JP2009295823A - Adsorption disk - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an adsorption disk of light weight. <P>SOLUTION: An adsorption disk 40A includes: an adsorption disk body 45A formed in a hollow shape by an upper portion 41A, a bottom 42A, and a side portion 43A; a reinforcing portion 50 which is arranged in the adsorption disk body 45A to support the adsorption disk body; and an adsorption portion 46A provided on the upper surface 45aA of the adsorption disk body 45A. The weight of the adsorption disk 40A used in a stage device is reduced, and the reinforcing portion 50 is arranged inside in order to increase the strength of the hollow adsorption disk 40A. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、特に、液晶パネル、プラズマディスプレイパネルなどのフラットパネルディスプレイ(ＦＰＤ)の製造や検査に利用されるステージ装置でワークの載置に利用される吸着盤に関するものである。   The present invention particularly relates to a suction disk used for placing a workpiece in a stage apparatus used for manufacturing and inspection of flat panel displays (FPD) such as liquid crystal panels and plasma display panels.

従来、このような分野の技術として、特開２００２−２８０４４４号公報がある。この公報に記載された吸着装置は、上下両面が所定の平面度（例えば１０μｍ程度）及び平行度を持つように作られ、上面側に開口した複数の吸着用の穴を有する吸着盤と、吸着盤の下側に配置され、吸着盤の複数の穴に連通する吸引用通路を持つ金属製の吸着ボックス体と、与圧をかけるための複数の与圧機構とを備えている。吸着盤は、温度変化に伴う熱膨張や剛性の確保のために、極めて重量のある特殊な石を利用している。なお、吸着盤が鋼材により形成される場合もあるが、石材又は鋼材よりなる吸着盤は、いずれも実質的に中実である。   Conventionally, as a technology in such a field, there is JP-A-2002-280444. The adsorbing device described in this publication has an adsorbing plate having a plurality of adsorbing holes that are open on the upper surface side, and has an adsorbing plate that has both upper and lower surfaces having predetermined flatness (for example, about 10 μm) and parallelism. A metal suction box body that is disposed below the board and has a suction passage communicating with a plurality of holes of the suction board, and a plurality of pressurizing mechanisms for applying pressure are provided. The adsorption board uses special stones that are extremely heavy in order to ensure thermal expansion and rigidity associated with temperature changes. In addition, although the suction disk may be formed of steel, the suction disk made of stone or steel is substantially solid.

特開２００２−２８０４４４号公報JP 2002-280444 A

フラットパネルディスプレイ(ＦＰＤ)や半導体の製造、検査、加工に利用される大型のステージ装置では、石材を使った定盤が一般的に使われている。しかしながら、ガラス基板の大型化に伴って吸着盤を大型化させなければならないので、重量アップに伴う支持構造の強化のために装置が大型化、煩雑化し、重量アップによって駆動部への負担が大きくなっている。   In a large stage apparatus used for manufacturing, inspection and processing of a flat panel display (FPD) and a semiconductor, a surface plate using a stone material is generally used. However, since the suction plate has to be enlarged with the increase in the size of the glass substrate, the apparatus becomes larger and complicated to strengthen the support structure accompanying the increase in weight, and the burden on the drive unit increases due to the increase in weight. It has become.

本発明は、軽量化がなされた吸着盤を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide a suction disk that is reduced in weight.

本発明に係る吸着盤は、ステージ装置に搭載される吸着盤において、上部と底部と側部とで中空状に形成された吸着盤本体部と、吸着盤本体部内に配置されると共に、上部を支持する補強部と、吸着盤本体部の上面に設けられた吸着部と、を備えたことを特徴とする。   The suction disk according to the present invention is a suction disk mounted on the stage device, and is disposed in the suction disk body part formed in a hollow shape at the upper part, the bottom part, and the side part, A reinforcing part to be supported and a suction part provided on the upper surface of the suction disk main body part are provided.

ステージ装置で利用される吸着盤は、その上面にワークを吸着させるための吸着部を備えている。さらに、この吸着盤の吸着盤本体部は、上部と底部と側部とで中空状に形成されているので、軽量化が達成され、中空状の吸着盤の強度をアップさせるために、内部に補強部が配置されている。   The suction disk used in the stage device has a suction part for sucking a workpiece on its upper surface. Furthermore, the suction cup main body of this suction cup is formed in a hollow shape at the top, bottom and sides, so that weight reduction is achieved, and in order to increase the strength of the hollow suction cup, A reinforcing part is arranged.

また、上部と底部と側部との少なくとも一つは、ＣＦＲＰ板により形成されていると好適である。
ＣＦＲＰ(炭素繊維強化プラスチック)板は、軽量でしかも剛性が高いので、吸着盤を中空状に形成するのに最適であり、特に、上部と底部と側部を全てＣＦＲＰ板で構成すると、吸着盤本体部を接着剤により組み立てることができるので、組立てが容易であると同時に、吸着盤を大型化させ易いといった優れた効果を有する。 In addition, it is preferable that at least one of the top, the bottom, and the side is formed of a CFRP plate.
CFRP (Carbon Fiber Reinforced Plastic) plate is lightweight and highly rigid, so it is ideal for forming the suction plate in a hollow shape. Especially, if the top, bottom and sides are all made of CFRP plate, the suction plate Since the main body can be assembled with the adhesive, it is easy to assemble and at the same time has an excellent effect that the suction plate can be easily enlarged.

また、補強部は、ＣＦＲＰ板により形成されていると好適である。
補強部をＣＦＲＰ(炭素繊維強化プラスチック)板にすることで、軽量化及び剛性のアップを図ることができる。 Further, it is preferable that the reinforcing portion is formed of a CFRP plate.
By using a CFRP (carbon fiber reinforced plastic) plate as the reinforcing portion, it is possible to reduce the weight and increase the rigidity.

また、吸着盤本体部の内部には、上部と底部との間で鉛直方向に延在して、吸着盤本体部の上面に設けられたリフトピン孔に連通するリフトピン用パイプが配置されていると好適である。
吸着盤本体部は中空であるため、この空間をリフトピンが通過すると、リフトピンの表面に、吸着盤本体部内で浮遊する塵が付着したり、リフトピン孔から塵が排出される虞がある。このような事態が起こると、吸着盤の上面に載置されたワークに塵が付着する虞がある。そこで、本発明に係る吸着盤では、リフトピンが吸着盤本体部の内部で露出しないようにリフトピン用のパイプが設けられている。 In addition, a lift pin pipe that extends in the vertical direction between the upper part and the bottom part and communicates with a lift pin hole provided on the upper surface of the suction board body part is disposed inside the suction board body part. Is preferred.
Since the suction disk main body is hollow, when the lift pin passes through this space, dust floating in the suction disk main body may adhere to the surface of the lift pin or dust may be discharged from the lift pin hole. When such a situation occurs, there is a risk that dust adheres to the workpiece placed on the upper surface of the suction disk. Therefore, in the suction disk according to the present invention, a lift pin pipe is provided so that the lift pin is not exposed inside the suction disk body.

また、底部には、作業用開口部が形成されていると好適である。
この作業用開口部は、例えば、配管の連結作業に有利であることは言うに及ばす、気体漏れチェックやメンテナンス時の配管の着脱を容易にしている。 Further, it is preferable that a working opening is formed at the bottom.
This work opening facilitates, for example, gas leakage check and pipe attachment / detachment during maintenance, not to mention that it is advantageous for pipe connection work.

また、吸着部は、溝状に形成されていると好適である。
吸着盤本体部の上面に、例えば格子状の溝を形成することで、少ない配管でワークの吸着が可能になる。 In addition, it is preferable that the suction portion is formed in a groove shape.
By forming, for example, a lattice-like groove on the upper surface of the suction disk main body, workpieces can be sucked with less piping.

本発明によれば、軽量化が可能になる。   According to the present invention, the weight can be reduced.

以下、図面を参照しつつ本発明に係る吸着盤の好適な実施形態について詳細に説明する。   Hereinafter, preferred embodiments of the suction disk according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１及び図２に示すように、フラットパネルディスプレイ(ＦＰＤ)の製造や検査に利用される大型のステージ装置１は、ベース２上に並設されてＹ軸方向に延在する一対の石定盤３，４と、石定盤３，４に沿ってＹ軸方向へ移動するＹ軸ステージ６と、Ｙ軸ステージ６の駆動部として機能する一対のＹ軸リニアモータ７，８と、Ｙ軸ステージ６上でＸ軸方向へ移動するＸ軸ステージ９と、Ｘ軸ステージ９の駆動部として機能するＸ軸リニアモータ(図示せず)と、石定盤３，４上でエアベアリング５によって支持されると共に、Ｘ軸ステージ９の上方に配置されて、多数の吸引孔が設けられた吸着盤４０とを備えている。   As shown in FIGS. 1 and 2, a large stage apparatus 1 used for manufacturing and inspection of a flat panel display (FPD) is provided with a pair of slabs arranged in parallel on a base 2 and extending in the Y-axis direction. A pair of Y-axis linear motors 7 and 8 functioning as a drive unit for the Y-axis stage 6; Supported by an X-axis stage 9 that moves in the X-axis direction on the stage 6, an X-axis linear motor (not shown) that functions as a drive unit for the X-axis stage 9, and air bearings 5 on the stone surface plates 3 and 4 In addition, the suction plate 40 is disposed above the X-axis stage 9 and has a plurality of suction holes.

一方の石定盤３は、角柱状の石材からなり、その上面には平面加工が施されることによって、Ｙ軸ステージ６のＹ軸リフトエアベアリング１４が滑走するための上面側滑走面３ａが形成されている。また、Ｙ軸方向に沿って延在する石定盤３の両側面にも、上面側滑走面３ａと同様に平面加工が施されることによって、Ｙ軸ステージ６のＹ軸ヨーエアベアリング１７が滑走するための側面側滑走面３ｂ，３ｃが形成されている。同様に、他方の石定盤４の上面及び両側面にも、平面加工が施されることによって上面側滑走面４ａ及び側面側滑走面４ｂ，４ｃが形成されている。   One stone surface plate 3 is made of a prismatic stone, and the upper surface thereof is flattened to provide an upper surface side sliding surface 3a for sliding the Y axis lift air bearing 14 of the Y axis stage 6. Is formed. Further, both side surfaces of the stone surface plate 3 extending along the Y-axis direction are planarized in the same manner as the upper surface side sliding surface 3a, so that the Y-axis yaw air bearing 17 of the Y-axis stage 6 is Side-side sliding surfaces 3b and 3c for sliding are formed. Similarly, the upper surface side sliding surface 4a and the side surface sliding surfaces 4b and 4c are formed by performing planar processing also on the upper surface and both side surfaces of the other stone surface plate 4.

石定盤３，４上を滑走するＹ軸ステージ６は、石定盤３，４にガイドされながらそれぞれＹ軸方向へ移動する一対のＹ軸スライダ１２，１３と、Ｙ軸スライダ１２，１３を石定盤３，４の上面側滑走面３ａ，４ａに対して非接触状態でそれぞれＺ軸方向に支持するためのＹ軸リフトエアベアリング１４と、Ｙ軸スライダ１２，１３を石定盤３，４の側面側滑走面３ｂ，３ｃ，４ｂ，４ｃに対して非接触状態でそれぞれ水平方向に支持するためのＹ軸ヨーエアベアリング１７と、Ｙ軸スライダ１２，１３に固定されて、Ｙ軸スライダ１２，１３を架け渡すようにＸ軸方向へ延在するガイド部材１９とを備えている。   The Y-axis stage 6 that slides on the stone surface plates 3 and 4 includes a pair of Y-axis sliders 12 and 13 that move in the Y-axis direction while being guided by the stone surface plates 3 and 4, and the Y-axis sliders 12 and 13. The Y-axis lift air bearing 14 for supporting the stone surface plates 3 and 4 in the Z-axis direction in a non-contact state with the upper surface side sliding surfaces 3a and 4a and the Y-axis sliders 12 and 13 are respectively connected to the stone surface plates 3 and 4. The Y-axis slider is fixed to the Y-axis yaw air bearing 17 and the Y-axis sliders 12 and 13 for supporting the side surface side sliding surfaces 3b, 3c, 4b and 4c in a non-contact state in the horizontal direction. And a guide member 19 extending in the X-axis direction so as to bridge the wires 12 and 13.

Ｙスライダ１２，１３上に配置されたＸ軸ステージ９は、ガイド部材１９に沿ってＸ軸方向へ移動するＸ軸スライダ３３と、Ｘ軸スライダ３３を石定盤３，４の上面側滑走面３ａ，４ａに対して非接触状態でそれぞれＺ軸方向に支持するためのＸ軸リフトエアベアリング(図示せず)と、Ｘ軸スライダ３３を水平方向に支持するためのＸ軸ヨーエアベアリング(図示せず)と、Ｘ軸スライダ３３と吸着盤４０との間に配置されて、吸着盤４０をＺ軸周りに回動させると共にＺ軸方向に昇降させるθテーブル３７とを備えている。なお、Ｘスライダ３３を石定盤３，４上で滑走させるために、前述したＸ軸リフトエアベアリング(図示せず)は、Ｙ軸スライダ１２，１３に設けられた長穴２１，２２を上下に貫通している。   The X-axis stage 9 disposed on the Y-sliders 12 and 13 includes an X-axis slider 33 that moves along the guide member 19 in the X-axis direction, and the X-axis slider 33 on the upper surface side running surface of the stone surface plates 3 and 4. An X-axis lift air bearing (not shown) for supporting the X-axis slider 33 in the horizontal direction and a X-axis yaw air bearing (not shown) for supporting the X-axis slider 33 in the horizontal direction, respectively. (Not shown), and a θ table 37 that is disposed between the X-axis slider 33 and the suction disk 40 and rotates the suction disk 40 about the Z-axis and moves up and down in the Z-axis direction. In order to slide the X slider 33 on the stone surface plates 3 and 4, the above-described X-axis lift air bearing (not shown) moves the long holes 21 and 22 provided in the Y-axis sliders 12 and 13 up and down. Has penetrated.

図３に示すように、吸着盤４０は、板材によって構成された上部４１と底部４２と側部４３とで中空状をなす吸着盤本体部４５を有し、上部４１、底部４２及び側部４３は、例えば、ＣＦＲＰ(炭素繊維強化プラスチック)板や鋼板等で形成されている。この吸着盤本体部４５の内部に配置された補強部には、格子状の補強リブやハニカム構造が採用され、吸着盤本体部４５の反り、撓み、捻れ、潰れ等を防止している。そして、この補強部は、ＣＦＲＰ板、鋼板、アルミ板などにより形成されている。   As shown in FIG. 3, the suction disk 40 has a suction disk main body 45 that is hollow with an upper part 41, a bottom part 42, and a side part 43 made of a plate material, and the upper part 41, the bottom part 42, and the side part 43. Is formed of, for example, a CFRP (carbon fiber reinforced plastic) plate or a steel plate. A lattice-shaped reinforcing rib or a honeycomb structure is employed for the reinforcing portion disposed inside the suction disk main body 45 to prevent warping, bending, twisting, crushing, and the like of the suction disk main body 45. The reinforcing portion is formed of a CFRP plate, a steel plate, an aluminum plate, or the like.

さらに、吸着盤本体部４５の上面４５ａには、多数のリフトピン孔４７が設けられている。吸着盤本体部４５の内部には、上部４１と底部４２との間で鉛直方向に延在して、リフトピン孔４７に連通するリフトピン用パイプが配置されている。   Furthermore, a number of lift pin holes 47 are provided on the upper surface 45 a of the suction disk main body 45. Inside the suction disk main body 45, a lift pin pipe that extends in the vertical direction between the upper portion 41 and the bottom portion 42 and communicates with the lift pin hole 47 is disposed.

吸着盤本体部４５の上面４５ａには、格子状の溝をなす吸着部４６が形成され、溝の交差部分には吸引孔が設けられている。上部４１の裏面には、吸着部４６の吸引孔に連結される配管コネクタ部が固定され、底部４２には、この配管コネクタ部を覗き見る位置に作業用開口部が形成されている。なお、この配管コネクタ部には、吸着盤４０から導出されて真空ポンプに連結されている配管の端部が接続される。   On the upper surface 45a of the suction disk main body 45, a suction part 46 forming a lattice-like groove is formed, and a suction hole is provided at an intersection of the grooves. A piping connector portion connected to the suction hole of the suction portion 46 is fixed to the back surface of the upper portion 41, and a working opening is formed in the bottom portion 42 at a position where the piping connector portion is viewed. Note that an end of a pipe that is led out from the suction board 40 and connected to the vacuum pump is connected to the pipe connector part.

前述した吸着盤４０は、大型(例えば、縦２ｍ以上、横２ｍ以上)であり、説明を容易にするために、吸着盤４０の構造を簡略化した吸着盤４０Ａで、吸着盤４０の基本構成を更に詳細に説明する。   The suction plate 40 described above is large (for example, 2 m or more in length and 2 m or more in width). For easy explanation, the suction plate 40A is a simplified structure of the suction plate 40, and the basic configuration of the suction plate 40 is as follows. Will be described in more detail.

図４、図５及び図６に示すように、吸着盤４０Ａは、矩形のＣＦＲＰ(炭素繊維強化プラスチック)板によりなる上部４１Ａと底部４２Ａと側部４３Ａとで中空状に形成された筺型の吸着盤本体部４５Ａを有している。吸着盤本体部４５Ａは、１枚の上板と１枚の底板と４枚の側板とを互いに接着剤により接着させることで構成される。   As shown in FIGS. 4, 5, and 6, the suction plate 40 </ b> A is a saddle type formed in a hollow shape with an upper portion 41 </ b> A, a bottom portion 42 </ b> A, and a side portion 43 </ b> A made of a rectangular CFRP (carbon fiber reinforced plastic) plate. It has a suction disk main body 45A. The suction disk main body 45A is configured by adhering one upper plate, one bottom plate, and four side plates to each other with an adhesive.

この吸着盤本体部４５Ａの内部に配置された補強部５０は、ＣＦＲＰ板により十字状に形成され補強リブ５０ａと、ＣＦＲＰ板により中空状に形成され補強柱５０ｂとからなり、吸着盤本体部４５Ａの反り、撓み、捻れ、潰れ等を防止している。このように、筺状の吸着盤本体部４５Ａは、中空状に形成されているので、軽量化が達成されている。   The reinforcing portion 50 disposed inside the suction disk main body 45A is formed of a reinforcing rib 50a formed in a cross shape by a CFRP plate and a reinforcing pillar 50b formed in a hollow shape by the CFRP plate, and the suction disk main body portion 45A. Warping, bending, twisting, crushing, etc. are prevented. Thus, since the bowl-shaped suction disk main-body part 45A is formed in hollow shape, weight reduction is achieved.

また、ＣＦＲＰ(炭素繊維強化プラスチック)板は、軽量でしかも剛性が高いので、吸着盤４０Ａを中空状に形成するのに最適であり、特に、上部４１Ａと底部４２Ａと側部４３Ａとを全てＣＦＲＰ板で構成すると、吸着盤本体部４５Ａを接着剤のみで組み立てることができるので、組立てが容易であると同時に、吸着盤４０Ａを大型化させ易いといった優れた効果を有する。全てＣＦＲＰで構成すると、線膨張係数の差に起因する変形で吸着盤の平面度の影響を最小限に抑えることができる。   Further, the CFRP (carbon fiber reinforced plastic) plate is lightweight and has high rigidity, so it is most suitable for forming the suction plate 40A in a hollow shape. In particular, the upper part 41A, the bottom part 42A and the side part 43A are all made of CFRP. If constituted by a plate, the suction disk main body 45A can be assembled only with the adhesive, so that it is easy to assemble and at the same time has an excellent effect that the suction disk 40A can be easily enlarged. If all are made of CFRP, the influence of the flatness of the suction disk can be minimized by deformation caused by the difference in linear expansion coefficient.

さらに、吸着盤本体部４５Ａの上面４５ａＡには、複数のリフトピン孔４７Ａが設けられている。吸着盤本体部４５Ａの内部には、上部４１Ａと底部４２Ａとの間で鉛直方向に延在して、リフトピン孔４７Ａに連通するリフトピン用パイプ５１が配置されている。このパイプ５１の上端は上部４１Ａに接着剤で固定されている。   Furthermore, a plurality of lift pin holes 47A are provided on the upper surface 45aA of the suction disk main body 45A. A lift pin pipe 51 extending in the vertical direction between the upper portion 41A and the bottom portion 42A and communicating with the lift pin hole 47A is disposed inside the suction disk main body 45A. The upper end of the pipe 51 is fixed to the upper portion 41A with an adhesive.

吸着盤本体部４５Ａは中空であるため、この空間をリフトピンＰが通過すると、リフトピンＰの表面に、吸着盤本体部４５Ａ内で浮遊する塵が付着したり、リフトピン孔４７Ａから塵が排出される虞がある。このような事態が起こると、吸着盤４０Ａの上面４５ａＡに載置されたワーク(例えばガラス基板)に塵が付着する虞がある。そこで、この吸着盤４０Ａでは、リフトピンＰが吸着盤本体部４５Ａの内部で露出しないようにリフトピン用のパイプ５１が採用されている。パイプ５１の内面は発塵しないものが適用されている。   Since the suction disk main body 45A is hollow, when the lift pin P passes through this space, dust floating in the suction disk main body 45A adheres to the surface of the lift pin P, or dust is discharged from the lift pin hole 47A. There is a fear. When such a situation occurs, there is a possibility that dust adheres to a work (for example, a glass substrate) placed on the upper surface 45aA of the suction plate 40A. Therefore, in this suction disk 40A, a lift pin pipe 51 is employed so that the lift pins P are not exposed inside the suction disk main body 45A. The inner surface of the pipe 51 is not dusted.

さらに、吸着盤本体部４５Ａの上面４５ａＡには、格子状の溝をなす吸着部４６Ａが形成され、吸着部４６Ａの直線的な溝５２の交差部分には、上部４１Ａを貫通する吸引孔５３が形成されている。上部４１Ａの裏面には、各吸引孔５３に連結される配管コネクタ部５４が固定されている。底部４２Ａには、この配管コネクタ部５４を覗き見る位置に作業用開口部５５が形成されている。なお、この配管コネクタ部５４には、吸着盤４０Ａから導出されて真空ポンプに連結されている配管５６の端部が接続される。   Further, a suction part 46A that forms a lattice-like groove is formed on the upper surface 45aA of the suction disk main body part 45A, and a suction hole 53 that penetrates the upper part 41A is formed at the intersection of the linear grooves 52 of the suction part 46A. Is formed. A piping connector portion 54 connected to each suction hole 53 is fixed to the back surface of the upper portion 41A. A working opening 55 is formed in the bottom portion 42A at a position where the pipe connector portion 54 is viewed. The pipe connector 54 is connected to an end of a pipe 56 that is led out from the suction plate 40A and connected to a vacuum pump.

作業者の手が入る程度の大きさをもった円形の作業用開口部５５が、配管コネクタ部５４を覗き見る位置に形成されているので、配管５６の連結作業に有利であることは言うに及ばす、気体漏れチェックやメンテナンス時の配管５６の着脱を容易にしている。また、格子状に配列された溝５２によって、少ない配管５６でワークの吸着が可能になる。なお、吸着部４６Ａが、多数の吸引孔のみで構成される場合もある。   The circular work opening 55 having a size that allows the operator's hand to enter is formed at a position to look into the pipe connector part 54, which is advantageous for the pipe 56 connection work. It is easy to attach and detach the pipe 56 at the time of gas leak check and maintenance. Further, the grooves 52 arranged in a lattice shape can attract the workpiece with a small number of pipes 56. In some cases, the adsorbing portion 46A is configured only with a large number of suction holes.

本発明は、前述した実施形態に限定されないことは言うまでもない。例えば、筺状をなす吸着盤本体部の形状は、円筒状などであってもよく、上部と底部と側部の少なくとも１枚がＣＦＲＰであればよい。また、側部の表面が段状に形成されてもよい。また、吸引部は、格子状を形成する線状の凸部と、凸部によって囲まれた領域内に配置された吸引孔とから構成されてもよい。また、パイプ５１は、上部４１，４１Ａの補強部材として利用することもできる。   It goes without saying that the present invention is not limited to the embodiment described above. For example, the shape of the suction cup main body having a bowl shape may be a cylindrical shape or the like, and at least one of the top, the bottom, and the side may be CFRP. Moreover, the surface of the side part may be formed in a step shape. Moreover, the suction part may be configured by linear convex parts forming a lattice shape and suction holes arranged in a region surrounded by the convex parts. The pipe 51 can also be used as a reinforcing member for the upper portions 41 and 41A.

本発明に係る吸着盤が適用されたステージ装置の一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of the stage apparatus to which the suction disk concerning this invention was applied. 吸着盤を外した状態のステージ装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the stage apparatus of the state which removed the suction disk. 本発明に係る吸着盤の一実施形態を示す斜視図である。It is a perspective view which shows one Embodiment of the suction disk which concerns on this invention. 本発明に係る吸着盤を説明のために簡略化して示した斜視図である。It is the perspective view which simplified and showed the suction cup concerning this invention for description. 図４のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VV line of FIG. 図４のＶI−ＶI線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VI-VI line of FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１…ステージ装置、４０，４０Ａ…吸着盤、４１，４１Ａ…上部、４２，４２Ａ…底部、４３，４３Ａ…側部、４５，４５Ａ…吸着盤本体部、４５ａ，４５ａＡ…上面、４６，４６Ａ…吸着部、４７，４７Ａ…リフトピン孔、５０…補強部、５１…リフトピン用パイプ、５２…溝、５３…吸引孔、５４…配管コネクタ部、５５…作業用開口部、５６…配管。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Stage apparatus, 40, 40A ... Suction board, 41, 41A ... Upper part, 42, 42A ... Bottom part, 43, 43A ... Side part, 45, 45A ... Suction board main-body part, 45a, 45aA ... Upper surface, 46, 46A ... Adsorption part 47, 47A ... lift pin hole, 50 ... reinforcing part, 51 ... pipe for lift pin, 52 ... groove, 53 ... suction hole, 54 ... pipe connector part, 55 ... work opening, 56 ... pipe.

Claims (6)

ステージ装置に搭載される吸着盤において、
上部と底部と側部とで中空状に形成された吸着盤本体部と、
前記吸着盤本体部内に配置されると共に、前記上部を支持する補強部と、
前記吸着盤本体部の上面に設けられた吸着部と、を備えたことを特徴とする吸着盤。 In the suction disk mounted on the stage device,
A suction cup body formed in a hollow shape at the top, bottom and sides;
A reinforcing portion that is disposed within the suction disk main body and supports the upper portion;
A suction plate provided on the upper surface of the suction plate body. 前記上部と前記底部と前記側部との少なくとも一つは、ＣＦＲＰ板により形成されていることを特徴とする請求項１記載の吸着盤。   2. The suction cup according to claim 1, wherein at least one of the upper part, the bottom part, and the side part is formed of a CFRP plate. 前記補強部は、ＣＦＲＰ板により形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の吸着盤。   The suction plate according to claim 1, wherein the reinforcing portion is formed of a CFRP plate. 前記吸着盤本体部の内部には、前記上部と前記底部との間で鉛直方向に延在して、前記吸着盤本体部の前記上面に設けられたリフトピン孔に連通するリフトピン用パイプが配置されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の吸着盤。   A lift pin pipe that extends in a vertical direction between the upper portion and the bottom portion and communicates with a lift pin hole provided in the upper surface of the suction plate main body is disposed inside the suction plate main body. The suction disk according to claim 1, wherein the suction disk is provided. 前記底部には、作業用開口部が形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の吸着盤。   The suction plate according to any one of claims 1 to 4, wherein a working opening is formed in the bottom. 前記吸着部は、溝状に形成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の吸着盤。   6. The suction disk according to claim 1, wherein the suction part is formed in a groove shape.
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