JP4109898B2

JP4109898B2 - インクジェット記録ヘッド

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Publication number: JP4109898B2
Application number: JP2002134521A
Authority: JP
Inventors: 健土井
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-05-22
Filing date: 2002-05-09
Publication date: 2008-07-02
Anticipated expiration: 2022-05-09
Also published as: US6824248B2; US20020175967A1; JP2003039679A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、記録媒体の記録面に対してインクを吐出し記録画像を得るインクジェット記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数のインク吐出口からインクが記録データに基づき記録媒体の記録面に対して選択的に吐出されてそのインクがその記録面に付着されて画像を形成するインクジェット記録装置が実用に供されている。このようなインクジェット記録装置においては、記録媒体の記録面に対して対向して配され記録媒体の搬送方向に直交する方向に走査されるキャリッジ部に選択的に搭載されるインクジェット記録ヘッドが備えられている。
【０００３】
サイドシュータ型とされるインクジェット記録ヘッド１６は図８に示されるように、例えば、インクタンクＩＴが装着されるインク供給部１８Ｂと、図示が省略されるキャリッジ部に電気的に接続されキャリッジ部からの駆動制御信号群が入力される入力端子部１８Ａとからなる本体部１８と、本体部１８のインク供給部１８Ｂにおける凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに接合される支持部材２０と、支持部材２０における第２の接合面としての上面に接着される記録素子基板２４と、記録素子基板２４に電気的に接続され入力端子部１８Ａからの駆動制御信号群を供給するプリント配線基板２２とを含んで構成されている。
【０００４】
本体部１８は、入力端子部１８Ａとインク供給部１８Ｂとが例えば、樹脂により一体に成形されている。本体部１８のインク供給部１８ＢにおけるインクタンクＩＴが装着される部分に対向する上面には、図８および図９に示されるように、略長方形の凹部１８ＢＧが設けられている。凹部１８ＢＧの底部は、支持部材２０が接着される被接合面１８ｂとされる。被接合面１８ｂの一部は、例えば、アルミニウム合金で作られたブロック片２６の表面によって形成されている。ブロック片２６は、本体部１８が成形されるとき、金型内に配置されて樹脂で包囲されたものである。被接合面１８ｂの略中央部には、インクタンクＩＴからのインクを導入するインク供給路１８ａの細長い開口端部が開口している。
【０００５】
記録素子基板２４は、図１０、および、図１１に示されるように、インク供給部におけるインク供給路の開口端部に連通するインク供給開口部１０ｃを有する基板１０と、基板１０におけるインク加熱部としてのヒータ１０ａに対応してそれぞれ設けられる複数のインク分岐供給路１２ａを形成する隔壁部材１２と、基板１０における各ヒータ１０ａに対向して設けられる複数のインク吐出口１４ａの配列が平行に２列形成されるオリフィスプレート１４とを含んで構成されている。
【０００６】
記録素子基板２４における基板には、例えば、厚さ０．５〜１．０ｍｍのシリコン材料で薄膜が形成されている。また、基板におけるインク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに接着剤により接着せしめられる面には、図９の（Ａ）に示されるように、オリフィスプレートに対向しインク吐出口２４ａの配列方向に伸びるインク供給開口部２４ｃが設けられている。さらに、その基板におけるインク供給開口部２４ｃを挟んだ両側部分には、図示が省略されるヒータが所定の相互間隔をもってそれぞれ配されている。隔壁部材におけるインク分岐供給路の一方の端部はインク供給開口部２４ｃに連通しており、各インク分岐供給路は、インク供給開口部２４ｃを通じて供給されるインクをそれぞれのヒータに導くものとされる。
【０００７】
記録素子基板２４における基板の各電極には、図８および図９に示されるように、プリント配線基板２２が電気的に接続されている。プリント配線基板２２は、記録素子基板２４が配置される記録素子基板収容部２４Ｂと、本体部１８における入力端子部１８Ａに配される端子部２４Ａとを有している。プリント配線基板２２と記録素子基板２４とをボンディングするにあたっては、例えば、ＴＡＢ（テープ・オートメイティド・ボンディング）方式により接続される。
【０００８】
記録素子基板２４とインク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂとの間に配される支持部材２０は、図８および図９に示されるように、長方形の板状に形成されている。支持部材２０は、例えば、記録素子基板２４の材質と同一のシリコンで作られている。
【０００９】
支持部材２０は、図９の（Ａ）に示されるように、記録素子基板２４におけるインク供給開口部２４ｃが設けられる面に接着される第２の接合面２０ｓａと、インク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに接着される第１の接合面２０ｓｂとを有している。また、支持部材２０は、記録素子基板２４におけるインク供給開口部２４ｃとインク供給部１８Ｂの凹部１８ＢＧの被接合面１８ｂに設けられるインク供給路１８ａとに対応する位置に、長手方向に細長く伸びる連通路２０ａが設けられている。さらに、支持部材２０の短辺、および、長辺の長さは、それぞれ、記録素子基板２４の短辺、および、長辺の長さと同一とされ、支持部材２０の厚さは、記録素子基板２４の厚さと略同一とされる。
【００１０】
プリント配線基板２２が接続された記録素子基板２４をインク供給部１８Ｂに配置するにあたっては、先ず、支持部材２０の第１の接合面２０ｓｂが被接合面１８ｂの所定の位置に接着剤により接着される。続いて、図９の（Ｂ）に示されるように、支持部材２０の第２の接合面２０ｓａが記録素子基板２４におけるインク供給開口部２４ｃが設けられる面に接着剤により接着される。その接着剤は例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度を有するものが望ましい。
【００１１】
かかる構成のもとで、プリント配線基板２２を通じて記録素子基板２４における基板の各ヒータに駆動制御信号が供給されて各ヒータが発熱するとき、インク供給路１８ａを通じてインクが隔絶部材のインク分岐供給路を介し導入される。インクが各ヒータにより加熱されて膜沸騰現象により気泡が発生し気泡の膨張に伴ってそのインクがインク吐出口２４ａから記録媒体の記録面に向けて吐出されることとなる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述の従来例には以下の課題がある。
すなわち、ノズル数が増え、記録素子基板の長さが更に長くなると支持部材をシリコンで形成した場合でも、線膨張係数がシリコンに近いアルミナ等を使用した場合でも下記の問題が発生する場合があることを見出した。以下に支持部材と記録素子基板とを接合する接着剤の特性に応じた問題点を指摘する。
（１）熱硬化型接着剤を使用した場合
記録素子基板と支持部材を熱硬化型接着剤で接着した場合は硬化温度は室温より高くなる。つまり、本体部のアルミブロック、さらに支持部材、記録素子基板は全て室温時より膨張した状態で接着され、接着後記録ヘッド温度が低下するにつれ各部材は収縮する。一般にアルミブロックは記録素子基板、支持基板より線膨張係数が大きいので記録ヘッド温度低下時の収縮率が大きい。その結果、接着後に記録ヘッドが室温に戻る際にアルミブロックの寸法変化が記録素子基板や支持基板より大きくなり、記録素子基板、支持基板、アルミブロックの間に応力が発生する。ノズル数が少なく記録素子基板が短い場合は、温度変化時の寸法変化が小さく発生応力も小さい。そのため支持基板にシリコンや、アルミナを使えば発生応力に抗して記録素子基板の変形量を小さくおさえることが可能である。しかしながら、ノズル数が増え記録素子基板が長くなると、接着後の記録素子基板、支持基板とアルミブロックの寸法変化の差が大きくなりこれに従って発生応力も大きくなる。そのため、支持基板にシリコンやアルミナを使っても、発生応力に抗しきれず記録素子基板が大きく変形する場合がある。それによりインクジェット記録装置の記録ヘッドからの着弾位置がずれて印字品位が劣化したり、さらには記録素子基板が壊れたりする場合がある。
（２）低温硬化型接着剤を使用した場合
記録素子基板と支持部材を室温に近い低温硬化型接着剤で接着した場合は上記の問題は無くなるが、印字動作中に記録ヘッド温度が上昇するときに同様の問題が発生する。すなわち、印字動作中にヘッド温度が上昇するとアルミブロックと記録素子基板、支持基板は膨張し、夫々の寸法が大きくなる。特にアルミブロックは記録素子基板、支持基板より線膨張係数が大きいので、寸法変化が大きく、ヘッド温度上昇時にアルミブロックと記録素子基板、支持基板との寸法変化に差が生じる。その結果、記録素子基板、支持基板、アルミブロックの間に応力が発生する。
ノズル数が少なく記録素子基板が短い場合は温度変化時の寸法変化が小さく発生応力も小さい。そのため支持基板にシリコンや、アルミナを使えば発生応力に抗して記録素子基板の変形量を小さくおさえることが可能である。しかしながら、ノズル数が増え記録素子基板が長くなると接着後の記録素子基板、支持基板とアルミブロックの寸法変化の差が大きくなりこれに従って発生応力も大きくなる。そのため、支持基板にシリコンやアルミナを使っても発生応力に抗しきれず記録素子基板が大きく変形し、着弾位置がずれて印字品位が劣化したり、記録素子基板が壊れたりする場合がある。
【００１３】
そこで、本発明は、上記課題を解決し、ノズル数の増加により、記録素子基板が長くなった場合でも、記録素子基板を接着するときの温度と室温の差や、駆動時の温度変化で記録素子基板が変形することなく常に高品位な画像を印字できるインクジェット記録ヘッドを提供することを目的とするものである。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、つぎの（１）〜（７）のように構成したインクジェット記録ヘッドを提供するものである。
（１）インクを加熱するインク加熱部と、該インク加熱部により加熱されたインクを吐出するインク吐出口と、を有する記録素子基板と、
インク貯留部からのインクを導入するインク供給路を有する本体部と、
前記本体部に接合される第一の接合面と、該第一の接合面の裏面であって前記記録素子基板に接合される第二の接合面と、を有する接合部材と、
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記第一の接合面における前記本体部との第一の接合部は、前記第二の接合面における前記記録素子基板との第二の接合部に対し、これらの接合面に沿った方向にずらした位置に構成され、熱変化による応力を前記第一の接合部と前記第二の接合部との間に介在する前記接合部材の変形によって吸収することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
（２）前記接合部材が、樹脂、金属板、樹脂と金属の複合材のいずれかによって構成されていることを特徴とする上記（１）に記載のインクジェット記録ヘッド。
（３）前記接合部材が、ポリイミドによって構成されていることを特徴とする上記（１）に記載のインクジェット記録ヘッド。
（４）前記接合部材が、記録素子基板の発熱素子駆動用の電極配線を備えていることを特徴とする上記（１）〜（３）のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
（５）前記接合部材が、電極配線を樹脂でラミネートした構成を有することを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
（６）前記記録素子基板と前記本体部とは、直接接合される部分を有することを特徴とする上記（１）〜（５）のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
（７）前記記録素子基板と前記本体部とにおいて、前記直接接合される部分が複数個所からなることを特徴とする上記（６）に記載のインクジェット記録ヘッド。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態においては、上記構成を適用することによって、記録媒体の記録面に対してインクを吐出し記録画像を得るインクジェット記録ヘッドにおける記録素子基板を、本体部に接着固定するにあたり、ノズル数を増やし、記録素子基板が長くなった場合でも、記録素子基板を接着するときの温度と室温の差や、駆動時の温度変化で記録素子基板が変形することなく常に高品位な画像を印字できるインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【００１６】
【実施例】
以下に、本発明の実施例について説明する。
［実施例１］
図１、図２に、本発明の実施例１におけるインクジェット記録ヘッドの構成を示す。図１はインクジェット記録ヘッドの斜視図、図２は図１のインクジェットヘッドの断面模式図を示す。但し図においては記録素子基板における流路、吐出口部の構成は省略している。
図１、図２に従って説明する。図中、１は本体部、２は吐出口からインクを吐出する記録素子基板、３は本体部と記録素子基板の間に接合される接合部材であり、本実施例のインクジェット記録ヘッドは大きくこの３つの構成要素から構成されている。
ここで、本体部１は、インクタンクからインクが供給されるインク供給部１ａと、図示が省略されるキャリッジ部からの駆動制御信号群が入力される入力端子部１ｂを備えている。
【００１７】
記録素子基板２には、図示されないプリント配線基板によって、入力端子部からの駆動制御信号群が供給される。記録素子基板２の内部構造は図１０に示される記録素子基板と同様なので説明は省略する。記録素子基板２は厚さ０．５〜１．０ｍｍのシリコン材料からなり、接合部材と接合される接合面Ａ’側にはインク吐出口の配列方向に延びるインク供給開口部が設けられている。
【００１８】
本体部１のインク供給部１ａには略長方形の凹状の液室１ｄが設けられている。液室１ｄの略中央には図示されないがインク貯留部からのインクを液室内に導入するための細長い開口部があり、その上にインク中のゴミを除去するためのフィルタ１ｅが設けられている。液室１ｄには更に、本体部と記録素子基板を直接接合するための記録素子支持部１ｃが設けられている。記録素子支持部１ｃを接合部材３と直接接合することによって記録素子基板２の位置が高精度に維持される。
【００１９】
接合部材３の接合面Ｂは本体部１の接合面のＢ’と接合され、また接合部材３の接合面Ａは記録素子基板２の接合面Ａ’と接合される。実際に接合される接合領域は図２に示すように接合面ＡＡ’、接合面ＢＢ’の一部であり、それぞれは水平方向にずれている。接合部材の中央にはインクを液室から記録ヘッドのインク供給開口部に供給するための連通口としてインク供給口があいている。
【００２０】
接合部材３は記録素子基板２より伸び強さが弱い例えば０．５ｍｍ程度の薄いポリイミドなどの樹脂からなる。ポリイミドはインク成分に侵されにくい上、耐熱性もあり、かつ柔らかいので接合部材として非常に適している。なお、接合部材３の素材は、樹脂に限らず、薄いＳＵＳなどの金属、またはアルミ（Ａｌ）と樹脂の多層ラミネート材のような金属と樹脂の複合材でもよい。金属の場合はガスバリア性が高く、インク蒸発を極めて低レベルに抑えることが可能となる。しかしインク成分に侵されず、溶け出してコゲの原因にもならない金属種は選択肢が限られる上、薄くしても伸び強さが比較的強いため記録素子基板が変形し易いというデメリットがある。これに対して、樹脂と金属の複合材は薄い金属板、もしくは金属蒸着膜を樹脂でサンドイッチした多層構造で、インク成分には金属が直接触れないので金属がインクに侵されたり、溶け出してコゲの原因になることはない。加えて、サンドイッチした金属膜によってインクの蒸発は抑制されるので非常に適している。
また、接合部材は記録素子基板より伸び強さが弱いものであれば良く、好ましくは以下の関係を満たすものがよい。
すなわち
Ｅｓ・ｔｓ³・ｗｓ＞Ｅａ・ｔａ³・ｗａ
ここで、
Ｅｓ：記録素子基板のヤング率（ｄｙｎ／ｃｍ²）
ｔｓ：記録素子基板の厚み（ｃｍ）
ｗｓ：記録素子基板の幅（ｃｍ）
Ｅａ：接合部材のヤング率（ｄｙｎ／ｃｍ²）
ｔａ：接合部材の厚み（ｃｍ）
ｗａ：接合都材の幅（ｃｍ）
である。
【００２１】
かかる構成で記録素子基板、接合部材、支持部材、インク供給部材を熱硬化型接着剤で接着すると、硬化温度が室温より高いため、各部材は全て室温時より膨張した状態で接着され、接着後ヘッド温度が低下するにつれ各部材は収縮する。通常、支持部材、インク供給部材は樹脂でできているので線膨張係数は記録素子基板より大きい。また、接合部材にも樹脂を用いると線膨張係数は記録素子基板より大きくなる。従って、接着後のヘッド温度低下時での記録素子基板と他の部材の収縮率が異なり寸法変化に差が発生する。しかし、上記に説明したように接合部材を記録素子基板より伸び強さの弱い部材にすることにより、上記熱変化による応力を接合部材の変形により吸収することができ、記録素子基板への影響が軽減される。それにより、熱硬化型接着剤を使用による記録ヘッドへの熱の影響を、問題のないレベルに押さえることができる。
さらに上記実施例のように、記録基板素子と接合部材の接合部ＡＡ’と接合部材と本体部の接合面ＢＢ’とを水平方向にずらして（軸をずらして）構成すること、かつまた接合部材の伸び強さを記録素子基板より弱くすることで、上記記録素子基板とその他の部材との寸法変化差によって発生する応力は接合部ＡＡ’と接合部ＢＢ’の間に介在する接合部材が変形することによって吸収される。それにより記録素子基板には、上記熱、応力に関する影響はほとんど発生しない。
上記のずらした接合部間の接合部材の変形による応力吸収は、記録素子基板と本体部を柔軟な特性を有する接着剤または樹脂で直接貼りつけた構成よりも変形量を格段に大きくできるため、応力吸収効果の面において優れている。
そのため本構成によればノズルの数を多くし記録素子基板の長さを長くしても（例えば１インチ以上の長さの記録素子基板に特に有効）記録素子基板をほとんど変形させずにヘッド実装が可能となる。
また、本実施例においては、図１，２に示すように、記録素子基板の端部記録素子支持部１ｃと直接接合することにより、吐出口に近い中央領域での位置精度を出しつつ、その周辺部で応力を吸収する構成としている。それにより、結果的に高品位の印字を可能としている。
これらによって、本構成ではノズル数が多くなって記録素子基板が長くなっても記録素子基板の変形を確実に防止しながら、記録素子基板の位置を高精度に保つことが可能となる。
また、記録素子基板、接合部材、支持部材、インク供給部材を低温（室温）硬化型接着材で接着した場合の印字動作中のヘッド昇温による各部材の膨張率の違いによる応力発生に対しても本構成は同様に効果がある。
すなわち、印字動作中にヘッド温度が上昇すると各部材は膨張し、寸法が大きくなる。通常、支持部材、インク供給部材は樹脂でできているので線膨張係数は記録素子基板より大きい。また、接合部材にも樹脂を用いると線膨張係数は記録素子基板より大きくなる。従って、印字動作中にヘッド温度が上昇すると記録素子基板と他の部材の膨張率が異なり寸法変化に差が発生する。
しかし、上記に説明したように接合部材を記録素子基板より伸び強さの弱い部材にすることにより、上記熱変化による応力を接合部材の変形により吸収することができ、記録素子基板への影響が軽減される。
さらに上記実施例のように、記録基板素子と接合部材の接合部ＡＡ’と接合部材と本体部の接合面ＢＢ’とを水平方向にずらして（軸をずらして）構成すること、かつまた接合部材の伸び強さを記録素子基板より弱くすることで、上記記録素子基板とその他の部材との寸法変化差によって発生する応力は接合部ＡＡ’と接合部ＢＢ’の間に介在する接合部材が変形することによって吸収される。それにより記録素子基板には、上記熱、応力に関する影響はほとんど発生しない。
そのため本構成によればノズルの数を多くし記録素子基板の長さを長くしても（例えば１インチ以上の長さの記録素子基板に特に有効）記録素子基板をほとんど変形させずにヘッド実装が可能となる。
【００２２】
［実施例２］
図３、図４に、本発明の実施例２の構成を示す。
本実施例では、接合部材３が記録素子基板へ駆動制御信号群を供給するプリント配線基板を兼ねるように構成されている。
接合部材３は電極が樹脂でラミネートされた構造で、記録素子基板と電気接続を取るための電極パッドとキャリッジと電気接続をとるためのキャリッジ電極コンタクト部が樹層の上にむき出しになっている。接合部材は図４に示すように本体部に取付けられワイヤボンダなどによって記録素子基板から接合部材の電極パッドに電極を配線してある。
キャリッジ電極コンタクト部は矢印の方向に折り曲げられ本体部の側壁に装着される。
本実施例によれば、実施例１と同様の利点を有しながら更に、記録素子基板に駆動制御信号群を供給するプリント基板を別部品として用いなくてもよくなり、コストダウンが可能となる。
【００２３】
［実施例３］
図５、図６、図７に、本発明の実施例３の構成を示す。
本実施例では、接合部材３が本体部１の断面積より大きい面積を持ち、放熱部も兼ねるように構成されている。図６に示すように本体から大きくはみ出した接合部材を矢印の方向に折り曲げ、図７に示すように本体部の側面に装着する。
接合部材は金属材料または金属材料を樹脂でラミネートしたもの、インクに接する領域だけ金属を樹脂でラミネートし放熱部は金属むき出しにしたものによって構成されている。
本実施例によれば、印字動作中に記録素子基板で発熱した熱を接合部材を経由して効率よく外気に放熱できるので記録素子基板の温度が上がりにくく、更に記録素子基板の変形量を小さくすることができる。
【００２４】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明によれば、記録素子基板と記録ヘッドの本体部の間に接合した接合部材の伸び強さが記録ヘッドより弱いので、ノズル数が増え、記録素子基板が長くなった場合でも、記録素子基板を接着するときの温度と室温の差や、駆動時の温度変化で記録素子基板が変形することなく常に高品位な画像を印字できるインクジェット記録ヘッドを実現することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例１におけるインクジェット記録ヘッドの構成を示す図である。
【図２】本発明の実施例１におけるインクジェット記録ヘッドの構成を示す図である。
【図３】本発明の実施例２の構成を示す図である。
【図４】本発明の実施例２の構成を示す図である。
【図５】本発明の実施例３の構成を示す図である。
【図６】本発明の実施例３の構成を示す図である。
【図７】本発明の実施例３の構成を示す図である。
【図８】従来例におけるインクジェット記録ヘッドの構成を示す図である。
【図９】従来例の構成を示す図である。
【図１０】従来例の記録素子基板の内部詳細図である。
【図１１】従来例の記録素子基板とプリント配線基板図である。
【符号の説明】
１：本体部
１ａ：インク供給部
１ｂ：入力端子部
１ｃ：記録素子支持部
１ｄ：液室
１ｅ：フイルタ
２：記録素子基板
３：接合部材
４：プリント配線基板
１０：基板
１２：隔壁部材
１２ａ：インク分岐供給路
１４：オリフィスプレート
１４ａ：インク吐出口
１６：インクジェット記録ヘッド
１８：本体部
１８ａ：インク供給路
１８ｂ：被接合面
１８Ａ：入力端子部
１８Ｂ：インク供給部
１８ＢＧ：凹部
２０：支持部材
２０ａ：連通路
２０Ｓａ：第２の接合面
２０Ｓｂ：第１の接合面
２２：プリント配線基板
２４：記録素子基板
２４ａ：インク吐出口
２４ｃ：インク供給開口部
２４Ａ：端子部
２４Ｂ：記録素子基板収容部
２６：ブロック片

Claims

インクを加熱するインク加熱部と、該インク加熱部により加熱されたインクを吐出するインク吐出口と、を有する記録素子基板と、
インク貯留部からのインクを導入するインク供給路を有する本体部と、
前記本体部に接合される第一の接合面と、該第一の接合面の裏面であって前記記録素子基板に接合される第二の接合面と、を有する接合部材と、
を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記第一の接合面における前記本体部との第一の接合部は、前記第二の接合面における前記記録素子基板との第二の接合部に対し、これらの接合面に沿った方向にずらした位置に構成され、熱変化による応力を前記第一の接合部と前記第二の接合部との間に介在する前記接合部材の変形によって吸収することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
前記接合部材が、樹脂、金属板、樹脂と金属の複合材のいずれかによって構成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記接合部材が、ポリイミドによって構成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記接合部材が、記録素子基板の発熱素子駆動用の電極配線を備えていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記接合部材が、電極配線を樹脂でラミネートした構成を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記記録素子基板と前記本体部とは、直接接合される部分を有することを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッド。
前記記録素子基板と前記本体部とにおいて、前記直接接合される部分が複数個所からなることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。