JP2009505087A - 流れ剥離部材を備えたホットフィルムエアマスセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
例えば方法技術、化学又は機械の分野における多くのプロセスにおいて、規定された所定のガス質量、特に空気質量が供給されねばならない。これについては特に、制御された条件下で進行する燃焼プロセスが挙げられる。この場合の重要な一例は、特に触媒排気浄化装置の接続された、自動車の内燃機関における燃料の燃焼である。この場合、空気質量の処理量を測定するためには、種々様々なタイプのセンサが用いられる。
従って、本発明では、従来技術から公知のホットフィルムエアマスセンサの欠点が回避されるホットフィルムエアマスセンサを提案する。特に、提案するホットフィルムエアマスセンサの構成は、従来技術から公知のホットフィルムエアマスセンサと比べて著しく減少された表面汚染及びこれにより減少された信号不安定性を有している。当該のホットフィルムエアマスセンサは特に、0〜60m/sの範囲内の空気質量流量を測定するために適しており且つ特に内燃機関の吸気マニホールド内で使用され得る。
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
Claims (9)
- 特に内燃機関の吸気マニホールド内で使用するための、主要流れ方向(122)で流れる空気質量流量を測定するためのホットフィルムエアマスセンサであって、該ホットフィルムエアマスセンサが、測定表面(114)を備えたセンサチップ(110)を有しており、空気質量流が、センサチップ(110)の表面(214)の上位を平行に流れる形式のものにおいて、
主要流れ方向(122)に関して測定表面(114)の上流側に配置された少なくとも1つの流れ剥離部材(224)が設けられており、この少なくとも1つの流れ剥離部材(224)が、空気質量流を、測定表面(114)に到達する前に少なくとも1つの剥離領域(230)においてセンサチップ(110)の表面(214)から剥離させるために構成されていることを特徴とする、流れ剥離部材を備えたホットフィルムエアマスセンサ。 - 少なくとも1つの流れ剥離部材(224)が、少なくとも1つの隆起部を有しており、この少なくとも1つの隆起部が、主要流れ方向(122)に対して垂直方向でセンサチップ(110)の表面(214)から隔てられた少なくとも1つの上縁部(226;410)を有している、請求項1記載のホットフィルムエアマスセンサ。
- 前記隆起部の上縁部(226;410)が、少なくとも15μm、有利には少なくとも30μm、特に有利には少なくとも40μmの高さHだけ、主要流れ方向(122)に対して垂直方向でセンサチップ(110)の表面(214)から隔てられている、請求項1又は2記載のホットフィルムエアマスセンサ。
- 少なくとも1つの流れ剥離部材(224)が、流れ壁、ワイヤ、補助板、段部、オーバハングのうちの少なくとも1要素を有している、請求項1から3までのいずれか1項記載のホットフィルムエアマスセンサ。
- 少なくとも1つの流れ剥離部材(224)が、センサチップ(110)の表面(214)に対してほぼ平行に延びており且つ/又は主要流れ方向(122)に対してほぼ垂直に延びている、請求項1から4までのいずれか1項記載のホットフィルムエアマスセンサ。
- 測定表面(114)が少なくとも1つの導体路(128)を有しており、少なくとも1つの流れ剥離部材(224)が、主要流れ方向(122)に関して少なくとも30μmだけ、有利には少なくとも50μmだけ、特に有利には少なくとも60μmだけ、前記の少なくとも1つの導体路(128)の上流側に配置されている、請求項1から5までのいずれか1項記載のホットフィルムエアマスセンサ。
- センサチップ(110)が更に、測定表面(114)を取り囲む固定ランド表面(112)を有しており、測定表面(114)と、チップ固定ランドの固定ランド表面(112)との間の移行部が、境界線(118)を規定しており、少なくとも1つの流れ剥離部材(224)が、主要流れ方向(122)に関して最大50μmだけ、有利には最大300μmだけ、特に有利には最大200μmだけ、前記境界線(118)の上流側に配置されている、請求項1から6までのいずれか1項記載のホットフィルムエアマスセンサ。
- 当該ホットフィルムエアマスセンサが付加的にチップ支持体(310)を有しており、該チップ支持体(310)にセンサチップ(110)が保持されており、前記チップ支持体(310)が、空気質量流によりほぼ平行に通流される支持体表面(314)を有しており、センサチップ(110)の表面(214)が、前記支持体表面(314)に関して低くされてチップ支持体(310)に埋め込まれており、流入側のチップ支持体(310)とセンサチップ(110)との間の移行部に縁部(410)が形成されている、請求項1から7までのいずれか1項記載のホットフィルムエアマスセンサ。
- センサチップ(110)の表面が、支持体表面(314)に対して相対的に少なくとも15μmだけ、有利には少なくとも30μmだけ、特に有利には少なくとも40μmだけ低くされている、請求項1から8までのいずれか1項記載のホットフィルムエアマスセンサ。
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