JP2005112672A - ガラス成形型 - Google Patents

ガラス成形型 Download PDF

Info

Publication number
JP2005112672A
JP2005112672A JP2003349274A JP2003349274A JP2005112672A JP 2005112672 A JP2005112672 A JP 2005112672A JP 2003349274 A JP2003349274 A JP 2003349274A JP 2003349274 A JP2003349274 A JP 2003349274A JP 2005112672 A JP2005112672 A JP 2005112672A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
amorphous carbon
mold
sic
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2003349274A
Other languages
English (en)
Inventor
Masayuki Takahashi
正行 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2003349274A priority Critical patent/JP2005112672A/ja
Publication of JP2005112672A publication Critical patent/JP2005112672A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B11/00Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
    • C03B11/06Construction of plunger or mould
    • C03B11/08Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
    • C03B11/084Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor
    • C03B11/086Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses material composition or material properties of press dies therefor of coated dies
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2215/00Press-moulding glass
    • C03B2215/02Press-mould materials
    • C03B2215/08Coated press-mould dies
    • C03B2215/14Die top coat materials, e.g. materials for the glass-contacting layers
    • C03B2215/24Carbon, e.g. diamond, graphite, amorphous carbon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2215/00Press-moulding glass
    • C03B2215/02Press-mould materials
    • C03B2215/08Coated press-mould dies
    • C03B2215/30Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material
    • C03B2215/31Two or more distinct intermediate layers or zones
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2215/00Press-moulding glass
    • C03B2215/02Press-mould materials
    • C03B2215/08Coated press-mould dies
    • C03B2215/30Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material
    • C03B2215/32Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material of metallic or silicon material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2215/00Press-moulding glass
    • C03B2215/02Press-mould materials
    • C03B2215/08Coated press-mould dies
    • C03B2215/30Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material
    • C03B2215/34Intermediate layers, e.g. graded zone of base/top material of ceramic or cermet material, e.g. diamond-like carbon

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

【課題】 ガラス成形において、ガラスと反応することなく、離型性が良好で、長寿命な成形型を提供する。
【解決手段】 ガラスを成形する部材をアモルファスカーボン1にて構成し、このアモルファスカーボン1とSiCなどのセラミックス製の基材2を、SiCなどの炭化膜3と銀ロウなどの金属結合材4にて接合して成形型5とした。
【選択図】 図1

Description

本発明は、光学機器に使用するレンズ、ミラー、プリズム等のガラス素子を成形するためのガラス成形型に関するものである。
従来から、ガラスの成形型材として炭素材を使用するアイデアは知られていた(例えば、特許文献1参照。)。しかしながら、工業的に成形型を製作するには、ある程度物理的なサイズが必要であるが、ガラス成形に適したアモルファスカーボンは、一般的に5mm程度の厚みの板状の素材しか製作できない。その故に、アモルファスカーボンが、耐熱性、ガラス素材との反応性の少なさ、離型性の良さなど、ガラス成形型に使用する上でのメリットを有することが古くから知られていたにも関わらず、工業的には利用されていなかった。
工業的に実用化されたガラス成形型素材としては、耐熱性、強度面から、超硬、セラミックスが主に使用され、ガラスと直接接する成形面には白金系の合金膜やダイヤモンド等の薄膜が施されていた。そのために、素材として耐熱性と強度に優れた材料を用いていても、成形面の薄膜が剥がれたりして成形型の寿命が短いという問題があった。
そこで、元に立ち返ってアモルファスカーボンを成形型として使用する試みがなされている。例えば、アモルファスカーボンを基材としてのステンレス鋼(SUS304)にニッケルロウで接合した成形型が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。しかし、この例では、ニッケルロウとアモルファスカーボンは接合できないので実現性は全くなく、接合できたとしても、アモルファスカーボンとSUS304とでは熱膨張差が大きいので、600℃付近まで昇温すると、剥離することが充分予想され、実現性はない。
また、アモルファスカーボンをカーボンからなる基材にカーボン系接着剤で接合した成形型が提案されている(例えば、特許文献3参照。)。
しかし、この例では、カーボン系接着剤とアモルファスカーボンの接合強度が不充分で、実用的でない。
さらに型基材のカーボン材の強度が不足し、ガラス成形型として実用しないことは、明白である。
また、アモルファスカーボンと炭化珪素基材との間に、炭化珪素とアモルファスカーボンから成る傾斜層を設けるアイデアも提案されている(例えば、特許文献4参照。)。
特開昭47−11277号公報 特開平6−340435号公報 特許第2626880号公報 特開2001−335334号公報
しかしながら、アモルファスカーボンを製作するには、一般に3mm程度の厚みのもので1ヵ月程度かかることが知られているため、特許文献4に開示されたアイデアを実現するためには、1ヵ月以上の時間と傾斜層を形成する装置を含めて多大な設備コストが必要となり、実験用途では可能であっても工業的には実用的でないという問題がある。
また、成形型の基材に金属やセラミックスを使用した場合、成形面にガラスとの反応や融着を防止する保護膜が必要となり、その保護膜で寿命が決まり、かつその保護膜は薄膜なので複雑な形状に付けることが困難で、基材の形状通り薄膜が付かないこともあり、制約が多いという問題があり、さらに多結晶膜の場合元の基材の表面粗さよりも成膜後の表面粗さの方が悪くなるという問題もある。
また、アモルファスカーボンをガラス成形型に使用する場合は板状の素材なので、そのままでは制約が多く、成形型にできない。そこで、金属やセラミックスと結合して型構造とすることになるが、アモルファスカーボンは基本的に反応性の低い素材なので、容易に接合できないという問題がある。
本発明は、上記従来の問題点に鑑み、高温下のガラスと反応して融着することなく、離型性の良い、長寿命なガラス成形型を提供することを課題とする。
本発明のガラス成形型は、アモルファスカーボンから成るガラス成形部とセラミックスから成る基材を接合したガラス成形型において、接合部が炭化膜と金属結合材から成るものである。
この構成によると、ガラス成形部をアモルファスカーボンにて構成しているので、高温下のガラスと反応して融着することなく、また離型性の良いガラス成形型を得ることができ、またこのガラス成形部のアモルファスカーボンの表面に炭化膜を接合することで剥離強度の高い接合ができるとともに、この炭化膜とセラミックスから成る基材を金属結合材にて接合することで高い強度の接合ができるので、アモルファスカーボンのガラス成形部とセラミックスの基材を炭化膜と金属結合材を介することで剥離する恐れなく接合できて長寿命のガラス成形型を得ることができる。
前記炭化膜はアモルファスカーボンにCVD法により成膜した炭化珪素膜から成り、金属結合材は銀を主成分として銅、チタンを加えたロウ材から成るものが好適である。
本発明のガラス成形型によれば、アルモファスカーボンから成るガラス成形部とセラミックスから成る基材との接合部が、炭化膜と金属結合材からなるので、ガラスとの反応もなく、離型性が良く、長寿命なガラス成形型を実用化できる。
以下、本発明のガラス成形型の一実施形態について、図1及び図2を参照して説明する。
図1において、1はアモルファスカーボンから成るガラス成形部、2はセラミックスから成る基材である。3はガラス成形部1の基材2との接合面上にCVD法で成膜したSiC膜である。4はSiC膜3と基材2を接合する銀ロウである。このようにアモルファスカーボンから成るガラス成形部1とSiCから成る基材2をSiC膜3を介して銀ロウ4で接合してガラス成形型としてのガラス成形用パンチ5が構成されている。
アモルファスカーボンから成るガラス成形部1は反応性が低いので、そのままではロウ材や接着剤でも充分な接合強度を得ることはできない。そこで、本実施形態では、アモルファスカーボンから成るガラス成形部1の接合面を改質している。具体的には、ガラス成形部1の表面にSiC膜3をCVD法により成膜し、アモルファスカーボンから成るガラス成形部1の表面をSiC膜3でコートした。成膜したSiC膜3の厚さは20μmである。アモルファスカーボンの主成分は説明するまでもなく、炭素であるため、SiC膜3をコートした場合付着強度が高く、界面での剥離等の発生も少ない。
CVD法でSiC膜3をコートする時のアモルファスカーボンから成る基板の温度は、900℃にも達し、冷却過程でSiC膜3とアモルファスカーボンの熱膨張率差によるクラックの発生が懸念されたが、問題にならなかった。この事実からもSiC膜3とアモルファスカーボンの付着強度が高いことが分かる。
基材2のセラミックスとしてはSiCが好適である。その理由は、SiCが熱伝導率が高く、機械加工時の面粗さに関して高い精度が得易いということにある。採用したSiCの熱伝導率は200W/(m・K)で、一般的なセラミックス材料のAlN(窒化アルミ)よりも熱伝導率が優れた高性能な材料である。
アモルファスカーボンから成るガラス成形部1にコートしたSiC膜3とSiCから成る基材2の結合には、ロウ付け法を適用した。事前実験の結果、銀ロウ、特にAg−Cu−Ti合金をロウ材に用いると、十分な接合強度が得られることを確認した。事前実験は、SiCコート付きアモルファスカーボンとSiC基材をAg−Cu−Tiによるロウ付けをして、接合面を剪断する実験により強度測定した。その結果60MPa以上の剪断強度が得られ、かつその剪断面は何れもアモルファスカーボン内で破壊していた。このことより、Ag−Cu−Tiのロウ付け部の強度は、アモルファスカーボンよりも高いことが分かる。
アモルファスカーボンとセラミックス基材を銀ロウで接合した後、必要な精度となるように機械加工して仕上げることで、アモルファスカーボンから成るガラス成形部1とSiCから成る基材2を接合して成る、ガラス成形型としてのガラス成形用パンチ5を作製することができる。また、その作製工程の個々の技術は充分工業的に確立されたものであり、短時間で有効なガラス成形用パンチ5を得ることができる。
以上の説明では、アモルファスカーボン1に接合するために、SiC膜3をCVD法で成膜したが、必ずしも炭化珪素である必要はなく、他の炭化物でも良い。また、それぞれの膜に適したロウ材、すなわち金属結合材を選ぶことで必要な接合強度を得ることができる。
本実施形態において、アモルファスカーボン1上にSiC膜3を成膜した理由は、多くの実績があって充分な付着強度が得られることが分かっていたことによる。また、基材2のセラミックスとしてSiCを用いたのも、熱伝導率や熱膨張率などの面で使用実績があったことによるが、炭化珪素の代わりに窒化アルミを用いても同様の効果が得られることを確認している。
次に、上記のようにして作製したガラス成形用パンチ5を、図2に示すように、組み合わせて、ガラスレンズを成形する。図2において、一対のガラス成形用パンチ5を上下に対向配置し、その周囲に相対摺動自在にスリーブ6を外嵌させている。また、各ガラス成形用パンチ5の上下端からヒータ7にて加熱し、上下からプレス力を負荷できるように構成されている。そして、図2(a)に示すように上下のガラス成形用パンチ5のガラス成形部1の間にガラス素材8を配置した後、ヒータ7で加熱し、プレス力を負荷することでガラス素材8を変形させ、図2(b)に示すように所定の形状のガラスレンズ9を成形する。このとき、ガラス素材8は、アモルファスカーボンから成るガラス成形部1に接するだけなので、ガラス付着も生じることなく、成形後の離型性も良好である。
以上のように本実施形態によれば、アルモファスカーボンから成るガラス成形部とセラミックスから成る基材との接合部が、炭化膜と金属結合材からなるので、ガラスとの反応もなく、離型性が良く、長寿命なガラス成形型を実用化できる。また、何らかの理由により成形型の再加工の必要が生じても、削り込むことで再生できるため低コストとなり、リードタイムも速いという優れたガラス成形型を実現することができる。
本発明のガラス成形型は、ガラスとの反応もなく、離型性が良く、長寿命なガラス成形型を実用化できるので、光学機器に使用するレンズ、ミラー、プリズム等のガラス素子の高温下での成形に有用である。
本発明の一実施形態のガラス成形型の概略構成を示す縦断面図である。 同実施形態のガラス成形型を用いたガラス成形工程の模式図である。
符号の説明
1 アモルファスカーボンから成るガラス成形部
2 セラミックから成る基材
3 SiC膜(炭化膜)
4 銀ロウ(金属結合材)
5 ガラス成形用パンチ(ガラス成形型)

Claims (2)

  1. アモルファスカーボンから成るガラス成形部とセラミックスから成る基材を接合したガラス成形型において、接合部が炭化膜と金属結合材から成ることを特徴とするガラス成形型。
  2. 炭化膜はアモルファスカーボンにCVD法により成膜した炭化珪素膜から成り、金属結合材は銀を主成分として銅、チタンを加えたロウ材から成ることを特徴とする請求項1記載のガラス成形型。
JP2003349274A 2003-10-08 2003-10-08 ガラス成形型 Pending JP2005112672A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003349274A JP2005112672A (ja) 2003-10-08 2003-10-08 ガラス成形型

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003349274A JP2005112672A (ja) 2003-10-08 2003-10-08 ガラス成形型

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2005112672A true JP2005112672A (ja) 2005-04-28

Family

ID=34541184

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003349274A Pending JP2005112672A (ja) 2003-10-08 2003-10-08 ガラス成形型

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005112672A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5008875B2 (ja) 接合体及びその製造方法
JPWO2013015158A1 (ja) 半導体素子用放熱部品
JP2012117085A (ja) アルミニウム−ダイヤモンド系複合体及びその製造方法
WO2016035789A1 (ja) 半導体素子用放熱部品
JP2012158817A (ja) アルミニウム−ダイヤモンド系複合体及びその製造方法
JP7000347B2 (ja) 半導体素子用放熱部品
JP2012158783A (ja) アルミニウム−ダイヤモンド系複合体及びその製造方法
JP6082524B2 (ja) セラミックス部材と金属部材との接合体及びその製法
KR101338256B1 (ko) 내열 브레이징에 의한 탄소 부분의 조립 방법
JP6105262B2 (ja) アルミニウム−ダイヤモンド系複合体放熱部品
JP2005112672A (ja) ガラス成形型
JP2024067358A (ja) 接合体、接合体を備える電極埋設部材、及び接合体の製造方法
JP2003188240A (ja) ウエハー保持装置
TWI617396B (zh) 矽聚晶燒結物件及其製造方法
JP4556389B2 (ja) セラミックス−金属複合体の接合体及び接合方法ならびに該接合体を用いた半導体あるいは液晶製造装置
JP2005243819A (ja) ヒートシンク材およびヒートシンク材の製造方法、ならびにヒートシンク付きセラミックパッケージ
JP5974152B2 (ja) セラミックス部材と金属部材との接合体及びその製法
JPH02263774A (ja) セラミックスと金属の接合方法
JP2009297879A (ja) 研磨工具
JPH0766930B2 (ja) ボンディングツール
GB2525290A (en) Mounted diamond components and methods of fabricating the same
KR20010096370A (ko) 초경재료와 고속도강의 접합 방법
TW201115800A (en) Method for manufacturing a LED chip bonding body
JPH04305363A (ja) 線膨張係数が小さい材料と銅との接合方法
JPH05228624A (ja) ダイヤモンド多結晶体半田付け工具