KR20130091673A - Scribing apparatus - Google Patents

Scribing apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20130091673A
KR20130091673A KR1020130008578A KR20130008578A KR20130091673A KR 20130091673 A KR20130091673 A KR 20130091673A KR 1020130008578 A KR1020130008578 A KR 1020130008578A KR 20130008578 A KR20130008578 A KR 20130008578A KR 20130091673 A KR20130091673 A KR 20130091673A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
slider block
air
scribing
scribe
brittle material
Prior art date
Application number
KR1020130008578A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
토시유키 사카이
Original Assignee
미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 filed Critical 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
Publication of KR20130091673A publication Critical patent/KR20130091673A/en

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/023—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor the sheet or ribbon being in a horizontal position
    • C03B33/033—Apparatus for opening score lines in glass sheets
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/10—Glass-cutting tools, e.g. scoring tools
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
    • F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
    • F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
    • F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
    • F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
    • F16C32/0625—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings via supply slits

Abstract

PURPOSE: A scribing device is provided to suppress a deformation of a slider block from a weight of a scribing head by forming a slider block as a shape of a frame which surrounds a beam. CONSTITUTION: A scribing device comprises: a table, a bridge, a slider block (17), a linear motor, and a scribing head. A brittle material substrate is installed in the table. The bridge has a beam (12). The slider block is formed to surround the each side of the beam. The linear motor transfers the slider block along with a straight line according to the beam. The scribing head is adhered to the slider block and holds a scribing wheel. The slider block has multiple air pads (21A, 21B, 21C, 22A, 22B, 22C) and air supplying part. Multiple air pads emit the air to the beam. The air supplying part supplies the air to the air pad. The slider block is formed as a shape of frame.

Description

스크라이브 장치{SCRIBING APPARATUS}[0001] SCRIBING APPARATUS [0002]

본 발명은 취성 재료 기판에 스크라이브 라인(scribing line)을 형성하는 스크라이브 장치에 관한 것으로, 특히 스크라이브 헤드의 보유지지(holding)에 관한 것이다.The present invention relates to a scribe device for forming a scribing line on a brittle material substrate, and more particularly to the holding of a scribe head.

종래, 액정 표시 패널이나 액정 프로젝터 기판 등의 플랫 패널 디스플레이 등에서는, 제조 과정에 있어서 마더(mother) 유리 기판이 접합된 후에 소정의 크기의 단개(單個)의 패널로 이루어지도록 분단된다. 이 마더 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단에는, 스크라이브 공정과 브레이크 공정이 있고, 스크라이브 공정에서는 스크라이브 장치가 이용된다.Conventionally, in flat panel displays, such as a liquid crystal display panel and a liquid crystal projector board | substrate, in a manufacturing process, after a mother glass substrate is bonded, it is divided so that it may become single panel of predetermined size. The division of brittle material substrates, such as a mother glass substrate, has a scribe process and a brake process, and a scribe apparatus is used at a scribe process.

도 1은, 종래의 스크라이브 장치의 일 예를 나타내는 개략 사시도이다. 이 스크라이브 장치(100)는, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 보유지지되고 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사 결합되어 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하고, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 설치되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 보유지지된다. 스크라이브 장치의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크(alignment mark)를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 설치되어 있다.1 is a schematic perspective view showing an example of a conventional scribe device. In this scribe apparatus 100, the movable base 101 is hold | maintained freely in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed with the movable table 101. The ball screw 103 rotates by the drive of the motor 104, and moves the moving base 101 along the guide rails 102a and 102b in the y-axis direction. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable base 101. The motor 105 rotates the table 106 in the xy plane to position at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on this table 106 and held by a vacuum suction means or the like not shown. In the upper part of the scribing apparatus, two CCD cameras 108 which image an alignment mark of the brittle material substrate 107 are provided.

스크라이브 장치(100)에는, 이동대(101)와 그의 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브리지(110)가 x축 방향을 따라 지주(111a, 111b)에 의해 가설(架設)되어 있다. 브리지(110)는 횡방향으로 빔(112)이 설치되고, 빔(112)의 길이 방향으로 리니어 모터(113)가 설치된다. 리니어 모터(113)는 스크라이브 헤드(114)를 x축 방향을 따라 이동시키는 구동원이다. 스크라이브 헤드(114)의 하단부에는, 스크라이브 휠을 갖는 팁 홀더(115)가 부착되어 있다.In the scribing apparatus 100, the bridge 110 is hypothesized by struts 111a and 111b along the x-axis direction so as to span the movable table 101 and the upper table 106. The bridge 110 is provided with a beam 112 in the transverse direction, and a linear motor 113 is installed in the longitudinal direction of the beam 112. The linear motor 113 is a drive source for moving the scribe head 114 along the x-axis direction. At the lower end of the scribe head 114, a tip holder 115 having a scribe wheel is attached.

도 2는 지주(111a, 111b)에 단단히 가설된 빔(112)과, 빔(112)에 부착된 스크라이브 헤드(114)를 나타내는 개략도이다. 본 도면에 나타내는 바와 같이, 리니어 모터(113)의 가동부에는 슬라이드 베이스(116)가 부착되고, 슬라이드 베이스(116)에 추가로 스크라이브 헤드(114)가 부착되어 있다. 스크라이브 헤드(114)는 팁 홀더(115)를 승강 이동 가능하게 보유지지하고 있다. 팁 홀더(115)는 하부에 원판 형상의 휠 팁(이하, 단순히 팁이라고 함)(117)을 회전 가능하게 보유지지하는 것이다. 휠 팁(117)은 취성 재료 기판에 적절한 하중으로 압접하면서 전동(轉動)하여 스크라이브 라인을 형성한다. 스크라이브 헤드(114)에는, 그의 내부에 그러한 승강 동작을 가능하게 하는 승강부, 예를 들면 공기압 제어를 이용하는 에어 실린더나 리니어 모터에 의한 전동 승강부 등이 설치되어 있다. FIG. 2 is a schematic diagram showing the beam 112 rigidly installed on the pillars 111a and 111b and the scribe head 114 attached to the beam 112. As shown in this figure, the slide base 116 is attached to the movable part of the linear motor 113, and the scribe head 114 is attached to the slide base 116 further. The scribe head 114 holds the tip holder 115 so that the lifting movement is possible. The tip holder 115 rotatably holds a disk-shaped wheel tip (hereinafter simply referred to as a tip) 117 at the bottom thereof. The wheel tip 117 is driven while being pressed against the brittle material substrate with an appropriate load to form a scribe line. The scribe head 114 is provided with a lifting part that enables such a lifting operation, for example, an air cylinder using pneumatic control, an electric lifting part by a linear motor, and the like.

또한 특허문헌 2에는, 모터에 의해 이송 나사를 회전시켜, 이송 나사를 따라 스크라이브 헤드를 취성 재료 기판 상에서 평행하게 이동시켜 스크라이브를 행하는 스크라이브 장치가 제안되고 있다. In addition, Patent Document 2 proposes a scribing apparatus which rotates a feed screw by a motor, and performs a scribe by moving the scribe head in parallel on the brittle material substrate along the feed screw.

국제공개공보 WO 2009/157440호International Publication WO 2009/157440 일본공개특허공보 제2004-010452호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2004-010452

그런데, 특허문헌 1 및 2의 스크라이브 장치에서, 모두 스크라이브 헤드는 리니어 모터나 이송 나사의 측방으로 돌출되어 부착되어 있다. 그 때문에, 스크라이브 헤드의 무게에 의해 도 2의 시계 방향으로 회전 모멘트가 발생한다. 따라서, 슬라이드 베이스가 변형을 받기 쉽고, 스크라이빙시에 스크라이브 위치의 위치 어긋남이 발생하기 쉬워져, 스크라이브 위치의 정밀도가 저하된다는 문제점이 있었다.By the way, in the scribing apparatus of patent documents 1 and 2, both the scribe head protrudes to the side of a linear motor or a feed screw, and are attached. Therefore, the rotation moment is generated in the clockwise direction of FIG. 2 by the weight of the scribe head. Accordingly, there is a problem that the slide base is susceptible to deformation, the positional shift of the scribe position is liable to occur during scribing, and the accuracy of the scribe position is lowered.

본 발명은 이러한 종래의 스크라이브 위치의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 슬라이드 베이스를 스크라이브 헤드의 무게에 의한 변형을 받기 어려운 형상으로 하여, 스크라이브 위치의 정밀도를 향상시키도록 하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems of the conventional scribe position, and the technical problem is to improve the accuracy of the scribe position by making the slide base into a shape which is hard to be deformed by the weight of the scribe head.

이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 스크라이브 장치는, 취성 재료 기판이 설치되는 테이블과, 상기 테이블에 설치되는 취성 재료 기판의 면에 평행한 면을 포함하는 빔을 갖는 브리지와, 상기 빔의 각 면을 둘러싸도록 형성된 슬라이더 블록과, 상기 슬라이더 블록을 상기 빔을 따라 직선 이동시키는 리니어 모터와, 상기 슬라이더 블록에 부착되어, 상기 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이빙 휠을 보유지지하는 스크라이브 헤드를 구비하는 것이다.In order to solve this problem, the scribing apparatus of the present invention includes a bridge having a table on which a brittle material substrate is provided, a beam including a surface parallel to the surface of the brittle material substrate provided on the table, and the angle of the beam. A slider block formed to surround the surface, a linear motor for linearly moving the slider block along the beam, and a scribe head attached to the slider block to hold a scribing wheel for scribing the brittle material substrate; It is.

여기에서 상기 슬라이더 블록은, 상기 빔에 대향하는 면에 배치되어, 상기 빔을 향하여 공기를 분출하는 복수의 에어 패드와, 상기 에어 패드에 공기를 공급하는 공기 공급부를 갖도록 해도 좋다.The slider block may be provided on a surface facing the beam, and may have a plurality of air pads for blowing air toward the beams, and an air supply unit for supplying air to the air pads.

여기에서 상기 에어 패드는, 상기 빔의 각각의 면에 대하여 적어도 3개 설치되어 있도록 해도 좋다.Here, at least three air pads may be provided with respect to each surface of the beam.

여기에서 상기 슬라이더 블록은, 프레임 형상으로 형성되어 있도록 해도 좋다.The slider block may be formed in a frame shape.

이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 슬라이더 블록이 빔을 둘러싸도록 하고 있기 때문에, 스크라이브 헤드의 무게에 의한 슬라이더 블록의 변형을 억제할 수 있다. 따라서, 스크라이빙의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the present invention having such a feature, since the slider block surrounds the beam, deformation of the slider block due to the weight of the scribe head can be suppressed. Thus, the effect that the positional accuracy of scribing can be improved is obtained.

도 1은 종래의 스크라이브 장치의 개략 사시도이다.
도 2는 종래의 스크라이브 장치의 빔과 스크라이브 헤드를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 개략 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이브 장치에 이용되는 빔과 슬라이더 블록을 나타내는 사시도이다.
도 5는 슬라이더 블록의 상세를 나타내는 사시도이다.
도 6은 슬라이더 블록의 A-A선 단면도이다.
도 7은 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 블록도이다.
도 8은 복수의 빔에 복수의 슬라이더 블록을 부착한 상태를 나타내는 사시도이다. 1 is a schematic perspective view of a conventional scribe device.
2 is a view showing a beam and a scribe head of a conventional scribing apparatus.
3 is a schematic perspective view of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a perspective view showing a beam and a slider block used in the scribing apparatus according to the embodiment of the present invention.
5 is a perspective view showing the details of the slider block.
6 is a cross-sectional view taken along the line AA of the slider block.
7 is a block diagram of a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention.
8 is a perspective view illustrating a state in which a plurality of slider blocks are attached to a plurality of beams.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)

도 3은 본 발명의 실시 형태에 의한 스크라이브 장치를 나타내는 사시도이다. 이 스크라이브 장치에 있어서, 전술한 종래예와 동일 부분은 동일 부호를 붙이고 있다. 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치(1)도, 이동대(101)가 한 쌍의 안내 레일(102a, 102b)을 따라, y축 방향으로 이동이 자유롭게 보유지지되고 있다. 볼나사(103)는 이동대(101)와 나사 맞춤되어 있다. 볼나사(103)는 모터(104)의 구동에 의해 회전하고, 이동대(101)를 안내 레일(102a, 102b)을 따라 y축 방향으로 이동시킨다. 이동대(101)의 상면에는 모터(105)가 설치되어 있다. 모터(105)는 테이블(106)을 xy 평면에서 회전시켜 소정 각도로 위치 결정하는 것이다. 취성 재료 기판(107)은 이 테이블(106) 상에 올려 놓여지고, 도시하지 않은 진공 흡인 수단 등에 의해 보유지지된다. 스크라이브 장치(1)의 상부에는, 취성 재료 기판(107)의 얼라인먼트 마크를 촬상하는 2대의 CCD 카메라(108)가 설치되어 있다.3 is a perspective view showing a scribing apparatus according to an embodiment of the present invention. In this scribe device, the same parts as those of the conventional example described above have the same reference numerals. In the scribing apparatus 1 which concerns on this embodiment, the movement table 101 is hold | maintained freely in the y-axis direction along a pair of guide rails 102a and 102b. The ball screw 103 is screwed into the movable table 101. The ball screw 103 rotates by the drive of the motor 104, and moves the moving base 101 along the guide rails 102a and 102b in the y-axis direction. A motor 105 is provided on the upper surface of the movable base 101. The motor 105 rotates the table 106 in the xy plane to position at a predetermined angle. The brittle material substrate 107 is placed on this table 106 and held by a vacuum suction means or the like not shown. In the upper part of the scribing apparatus 1, two CCD cameras 108 which image the alignment mark of the brittle material substrate 107 are provided.

스크라이브 장치(1)에는, 이동대(101)와 그의 상부의 테이블(106)을 걸치도록 브리지(10)가 x축 방향을 따라 가설되어 있다. 브리지(10)는 좌우의 한 쌍의 지주(11a, 11b)와 그 사이의 빔(12)으로 이루어지고, 빔(12)은 테이블(106)로부터 소정 간격을 두고 테이블(106)의 면에 평행하게 설치되어 있다. 빔(12)은 단면(斷面)이 일정한 가늘고 긴 부재이고, 양측의 측면에는 각각 길이 방향을 따라 홈(13A, 13B)이 형성되어 있다. 이 빔(12)의 길이 방향에 리니어 모터(14)가 설치된다. 리니어 모터(14)는 스크라이브 헤드(15)를 x축 방향을 따라 이동시키는 구동원이다. 스크라이브 헤드(15)의 하단부에는, 스크라이빙 휠을 갖는 팁 홀더(16)가 부착되어 있다. 스크라이브 헤드(15)나 팁 홀더(16)는 종래의 것과 동일하다.In the scribing apparatus 1, the bridge 10 is constructed along the x-axis direction so that the movable base 101 and the table 106 of the upper part may be covered. The bridge 10 consists of a pair of struts 11a and 11b on the left and right sides and the beam 12 therebetween, and the beam 12 is parallel to the surface of the table 106 at a predetermined distance from the table 106. Is installed. The beam 12 is an elongate member with a constant cross section, and grooves 13A and 13B are formed along the longitudinal direction on both side surfaces thereof. The linear motor 14 is provided in the longitudinal direction of the beam 12. The linear motor 14 is a drive source for moving the scribe head 15 along the x-axis direction. At the lower end of the scribe head 15, a tip holder 16 having a scribing wheel is attached. The scribe head 15 or tip holder 16 is the same as the conventional one.

도 4는 스크라이브 장치(1)의 슬라이더 블록이 부착되는 빔과 지주의 상이한 방향으로부터의 사시도를 나타내고 있다. 이 빔(12)을 주위로부터 둘러싸도록, 프레임 형상으로 형성된 슬라이더 블록(17)이 설치된다. 슬라이더 블록(17)에는 스크라이브 헤드(15)가 부착되지만, 도 4에서는 생략하여 나타내고 있다. 이하, 슬라이더 블록(17)에 대해서 상세하게 설명한다.4 shows a perspective view from different directions of the beam and the post to which the slider block of the scribe device 1 is attached. A slider block 17 formed in a frame shape is provided to surround the beam 12 from the surroundings. Although the scribe head 15 is attached to the slider block 17, it abbreviate | omits and shows in FIG. Hereinafter, the slider block 17 will be described in detail.

도 5는 슬라이더 블록(17)을 확대하여 나타내는 사시도이고, 도 6은 그의 A-A선 단면도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 슬라이더 블록(17)은 프레임 형상의 부재로서, 빔(12)을 둘러싸도록 형성되어 있다. 슬라이더 블록(17)은 평판 형상 부재가 조합하여 구성되어 있다. 빔(12)의 홈(13A)의 내측에는, 슬라이더 블록(17)의 위치를 검출하기 위한 리니어 스케일(18)이 설치되어 있다.5 is an enlarged perspective view of the slider block 17, and FIG. 6 is a cross-sectional view along the line A-A thereof. As shown in these figures, the slider block 17 is formed as a frame-shaped member so as to surround the beam 12. The slider block 17 is comprised by combining flat plate members. Inside the groove 13A of the beam 12, a linear scale 18 for detecting the position of the slider block 17 is provided.

슬라이더 블록(17)의 상면, 좌우 측면 및 하면에는, 도시하는 바와 같이 각각 3개소에 에어 패드(21A, 21B, 21C, 22A, 22B, 22C, 23A, 23B, 23C, 24A, 24B, 24C)가 설치되어 있다. 여기에서, 에어 패드(21A, 22A, 23A, 24A)만이 원형이고, 나머지는 직사각형 형상으로 되어 있다. 에어 패드는 알루미늄제의 평판 형상 부재이고, 표면이 알루마이트 처리되어 있다. 또한, 측방에는 공기 취입구멍을 갖고, 빔(12)과 대향하는 면에는 공기 취입구멍에 연통(communication)하는 다수의 작은 구멍이 설치되어 있다. 에어 패드는 원형인 쪽이 안정된 부력이 얻어지지만, 각 면의 인접하는 2개의 직사각형의 에어 패드(21B, 21C, 22B, 22C, 23B, 23C, 24B, 24C)를 좌우에 설치함으로써, 그 사이를 튜브에 의해 배관 가능하게 하고 있다. 각 에어 패드는 모두 측방에 플러그가 돌출되어 있어, 각 플러그는 유연한 파이프에 의해 연결되어 있으며, 슬라이더 블록(17)의 측방의 플러그(25)에 연결되어 있다. 플러그(25)는 외부로부터 공기를 취입하기 위한 것으로, 후술하는 에어 펌프에 연결되어 있다.On the top, left and right side surfaces and the bottom surface of the slider block 17, air pads 21A, 21B, 21C, 22A, 22B, 22C, 23A, 23B, 23C, 24A, 24B, and 24C are provided at three locations, respectively, as shown. It is installed. Here, only the air pads 21A, 22A, 23A, 24A are circular, and the rest are rectangular. The air pad is a flat plate member made of aluminum, and the surface is anodized. In addition, the air blowing hole is provided on the side, and a number of small holes communicating with the air blowing hole are provided on the surface facing the beam 12. Although the air pad is circular, stable buoyancy is obtained, but the two adjacent rectangular air pads 21B, 21C, 22B, 22C, 23B, 23C, 24B, and 24C on each side are provided between the left and right sides. Piping is possible with a tube. Each air pad protrudes from the side, and each plug is connected by the flexible pipe, and is connected to the plug 25 of the side of the slider block 17. As shown in FIG. The plug 25 is for blowing air from the outside and is connected to an air pump, which will be described later.

각 에어 패드의 중심에는 바깥 방향으로 이동 가능한 축이 설치되어 있고, 각 에어 패드는, 각각 축 방향으로 근소하게 이동이 자유로워지고, 도시하지 않은 스프링에 의해 빔(12)의 방향으로 탄성지지되어 있다.The center of each air pad is provided with a shaft which can move outward, and each air pad is slightly freely moved in the axial direction, and is elastically supported in the direction of the beam 12 by a spring (not shown). have.

다음으로 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치(1)의 구성에 대해서, 블록도를 이용하여 설명한다. 도 7은 스크라이브 장치(1)의 제어계를 나타내는 블록도이다. 본 도면에 있어서 2대의 CCD 카메라(108)로부터의 출력은 화상 처리부(41)를 통하여 제어부(42)에 부여된다. 제어부(42)는 스크라이브 라인을 형성하기 위해 X 모터 구동부(43), Y 모터 구동부(44)를 제어하는 것이다. 이들 모터 구동부(43, 44)는 각각 리니어 모터(14), 모터(104)를 직접 구동하는 것이다. 또한 회전용 모터 구동부(45)는 모터(105)를 구동하여, 테이블(106) 상에 배치된 취성 재료 기판(107)을 회전시킴과 함께, 각도 어긋남이 있을 때에 그 각도 어긋남을 없애는 것이다. 또한, 제어부(42)에는 에어 펌프 구동부(46), 팁 홀더 승강 구동부(47)나 모니터(48)가 접속된다. 에어 펌프 구동부(46)는 리니어 모터(14)에 의해 스크라이브 헤드를 직선적으로 이동시킬 때, 에어 펌프(49)를 동시에 구동하는 것이다. 또한, 팁 홀더 승강 구동부(47)는, 스크라이브시에 휠 팁이 취성 재료 기판의 표면 상을 적절한 하중으로 압접하도록 구동하는 것이다. 여기에서 에어 펌프 구동부(46)와 에어 펌프(49)는, 스크라이브 헤드의 이동시에 에어 패드에 공기를 공급하는 공기 공급부를 구성하고 있다.Next, the structure of the scribe device 1 which concerns on this embodiment is demonstrated using a block diagram. 7 is a block diagram showing a control system of the scribe device 1. In this figure, outputs from two CCD cameras 108 are provided to the control unit 42 via the image processing unit 41. The control unit 42 controls the X motor driver 43 and the Y motor driver 44 to form a scribe line. These motor drive parts 43 and 44 drive the linear motor 14 and the motor 104, respectively. In addition, the rotational motor drive unit 45 drives the motor 105 to rotate the brittle material substrate 107 disposed on the table 106 and to eliminate the angle shift when there is an angle shift. The control unit 42 is also connected with an air pump drive unit 46, a tip holder lift drive unit 47, and a monitor 48. When the air pump drive part 46 linearly moves the scribe head by the linear motor 14, the air pump drive part 46 drives the air pump 49 simultaneously. In addition, the tip holder elevating drive unit 47 drives the wheel tip to press-contact the surface of the brittle material substrate with an appropriate load during scribing. Here, the air pump drive part 46 and the air pump 49 comprise the air supply part which supplies air to an air pad at the time of movement of a scribe head.

다음으로 본 실시 형태에 의한 스크라이브 장치의 동작에 대해서 설명한다. 슬라이더 블록(17)이 빔(12)의 소정 위치에 정지하고 있는 상태에서는, 각 에어 패드에는 외부로부터 공기가 공급되지 않고 도시하지 않은 스프링에 의해 빔(12)을 향하여 탄성지지되어, 빔(12)의 면에 접촉하고 있다. 그리고, 스크라이브시에는 리니어 모터(14)에 의해 슬라이더 블록(17)을 이동시킨다. 이때, 에어 펌프 구동부(46)로부터 에어 펌프(49)가 기동하여, 플러그(25)를 통하여 각 면의 에어 패드(21A∼24C)에 압축 공기가 공급된다. 이에 따라, 각 에어 패드(21A∼24C)로부터 빔(12)을 향하여 공기가 동일한 압력으로 분출된다. 그러면, 스프링의 탄성 지지력에 저항하여 에어 패드가 빔(12)의 각 면으로부터 약간 부상하여, 슬라이더 블록(17)의 각 면의 에어 패드의 위치에서 빔(12)과의 간격이 동일해진다. 그 때문에, 슬라이더 블록(17)의 자세가 안정된다. 동시에 스크라이브 블록(17)의 이동에 수반되는 슬라이딩 저항도 경감되어, 빔(12)을 따라 용이하게 직선 이동시킬 수 있다. 그리고, 이 이동 중에는 스크라이브 헤드(15)가 하강하여, 취성 재료 기판에 대하여 스크라이브 휠을 전동시켜 스크라이브가 행해진다. 이에 따라, 스크라이브의 위치 정밀도를 향상시킬 수 있다.Next, the operation of the scribe device according to the present embodiment will be described. In the state where the slider block 17 is stopped at the predetermined position of the beam 12, air is not supplied to each air pad from the outside, and is elastically supported toward the beam 12 by a spring (not shown), so that the beam 12 ) Is in contact with the surface. Then, at the time of scribing, the slider block 17 is moved by the linear motor 14. At this time, the air pump 49 is started from the air pump drive unit 46, and compressed air is supplied to the air pads 21A to 24C on each surface through the plug 25. As a result, air is blown from the air pads 21A to 24C toward the beam 12 at the same pressure. Then, the air pad rises slightly from each side of the beam 12 in response to the elastic bearing force of the spring, so that the spacing with the beam 12 is equal at the position of the air pad on each side of the slider block 17. Therefore, the attitude of the slider block 17 is stabilized. At the same time, the sliding resistance accompanying the movement of the scribe block 17 is also reduced, so that it can be easily linearly moved along the beam 12. During this movement, the scribe head 15 descends, and the scribe wheel is driven by rolling the scribe wheel with respect to the brittle material substrate. Thereby, the positional accuracy of a scribe can be improved.

또한 스크라이브가 종료하면, 리니어 모터(14)의 구동이 정지함과 함께 에어 펌프(49)도 정지한다. 따라서, 공기의 공급이 정지되고, 각 에어 패드가 빔(12)에 맞닿아 정지한다.When the scribing ends, the driving of the linear motor 14 stops and the air pump 49 also stops. Therefore, the supply of air is stopped, and each air pad abuts on the beam 12 and stops.

또한, 이 실시 형태에서는 각 면에 복수의 에어 패드를 설치하고 있지만, 단순히 프레임 형상의 슬라이더 블록을 이용하여 위치를 안정화시키도록 해도 좋다. 또한, 에어 패드의 수는 각 면에 3개인 것이 바람직하지만, 3개 이상이라도 좋다.In this embodiment, a plurality of air pads are provided on each surface, but the position may be stabilized simply by using a frame-shaped slider block. The number of air pads is preferably three on each side, but may be three or more.

또한, 이 실시 형태에서는 빔(12)을 따라 1개의 스크라이브 헤드를 직선적으로 이동이 자유롭도록 하고 있지만, 1개의 빔에 복수의 슬라이더 블록을 설치하고, 동일한 빔에 복수의 슬라이더 블록을 이동시키도록 해도 좋다. 또한, 2매의 취성 재료 기판을 접합한 접합 기판을 분단하기 위해, 상하로부터 스크라이브를 행할 경우에는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 상하에 평행한 한 쌍의 빔(12A, 12B)을 설치하고, 각 빔에 적어도 1개의 슬라이더 블록, 여기에서는 슬라이더 블록(17A∼17D)을 이동이 자유롭게 배치하도록 해도 좋다.In this embodiment, one scribing head is linearly freely moved along the beam 12, but a plurality of slider blocks may be provided in one beam and the plurality of slider blocks may be moved in the same beam. good. In addition, when scribing from the top and the bottom in order to divide the bonded board | substrate which joined two brittle material board | substrates, as shown in FIG. 8, a pair of beams 12A and 12B which are parallel to top and bottom are provided, At least one slider block, and here, the slider blocks 17A to 17D, may be arranged freely in each beam.

또한, 이 실시 형태에서는 슬라이더 블록을 프레임 형상이 되도록 형성하고 있지만, 어느 일면, 예를 들면 하면에는 슬릿을 설치하고, 프레임 형상이 아닌 노치 부분을 설치하도록 해도 좋다. 이렇게 하면 근소하게 경량화될 뿐만 아니라, 외부로부터의 파이프의 공급 부분으로서 이용할 수도 있다. In addition, in this embodiment, although the slider block is formed so that it may become frame shape, a slit may be provided in one surface, for example, a lower surface, and the notch part which is not a frame shape may be provided. This not only slightly reduces the weight, but can also be used as a supply portion of the pipe from the outside.

본 발명은 빔을 따라 슬라이더 블록을 통하여 직선 형상으로 스크라이브 헤드를 이동시킬 때 스크라이브 헤드의 자세를 안정적으로 할 수 있기 때문에, 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이브 장치에 적합하다.The present invention is suitable for a scribing apparatus for scribing a brittle material substrate because the posture of the scribe head can be stabilized when the scribing head is moved linearly through the slider block along the beam.

10 : 브리지
11a, 11b : 지주
12, 12A, 12B : 빔
13A, 13B : 홈
14 : 리니어 모터
15 : 스크라이브 헤드
16 : 팁 홀더
17, 17A, 17B : 슬라이더 블록
21A, 21B, 21C, 22A, 22B, 22C, 23A, 23B, 23C, 24A, 24B, 24C : 에어 패드10: bridge
11a, 11b: prop
12, 12A, 12B: beam
13A, 13B: Home
14: linear motor
15: scribe head
16: tip holder
17, 17A, 17B: Slider Block
Air Pads: 21A, 21B, 21C, 22A, 22B, 22C, 23A, 23B, 23C, 24A, 24B, 24C

Claims (4)

취성 재료 기판이 설치되는 테이블과,
상기 테이블에 설치되는 취성 재료 기판의 면에 평행한 면을 포함하는 빔을 갖는 브리지와,
상기 빔의 각 면을 둘러싸도록 형성된 슬라이더 블록과,
상기 슬라이더 블록을 상기 빔을 따라 직선 이동시키는 리니어 모터와,
상기 슬라이더 블록에 부착되어, 상기 취성 재료 기판을 스크라이브하는 스크라이빙 휠을 보유지지(holding)하는 스크라이브 헤드를 구비하는 스크라이브 장치.A table on which a brittle material substrate is installed,
A bridge having a beam comprising a surface parallel to a surface of a brittle material substrate provided on the table;
A slider block formed to surround each side of the beam;
A linear motor for linearly moving the slider block along the beam;
And a scribe head attached to the slider block to hold a scribing wheel that scribes the brittle material substrate. 제1항에 있어서,
상기 슬라이더 블록은,
상기 빔에 대향하는 면에 배치되어, 상기 빔을 향하여 공기를 분출하는 복수의 에어 패드와,
상기 에어 패드에 공기를 공급하는 공기 공급부를 갖는 스크라이브 장치.The method of claim 1,
The slider block,
A plurality of air pads disposed on a surface opposite the beam, for ejecting air toward the beam;
A scribe device having an air supply unit for supplying air to the air pad. 제2항에 있어서,
상기 에어 패드는, 상기 빔의 각각의 면에 대하여 적어도 3개 설치되어 있는 스크라이브 장치.The method of claim 2,
At least three air pads are provided with respect to each surface of the beam. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 슬라이더 블록은, 프레임 형상으로 형성되어 있는 스크라이브 장치.




4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The slider block is a scribing device formed in a frame shape.




KR1020130008578A 2012-02-08 2013-01-25 Scribing apparatus KR20130091673A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2012-025091 2012-02-08
JP2012025091A JP2013159540A (en) 2012-02-08 2012-02-08 Scribing device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20130091673A true KR20130091673A (en) 2013-08-19

Family

ID=48921843

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130008578A KR20130091673A (en) 2012-02-08 2013-01-25 Scribing apparatus

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2013159540A (en)
KR (1) KR20130091673A (en)
CN (1) CN103241932A (en)
TW (1) TW201332918A (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI527674B (en) * 2014-06-19 2016-04-01 三星國際機械股份有限公司 Method and apparatus for scribing brittle material substrate
KR102030403B1 (en) * 2017-11-13 2019-10-10 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Multifunctional scribe head and scribing method using the same

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6356227U (en) * 1986-09-29 1988-04-15
KR100360616B1 (en) * 1999-10-12 2002-11-18 이정구 Air slider with air dampen
JP2002119038A (en) * 2000-10-12 2002-04-19 Nikon Corp Stage equipment and aligner
JP2002082445A (en) * 2000-07-07 2002-03-22 Nikon Corp Stage device and exposure device
JP2002353118A (en) * 2001-05-28 2002-12-06 Nikon Corp Stage apparatus and projection aligner
JP4464961B2 (en) * 2004-03-15 2010-05-19 三星ダイヤモンド工業株式会社 Substrate cutting system, substrate manufacturing apparatus, substrate scribing method, and substrate cutting method
TW201008887A (en) * 2008-06-25 2010-03-01 Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd Scribing apparatus
CN201295995Y (en) * 2008-08-14 2009-08-26 苏冠任 Desk-top ceramic tile cutting device
KR100916539B1 (en) * 2008-12-30 2009-09-11 주식회사 하이컴텍 Glass cutting apparatus and its method
JP5173885B2 (en) * 2009-02-24 2013-04-03 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribing apparatus and scribing method

Also Published As

Publication number Publication date
CN103241932A (en) 2013-08-14
JP2013159540A (en) 2013-08-19
TW201332918A (en) 2013-08-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101144920B (en) Substrate detecting device
KR101616564B1 (en) Probe Mobile Apparatus
KR20140090934A (en) Reversing apparatus using suction
JPWO2009093619A1 (en) Scribing apparatus and scribing method
KR102593614B1 (en) Substrate cutting apparatus
EP3046404B1 (en) Manufacturing work machine
KR20130091673A (en) Scribing apparatus
KR102593615B1 (en) Substrate cutting apparatus
US20170084472A1 (en) Manipulator
KR102268373B1 (en) Board Floating Transfer Device
JP2008256715A (en) Surface shape measuring device of thin plate
KR102067981B1 (en) Substrate cutting apparatus
JP7218908B2 (en) Scribing head and scribing device
KR102353206B1 (en) Scribing apparatus
KR102353207B1 (en) Scribing apparatus
KR20120079982A (en) Apparatus for transferring the substarate vertically
JP2010118478A (en) Substrate levitation device and substrate inspecting apparatus
JP2013026370A (en) Device and method for mounting electronic component
JP2013180921A (en) Scribing device
KR20190018079A (en) Scribing apparatus
TWI715868B (en) Scribing method and scribing apparatus
KR101021986B1 (en) A scribing apparatus and a scribing method for forming a scribe line
JP2013166669A (en) Scribing device
JP2013180920A (en) Scribing device
JP2015160252A (en) Suction hand and robot provided with the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application