JP2009297879A

JP2009297879A - 研磨工具

Info

Publication number: JP2009297879A
Application number: JP2008157885A
Authority: JP
Inventors: Juilin Chou; 瑞麟周; dong-liang Liao; 棟▲りゃん▼ 廖; Yuzen Chin; 勇全陳
Original assignee: CHUGOKU SARIN KIGYO KOFUN YUGE; CHUGOKU SARIN KIGYO KOFUN YUGENKOSHI
Current assignee: CHUGOKU SARIN KIGYO KOFUN YUGE; CHUGOKU SARIN KIGYO KOFUN YUGENKOSHI
Priority date: 2008-06-17
Filing date: 2008-06-17
Publication date: 2009-12-24

Abstract

【課題】全体精度を高められ、使用寿命を延長でき、生産コストを減らせ、加工効率を高められる研磨工具及びその製造方法の提供。
【解決手段】本発明の研磨工具の製造方法は、（Ａ）研磨薄板、型、及び背板を提供し、該研磨薄板は工作面と非工作面を有し、且つ該型は制御面を有するものとするステップ、（Ｂ）該研磨薄板の該工作面と該型の該制御面を接合し、並びに接合剤で固定するステップ、（Ｃ）接着層を該研磨薄板の該非工作面上に形成するステップ、（Ｄ）該背板を該接着層の表面に固定するステップ、（Ｅ）該接合剤を除去し、該型と該研磨薄板を分離するステップ、を有する。
【選択図】図１８

Description

本発明は一種の研磨工具に係り、特に一種の、全体精度を高められ、使用寿命を延長でき、生産コストを減らせ、加工効率を高められる研磨工具及びその製造方法に関する。

研磨つや出しは、工作物表面の粗度及び平坦度を許容範囲とするための超精密研磨技術であり、それは広く硬く脆い金属、セラミック、ガラス及びウエハ等の材料表面の精密加工に使用され、これにより数々の、工程要求に符合する研磨工具の開発が現在の極めて重要な課題となっている。

研磨工具の製造と使用はすでに長年の歴史があるが、早急に解決しなくてはならない多くの欠点がある（例えば、研磨顆粒の付着が強固でなく分布が不均一である等）。周知の金属或いはセラミック焼結、ハードソルダリング方式を利用して研磨工具を製造する時、基材が高温工程により熱変形を発生しやすく、このため熱変形が比較的小さい材料を基材に選択する必要があり、そのために基材選択が、より困難となり製品の全体精度を制御しにくくなるという問題が発生する。しかし、もし接着剤を利用して基材と研磨顆粒を結合させると、接着剤の溶融流動と接着剤と基材の収縮率の違いにより、同様に、製品工作面精度（平坦度、面凸度、面凹度）制御の難しさの問題が発生する。このほか、基材と研磨顆粒を周知の方法で結合させると、基材は一度しか使用できず、回収再利用不能である。さらに、周知の研磨工具の金属工作面の抗化性は不良であり、このため研磨工具の寿命が比較的短いという問題がある。

図１、２は周知の研磨工具の製造ステップを示す。まず、図１に示されるように、基材１１０の工作面上に金属層１２０が形成され、並びに該金属層１２０の表面に複数の研磨顆粒１３０が分布させられる。続いて、図２のように、高温処理により金属層１２０を溶融させて、これらの研磨顆粒１３０の一部領域を金属層１２０中に沈降させる。最後に、冷却により金属層１２０を固化させ、これら研磨顆粒１３０を金属層１２０に固定し、研磨工具１００を形成する。そのうち、高温処理による基材の熱変形、研磨顆粒の露出度制御の難しさ、基材の回収再利用不能であること、金属耐化性不良等の問題の解決が待たれている。

ゆえに、本発明の主要な目的は、良好な精度、高い耐化性、低い生産コスト、高い加工効率の研磨工具を提供することにある。

ゆえに、本発明のもう一つの目的は、上述の研磨工具を製造できる研磨工具の製造方法を提供し、並びに製品工作面の表面平坦度、面凸度、面凹度等の精度を正確に制御し、生産コストを下げ、背板の回収再利用性を増すことにある。

本発明の研磨工具は、背板、該背板の表面に位置する接着層、該接着層の表面に位置する研磨薄板を有し、該研磨薄板は工作面を有し、該工作面は外部に露出している。

本発明の研磨薄板は、工作面と非工作面を有する軟基材、及び、該軟基材の該工作面上に形成された複数の研磨顆粒を有する。このほか、これら研磨顆粒は該軟基材の該非工作面にも形成可能であり、これにより該軟基材の両面にこれら研磨顆粒を配設し、両面が異なる収縮率であるために形成される変形問題を解決することができる。そのうち、これら研磨顆粒はハードソルダリング、焼結或いは電気メッキ等の方法で、直接該軟基材の表面に形成される。これら研磨顆粒は任意の、高い硬度を有する材料、例えば、酸化アルミニウム、炭化シリコン、或いはダイヤモンド、好ましくはダイヤモンドとされる。

本発明の研磨薄板は更に、該軟基材とこれら研磨顆粒の間に位置する結合層を有し得て、該結合層によりこれら研磨顆粒が該軟基材に固定される。該結合層の材料は金属材料或いはセラミック材料とされ、それは金属焼結或いはセラミック焼結の方式でこれら研磨顆粒を該軟基材に固定する。このほか、該結合層の材料は任意の、結合機能を有する材料、たとえば接着剤とされ、これら研磨顆粒を該軟基材に固定する。また、該結合層及びこれら研磨顆粒は該軟基材の工作面に形成可能であるほか、該軟基材の工作面と非工作面に形成可能であり、これにより両面の異なる収縮率により形成される変形問題を解決できる。

本発明の提供する研磨工具中、該軟基材は任意のフレキシブル材料とされ、これにより精度誤差を減らせる。このフレキシブル材料は好ましくは、金属或いはプラスチック材料とされ得る。

本発明の提供する研磨工具中、該接着層の材料は好ましくはエポキシ樹脂とされ、それは加熱過程により固化し、該研磨薄板を該背板に固定する。

本発明の提供する研磨工具中、該研磨薄板の厚さは好ましくは０．１５ｍｍ〜０．２５ｍｍとされる。これら研磨顆粒の直径範囲は好ましくは８０〜３００μｍとされる。

本発明の研磨工具の製造方法は、（Ａ）研磨薄板、型、及び背板を提供し、該研磨薄板は工作面と非工作面を有し、且つ該型は制御面を有するものとするステップ、（Ｂ）該研磨薄板の該工作面と該型の該制御面を接合し、並びに接合剤で固定するステップ、（Ｃ）接着層を該研磨薄板の該非工作面上に形成するステップ、（Ｄ）該背板を該接着層の表面に固定するステップ、（Ｅ）該接合剤を除去し、該型と該研磨薄板を分離するステップ、を有し、そのうち、該研磨薄板は上述の構造とされ得る。

本発明の提供する研磨工具の製造方法中、（Ｂ）のステップの該接合剤は加熱過程により該研磨薄板の該工作面を該型の該制御面に接合並びに固定することにより、該研磨薄板の工作面を型の形状に符合させる。そのうち、該研磨薄板は撓み性を有し、それは完全に該型の制御面に接合可能であり、これにより正確に該研磨薄板の精度を制御し、並びに更にこれら研磨顆粒の高さを調整し、これら研磨顆粒がいずれも加工時に役立ち、大幅に工作面の加工効率と精度を高められ、それを更に精密加工に適用されるものとする。

本発明の提供する研磨工具の製造方法中、（Ｅ）のステップの該接合剤は加熱及び洗浄のステップで除去され、これにより該型と成型された研磨工具を分離できる。

本発明の提供する研磨工具の製造方法中、該接合剤は蝋とされるのがよい。

本発明の提供する研磨工具の製造方法中、該背板の材料の選択性は大幅に増加し、周知の金属から良好な耐化性、加工性を有し、応力残留が比較的少ない材料とされ得て、これにより製品の安定度を高められ、ステンレス鋼とされるのがよい。このほか、該背板は必要時には更に研磨薄板と結合され、その応用のモジュール化概念は大幅に生産前処理時間と製品規格数を減らせ、並びに該背板は該研磨薄板と分離して回収再利用可能であり、これにより生産コストを効果的に減らせる。

本発明の提供する研磨工具の製造方法中、該軟基材は任意の、フレキシブル材料とされ、これにより精度誤差を減らせる。そのうち、好ましくは、金属或いはプラスチック材料とされる。

本発明の提供する研磨工具の製造方法中、これら研磨顆粒は任意の、高い硬度を有する材料、例えば、酸化アルミニウム、炭化シリコン、或いはダイヤモンド、好ましくはダイヤモンドとされる。

本発明の提供する研磨工具の製造方法中、該研磨薄板の厚さは好ましくは０．１５ｍｍ〜０．２５ｍｍとされる。これら研磨顆粒の直径範囲は好ましくは８０〜３００μｍとされる。

総合すると、本発明の提供する研磨工具の製造方法は、正確にこれら研磨顆粒の高さを制御でき、これら研磨顆粒が加工時にいずれも有用であるようにし、これにより大幅に該研磨工具の加工効率及び精度をアップする。また、本発明が提供する製造方法は、周知の技術の、収縮率の違いにより形成される変形問題を解決できる。このほか、本発明の提供する製造フローは、背板の熱変形により形成される寸法精度問題を防止でき、並びに該背板の材料の選択性を大幅に増し、周知の金属を良好な耐化性、加工性を有し、応力残留が比較的少ない材料、例えばステンレス鋼に改めることができ、これにより製品の安定度を高めることができる。さらに、該背板と該研磨薄板は必要時に再結合可能であり、それに応用されるモジュール化概念は大幅に生産前処理時間と製品規格数を減らせ、並びに該背板と該研磨薄板と分離して回収再利用でき、これにより生産コストを下げることができる。

実施例１：
図３〜図６は本発明の実施例１の研磨工具の製造ステップを示す。
図３に示されるように、まず、工作面２３０ａと非工作面２３０ｂを有する研磨薄板２３０、及び、制御面２１０ａを有する型２１０を提供する。そのうち、該研磨薄板２３０は、工作面２３１ａと非工作面２３１ｂを有する軟基材２３１と、該軟基材２３１の工作面２３１ａにハードソルダリングにより形成された複数の研磨顆粒２３２を有する。

続いて、図４のように、１層の接合剤２２０を該型２１０の該制御面２１０ａ上に塗布し、並びに該研磨薄板２３０の工作面を該型２１０の制御面に対向するように接合させて、該研磨薄板２３０上のこれら研磨顆粒２３２を該型２１０の制御面に接合させ、さらに加熱処理（温度摂氏６０度〜１００度）した後、該接合剤２２０を固化させ、該研磨薄板２３０を該型２１０に固定し、並びに該研磨薄板２３０の工作面を型２１０の形状に符合させる。そのうち、該研磨薄板２３０は撓み性を有し、それは完全に該型２１０の制御面に当接し、これにより正確に該研磨薄板２３０の精度を制御でき、並びにこれら研磨顆粒２３２の高さを調整して、これら研磨顆粒２３２をいずれも加工時に有用なものとすることができ、これにより大幅に工作面の加工効率と精度を向上し、精密加工に更に適したものとすることができる。

続いて、図５に示されるように、１層の接着層２４０を該研磨薄板２３０の非工作面に塗布して平坦面を形成し、その後、背板２５０を該接着層２４０の表面上に設置し、並びに加熱して該接着層２４０を固化させ、これにより背板２５０を該研磨薄板２３０の非工作面上に固定する。

最後に、加熱過程（摂氏６０度から１００度）により、該接合剤２２０を軟化させ、並びに洗浄ステップにより該接合剤２２０を除去し、型２１０と該研磨薄板２３０を分離させ、研磨工具２００を得る。これは図６に示されるとおりである。

本実施例中、該背板２５０の材料はステンレス鋼とされる。該接着層２４０の材料はエポキシ樹脂とされる。該軟基材２３１の材料は金属とされる。これら研磨顆粒２３２は直径が約１３０μｍのダイヤモンド顆粒とされる。該研磨薄板２３０の厚さは０．１５ｍｍ〜０．２５ｍｍとされる。該接合剤２２０は蝋とされる。

本実施例の研磨工具２００に対し、その４０μｍの突出率（中心点と外周の高度差）について、二次元高さゲージを利用し、表面平坦度測定を行った。測定時には、研磨工具２００の中心点を０ｍｍと規定し、研磨工具２００の外周（中心点から４０μｍのところ）と中心点の高さの差が３９μｍ〜４７μｍの間であり（外周の高さの差は８μｍ）、内周（中心点から２０μｍのところ）と中心点の高さの差が１８μｍ〜２３μｍの間であり（内周の高さの差は５μｍ）であることが分かり、このことから、本実施例の研磨工具２００の平坦度が証明された。

これにより、本実施例の製造方法は、これら研磨顆粒の高さを正確に制御でき、これによりこれら研磨顆粒を加工時に有用とし、大幅に該研磨工具の加工効率と精度を高めることができる。このほか、本実施例の提供する製造方法は、背板の熱変形による寸法精度問題を防止し、且つ該背板の材料選択性を大幅に増して、従来の金属から良好な耐化性、加工性を有し、応力残留が比較的少ない材料（本実施例はステンレス鋼を該背板の材料としている）に変更でき、製品の安定度を高めることができる。さらに、該背板と該研磨薄板は必要時に再度結合可能で、それに応用されるモジュール化概念は大幅に生産前処理時間と製品規格数を減らせ、並びに該背板と該研磨薄板を分離して、回収再使用でき、有効に生産コストを減らせる。

実施例２：
図７から図１０は本発明の別の実施例の研磨工具の製造ステップを示す。本実施例では研磨薄板が両面それぞれに研磨顆粒を有するものとされ、且つ型の制御面が平坦面とされるほかは、完全に実施例１の製造方法と同じである。

図７に示されるように、まず、工作面３３０ａと非工作面３３０ｂを有する研磨薄板３３０、及び、制御面３１０ａを有する型３１０を提供する。そのうち、該研磨薄板３３０は、工作面２３１ａと非工作面２３１ｂを有する軟基材２３１と、該軟基材２３１の工作面２３１ａと非工作面２３１ｂにハードソルダリングにより形成された複数の研磨顆粒２３２を有する。該軟基材２３１の両面それぞれにこれら研磨顆粒２３２が配設され、これにより両面の異なる収縮率により形成される変形問題が解決され得る。

続いて、図８のように、１層の接合剤２２０を該型３１０の該制御面３１０ａ上に塗布し、並びに該研磨薄板３３０の工作面を該型３１０の制御面に接合させて、該研磨薄板３３０上のこれら研磨顆粒２３２を該型２１０の制御面に接合させ、さらに加熱処理（温度摂氏６０度〜１００度）した後、該接合剤２２０を固化させ、該研磨薄板３３０を該型３１０に固定し、並びに該研磨薄板３３０の工作面を型３１０の形状に符合させる。そのうち、該研磨薄板３３０は撓み性を有し、それは完全に該型３１０の制御面に当接し、これにより正確に該研磨薄板３３０の精度を制御でき、並びにこれら研磨顆粒２３２の高さを調整して、これら研磨顆粒２３２をいずれも加工時に有用なものとすることができ、これにより大幅に工作面の加工効率と精度を向上し、精密加工に更に適したものとすることができる。

続いて、図９に示されるように、１層の接着層２４０を該研磨薄板３３０の非工作面に塗布して平坦面を形成し、その後、背板２５０を該接着層２４０の表面上に設置し、並びに加熱して該接着層２４０を固化させ、これにより背板２５０を該研磨薄板３３０の非工作面上に固定する。

最後に、加熱過程（摂氏６０度から１００度）により、該接合剤２２０を軟化させ、並びに洗浄ステップにより該接合剤２２０を除去し、型３１０と該研磨薄板３３０を分離させ、研磨工具３００を得る。これは図１０に示されるとおりである。

本実施例中、該背板２５０の材料はステンレス鋼とされる。該接着層２４０の材料はエポキシ樹脂とされる。該軟基材２３１の材料は金属とされる。これら研磨顆粒２３２は直径が約１３０μｍのダイヤモンド顆粒とされる。該研磨薄板３３０の厚さは０．１５ｍｍ〜０．２５ｍｍとされる。該接合剤２２０は蝋とされる。

本実施例の研磨工具３００に対し、その４０μｍの突出率（中心点と外周の高度差）について、二次元高さゲージを利用し、表面平坦度測定を行った。測定時には、研磨工具３００の中心点を０ｍｍと規定し、研磨工具３００の外周（中心点から４０μｍのところ）と中心点の高さの差が−２μｍ〜９μｍの間であり（外周の高さの差は１１μｍ）、内周（中心点から２０μｍのところ）と中心点の高さの差が−４μｍ〜７μｍの間であり（内周の高さの差は９μｍ）であることが分かり、このことから、本実施例の研磨工具３００の平坦度が証明された。

これにより、本実施例の製造方法は、実施例１の特色を有する研磨工具を製造できるのみならず、本実施例の軟基材は両面にいずれも研磨顆粒が設けられているため、両面の異なる収縮率により形成される変形問題を更に防止できる。

実施例３：
図１１から図１４は本発明のまた別の実施例の研磨工具の製造ステップを示す。本実施例では研磨薄板は結合層を有する以外は完全に実施例１の製造方法と同じである。

図１１に示されるように、まず、工作面４３０ａと非工作面４３０ｂを有する研磨薄板４３０、及び、制御面２１０ａを有する型２１０を提供する。そのうち、該研磨薄板４３０は、工作面２３１ａと非工作面２３１ｂを有する軟基材２３１と、該軟基材２３１の工作面２３１ａに形成された結合層２３３、及び、該結合層２３３（本実施例の結合層２３３は金属層である）の表面にメタルハードソルダリングにより形成された研磨顆粒２３２を有する。

続いて、図１２に示されるように、接合剤２２０を該型２１０の該制御面２１０ａ上に塗布し、並びに該研磨薄板４３０の工作面を該型２１０の制御面に対向するように接合させて、該研磨薄板４３０上のこれら研磨顆粒２３２を該型２１０の制御面に接合させ、さらに加熱処理（温度摂氏６０度〜１００度）した後、該接合剤２２０を固化させ、該研磨薄板４３０を該型２１０に固定し、並びに該研磨薄板４３０の工作面を型２１０の形状に符合させる。そのうち、該研磨薄板４３０は撓み性を有し、それは完全に該型２１０の制御面に当接し、これにより正確に該研磨薄板４３０の精度を制御でき、並びにこれら研磨顆粒２３２の高さを調整して、これら研磨顆粒２３２をいずれも加工時に有用なものとすることができ、これにより大幅に工作面の加工効率と精度を向上し、精密加工に更に適したものとすることができる。

続いて、図１３に示されるように、１層の接着層２４０を該研磨薄板４３０の非工作面に塗布して平坦面を形成し、その後、背板２５０を該接着層２４０の表面上に設置し、並びに加熱して該接着層２４０を固化させ、これにより背板２５０を該研磨薄板４３０の非工作面上に固定する。

最後に、加熱過程（摂氏６０度から１００度）により、該接合剤２２０を軟化させ、並びに洗浄ステップにより該接合剤２２０を除去し、型２１０と該研磨薄板４３０を分離させ、研磨工具４００を得る。これは図１４に示されるとおりである。

実施例４：
図１５から図１８は本発明のさらに別の実施例の研磨工具の製造ステップを示す。本実施例は研磨薄板が両面それぞれに結合層を有するものとされる以外は、完全に実施例２の製造ステップと同じである。

図１５に示されるように、まず、工作面５３０ａと非工作面５３０ｂを有する研磨薄板５３０、及び、制御面３１０ａを有する型３１０を提供する。そのうち、該研磨薄板５３０は、工作面２３１ａと非工作面２３１ｂを有する軟基材２３１と、該軟基材２３１の工作面２３１ａと非工作面２３１ｂに形成された結合層２３３、及び該結合層２３３（本実施例の結合層２３３は金属層である）の表面にメタルハードソルダリングにより形成された複数の研磨顆粒２３２を有する。該軟基材２３１の両面それぞれにこれら結合層２３３と研磨顆粒２３２が設けられ、これにより両面の異なる収縮率により形成される変形問題が解決され得る。

続いて、図１６のように、１層の接合剤２２０を該型３１０の該制御面３１０ａ上に塗布し、並びに該研磨薄板３３０の工作面を該型３１０の制御面に接合させて、該研磨薄板５３０の該型３１０との接合側にある研磨顆粒２３２を該型２１０の制御面に接合させ、さらに加熱処理（温度摂氏６０度〜１００度）した後、該接合剤２２０を固化させ、該研磨薄板５３０を該型３１０に固定し、並びに該研磨薄板５３０の工作面を型３１０の形状に符合させる。そのうち、該研磨薄板５３０は撓み性を有し、それは完全に該型３１０の制御面に当接し、これにより正確に該研磨薄板５３０の精度を制御でき、並びにこれら研磨顆粒２３２の高さを調整して、これら研磨顆粒２３２をいずれも加工時に有用なものとすることができ、これにより大幅に工作面の加工効率と精度を向上し、精密加工に更に適したものとすることができる。

続いて、図１７に示されるように、１層の接着層２４０を該研磨薄板３３０の非工作面に塗布して平坦面を形成し、その後、背板２５０を該接着層２４０の表面上に設置し、並びに加熱して該接着層２４０を固化させ、これにより背板２５０を該研磨薄板３３０の非工作面上に固定する。

最後に、加熱過程（摂氏６０度から１００度）により、該接合剤２２０を軟化させ、並びに洗浄ステップにより該接合剤２２０を除去し、型３１０と該研磨薄板５３０を分離させ、研磨工具５００を得る。これは図１８に示されるとおりである。

これにより、本実施例の製造方法により、実施例４に記述の特色を有する研磨工具が得られるほか、更に本実施例の軟基材の両面には結合層と研磨顆粒が設けられ、これにより更に両面の異なる収縮率により形成される変形問題が防止され得る。

周知の研磨工具の製造ステップ表示図である。周知の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例１の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例１の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例１の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例１の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例２の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例２の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例２の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例２の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例３の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例３の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例３の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例３の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例４の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例４の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例４の研磨工具の製造ステップ表示図である。本発明の実施例４の研磨工具の製造ステップ表示図である。

符号の説明

１００、２００、３００、４００、５００研磨工具
１１０基材１２０金属層
１３０、２３２研磨顆粒２１０、３１０型
２１０ａ、３１０ａ制御面２２０接合剤
２３０、３３０、４３０、５３０研磨薄板
２３０ａ、２３１ａ、３３０ａ、４３０ａ、５３０ａ工作面
２３０ｂ、２３１ｂ、３３０ｂ、４３０ｂ、５３０ｂ非工作面
２３１軟基材２３３結合層
２４０接着層２５０背板

Claims

背板と、
該背板の表面に位置する接着層と、
該接着層の表面に位置し、工作面を有し、該工作面が外部に露出している研磨薄板と、を有することを特徴とする、研磨工具。
請求項１記載の研磨工具において、該研磨薄板が軟基材と該軟基材に形成された複数の研磨顆粒を有し、該軟基材は金属或いはプラスチック材質とされると共に工作面と非工作面とを具えたことを特徴とする、研磨工具。
請求項２記載の研磨工具において、これら研磨顆粒が該軟基材の該工作面上のみに設置されるか或いは該軟基材の該工作面及び該非工作面上に設置されたことを特徴とする、研磨工具。
請求項２記載の研磨工具において、該研磨薄板が結合層を更に有し、該結合層は該軟基材とこれら研磨顆粒の間に位置することを特徴とする、研磨工具。
請求項４記載の研磨工具において、該結合層が該軟基材の該工作面上に位置し、且つこれら研磨顆粒が該結合層の表面に位置することを特徴とする、研磨工具。
請求項４記載の研磨工具において、該結合層が該軟基材の該工作面と該非工作面上に位置し、且つこれら研磨顆粒がこれら結合層の表面に位置することを特徴とする、研磨工具。
請求項２記載の研磨工具において、該研磨顆粒はダイアモンド顆粒とされ、これら研磨顆粒の直径範囲は８０〜３００μｍとされることを特徴とする、研磨工具。
請求項２記載の研磨工具において、該背板の材質はステンレス鋼とされ、該接着層の材料はエポキシ樹脂とされることを特徴とする、研磨工具。
研磨工具の製造方法において、
（Ａ）研磨薄板、型、及び背板を提供し、該研磨薄板は工作面と非工作面を有し、且つ該型は制御面を有するものとするステップ、
（Ｂ）該研磨薄板の該工作面と該型の該制御面を接合し、並びに接合剤で固定するステップ、
（Ｃ）接着層を該研磨薄板の該非工作面上に形成するステップ、
（Ｄ）該背板を該接着層の表面に固定するステップ、
（Ｅ）該接合剤を除去し、該型と該研磨薄板を分離するステップ、
を有することを特徴とする、研磨工具の製造方法。
請求項９記載の研磨工具の製造方法において、（Ｂ）のステップの該接合剤は加熱過程により該研磨薄板の該工作面を該型の該制御面に接合並びに固定することを特徴とする、研磨工具の製造方法。
請求項９記載の研磨工具の製造方法において、（Ｅ）のステップの該接合剤は加熱及び洗浄のステップで除去されることを特徴とする、研磨工具の製造方法。
請求項９記載の研磨工具の製造方法において、該研磨薄板は軟基材と、該軟基材に形成された複数の研磨顆粒を有し、該軟基材は工作面と非工作面を有しこれら研磨顆粒はダイヤモンド顆粒とされることを特徴とする、研磨工具の製造方法。
請求項１２記載の研磨工具の製造方法において、これら研磨顆粒が該軟基材の該工作面上のみに形成されるか或いは該軟基材の該工作面及び該非工作面上に形成されたことを特徴とする、研磨工具の製造方法。
請求項１２記載の研磨工具の製造方法において、該研磨薄板は該軟基材とこれら研磨顆粒の間に設けられた結合層を更に有することを特徴とする、研磨工具の製造方法。
請求項１４記載の研磨工具の製造方法において、該結合層が該軟基材の該工作面のみに形成されるか或いは該工作面と該非工作面上に形成され、これら研磨顆粒がこれら結合層の表面に位置することを特徴とする、研磨工具の製造方法。