に隣接して配された第2の移動可能な対象物洗浄装置と、
前記研磨ステーション及び前記第2の移動可能な対象物洗浄装置に動けるように連結された第2ガイド機構と、をさらに備え、
前記第2ガイド機構は、前記研磨ステーションの他の部品に接近できるように、前記第2の移動可能な対象物洗浄装置が他の初期位置から他の後続位置に動けるようにし、かつ前記第2の移動可能な対象物洗浄装置が前記他の後続位置から前記他の初期位置に戻れるように構成されている、請求項1に記載の対象物研磨装置。 - 前記移動可能な対象物洗浄装置は、洗浄装置システムの一部であり、前記洗浄装置システムは、前記移動可能な対象物洗浄装置及び他の対象物洗浄装置を備え、前記移動可能な洗浄装置及び前記他の対象物洗浄装置は、前記移動可能な対象物洗浄装置が動かされるときに、前記他の対象物洗浄装置が動かされるように相互付着されている請求項1に記載の対象物研磨装置。
- 保管ステーション及び他の対象物移送装置をさらに備え、前記他の対象物移送装置は、前記保管ステーションと前記研磨ステーションとの間で前記対象物を移送するように配されている請求項1に記載の対象物研磨装置。
- 前記研磨ステーションは、2つの長い側面と2つの短い側面とを有する長方形状であり、前記移動可能な対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの前記2つの長い側面のうち一つに隣接して配されている請求項1に記載の対象物研磨装置。
- 前記移動可能な対象物洗浄装置は、2つの長い側面と2つの短い側面とを有する長方形状を有し、前記研磨ステーションの前記2つの長い側面のうち一つが前記移動可能な対象物洗浄装置の前記2つの長い側面のうち一つと対面するように、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記研磨ステーションに隣接して配されている請求項10に記載の対象物研磨装置。
- 対象物を研磨するための複数の研磨ユニット、及び前記研磨ユニットの間で前記対象物を移送するための少なくとも一つの対象物中継装置を備え、2つの長い側面及び2つの短い側面を有する長方形状の研磨ステーションと、
前記研磨ステーションの前記2つの長い側面のうち一つに隣接して配され、洗浄ステーション及び乾燥ステーションを備える移動可能な対象物洗浄装置と、
前記研磨ステーションから前記移動可能な対象物洗浄装置に前記対象物を移送できるように配された対象物移送装置と、
前記研磨ステーション及び前記移動可能な対象物洗浄装置に動けるように連結されたガイド機構と、を備え、
前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの部品に接近できるように、前記移動可能な対象物洗浄装置が動作位置から保守管理位置に動けるようにし、かつ前記移動可能な対象物洗浄装置が前記保守管理位置から前記動作位置に戻れるように構成されている対象物研磨装置。 - 前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの前記2つの長い側面のうち一つに付着される線形ガイドを備え、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記線形ガイドを使用して、前記2つの長い側面のうち一つに平行な方向に沿って前記動作位置と前記保守管理位置との間を直線的に動けるようにした請求項12に記載の対象物研磨装置。
- 前記ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着される線形ガイド機構を備え、前記線形ガイド機構は、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記移動可能な対象物洗浄装置が動けるように伸長可能に構成されている請求項12に記載の対象物研磨装置。
- 前記線形ガイド機構は、長い雌型部分及び前記長い雌型部分に挿入される長い雄型部分を備え、前記線形ガイド機構が伸長されるように、前記長い雄型部分が前記雌型部分から部分的に引き出し可能である請求項14に記載の対象物研磨装置。
- 前記ガイド機構は、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記研磨ステーションから回転して、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置との間の空間が増大するように、前記研磨ステーションと前記移動可能な対象物洗浄装置とに付着された回転ガイド機構を備える請求項12に記載の対象物研磨装置。
- 前記移動可能な対象物洗浄装置と、前記研磨ステーション及び底部のうちの一方とに付着され、前記移動可能な対象物洗浄装置が動く時に、曲がるか、または回転するように構成された流体管システムをさらに備える請求項12に記載の対象物研磨装置。
- 前記研磨ステーションの他の長い側面に隣接して配された第2の移動可能な対象物洗浄装置と、
前記研磨ステーションと前記第2移動可能な対象物洗浄装置とに動けるように連結された第2ガイド機構と、をさらに備え
前記第2ガイド機構は、前記研磨ステーションの他の部品に接近できるように、前記第2移動可能な対象物洗浄装置が他の動作位置から他の保守管理位置に動けるようにし、かつ前記第2の移動可能な対象物洗浄装置が前記他の保守管理位置から前記他の動作位置に戻れるように構成されている請求項12に記載の対象物研磨装置。 - 前記移動可能な対象物洗浄装置は、洗浄装置システムの一部であり、前記洗浄装置システムは、前記移動可能な洗浄装置及び他の対象物洗浄装置を備え、前記移動可能な洗浄装置及び他の対象物洗浄装置は、前記移動可能な対象物洗浄装置が動かされるときに、前記他の対象物洗浄装置が動かされるように相互付着されている請求項12に記載の対象物研磨装置。
- 前記移動可能な対象物洗浄装置は、2つの長い側面と2つの短い側面とを有する長方形状であり、前記研磨ステーションの前記長い側面のうち前記一つが前記移動可能な洗浄装置の前記長い側面の一つと対面するように、前記移動可能な対象物洗浄装置が前記研磨ステーションに隣接して配置されている請求項12に記載の対象物研磨装置。
- 研磨ステーションと、
第1及び第2対象物洗浄装置と、
少なくとも一つの対象物移送装置と、を備え、
前記研磨ステーションは、
それぞれ研磨テーブルと第1及び第2対象物キャリアとを含む第1及び第2研磨ユニットと、
前記第1研磨ユニットと前記第2研磨ユニットとの間に配される第1及び第2対象物中継装置と、を備え、
前記第1対象物中継装置は、前記第1研磨ユニットの前記第1対象物キャリアから前記第2研磨ユニットの前記第1対象物キャリアに初期方向に沿って第1対象物を伝達できるように配され、前記第2対象物中継装置は、前記第1研磨ユニットの前記第2対象物キャリアから前記第2研磨ユニットの前記第2対象物キャリアに初期方向に沿って第2対象物を伝達できるように配され、
前記第1及び第2対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションに近く配され、それぞれ洗浄ステーションと乾燥ステーションとを備え、
前記第1対象物洗浄装置は、前記第1対象物が前記初期方向と反対方向である回帰方向に沿って前記第1対象物洗浄装置内で伝達されるように、前記第1対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第1対象物を処理するように構成され、
前記第2対象物洗浄装置は、前記第2対象物が前記回帰方向に沿って第2対象物洗浄装置内で伝達されるように、前記第2対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第2対象物を処理するように構成され、
前記少なくとも一つの対象物移送装置は、前記第1対象物を前記研磨ステーションから前記第1対象物洗浄装置に伝達し、前記第2対象物を前記研磨ステーションから前記第2対象物洗浄装置に伝達するように配されている対象物研磨装置。 - 前記少なくとも一つの対象物移送装置は、第1対象物移送装置及び第2対象物移送装置を備え、前記第1対象物移送装置は、前記第1対象物を前記研磨ステーションから前記第1対象物洗浄装置に伝達するように配され、前記第2対象物移送装置は、前記第2対象物を前記研磨ステーションから前記第2対象物洗浄装置に伝達するように配されている請求項21に記載の対象物研磨装置。
- 前記第1対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第1側面に隣接して配され、前記第2対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第2側面に隣接して配され、前記第1側面と前記第2側面とは、前記研磨ステーションの反対面である請求項21に記載の対象物研磨装置。
- 前記第1対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第1側面に隣接して配され、前記第2対象物洗浄装置は、前記第1対象物洗浄装置に付着されている請求項21に記載の対象物研磨装置。
- 前記研磨ステーションと前記第1対象物洗浄装置とに動くように連結されるガイド機構をさらに備え、前記ガイド機構は、前記研磨ステーションの部品に接近できるように、前記第1対象物洗浄装置が初期位置から後続位置に動けるようにし、かつ前記第1対象物洗浄装置が前記後続位置から前記初期位置に戻れるように構成されている請求項21に記載の装置。
- 前記研磨ステーションは、前記第1研磨ユニットが前記第1及び第2対象物中継装置と第3及び第4対象物中継装置との間に位置するように、前記第1研磨ユニットに隣接して配された前記第3及び第4対象物中継装置をさらに備え、前記第3対象物中継装置は、前記初期方向に沿って前記第1研磨ユニットの前記第1対象物キャリアに前記第1対象物を伝達するように配され、前記第4対象物中継装置は、前記初期方向に沿って前記第1研磨ユニットの前記第2対象物キャリアに前記第2対象物を伝達するように配されている請求項21に記載の対象物研磨装置。
- 前記研磨ステーションは、前記第2研磨ユニットが前記第1及び第2対象物中継装置と第3及び第4対象物中継装置との間に位置するように、前記第2研磨ユニットに隣接して配された前記第3及び第4対象物中継装置をさらに備え、前記第3対象物中継装置は、前記初期方向に沿って前記第2研磨ユニットの前記第1対象物キャリアから前記第1対象物を伝達するように配され、前記第4対象物中継装置は、前記初期方向に沿って前記第2研磨ユニットの前記第2対象物キャリアから前記第2対象物を伝達するように配されている請求項21に記載の対象物研磨装置。
- 前記研磨ステーション近くに配されたバッファステーションをさらに備え、前記バッファステーションは、前記第1及び第2対象物を前記研磨ステーションに伝達するために使われる請求項21に記載の対象物研磨装置。
- 第1対象物を研磨ステーション内で初期方向に沿って第1研磨ユニットの第1対象物キャリアから第1対象物中継装置に、そして、前記第1対象物中継装置から第2研磨ユニットの第1対象物キャリアに伝達するステップであって、前記第1対象物を前記第1及び第2研磨ユニットで研磨するステップを含むステップと、
第2対象物を前記研磨ステーション内で前記初期方向に沿って前記第1研磨ユニットの第2対象物キャリアから第2対象物中継装置に、そして、前記第2対象物中継装置から第2研磨ユニットの第2対象物キャリアに伝達するステップであって、前記第2対象物を前記第1及び第2研磨ユニットで研磨するステップを含むステップと、
前記第1対象物を前記研磨ステーションから洗浄ステーションと乾燥ステーションとを備える第1対象物洗浄装置に伝達し、前記第2対象物を前記研磨ステーションから洗浄ステーションと乾燥ステーションとを備える第2対象物洗浄装置に伝達するステップと、
前記第1対象物が前記第1対象物洗浄装置内で、前記初期方向と反対方向である回帰方向に沿って伝達されるように、前記第1対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第1対象物を処理するステップと、
前記第2対象物が前記第2対象物洗浄装置内で前記回帰方向に沿って伝達されるように、前記第2対象物洗浄装置の前記洗浄ステーションと前記乾燥ステーションとで前記第2対象物を処理するステップと、を含む対象物研磨方法。 - 前記第1及び第2対象物は、第1対象物移送装置によって前記研磨ステーションから前記第1及び第2対象物洗浄装置に伝達される請求項29に記載の対象物研磨方法。
- 前記第1対象物は、第1対象物移送装置によって前記研磨ステーションから前記第1対象物洗浄装置に伝達され、前記第2対象物は、第2対象物移送装置によって前記研磨ステーションから前記第2対象物洗浄装置に伝達される請求項29に記載の対象物研磨方法。
- 前記第1対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第1側面に隣接して配され、前記第2対象物洗浄装置は、前記第1側面と反対側面である前記研磨ステーションの第2側面に隣接して配されている請求項29に記載の対象物研磨方法。
- 前記第1対象物洗浄装置は、前記研磨ステーションの第1側面に隣接して配され、前記第2対象物洗浄装置は、前記第1対象物洗浄装置に付着されている請求項29に記載の対象物研磨方法。
- 前記第1対象物を前記研磨ステーション内で、前記初期方向に沿って第3対象物中継装置から前記第1研磨ユニットの前記第1対象物キャリアに伝達するステップと、
前記第2対象物を前記研磨ステーション内で、前記初期方向に沿って第4対象物中継装置から前記第1研磨ユニットの前記第2対象物キャリアに伝達するステップと、をさらに含む請求項29に記載の対象物研磨方法。 - 前記第1対象物を前記研磨ステーション内で、前記初期方向に沿って前記第2研磨ユニットの前記第1対象物キャリアから第3対象物中継装置に伝達するステップと、
前記第2対象物を前記研磨ステーション内で、前記初期方向に沿って前記第2研磨ユニットの前記第2対象物キャリアから第4対象物中継装置に伝達するステップと、をさらに含む請求項29に記載の対象物研磨方法。 - 前記第1及び第2対象物をバッファステーションから前記研磨ステーションに伝達するステップをさらに含む請求項29に記載の対象物研磨方法。
- 前記第1及び第2対象物洗浄装置のうちの一方を、前記第1及び第2対象物洗浄装置のうちの前記一方に連結された流体管システムを遮断せずに動かすステップをさらに含み、前記第1及び第2対象物洗浄装置のうちの前記一方が動かされるときに、前記流体管システムが曲がるか、または回転するように構成されている請求項29に記載の対象物研磨方法。
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