JP2009277999A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】オフ角が10度以上である第一導電型のGaAs基板10上に、少なくとも、高Al組成のAlGaAsを含む複数層からなる第一導電型光反射層12と、第一導電型クラッド層13、アンドープ活性層14および第二導電型クラッド層15を有する発光層と、第二導電型電流分散層17と、が順次積層された構造の半導体発光素子において、前記GaAs基板10上の第一導電型層の第一導電型決定ドーパントとして、Seを用いる。
【選択図】図2
Description
有する直接遷移型半導体であり、従来のGaPやAlGaAsなどの間接遷移型半導体を用いた発光ダイオードと比較して、赤色から緑色に相当する可視波長域において高輝度の発光が可能である。
射層と、AlInPとGaAsを1対とし交互に積層した光反射層と、AlInPとGaInPを1対とし交互に積層した光反射層とが用いられている。
第一導電型光反射層が、前記第一導電型のGaAs基板と略格子整合する材料で構成されていることを特徴とする。
図1は、本発明の実施形態の半導体発光素子の作製に用いられるエピタキシャルウェハの構造を示す断面図である。
として用いられてきたTeは、基板のオフ角が大きいほどドーピング効率が下がり、また図5(b)に示すように、n型光反射層3にAlAs層(Al組成1.00)を用いることによってさらにドーピング効率が下がってしまう。これに対し、Seの場合は、図5(a)に示すように、AlGaAsに対するドーピング効率はAl組成にかかわらずTeよりも大きく、しかもAlGaAsのAl組成が高いほどドーピング効率が良くなり、AlAs層を用いるのに好適なドーパントである。また、ドーピング効率が良く、発光層(発光部)成長前にSeを大量に流さないことで、n型光反射層3と、n型クラッド層4、アンドープ活性層5及びp型クラッド層6からなる発光層の結晶品質を向上させることもできる。
例えば、発光ピーク波長が630nmであれば、n型光反射層3の材料はAl0.4GaAsとAlAsとすることが望ましい。AlGaAsのAl組成をより大きくしても、発光層の光に対しては透明であるが、AlAsとの屈折率差が小さくなって光反射効果が小さくなるので、光反射層のAlGaAsとAlAsのペア数を増加させなければならず、コストが高くなってしまうため、Al0.4GaAsを用いるのが最適である。
(実施例1)
実施例1では、図2に示す構造の発光波長630nm付近の赤色LEDを作製した。本実施例1で作製したLED用のエピタキシャルウェハの成長には自公転炉を用い、原料ガスとしてトリメチルガリウム(TMGa)、トリエチルガリウム(TEGa)、トリメチルアルミニウム(TMAl)、トリメチルインジウム(TMIn)等の有機金属ガスと、アルシン(AsH3)、ホスフィン(PH3)等の水素化物ガスを用い、添加物原料としてジエチルセレン(DESe)を用いた。
の材料を用いて作製される発光波長630nm以外のLED素子、例えば発光波長560〜660nmのLED素子においても、同様の効果が得られる。また、本実施例では表面電極18の形状を円形のものとしたが、円形の外周に放射状部を形成したり、円形と異なる形状(例えば四角、ひし形、多角形、その他これらを変形した形状など)であっても本発明の効果は期待できる。
実施例2として、図3に示す構造の発光波長630nm付近の赤色LEDを作製した。この実施例2では、上記実施例1において、アンドープ(Al0.1Ga0.9)0.5In0.5P活性層14とp型(Al0.7Ga0.3)0.5In0.5Pクラッド層15との間に、アンドープ層(200nm)20を設けている点が相違する。その他の成長条件などは、全て実施例1と同様にして作製した。
また、n型クラッド層13と活性層14との間に、アンドープ層、或いはn型クラッド層13よりも低濃度の層を設けるようにしても良い。更に、活性層14とp型クラッド層15との間、およびn型クラッド層13と活性層14との間に、アンドープ層、或いは低濃度の層を設けるようにしても良い。
実施例3として、図4に示す構造の発光波長630nm付近の赤色LEDを作製した。この実施例3では、上記実施例1におけるp型介在層16を省略したものである。その他の成長条件などは、全て実施例1と同様にして作製した。
実施例4では、実施例1における活性層14を単層ではなく、多重量子井戸(MQW)構造にして赤色LED用エピタキシャルウェハを作製した。その他の成長条件などは、全て実施例1と同様にした。
比較例1として、n型ドーパントとしてTeを用いて赤色LED用エピタキシャルウェハを作製した。添加物原料としてはジエチルテルル(DETe)を使用し、その他の条件は実施例1と同一としてエピタキシャルウェハを作製した。その後、実施例1と同じ条件で、このエピタキシャルウェハからLED素子を作製し、初期特性を評価した。
増加させてLED用エピタキシャルウェハを作製した。その結果、エピタキシャルウェハの中心付近に欠陥が生じ、表面状態が悪化した。その後、このエピタキシャルウェハを用いてLED素子を作製し、評価を行ったところ、エピタキシャルウェハ中心部から作製した素子の発光出力は1.2mW、vfが1.92Vであった。また、エピタキシャルウェハ周辺部から作製した素子に関しては、発光出力が1.4mW、vfが2.1Vであった。
また、比較例2として、n型ドーパントとしてSiを用いて赤色LED用エピタキシャルウェハを作成した。添加物原料としてはジシラン(Si2H6)を使用し、その他の条件は実施例1と同一としてエピタキシャルウェハを作製した。その後、実施例lと同じ条件で、このエピタキシャルウェハからLED素子を作製し、初期特性を評価した。
2 n型バッファ層
3 n型光反射層
4 n型クラッド層
5 アンドープ活性層
6 p型クラッド層
7 p型GaInP介在層
8 p型電流分散層
10 n型GaAs基板(オフ角15度)
11 n型GaAsバッファ層
12 n型光反射層(AlAs層とAlGaAs層を交互に積層)
13 n型AlGaInPクラッド層
14 アンドープAlGaInP活性層
15 p型AlGaInPクラッド層
16 p型GaInP介在層
17 p型GaP電流分散層
18 表面電極
19 裏面電極
20 アンドープ層
Claims (9)
- オフ角が10度以上である第一導電型のGaAs基板上に、少なくとも、高Al組成のAlGaAsを含む複数層からなる第一導電型光反射層と、第一導電型クラッド層、アンドープ活性層および第二導電型クラッド層を有する発光層と、第二導電型電流分散層と、が順次積層された構造の半導体発光素子において、
前記GaAs基板上の第一導電型層の第一導電型決定ドーパントとして、Seが用いられていることを特徴とする半導体発光素子。 - 請求項1に記載の半導体発光素子において、前記GaAs基板上の第二導電型層の第二導電型決定ドーパントとして、Mgが用いられていることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1または2に記載の半導体発光素子において、前記第一導電型光反射層にAlAs層が含まれていることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至3に記載の半導体発光素子において、前記第一導電型光反射層が、前記発光層で発光した光に対して透明な材料で構成されていることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至4に記載の半導体発光素子において、前記第一導電型光反射層が、前記第一導電型のGaAs基板と略格子整合する材料で構成されていることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至5に記載の半導体発光素子において、前記発光層で発光した光のピーク波長をλpとし前記第一導電型光反射層に用いた材料の屈折率をnとしたとき、前記複数層からなる第一導電型光反射層の各層の膜厚が、d=λp/(4×n)の計算式により求まるdの±30%の範囲内にあることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至6に記載の半導体発光素子において、前記第一導電型光反射層のキャリア濃度が5×1017〜5×1018cm−3の範囲にあることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至7に記載の半導体発光素子において、前記第二導電型クラッド層と前記第二導電型電流分散層の間に、第二導電型のGaXIn1−XP(0.6≦X)介在層が設けられていることを特徴とする半導体発光素子。
- 請求項1乃至8に記載の半導体発光素子において、前記アンドープ活性層と前記第一導電型クラッド層との間に、及び/又は前記アンドープ活性層と前記第二導電型クラッド層との間に、前記第一導電型クラッド層、前記第二導電型クラッド層よりもドーパントの添加量が少ない層が設けられていることを特徴とする半導体発光素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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