JP2009505396A - 放電タイミングによる多室ガス放電レーザの帯域幅制御 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】線狭化シードパルスを増幅器レーザシステム部分に供給する第1の線狭化発振器レーザシステム部分を含む多部分レーザシステムにおける帯域幅を制御する方法及び装置を開示し、これは、帯域幅以外の第1のレーザシステム作動パラメータとタイミング差の間の関係を定め、曲線上の各々の固有の作動点がそれぞれの帯域幅値に対応するタイミング差曲線と、同じく望ましいタイミング差を定める曲線上の望ましい点とを利用する段階と、曲線上の望ましい点でのタイミング差から曲線上の実際の作動点に対する実際のオフセットを判断する段階と、実際のオフセットと望ましい帯域幅に対応する望ましいオフセットとの間の誤差を判断する段階と、発射差動時間を修正して実際のオフセットと望ましいオフセットの間の誤差を取り除く段階とを含むことができる。
【選択図】図23
Description
関連出願への相互参照
本出願は、代理人整理番号第2005−0042−01号である2005年12月29日出願の「放電タイミングによる多室ガス放電レーザ帯域幅制御」という名称の米国特許出願出願番号第11/323、604号に対する優先権を請求するものであり、かつ2001年8月29日出願の「超狭帯域2室高繰返し数ガス放電レーザシステム」という名称の米国特許出願出願番号第09/943、343号の一部継続出願である2001年11月30日出願の米国特許出願第10/012、002号の継続出願であって代理人整理番号第2001−0090−06号である2003年7月24日出願の「超狭帯域2室高繰返し数ガス放電レーザシステム」という名称の米国特許出願第10/627、215号の継続出願であって代理人整理番号第2001−0090−15号である2005年8月9日出願の「超狭帯域2室高繰返し数ガス放電レーザシステム」という名称の米国特許出願出願番号第11/199、691号の一部継続出願であり、これらの特許の開示は、この記述により引用により組み込まれる。
本出願人は、呈示された要件、例えば上述のようなものに対処するために多室レーザ制御システムに関するある一定の制御機能を提案する。
MoOpPoint[k]=MoOpPoint[k−1]+MoOpPointServoGain*MoDelayError[k−1] (式3)
及び
PaOpPoint[k]=PaOpPoint[k−1]+PaOpPointServoGain*PaDelayError[k−1] (式4)
mopaError=dtMOPATarget(refTrigToPaVcp−refTrigToMoVcp) (式5)
mopaAdjust[k]=mopaAdjust[k−1]+gain*mopaError[k−1] (式6)
ttlError=refTrigToLightTargetrefTrigToPaVcp (式7)
ttlAdjust[k]=ttlAdjust[k−1]+ETTtlServoGainLow*ttlError[k−1] (式8)
mopa slope = outputCorrelation / inputCorrelation 式10a
DtMOPATarget[k]=DtMOPATarget[k−1]+mopa slope[k]*ETMOPATargetServoGainLow
(式11)
energyerror[k]=measuredenergy[k]energytarget[k] (式12)
voltageError[k]=dvde[k]*energyError[k]
(式13)
F[i,k]=F[i−1,k]+voltage error[k]*KFF
(式14)
energyFeedForward=firstPulseOutput=firstPulseWaveform
であり、その後のパルスに対しては、以下を含むことによって対応することができる。
adaptError=voltageErrorenergyServo
(式15)
エネルギサーボ252は、積分、積分平方フィードバックを採用することができる。
114 PA遅延推定器
122 MO作動点サーボ
124 PA作動点サーボ
142 MOPAサーボ
Claims (87)
- 線狭化シードパルスを第2の利得発生器レーザシステム部分に供給する第1の線狭化発振器レーザシステム部分を含む多部分レーザシステムにおいて帯域幅を制御する方法であって、該第1のレーザシステム部分における該シードパルスの発生と該第2のレーザシステム部分におけるレーザ利得媒体の生成との間の差動発射時間の選択が、該多部分レーザシステムからのレーザ出力光パルスの該帯域幅に影響を与え、
測定帯域幅と帯域幅ターゲットの関数として差動発射時間を調節する段階と、
現在の作動点を推定する段階と、
前記現在の作動点に基づいて前記差動発射時間調節を制限する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 現在の作動点及び望ましい作動点の関数としてハロゲンガス注入を調節する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 望ましい作動点が、ターゲット帯域幅、レーザシステム負荷サイクル、及びレーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記望ましい作動点は、ターゲット帯域幅、レーザシステム負荷サイクル、及びレーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記望ましい作動点は、レーザシステム効率を最大にするものを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 現在の作動点を推定する前記段階は、レーザシステム作動パラメータの利用可能な測定値から容易に計算可能又は推定可能であり、かつ予想作動範囲にわたって差動発射時間に関して単調でもある関数の使用を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 現在の作動点を推定する前記段階は、レーザシステム作動パラメータの利用可能な測定値から容易に計算可能又は推定可能であり、かつ予想作動範囲にわたって差動発射時間に関して単調でもある関数の使用を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、現在の差動発射時間及び基準差動発射時間の間の差異を利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、現在の差動発射時間及び基準差動発射時間の間の差異を利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 基準差動タイミングを選択してレーザシステム効率を最適化する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 基準差動タイミングを選択してレーザシステム効率を最適化する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。 - 一定電圧での差動発射時間に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 一定電圧での差動発射時間に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項16に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項17に記載の方法。 - 一定エネルギでの差動発射時間に関するレーザシステム放電電圧の導関数、レーザシステム放電電圧に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数、及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として、現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。 - 一定エネルギでの差動発射時間に関するレーザシステム放電電圧の導関数、レーザシステム放電電圧に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数、及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として、現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項9に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項20に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項21に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数及び該現在の作動点での前記レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数及び該現在の作動点での前記レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記現在の作動点を、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギ、かつdV/dtが該現在の作動点における一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の微分である時に(1/E)*dV/dtとして推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。 - 前記現在の作動点を、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギ、かつdV/dtが該現在の作動点における一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の微分である時に(1/E)*dV/dtとして推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項25に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項24に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項25に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定電圧での差動発射時間に関する前記レーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び該現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定電圧での差動発射時間に関する前記レーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び該現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギであり、かつdE/dtが該現在の作動点における一定電圧での差動発射時間に関する該レーザシステム出力パルスエネルギの導関数である時に関係(1/E)*dE/dtを利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項32に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギであり、かつdE/dtが該現在の作動点における一定電圧での差動発射時間に関する該レーザシステム出力パルスエネルギの導関数である時に関係(1/E)*dE/dtを利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項33に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項34に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項35に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項34に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項35に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項38に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項39に記載の方法。 - 前記差動発射時間を帯域幅誤差の関数として調節する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記差動発射時間を帯域幅誤差の関数として調節する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。 - 線狭化シードパルスを第2の利得発生器レーザシステム部分に供給する第1の線狭化発振器レーザシステム部分を含む多部分レーザシステムにおいて帯域幅を制御する方法であって、該第1のレーザシステム部分における該シードパルスの発生と該第2のレーザシステム部分におけるレーザ利得媒体の生成との間の差動発射時間の選択が、該多部分レーザシステムからのレーザ出力光パルスの該帯域幅をもたらし、
測定帯域幅とターゲット帯域幅の関数としてターゲット作動点を調節する段階と、
現在の作動点を推定する段階と、
現在の作動点をターゲット作動点まで進めるために、該現在の作動点及び該ターゲット作動点の関数として差動発射時間を調節する段階と、
を含むことを特徴とする方法。 - 現在の作動点及び望ましい作動点の関数としてハロゲンガス注入を調節する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項44に記載の方法。 - 望ましい作動点が、ターゲット帯域幅、レーザシステム負荷サイクル、及びレーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項44に記載の方法。 - 前記望ましい作動点は、ターゲット帯域幅、レーザシステム負荷サイクル、及びレーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項45に記載の方法。 - 前記望ましい作動点は、レーザシステム効率を最大にするものを含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項45に記載の方法。 - 現在の作動点を推定する前記段階は、レーザシステム作動パラメータの利用可能な測定値から容易に計算可能又は推定可能であり、かつ予想作動範囲にわたって差動発射時間に関して単調でもある関数の使用を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項44に記載の方法。 - 現在の作動点を推定する前記段階は、レーザシステム作動パラメータの利用可能な測定値から容易に計算可能又は推定可能であり、かつ予想作動範囲にわたって差動発射時間に関して単調でもある関数の使用を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項45に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、現在の差動発射時間及び基準差動発射時間の間の差異を利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項49に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、現在の差動発射時間及び基準差動発射時間の間の差異を利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項50に記載の方法。 - 基準差動タイミングを選択してレーザシステム効率を最適化する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項51に記載の方法。 - 基準差動タイミングを選択してレーザシステム効率を最適化する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項52に記載の方法。 - 一定電圧での差動発射時間に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項51に記載の方法。 - 一定電圧での差動発射時間に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項52に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項51に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項52に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項55に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項56に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項59に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項60に記載の方法。 - 一定エネルギでの差動発射時間に関するレーザシステム放電電圧の導関数、レーザシステム放電電圧に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数、及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として、現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項51に記載の方法。 - 一定エネルギでの差動発射時間に関するレーザシステム放電電圧の導関数、レーザシステム放電電圧に関するレーザシステム出力パルスエネルギの導関数、及び前記現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも1つの関数として、現在の差動発射時間と基準差動発射時間の間の前記差異を推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項52に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項63に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項64に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数及び該現在の作動点での前記レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項49に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数及び該現在の作動点での前記レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項50に記載の方法。 - 前記現在の作動点を、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギ、かつdV/dtが該現在の作動点における一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の微分である時に(1/E)*dV/dtとして推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項67に記載の方法。 - 前記現在の作動点を、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギ、かつdV/dtが該現在の作動点における一定エネルギでの差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の微分である時に(1/E)*dV/dtとして推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項68に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項69に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項70に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項67に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステム放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項68に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定電圧での差動発射時間に関する前記レーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び該現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項49に記載の方法。 - 前記現在の作動点を一定電圧での差動発射時間に関する前記レーザシステム出力パルスエネルギの導関数及び該現在の作動点での該レーザシステム出力パルスエネルギのうちの少なくとも一方の関数として推定する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項50に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギであり、かつdE/dtが該現在の作動点における一定電圧での差動発射時間に関する該レーザシステム出力パルスエネルギの導関数である時に関係(1/E)*dE/dtを利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項75に記載の方法。 - 前記現在の作動点を推定する前記段階は、Eが前記レーザシステム出力パルスエネルギであり、かつdE/dtが該現在の作動点における一定電圧での差動発射時間に関する該レーザシステム出力パルスエネルギの導関数である時に関係(1/E)*dE/dtを利用する段階を含む、
ことを更に含むことを特徴とする請求項76に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項77に記載の方法。 - dE/dtが、ディザ信号を前記差動発射時間に印加して、レーザ出力パルスエネルギ及び実差動発射時間とのディザの相関のそれぞれの比率を取ることによって推定される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項78に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項77に記載の方法。 - dE/dtが、dE/dV及びdV/dtの積から判断される、
ことを更に含むことを特徴とする請求項78に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項81に記載の方法。 - ディザ信号を差動発射時間に印加することにより、一定エネルギでの該差動発射時間に関する前記レーザシステムの放電電圧の導関数を推定する段階と、
前記ディザ信号のスケーリングされたバージョンを電圧に印加する段階と、
エネルギ誤差を最小にするように前記スケールを適応させる段階と、
前記スケーリングの係数としてdV/dtを取る段階と、
を更に含むことを特徴とする請求項82に記載の方法。 - 測定帯域幅とターゲット帯域幅の間の誤差の関数として前記ターゲット作動点を調節する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項44に記載の方法。 - 線狭化シードパルスを第2の利得発生器レーザシステム部分に供給する第1の線狭化発振器レーザシステム部分を含む多部分レーザシステムにおいて帯域幅を制御するための装置であって、該第1のレーザシステム部分における該シードパルスの発生と該第2のレーザシステム部分におけるレーザ利得媒体の生成との間の差動発射時間の選択が、該多部分レーザシステムからのレーザ出力光パルスの該帯域幅に影響を与え、
測定帯域幅と帯域幅ターゲットの関数として差動発射時間を調節する差動発射時間調節機構と、
現在の作動点を推定する現在作動点推定機構と、
前記現在の作動点に基づいて前記差動発射時間の前記調節を制限する差動発射時間調節機構と、
を含むことを特徴とする装置。 - 現在の作動点及び望ましい作動点の関数としてハロゲンガス注入を調節するハロゲンガス調節機構、
を更に含むことを特徴とする請求項86に記載の装置。
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---|---|
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TW (1) | TWI320619B (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011118871A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Intel Corp | イベント処理のためのターボ性能を向上させる方法および装置 |
JP2012506634A (ja) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | サイマー インコーポレイテッド | 2チャンバガス放電レーザにおけるレーザ制御の方法及び装置 |
CN111357156A (zh) * | 2017-11-17 | 2020-06-30 | 西默有限公司 | 光刻系统带宽控制 |
JP7430799B2 (ja) | 2020-03-03 | 2024-02-13 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 光源のための制御システム |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5898725A (en) * | 1997-01-21 | 1999-04-27 | Cymer, Inc. | Excimer laser with greater spectral bandwidth and beam stability |
JP2002198604A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-07-12 | Cymer Inc | 超狭帯域2室式高反復率のガス放電型レーザシステム |
JP2003332661A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Komatsu Ltd | 2ステージレーザシステム |
WO2004012308A2 (en) * | 2002-07-31 | 2004-02-05 | Cymer, Inc. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
US20040057489A1 (en) * | 2001-04-09 | 2004-03-25 | Fallon John P. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
JP2004531068A (ja) * | 2001-04-09 | 2004-10-07 | サイマー, インコーポレイテッド | ライン選択及び弁別を用いる注入シード方式f2レーザ |
JP2004335782A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Komatsu Ltd | 注入同期式レーザ装置 |
JP2005502209A (ja) * | 2001-08-29 | 2005-01-20 | サイマー インコーポレイテッド | 超狭帯域2室式高繰返し率放電ガスレーザシステム |
US20050094698A1 (en) * | 2003-01-31 | 2005-05-05 | Besaucele Herve A. | Multi-chambered excimer or molecular fluorine gas discharge laser fluorine injection control |
-
2006
- 2006-07-12 JP JP2008526016A patent/JP5202315B2/ja active Active
- 2006-07-20 TW TW95126520A patent/TWI320619B/zh active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5898725A (en) * | 1997-01-21 | 1999-04-27 | Cymer, Inc. | Excimer laser with greater spectral bandwidth and beam stability |
JP2002198604A (ja) * | 2000-10-06 | 2002-07-12 | Cymer Inc | 超狭帯域2室式高反復率のガス放電型レーザシステム |
US20040057489A1 (en) * | 2001-04-09 | 2004-03-25 | Fallon John P. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
JP2004531068A (ja) * | 2001-04-09 | 2004-10-07 | サイマー, インコーポレイテッド | ライン選択及び弁別を用いる注入シード方式f2レーザ |
JP2005502209A (ja) * | 2001-08-29 | 2005-01-20 | サイマー インコーポレイテッド | 超狭帯域2室式高繰返し率放電ガスレーザシステム |
JP2003332661A (ja) * | 2002-05-17 | 2003-11-21 | Komatsu Ltd | 2ステージレーザシステム |
WO2004012308A2 (en) * | 2002-07-31 | 2004-02-05 | Cymer, Inc. | Control system for a two chamber gas discharge laser |
US20050094698A1 (en) * | 2003-01-31 | 2005-05-05 | Besaucele Herve A. | Multi-chambered excimer or molecular fluorine gas discharge laser fluorine injection control |
JP2004335782A (ja) * | 2003-05-08 | 2004-11-25 | Komatsu Ltd | 注入同期式レーザ装置 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012506634A (ja) * | 2008-10-21 | 2012-03-15 | サイマー インコーポレイテッド | 2チャンバガス放電レーザにおけるレーザ制御の方法及び装置 |
JP2011118871A (ja) * | 2009-12-03 | 2011-06-16 | Intel Corp | イベント処理のためのターボ性能を向上させる方法および装置 |
JP2014056594A (ja) * | 2009-12-03 | 2014-03-27 | Intel Corp | イベント処理のためのターボ性能を向上させる方法および装置 |
CN111357156A (zh) * | 2017-11-17 | 2020-06-30 | 西默有限公司 | 光刻系统带宽控制 |
JP2021503710A (ja) * | 2017-11-17 | 2021-02-12 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | リソグラフィシステム帯域幅制御 |
JP7309701B2 (ja) | 2017-11-17 | 2023-07-18 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | リソグラフィシステム帯域幅制御 |
US11769982B2 (en) | 2017-11-17 | 2023-09-26 | Cymer, Llc | Lithography system bandwidth control |
CN111357156B (zh) * | 2017-11-17 | 2024-03-08 | 西默有限公司 | 光刻系统带宽控制 |
JP7430799B2 (ja) | 2020-03-03 | 2024-02-13 | サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー | 光源のための制御システム |
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