JP2009292084A - 液体吐出記録ヘッドおよび該液体吐出記録ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電気配線基板の浮き上がりを改善し、画像性能を向上させること。
【解決手段】液体を吐出する記録素子１１０と、記録素子１１０に電気信号を送信するための電気配線基板１３０、記録素子１１０を電気配線基板１３０に位置決めして固定支持する支持部材１５０を備えたインクジェット記録ヘッドである。電気配線基板１３０には、記録素子１１０の吐出部を露出させる第一の開口部１３４と、第一の開口部１３４に近接する第二の開口部１３５、第二の開口部１３５を第一の開口部１３４から分離する分離帯１３０ａ、インナーリード１３２を有する。電気配線基板１３０は、電気導体層と、該電気導体層を保護する被覆層、該電気導体層と被覆層を接着する接着層を積層してなる。分離帯１３０ａが電気配線基板１３０の線膨張係数より小さい該電気配線基板を構成する層からなる。このような電気配線基板１３０が加熱された後に支持部材１５０に接合されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、インク等の液体を吐出して記録を行う記録装置に搭載される液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法に関するものである。なお、本発明の液体吐出記録ヘッドは、一般的なプリント装置のほかに、複写機、通信システムを有するファクシミリや、プリント部を有するワードプロセッサ等の記録装置に適用される。さらには当該記録ヘッドは、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用の記録装置に適用することができる。

インクジェットプリンタ等の液体吐出方式の記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録や、様々な記録メディアに対する記録が可能である。さらに記録時における騒音がほとんど生じないという特徴を有するため、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録装置として広く採用されている。

図７は、一従来例による液体吐出記録ヘッドの主要部を示すもので、同図の（ａ）は、吐出面を示す斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の反対面の斜視図である。

図７の（ａ）に示すように、液体吐出記録ヘッドである記録ヘッド１００１は、以下の主要部材などから構成される。発熱抵抗体である電気熱変換体によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させる記録素子１１００が備わる。記録素子１１００に装置本体（不図示）からの駆動信号等を印加する電気配線基板１３００が備わる。インクタンク（不図示）から記録素子１１００にインクを供給するためのインク流路を形成する支持部材１５００が備わる。

インクタンクに接続される支持部材１５００は、図７の（ｂ）に示すように、接続部にフィルター１５０４およびシールゴム１５０５を備え、インクタンクからのインクを記録素子１１００へと導く流路を形成している。

図８の分解斜視図に示すように、流路の出口となるインク供給口１５０６に対応して、記録素子１１００のインク供給口（不図示）が、接着剤１５０１によって接続される。記録素子１１００は、素子を組み込むための開口部１３０４を有する電気配線基板１３００に電気的に接続される。具体的には、支持部材１５００に接着固定された記録素子１１００の電極部１１０３に対して、電気配線基板１３００のインナーリード１３０２が接続できる位置に電気配線基板１３００を支持部材１５００に接着剤１５０２で固定する。また、電気配線基板１３００に対して装置本体からの駆動信号等を入力する外部信号入力端子１３０１を有する部位は、支持部材１５００の側面に接着剤１５０３によって接着固定される。

電気配線基板１３００は、ベースフィルム、接着剤層、配線から構成される。電気配線基板１３００は、記録素子１１００の吐出部である吐出口列１１０１を有する流路形成部材１１０２を外部に露出する第１の開口部（デバイスホール）１３０４と、記録素子１１００との電気接続部に設けた補助開口である第２の開口部１３０５を備える。

開口部１３０４、１３０５は、電気接続部と平行に延在する分離手段である分離帯１３００ａによって分離され、互に独立して配設されている。

図８は、記録ヘッド１００１の組み立て過程を示すもので、記録素子１１００の主面には、吐出口列１１０１を備える流路形成部材１１０２と電極部１１０３とが備わっており、電極部１１０３は第２の開口部１３０５に組み込まれる。電極部１１０３にはバンプ１１０４が形成され、インナーリード１３０２と電極部１１０３がバンプ１１０４を介して電気的に接続される（特許文献１参照）。

次いで、電気配線基板１３００の第１の開口部１３０４より、記録素子１１００の側面周囲に、第１の封止剤１２０１が充填される。このとき、電気配線基板１３００の第１の開口部１３０４と第２の開口部１３０５を分離する分離帯１３００ａと、記録素子１１００との間にも、毛細管現象によって第１の封止剤１２０１の一部が充填される。その後、第２の開口部１３０５の内側に第２の封止剤が充填されて、電気接続部が封止される（特許文献２参照）。
特開平１０−０００７７６号公報 特開２００１−１３０００１号公報

印刷品位や印刷スピードを向上するために吐出口列を増やした場合記録素子のサイズ（特に主走査方向の寸法）が拡大する。上記図７の記録ヘッドの場合では、記録素子サイズが拡大すると、記録素子１１００上の電気配線基板１３００の開口部が拡大して分離帯１３００ａが延長される。したがって、分離帯が長ければ長いほど、このような電気配線基板を支持部材に接着した場合に分離帯がたわんで太鼓状に浮き上がる現象が生じた。

他方、記録装置においては、記録ヘッド１００１と記録紙等の記録媒体との間に、両者が接触しないように、例えば、２ｍｍ程度の間隔を空けている。しかし流路形成部材１１０２からの電気配線基板１３００の浮き上がりが大きいほど、流路形成部材１１０２と記録媒体の間隔を大きくする必要があり、画像性能の低下を招く虞があるという課題が生じた。

本発明は、上記背景技術の課題を解決することができる液体吐出記録ヘッドおよびその製造方法を提供することを目的とする。その目的の一例は、電気配線基板の浮き上がりを改善し、画像性能を向上させることである。

本発明は、液体を吐出する吐出部を備えた記録素子と、前記記録素子に電気信号を入力するための電気配線基板と、前記記録素子を前記電気配線基板に位置決めして固定支持する支持手段と、を備えた液体吐出記録ヘッドに係るものである。

そして、上記記電気配線基板が、上記記録素子の吐出部を露出させる第一の開口部と、該第一の開口部に近接する第二の開口部と、該第二の開口部を前記第一の開口部から分離する分離手段と、を有している。

このような記録ヘッドにおいて、上記電気配線基板は、電気導体層と、該電気導体層を保護する被覆層と、前記電気導体層と前記被覆層を接着する接着層とを含む構成であり、前記分離手段が、前記電気配線基板の線膨張係数より小さい前記電気配線基板を構成する層からなる。そのうえ、このような電気配線基板が加熱されてから前記支持手段に接合されている。

本発明によれば、流路形成部材からの電気配線基板の浮き上がりを改善し、印刷品位を向上させることができる。

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

図１に示すように、記録ヘッド１００は、液体であるインクを吐出するエネルギー発生手段を備えた記録素子１１０と、記録素子１１０と電気的に接続される電気接続部を有する電気配線基板１３０と、を備える。さらに当該記録ヘッドは、記録素子１１０を電気配線基板１３０に位置決めして固定支持する支持手段を備えている。

電気配線基板１３０は、記録素子１１０の吐出部である吐出口列１１１を有する流路形成部材１１２を外部に露出する第１の開口部（デバイスホール）１３４と、記録素子１１０との電気接続部に設けた補助開口である第２の開口部１３５と、を備える。開口部１３４、１３５は、電気接続部と平行に延在する分離手段である分離帯１３０ａによって分離され、互に独立して配設されている。

電気配線基板１３０は、電気導体層と、電気導体層を保護する被覆層と、電気導体層と被覆層を接着する接着層とから成り、分離帯１３０ａが電気配線基板１３０の線膨張係数より小さい層で構成されている。

記録ヘッド１００の組立工程において、電気配線基板１３０は加熱された状態で支持手段に接合固定される。

「実施例１」
図１から図４は本発明の実施例１の液体吐出記録ヘッドを示したものである。

本実施例の記録ヘッドは、電気信号に応じて膜沸騰を液体であるインクに対して生じせしめるための電気熱変換体を有する記録素子１１０を用いて記録を行うバブルジェット方式のサイドシューター型記録ヘッドである。

図１（ａ）（ｂ）に示される記録ヘッドは、流路形成部材１１２を有する記録素子１１０、電気配線基板１３０、これらを固定支持する支持手段である支持部材１５０等で構成される。尚、図１（ａ）は記録ヘッドの斜視図、図１（ｂ）は図１（ａ）中のＣ１の領域の拡大図である。

電気配線基板１３０は、図示しない外部配線と接続される外部信号入力端子１３１と、記録素子１１０の流路形成部材１１２を露出するデバイスホールである第１の開口部１３４と、補助開口である一対の第２の開口部１３５と、を備える。

第１の開口部１３４内の記録素子１１０の側面を封止する封止剤１２１と、第２の開口部１３５を電気配線基板１３０の表面側から封止する封止剤１２２と、からなる封止部を有し、開口部１３４、１３５の間は分離帯１３０ａによって分離されている。

記録素子１１０は、シリコン製の基板の中央にインク供給口を長穴の形状で開け、この基板上に複数の発熱抵抗体からなる電気熱変換体をほぼ等間隔でインク供給口の両縁に沿って配列したものを含む。

このように発熱抵抗体が形成された基板は、ヒーターボード１１０ａ（図４参照）と呼ばれている。記録素子１１０の本体部に相当するヒーターボード１１０ａの主面には、発熱抵抗体に電力を供給するための配線が設けられ、図３に示すように、記録素子１１０の両端に設置された電極部１１３と結線されている。そして、このようなヒーターボード１１０ａ上に保護膜と吐出口列１１１を有する流路形成部材１１２とを形成して、記録素子１１０が完成する。

発熱抵抗体は、装置本体からの駆動信号によって、インクを加熱し、膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させる。また、流路形成部材１１２の表面は撥水処理されており、流路形成部材１１２の厚みは、例えば、２５μｍである。

電気配線基板１３０は、記録装置の本体から外部信号入力端子１３１を経て供給される駆動信号を、電気接続手段であるインナーリード１３２（図３（ｂ）参照）によって、記録素子１１０に伝えるものであり、例えばＴＡＢテープが用いられる。記録装置の本体は、記録媒体を記録ヘッドの吐出口に対向するように搬送する搬送手段を備える。

また図４に示すように、電気配線基板１３０は、ベースフィルム１３７に接着剤１３８を介して、インナーリード１３２に接続する配線１３９が積層された積層構造を有する。

流路形成部材１１２を露出する第１の開口部１３４と、電極部１１３とインナーリード１３２との電気接続部を露出する第２の開口部１３５とは、電気配線基板１３０のベースフィルム１３７に形成される。そして両開口部は、ベースフィルム１３７の一部である分離帯１３０ａによって分離されている。

分離帯部の線膨張係数が、電気配線基板の線膨張係数よりも小さくなるように考慮されている。そのために本実施例ではベースフィルムには宇部興産（株）社製ユーピレックスＳ（線膨張係数：12.0×10^-6/℃）、配線には電解銅箔（線膨張係数：16.5×10^-6/℃）、接着剤には（株）巴川製紙所製Ｘ-Ｔｙｐｅが使用されている。また、各材料の厚みについてはベースフィルム１３７が５０μｍ、接着剤１３８が１０μｍ、配線１３９が２５μｍである。

分離帯１３０ａの幅Ｌ₂ は、広いほど、対応する記録素子１１０のサイズも大きくなってしまうため、できるだけ狭い方が望ましい。本実施例では、開口部１３４、１３５の打ち抜きを行う金型の加工精度や、ベースフィルム１３７の材料となる剛性を考慮して、例えば、分離帯１３０ａの幅Ｌ₂ が０．３５ｍｍに設定されている。

また、分離帯１３０ａからインナーリード１３２の先端までの距離Ｌ₃ も、できるだけ狭くすることによって、対応する記録素子１１０のサイズを小さくすることができる。本実施例では、ＴＡＢテープの加工精度を考慮して、距離Ｌ₃ は０．１ｍｍに設定されている。開口部１３５の長辺の長さが８ｍｍ以上の場合には、電気配線基板１３０の加熱前は分離帯１３０ｂにたわみが生じた状態になる（図２中に実線で示した電気配線基板を参照）。

図２および図４に示すように、記録素子１１０は接着剤１５１によって支持部材１５０に固定され、電気配線基板１３０は接着剤１５２、１５３によって支持部材１５０に固定される。

支持部材１５０は樹脂成形により形成され、インクタンク（不図示）から記録素子１１０にインクを供給するためのインク流路１５６が形成されている。支持部材１５０とインクタンクとの接続部分にはフィルターおよびシールゴムが設けられている、記録素子１１０は、支持部材１５０に形成された凹部１５７に組み込まれる。

支持部材１５０に設けられたインク流路１５６に記録素子１１０のインク供給口（不図示）が対応するように位置決めしたうえで、記録素子１１０が接着剤１５１によって固定される。

記録素子１１０は、流路形成部材１１２からなる主面を電気配線基板１３０の第１の開口部１３４に組み込んで、第２の開口部１３５に突出するインナーリード１３２に電気接続される。

電気配線基板１３０は、内部にカートリッジヒータ２０１が組み込まれた銅製の金属ブロック２００に真空吸着保持されて加熱される。

電気配線基板１３０は加熱されることで熱膨張し、第一の開口部１３４は電気配線基板の線膨張係数に従い拡大する。分離帯１３０ａは、電気配線基板１３０の線膨張係数より小さいベースフィルム材で構成されている。そのためベースフィルム材の線膨張係数に従いに分離帯は伸びようとするが、電気配線基板１３０の熱膨張に伴って拡大する第一の開口部１３４に引っ張られて、分離帯１３０ａのたわみが解消される（図２中に一点鎖線で示した電気配線基板を参照）。

分離帯１３０ａのたわみが解消された状態の電気配線基板１３０は、支持部材１５０に固定された記録素子１１０の電極部１１３に対して電気配線基板１３０のインナーリード１３２が接続できる位置に合せられ、接着剤１５２で支持部材１５０に接着固定される。

なお、電気配線基板１３０が接着固定される部材は、支持部材１５０に接合された、支持部材１５０に記録素子１１０を組み込むための開口部を有したプレート状の部材でも良い。

支持部材１５０または、支持部材１５０に記録素子１１０を組み込むための開口部を有したプレート状の部材は、樹脂成形から形成されているため熱伝導率が低いことから、温度上昇が小さいまま、電気配線基板側からの加熱でも効率よく接着できる。

位置決め固定された記録素子１１０の電極部１１３と電気配線基板１３０のインナーリード１３２は、電極部１１３に設けられたバンプ１１４を介して、ＴＡＢ実装技術によって電気的に接続される。

接着剤１５２としては、熱硬化型の接着剤であり、金属ブロック２００が電気配線基板１３０を保持し支持部材１５０に当接している短時間で硬化するものを使うと良い。

装置本体からの駆動信号を受け取る外部信号入力端子１３１を有する電気配線基板１３０の部位は、接着剤１５３によって、支持部材１５０に接着固定される。

次いで、電気配線基板１３０の第１の開口部１３４より、記録素子１１０の側面周囲に、第１の封止剤１２１が充填される。

第１の封止剤１２１は、直接塗布することのできない電気接続部（インナーリード１３２）の裏側まで充填させる必要があるため、初期の粘度が低く流動性の良いものが用いられる。本実施例においては、例えば、熱硬化型の封止剤であるサンユレック社製 ＮＲ２００Ｃが使用されている。そして、第１の封止剤１２１を、例えば、１００℃で１時間から４時間程度、加熱することにより、記録素子１１０の側面全体に充填し、第１の封止剤１２１の一部１２１ａは電気接続部（インナーリード１３２）の裏側まで充填し仮硬化する。

記録素子１１０の側面全体への第１の封止剤の充填および仮硬化と同時に、記録素子１１０と分離帯１３０ａの間にも、毛細管現象によって第１の封止剤１２１の一部１２１ｂが充填され仮硬化する。この事により、分離帯１３０ａは、記録素子１１０の主面に接着固定され、第２の開口部１３５は、開口周囲がせき止められたダム形状となる（図４参照）。

ダム形状となった第２の開口部１３５には第２の封止剤１２２が充填され、電気接続部が封止される。

第２の封止剤１２２は、深さが例えば、０．１ｍｍほどのダム形状部に充填されため、第１の封止剤１２１と同様に初期粘度が低く、レベリング性の良いものを用いることができる。よって、第２の封止剤１２２の高さを電気配線基板１３０のベースフィルム１３７（分離帯１３０ａ）の表面とほぼ同じにすることができ、外周がベースフィルム１３７で囲われ、外力を受けにくい構成とすることができる。例えば、記録装置本体に備わるワイピング機構に対しても、ワイパーブレードから受ける接触時の外力が小さくなる。

本実施例では、第１の封止剤１２１と同じ、サンユレック社製 ＮＲ２００Ｃが第２の封止剤１２２として用いられる。第１、第２の封止剤１２１、１２２を同一の材料にすることにより、両者の接着性を向上させることができる。第２の封止剤１２２を充填した後、例えば、１５０℃で３時間程度、加熱することにより、第１の封止剤１２１および第２の封止剤１２２を完全に硬化することができる。

本実施例の記録ヘッドにおいては、電気配線基板１３０の分離帯１３０ａを線膨張係数の小さいベースフィルム１３７で構成し、電気配線基板１３０を加熱して分離帯１３０ａのたわみを解消して支持部材１５０に接着固定する方法が採られている。

こうした手法により、流路形成部材１１２からの電気配線基板１３０の浮き上がり高さを抑えることが出来る。その結果、記録ヘッドと、図示しない搬送手段によって記録ヘッドと対向するように搬送される記録媒体との間隔を縮め、記録装置の印字品位等を向上させることができる。

「実施例２」
図５および図６は本発明の実施例２の液体吐出記録ヘッドを示したものである。

本実施例の記録ヘッドは、上記実施例１の構成と同様、流路形成部材１１２を有する記録素子１１０、電気配線基板１３０、これらを固定支持する支持手段である支持部材１５０等で構成される。

色数や吐出口数が増えて記録素子サイズがさらに大きくなると、インクを吐出するための発熱抵抗体が増え多くのエネルギーが消費され記録素子はより高温となる。記録素子１１０が高温となることで、記録素子１１０と支持部材１５０とを接着剤１５１で接着する接合部にストレスが生じる。

このストレスを軽減するには記録素子の線膨張係数と同等の線膨張率を有する材料で支持部材１５０を構成するとよい。

よって本実施例の記録素子１１０の基材には、実施例１と同様にシリコン（Ｓｉ 線膨張係数：４．２×１０^-6）が用いられ、支持部材１５０にはアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃ 線膨張係数：７．２×１０^-6）が用いられている。

支持部材１５０は記録素子１１０よりも体積が大きく、アルミナは熱伝導率が２４Ｗ／（ｍ・Ｋ）あり、電気配線基板１３０の上面側からだけの加熱では支持部材１５０に熱が逃げてしまい接着剤１５２に効率よく熱が伝わり難い。接着の効率を更に上げるためには支持部材１５０も加熱することで効率よく接着を行うことが出来る。

実施例１と同様に電気配線基板１３０は加熱されることで熱膨張し、第一の開口部１３４は電気配線基板１３０の線膨張係数に従い拡大する。

分離帯１３０ａは、電気配線基板１３０の線膨張係数より小さいベースフィルム材で構成されている。そのためベースフィルム材の線膨張係数に従い伸びようとするが、電気配線基板１３０の熱膨張に伴って拡大する第一の開口部１３４に引っ張られて、分離帯１３０ａのたわみが解消される（図６中に一点鎖線で示した電気配線基板を参照）。

さらに、内部にヒーター２０２が組み込まれた銅製のブロック２０４により、分離帯のたわみが解消される温度と同等に支持部材１５０を加熱することで、接着の効率を良くすることが出来る。

分離帯部のたわみが解消した温度から常温に戻しても当該たわみの解消を維持するために、支持部材１５０の線膨張係数は電気配線基板１３０の線膨張係数より小さく設定されている。この事により、電気配線基板１３０を支持部材１５０に接着固定後の常温状態においても、分離帯部は電気配線基板１３０の開口に引っ張られた状態を維持し、たわみは生じない。

以上のような手法で流路形成部材１１２からの電気配線基板１３０の浮き上がり高さを抑えることにより、記録ヘッドと、図示しない搬送手段によって記録ヘッドと対向するように搬送される記録媒体との間隔を縮めることができる。その結果、記録装置の印字品位等を向上させることができる。

すなわち本発明では、デバイスホール（第一の開口部１３４）に近接する補助開口（第二の開口部１３５）と、補助開口をデバイスホールから分離する分離手段（分離帯１３０ａ）が、電気配線基板の線膨張係数より小さい当該電気配線基板を構成する層からなる。このような電気配線基板が加熱されて支持手段に接合されるため、流路形成部材からの電気配線基板の浮き上がりが抑えられる。

これによって、液体吐出記録ヘッドと記録媒体との間隔を縮めることが可能となり、印字品位等を大幅に向上させることができる。

尚、以上では、インクジェット記録分野において記録用のインクを吐出するのに使用されるインクジェットヘッドについて説明したが、本発明は、医療分野において液状薬剤を霧状として肺吸入させる際に使用される吸入装置などで液体を微小な液滴として吐出するヘッドにも好適に用いられる。薬剤吸入用のヘッドとして用いる場合は、ヘッドを薬剤のディスペンサと連結した構成とし、吐出する液体としては、インスリン、人成長ホルモン、性腺刺激ホルモンなどの蛋白製剤、ニコチン、または麻酔薬などが用いられる。

本発明の実施例１による液体吐出記録ヘッドを示すもので、（ａ）はその主要部を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の方形Ｃ₁ で囲んだ部分を拡大して示す拡大部分斜視図である。 図１の記録ヘッドの組立て手順を示す分解斜視図である。 図１の記録ヘッドを、封止剤による封止前の状態で示すもので、（ａ）はその斜視図、（ｂ）は方形Ｃ₂ で囲んだ部分を拡大して示す拡大部分斜視図、（ｃ）は分離帯に浮きを生じた場合の方形Ｃ₂で囲んだ分を拡大した手示す拡大斜視図である。 図１の記録ヘッドの一部分を、図１の（ｂ）のＢ−Ｂ線に沿った断面で示す部分断面図である。 本発明の実施例２による液体吐出記録ヘッドの斜視図である。 図５の記録ヘッドの組立て手順を示す分解斜視図である。 一従来例を示すもので、（ａ）は記録ヘッドの主要部を示す斜視図、（ｂ）は（ａ）の支持部材の反対側を示す斜視図である。 図７の記録ヘッドを分解して示す分解斜視図である。

符号の説明

１１０ 記録素子
１１１ 吐出口列
１１２ 流路形成部材
１１３ 電極部
１２０ 封止部
１２１、１２２ 封止剤
１３０ 電気配線基板
１３０ａ 分離帯
１３２ インナーリード
１３４ 第１の開口部
１３５ 第２の開口部
１５０ 支持部材
１５１〜１５３ 接着剤

Claims (6)

1. 液体を吐出する吐出部を備えた記録素子と、前記記録素子に電気信号を入力するための電気配線基板と、前記記録素子を前記電気配線基板に位置決めして固定支持する支持手段と、を備え、
   前記電気配線基板が、前記記録素子の前記吐出部を露出させる第一の開口部と、該第一の開口部に近接する第二の開口部と、該第二の開口部を前記第一の開口部から分離する分離手段と、を有する液体吐出記録ヘッドにおいて、
   前記電気配線基板は、電気導体層と、該電気導体層を保護する被覆層と、前記電気導体層と前記被覆層を接着する接着層とを含む構成であり、
   前記分離手段が、前記電気配線基板の線膨張係数より小さい前記電気配線基板を構成する層からなり、且つ、
   当該電気配線基板が加熱された後に前記支持手段に接合されていることを特徴とする液体吐出記録ヘッド。
2. 前記分離手段が前記電気配線基板の前記被覆層により構成されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出記録ヘッド。
3. 前記支持手段の線膨張係数が前記電気配線基板の線膨張係数より小さいことを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出記録ヘッド。
4. 液体を吐出する吐出部を備えた記録素子と、前記記録素子に電気信号を入力するための電気配線基板と、前記記録素子を前記電気配線基板に位置決めして固定支持する支持手段と、を備え、
   前記電気配線基板が、前記記録素子の前記吐出部を露出させる第一の開口部と、該第一の開口部に近接する第二の開口部と、該第二の開口部を前記第一の開口部から分離する分離手段と、を有する液体吐出記録ヘッドの製造方法において、
   前記電気配線基板を、電気導体層と該電気導体層を保護する被覆層とを接着して構成するとともに、前記分離手段を、前記電気配線基板の線膨張係数より小さい前記電気配線基板を構成する層により構成し、
   該電気配線基板を加熱した後に前記支持手段に接合することを特徴とする液体吐出記録ヘッドの製造方法。
5. 前記分離手段を前記電気配線基板の前記被覆層により構成したことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出記録ヘッドの製造方法。
6. 前記支持手段の線膨張係数が前記電気配線基板の線膨張係数より小さいことを特徴とする請求項４または５に記載の液体吐出記録ヘッドの製造方法。

Images