JP2009507343A - 微小空洞memsデバイス及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 微小空洞(40)内部で、少なくとも1つの誘導要素により導かれて自由に移動する要素(140)を有するMEMスイッチを説明する。スイッチは、それぞれが好ましくはパーマロイ製の金属磁心(180、200)を有する上部誘導コイル(170)及び随意の下部誘導コイル(190)と、微小空洞(40)と、やはり磁性材料製であることが好ましい自由移動スイッチング要素(140)とから成る。スイッチングは、上部コイルに電流を流してコイル要素内に磁場を誘起することにより達成される。磁場は、自由移動磁気要素を上方に引き寄せて2つの開いた配線(M_1、M_r)を短絡させて、スイッチを閉じる。電流の流れが停止するか又は逆向きになると、自由移動磁気要素は重力により微小空洞の底に落下して戻り、配線を開く。チップが正しい方位で取り付けられないときは、重力は利用できない。その場合には、自由移動スイッチング要素を元の位置に引き戻して保持するために、下部コイルが必要になる。
【選択図】 図1
Description
一例として、Pondによる特許文献1は、エネルギー変換装置におけるエネルギー損失を減らすMEMスイッチを記述しているが、そこでMEMデバイスは、AC−ACコンバータ、AC−DCコンバータ、DC−ACコンバータ、マトリックス・コンバータ、モータ・コントローラ、共鳴モータ・コントローラ及び類似のデバイスのスイッチ切替えを行う。
例えば、Chow他による特許文献2は、図18に示すカンチレバー型のMEMスイッチを記述しているが、これは(1)上板71、(2)下板14、(3)下部コンタクト19、(4)上部コンタクト29、(5)相互接続プラグ27及び(6)カンチレバー72からなる。上板71と下板14の間に電流が流れるとき、静電力が生じ、下板14の方向へ上板71を引き寄せてカンチレバー72を曲げ、2つのコンタクト・ポイント19と29を接触させる。
Yi他による特許文献7は、それぞれが異なる量のパーマロイ又は他の磁性材料を有する少なくとも2つのヒンジ・フラップによる、磁気的作動を利用した微小電子機械システムを記述している。
Judy他による特許文献8は、カンチレバー要素を有する磁気的微小アクチュエータを記述しているが、そのカンチレバー要素は、要素の方位、及びカンチレバーの1つ又は複数の領域に配置された磁気的活性材料の少なくとも1つの層の方位を変化させることのできる、少なくとも1つの機械的連結具により支持される。
Wu他による特許文献9は、複数のラッチ機構を含む微小スイッチ・アセンブリについて記述している。
別の目的は、大きな開放表面空洞を必要としないMC−MEMスイッチを提供することである。
さらに別の目的は、真空中に封入され、可動の機械的ヒンジ要素を有しない、高信頼性及び耐久性のMC−MEMSを提供することである。
a)スイッチング・デバイスの如何なる部分も開放表面に露出しない、
b)スイッチング要素は、スイッチング・デバイスの如何なる他の部分とも物理的に結合しない、
c)自由移動スイッチ要素は、BEOL(後工程)相互接続部に用いられる金属スタッドと同じ形及びサイズの、小さな空洞内に埋め込まれ、
d)スイッチ要素は、その運動が誘導磁気力により制御されて空洞内部を移動する、
というユニークな特徴を含む。
図示されたMC−MEMSは、以下の基本要素、即ち(1)上部誘導コイル170、随意の下部誘導コイル190、(2)好ましくはパーマロイ製の上部磁心180、随意の下部磁心200、(3)微小空洞40、及び(4)好ましくは磁性材料製の、空洞内を自由に移動するスイッチング要素140を示している。スイッチングは、上部コイルに電流(Iu)を通してコイル要素170内に磁場を誘起することによって作動される。その場合、下部コイル190は無効状態(下部コイルに電流が通らない、即ち、Id=0)にある。磁場は、自由移動磁気要素140を上方に引き寄せて、2つの個々の配線セグメントM_1及びM_rを短絡する。電流の流れが停止又は反転すると、自由移動磁気要素140は重力により微小空洞の底部に落下して配線を開きMC−MEMスイッチを切る。
図2を参照して、基板10は、好ましくは化学気相堆積(CVD)による窒化物を用いた保護膜30により絶縁する。エッチング停止層20は、導電性であるか否かに関らず、堆積及びパターン付けを含む通常のプロセスにより形成する。次に空洞40を基板内に形成し、エッチング停止層20で停止する。
図6において、空洞の側壁上に用いたのと同じバッファ材料を堆積80させ、空洞上部の充填物を再び研磨後退させる。
図7において、保護材料30を研磨後退させ、好ましくは除去する。
図8において、金属堆積、パターン付け、及びエッチングのような、任意の従来のメタライゼーション・プロセスを用いて、金属配線100を形成する。
図10において、絶縁材料110の内部に、微小空洞の上部80に達する孔をパターン付けし、エッチングする。
図11を参照して、空洞の上部におけるバッファ材料80を選択的に除去する。
図12において、通常の選択的乾式又は湿式エッチングにより、微小空洞の側壁上から残留バッファ材料55を除去する。
図16は、同じMC−MEMスイッチについて、導電自由移動スイッチング要素140が磁場により引き上げられて達成される、2つの配線100を短絡した状態を示す。バッファ材料は、図12に示すようにエッチング除去して、SWが微小空洞の底に接着しないようにする。
図17(A)及び図17(B)はそれぞれ、最終的なMC−MEMS構造体の側面図及び線X−X’に沿った対応する上面図を示す。
本発明の微小空洞は、通常の金属スタッドと凡そ同じ大きさである。空洞内部の自由移動スイッチ要素は、真空中に封入して腐食しないようにすることが好ましい。
自由移動要素をある距離だけ移動させるのに必要なエネルギー又は仕事は次式で与えられる。
エネルギー=(1/2)LI2=(mg(1+ε))h
式中、
ε、摩擦係数=0.1
m、スイッチ要素の質量
h、移動距離に高さ=0.5μm
H、円柱型スイッチ要素の高さ=0.5μm
D、円柱型スイッチ要素の直径=1μm
g、重力係数=9.8m/s2
L、インダクタンス(ヘンリー)
I、磁気発生電流(アンペア)
アルミニウム及び合金の密度は約2.7g/cm3である。
移動要素の体積は次式で与えられる。
V=π(d/2)2H=(3.14)(0.25×10−8)(0.5×10−4)=0.39×10−12cm3
移動要素の質量は、
M=2.7×0.39×10−12=1.05×10−12g
見積られた仕事は、
仕事=(mg(1+ε))h=(1.06×10−12)×9.8×1.1(0.5×10−6)=5.7×10−18gm2/s2=5.7×10−21Nm=5.7×10−21J
インダクタのサイズは次のように見積られる。
(1/2)LI2=5.7×10−21J
電流Iは次のように算出される。
I=0.1mA=1×10−4A(又は1mA=1×10−3A)
従って、スパイラル・インダクタンスは次のようになる。
L=(2×5.7×10−21)/(1×10−4)2=1.14×10−11=10pH(又は0.01nH)
K2=2.75
n=巻き数=1
davg=平均直径=0.5(din+dout)
p=充填比=(dout−din)/(dout+din)
μ0=空気の透磁率=1.26×10−6
(1)単一の巻きに対しては、
din=1μm、及びdout=2μm
davg=1.5μm
ρ=0.34
L=(2.34×1.26×10−6×(1×1.5×10−6))/(1+2.75×0.34)=1.90pH
(2)二巻きに対しては、
din=1μm、及びdout=4μm
davg=2.5μm
ρ=0.6
L=(2.34×1.26×10−6×(4×2.5×10−6))/(1+2.75×0.6)=11.12pH
8、9:くし型駆動部
19:下部コンタクト
20:可動コンタクト(図18、図19)、誘導コイル(図20)
27:相互接続プラグ
29:上部コンタクト
30:固定コンタクト(図19)、誘導コイル(図20)
40:固定第1制御電極(図19)、誘導コイル(図20)
41:ガラス又はシリコン基板
43:方位ミラー
44:反射ミラー
46:アクチュエータ
50、50A:順応性第2制御電極(図19)、誘導コイル(図20)
60:トーション・ビーム
71:上部板
72:カンチレバー
74:下部板
102:上部金属電極
104:下部金属電極
108:絶縁体膜
110:金属キャップ
441、431:パーマロイ材料
(本発明部分、図1〜図17)
10:基板
20:エッチング停止層
30:保護膜
40:微小空洞
50、80:バッファ材料
55:バッファ層
60:導電材料
70:所定のレベル
100、:金属配線
110、150:絶縁材料
120:孔
140:自由移動スイッチング要素
170:上部誘導コイル
180:上部磁心
190:下部誘導コイル
200:下部磁心(図1)、金属延長部分(図17(B))
Claims (32)
- 基板に支持された微小電子機械(MEM)スイッチであって、
前記基板内の1つの空洞(40)と、
前記空洞(40)の内部を自由に移動し、少なくとも1つの誘導要素(170,190)により作動される1つのスイッチング要素(140)と
を含み、第1の位置において前記スイッチング要素(140)は2つの導電要素(M_1、M_r)を電気的に結合し、第2の位置において前記スイッチング要素は前記2つの導電要素(M_1、M_r)を切り離す、MEMスイッチ。 - 前記スイッチング要素(140)は導電性材料で作られる、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記スイッチング要素(140)は、前記少なくとも1つの誘導要素(170、190)によりエネルギーを与えられる、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記スイッチング要素(140)は、エネルギーを断たれたとき重力により前記第2の位置に落下する、請求項3に記載のMEMスイッチ。
- 前記誘導要素は、磁心(180、200)に結合したコイルを備える、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記磁心及び前記スイッチング要素はパーマロイで作られる、請求項5に記載のMEMスイッチ。
- 前記コイルに加えられる電流は、前記スイッチング要素及び前記磁心に対して磁場を誘導し、前記スイッチング要素を前記磁心に引き寄せ、前記スイッチング要素は前記導電要素を短絡し、前記MEMスイッチを閉じる、請求項5に記載のMEMスイッチ。
- 前記電流が停止されるとき、前記磁場は消え、前記スイッチング要素は重力により前記空洞の前記底に落ち戻り、前記MEMスイッチを開く、請求項7に記載のMEMスイッチ。
- 前記2つの導電要素は前記空洞の上に配置され、それらの間隔はスイッチング要素に適合される、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記空洞内を移動する前記スイッチング要素は、上部及び下部の誘導要素により導かれる、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記空洞は、0.1μmから10μmまでの範囲の直径、及び0.1μmから10μmまでの範囲の高さを有する円筒形である、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記スイッチング要素は、前記空洞の直径より小さな最大断面積を有する球、円筒、又は任意の形に形作られる、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記誘導要素は、Nが1に等しいか又はそれ以上であるとして、N巻きを有する金属コイルであり、該金属コイルの内部には磁心が存在する、請求項1に記載のMEMスイッチ。
- 前記金属コイルは、Al、Cu、Ti、Ta、Ni、W、及びそれらの任意の合金から成る群から選択された材料から作られる、請求項13に記載のMEMスイッチ。
- 前記磁心はパーマロイで作られ、該パーマロイは、Co、V、Re、及びMnから成る群から選択されたある量の材料と組み合せた鉄―ニッケル・ベースの合金である、請求項5に記載のMEMスイッチ。
- 基板上に微小電子機械(MEM)スイッチを形成する方法であって、
前記基板の上に磁心を囲む誘導コイルを形成するステップと、
前記基板内に、前記磁心に実質的に適合させた開口を有する微小空洞をエッチング形成するステップと、
前記微小空洞内を自由に移動する磁気スイッチング要素を形成ステップと
を含み、前記磁気スイッチング要素は前記誘導コイルにより作動されるとき第1の位置に移動し、前記誘導コイルが非作動にされたとき第2の位置に移動する、方法。 - 前記微小空洞を前記形成するステップは、初めにエッチング停止層を堆積させパターン付けするステップと、次ぎに前記基板の内部に前記微小空洞をエッチング形成し、前記エッチング停止層で停止するステップとを含む、請求項16に記載の方法。
- 前記磁気スイッチング要素を前記微小空洞内部に前記形成するステップは、
前記微小空洞の側壁上に、前記自由移動スイッチング要素と前記微小空洞の前記側壁との間の許容差により決められる厚さまで、犠牲材料を共形的に堆積させるステップと、
前記微小空洞内に導電材料を堆積させるステップと、
前記微小空洞を埋めるところまで平坦化して戻すステップと、
前記導電材料を、前記微小空洞の高さの所定のレベルまで窪ませるステップと、
前記微小空洞を、犠牲材料で前記微小空洞の上部まで再充填するステップと、
前記犠牲材料を選択的に除去して前記導電材料を前記側壁から自由にするステップと
を含む、請求項16に記載の方法。 - 前記磁心及び前記スイッチング要素はパーマロイで作られる、請求項16に記載の方法。
- 前記微小空洞内に導電材料を堆積させ、次いで平坦化し、前記微小空洞の所定の高さまで充填された前記微小空洞を残すステップと、
前記微小空洞を犠牲材料で完全に充填するステップと
をさらに含む、請求項18に記載の方法。 - 前記微小空洞の上部から前記犠牲材料を選択的に除去するステップと、
相互接続配線を形成し、その上に絶縁材料を堆積させるステップと
をさらに含む、請求項20に記載の方法。 - 前記微小空洞に達する開口をパターン付けしエッチングするステップと、
前記微小空洞の前記上部及び前記側壁から前記犠牲材料を選択的に除去するステップと
をさらに含む、請求項21に記載の方法。 - 前記相互接続配線は相互に間隔を空けられた配線セグメントを含むようにパターン付けされ、前記間隔は前記スイッチング移動要素に実質的に適合され、前記誘導コイルが、それぞれ作動及び非作動にされるとき、前記自由移動スイッチング要素が前記配線セグメントを短絡及び開くことを可能にする、請求項21に記載の方法。
- 前記微小空洞の上部表面を封入するステップをさらに含む、請求項22に記載の方法。
- 前記誘導要素を作動及び非作動にするステップは、前記コイルに電流を印加することにより達成され、この電流が前記スイッチング要素及び前記磁心の上に磁場を誘起し、前記スイッチング要素を前記磁心の方向に引き寄せ、前記スイッチング要素は前記導電要素を短絡し、前記MEMスイッチを閉じる、請求項23に記載の方法。
- 前記電流が停止されるとき、前記磁場は消え、前記スイッチング要素が重力により前記微小空洞の底に落下して前記MEMスイッチを開くことを可能にする、請求項25に記載の方法。
- 前記微小空洞内部を移動する前記スイッチング要素は、上部及び下部の誘導コイルにより導かれる、請求項25に記載の方法。
- 前記空洞は、0.1μmから10μmまでの範囲の直径、及び0.1μmから10μmまでの範囲の高さを有する円筒形である、請求項25に記載の方法。
- 前記スイッチング要素は、前記空洞の直径より小さな最大断面積を有する球、円筒、又は任意の形に形作られる、請求項25に記載の方法。
- 前記誘導要素は、Nが1に等しいか又はそれ以上であるとして、N巻きを有する金属コイルであり、該金属コイルの内部には磁心が配置される、請求項25に記載の方法。
- 前記金属コイルは、Al、Cu、Ti、Ta、Ni、W、及びそれらの任意の合金から成る群から選択された材料から作られる、請求項25に記載の方法。
- 前記磁心はパーマロイで作られ、該パーマロイは、Co、V、Re、及びMnから成る群から選択されたある量の材料と組み合せた鉄―ニッケル・ベースの合金である、請求項26に記載の方法。
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